JP6349554B2 - 窒化物半導体装置 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 489
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 title claims description 436
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 19
- 238000010893 electron trap Methods 0.000 claims description 16
- 230000006870 function Effects 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 364
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 40
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 40
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 38
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 38
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 38
- 230000004913 activation Effects 0.000 description 22
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 17
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 8
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 8
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 7
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000005264 electron capture Effects 0.000 description 7
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 7
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 6
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 5
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 5
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 5
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 3
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 2
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 2
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 240000002329 Inga feuillei Species 0.000 description 1
- -1 Si 3 N 4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 230000002238 attenuated effect Effects 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 239000003574 free electron Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002784 hot electron Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005036 potential barrier Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 1
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
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- H01L33/04—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/86—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable only by variation of the electric current supplied, or only the electric potential applied, to one or more of the electrodes carrying the current to be rectified, amplified, oscillated or switched
- H01L29/861—Diodes
- H01L29/872—Schottky diodes
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- H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
- H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
- H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
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- H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
- H01L29/7786—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with direct single heterostructure, i.e. with wide bandgap layer formed on top of active layer, e.g. direct single heterostructure MIS-like HEMT
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- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/0004—Devices characterised by their operation
- H01L33/002—Devices characterised by their operation having heterojunctions or graded gap
- H01L33/0025—Devices characterised by their operation having heterojunctions or graded gap comprising only AIIIBV compounds
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- H01L33/0004—Devices characterised by their operation
- H01L33/0033—Devices characterised by their operation having Schottky barriers
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- H01L33/0004—Devices characterised by their operation
- H01L33/0041—Devices characterised by their operation characterised by field-effect operation
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- H01L33/02—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/16—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous
- H01L33/18—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a particular crystal structure or orientation, e.g. polycrystalline, amorphous or porous within the light emitting region
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- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of Group III and Group V of the Periodic Table containing nitrogen
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- H01L25/00—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof
- H01L25/16—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits
- H01L25/167—Assemblies consisting of a plurality of individual semiconductor or other solid state devices ; Multistep manufacturing processes thereof the devices being of types provided for in two or more different main groups of groups H01L27/00 - H01L33/00, or in a single subclass of H10K, H10N, e.g. forming hybrid circuits comprising optoelectronic devices, e.g. LED, photodiodes
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Description
第1の実施形態における窒化物半導体装置の模式図を図1に示す。本実施の形態における窒化物半導体装置は、電界効果トランジスタ(FET)である。
図7は第1の実施形態の第1の変形例に係る窒化物半導体装置を示す構成図である。本実施の形態の窒化物半導体装置は、電界効果トランジスタ(FET)である。
第1の実施形態の第2の変形例に係る窒化物半導体装置を示す模式図を、図8に示す。本実施の形態の窒化物半導体装置は、電界効果トランジスタ(FET)である。
第1の実施形態の第3の変形例に係る窒化物半導体装置を示す模式図を、図9に示す。本実施の形態の窒化物半導体装置は、電界効果トランジスタ(FET)である。
電流コラプスが発生する要因の一つとして、ゲート電極109端で電界集中によって加速された電子がインパクトイオン化することを述べたが、ゲート電極109端以外にも、ゲート電極109、ドレイン電極110間で電界集中が発生する場合がある。ゲート電極109、ドレイン電極110間の表面に密度の高い負の電荷がある場合、トランジスタをオン状態にした時に、表面トラップに電子が捕獲されると、表面の負電荷が空乏層電荷を補償する。これによってゲート電極109端の電界が緩和されるとともに、高電界領域がゲート電極端からドレイン電極110端へシフトして、ドレイン電極110端に高電界領域が形成されることが考えられる。変形例4によれば、pn発光体107から発光される光によって、高電圧により捕獲準位にトラップされた電子に、捕獲準位の活性化エネルギーより大きいエネルギーを有する発光を照射することにより捕獲された電子を光照射で励起してトラップから解放することができる。
第1の実施形態の第5の変形例に係る窒化物半導体装置の模式図を図12に示す。本実施の形態の窒化物半導体装置は、電界効果トランジスタ(FET)である。
第2の実施形態における窒化物半導体装置の構成を示す模式図を、図13に示す。本実施の形態における窒化物半導体装置は、電界効果トランジスタ(FET)である。
第3の実施形態における窒化物半導体装置の構成を示す模式図を、図14に示す。本実施の形態の窒化物半導体装置は、2端子ダイオードである。
第4の実施形態における窒化物半導体装置の構成を示す模式図を、図15に示す。本実施の形態における窒化物半導体装置は、ショットキーダイオード(SD)である。
第5の実施形態における窒化物半導体装置の構成(pn発光体部分)を示す模式図を、図16に示す。本実施の形態における窒化物半導体装置は、ショットキーダイオード(SD)である。なお、本実施形態においては、pn発光体207の構成が第4の実施形態にかかる半導体装置(図15)と異なるが、基板201、バッファ層202、第1の窒化物半導体層203等他の構成については、第4の実施形態と同様である(表3、表4参照)。
第5の実施形態の第1の変形例に係る窒化物半導体装置(pn発光体部分)の模式図を、図17に示す。本変形例の窒化物半導体装置は、ショットキーダイオード(SD)である。なお、本変形例においては、pn発光体207の構成が第5の実施形態にかかる半導体装置(図16)と異なるが、基板201、バッファ層202、第1の窒化物半導体層203等他の構成については、第5の実施形態と同様である(表3、表4参照)。
第6の実施形態における窒化物半導体装置の構成(pn発光体部分)を示す模式図を、図18に示す。本実施の形態における窒化物半導体装置は、ショットキーダイオード(SD)である。なお、本実施形態においては、pn発光体207の構成が第4の実施形態にかかる半導体装置(図15)と異なり、中間層215を有している。なお、基板201、バッファ層202、第1の窒化物半導体層203等他の構成については、第4の実施形態と同様である(表3、表4参照)。
第6の実施形態の第1の変形例に係る窒化物半導体装置(pn発光体部分)の模式図を、図19に示す。なお、本変形例においては、pn発光体207の構成が第6の実施形態にかかる半導体装置(図18)と異なるが、基板201、バッファ層202、第1の窒化物半導体層203等他の構成については、第6の実施形態と同様である(表3、表4参照)。
第7の実施形態における窒化物半導体装置の構成(pn発光体部分)を示す模式図を、図20に示す。本実施の形態の窒化物半導体装置は、ショットキーダイオード(SD)である。なお、本実施形態においては、pn発光体207の構成が第4の実施形態にかかる半導体装置(図15)と異なり、中間層215を有している。なお、基板201、バッファ層202、第1の窒化物半導体層203等の構成については、第4の実施形態と同様である(表3、表4参照)。
第7の実施形態の第1の変形例に係る窒化物半導体装置(pn発光体部分)の模式図を、図21に示す。なお、本変形例においては、pn発光体207の構成が第7の実施形態にかかる半導体装置(図20)と異なるが、基板201、バッファ層202、第1の窒化物半導体層203等他の構成については、第7の実施形態と同様である(表3、表4参照)。
102,202 バッファ層
103,203 第1の窒化物半導体層
104,204 第2の窒化物半導体層
105,122,205 p型窒化物半導体層
106,206 n型窒化物半導体層
107,207 pn発光体
108 ソース電極
109 ゲート電極
110 ドレイン電極
118 ゲート信号
119 電源
120 コンタクト部
121 活性領域
123 絶縁体層
126 ゲート・ソース接続端子
127 ソースパッド
128 ゲートパッド
129 ドレインパッド
211 アノード電極
212 カソード電極
215 中間層
216 第1のn型窒化物半導体層
217 第2のn型窒化物半導体層
Claims (6)
- 基板の上に形成され、第1の窒化物半導体層、及び前記第1の窒化物半導体層の上に形成され且つ前記第1の窒化物半導体層と比べてバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の上に、互いに間隔をおいて形成されたソース電極とドレイン電極と、前記ソース電極と前記ドレイン電極との間に、前記ソース電極及び前記ドレイン電極と互いに間隔をおいて形成されたゲート電極を有するトランジスタと、
前記半導体積層体の上に、p型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層からなり、前記半導体積層体に存在する電子捕獲準位より大きいエネルギー値の光を発するpn発光体とを有し、
前記pn発光体のp型窒化物半導体層が、前記ゲート電極と電気的に接続され、前記トランジスタのゲートとして機能することを特徴とする窒化物半導体装置。 - 基板の上に形成され、第1の窒化物半導体層、及び前記第1の窒化物半導体層の上に形成され且つ前記第1の窒化物半導体層と比べてバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の上に互いに間隔をおいて形成されたアノード電極とカソード電極とを有するダイオードと、
前記半導体積層体の上に、p型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層からなり、前記半導体積層体に存在する電子捕獲準位より大きいエネルギー値の光を発するpn発光体とを有し、
前記pn発光体のp型窒化物半導体層が、前記アノード電極と電気的に接続され、前記ダイオードのアノードとして機能することを特徴とする窒化物半導体装置。 - 基板の上に形成され、第1の窒化物半導体層、及び前記第1の窒化物半導体層の上に形成され且つ前記第1の窒化物半導体層と比べてバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の上に、前記半導体積層体とショットキー接合されたアノード電極と、前記アノード電極と互いに間隔をおいて形成されたカソード電極とを有するダイオードと、
前記半導体積層体の上に、p型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層からなり、前記半導体積層体に存在する電子捕獲準位より大きいエネルギー値の光を発するpn発光体とを有し、
前記pn発光体は、前記アノード電極と前記カソード電極の間に形成され、
前記pn発光体のp型窒化物半導体層の上面、側面または活性領域外箇所のいずれかが前記アノード電極と接続され、
前記pn発光体は、前記p型窒化物半導体層と前記n型窒化物半導体層との対向面組を複数有し、
前記複数の対向面組の内少なくとも2つの対向面組が異なる面方位であることを特徴とする窒化物半導体装置。 - 基板の上に形成され、第1の窒化物半導体層、及び前記第1の窒化物半導体層の上に形成され且つ前記第1の窒化物半導体層と比べてバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の上に、前記半導体積層体とショットキー接合されたアノード電極と、前記アノード電極と互いに間隔をおいて形成されたカソード電極とを有するダイオードと、
前記半導体積層体の上に、p型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層からなり、前記半導体積層体に存在する電子捕獲準位より大きいエネルギー値の光を発するpn発光体とを有し、
前記pn発光体は、前記アノード電極と前記カソード電極の間に形成され、
前記pn発光体のp型窒化物半導体層の上面、側面または活性領域外箇所のいずれかが前記アノード電極と接続され、
前記pn発光体は、前記p型窒化物半導体層と前記n型窒化物半導体層との対向面組を複数有し、
前記複数の対向面組の内少なくとも2つの対向面組が異なる面方位であり、該2つの対向面組の内の一方から出力される光のエネルギー値が他方から出力される光のエネルギー値と異なることを特徴とする窒化物半導体装置。 - 基板の上に形成され、第1の窒化物半導体層、及び前記第1の窒化物半導体層の上に形成され且つ前記第1の窒化物半導体層と比べてバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の上に、前記半導体積層体とショットキー接合されたアノード電極と、前記アノード電極と互いに間隔をおいて形成されたカソード電極とを有するダイオードと、
前記半導体積層体の上に、p型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層からなり、前記半導体積層体に存在する電子捕獲準位より大きいエネルギー値の光を発するpn発光体とを有し、
前記pn発光体は、前記アノード電極と前記カソード電極の間に形成され、
前記pn発光体のp型窒化物半導体層が前記アノード電極側に形成され、
前記pn発光体のn型窒化物半導体層が前記カソード電極側に形成され、
前記pn発光体は、前記p型窒化物半導体層と前記n型窒化物半導体層との対向面組を複数有し、
前記複数の対向面組の内少なくとも2つの対向面組が異なる面方位であることを特徴とする窒化物半導体装置。 - 基板の上に形成され、第1の窒化物半導体層、及び前記第1の窒化物半導体層の上に形成され且つ前記第1の窒化物半導体層と比べてバンドギャップが大きい第2の窒化物半導体層を有する半導体積層体と、前記半導体積層体の上に、前記半導体積層体とショットキー接合されたアノード電極と、前記アノード電極と互いに間隔をおいて形成されたカソード電極とを有するダイオードと、
前記半導体積層体の上に、p型窒化物半導体層とn型窒化物半導体層からなり、前記半導体積層体に存在する電子捕獲準位より大きいエネルギー値の光を発するpn発光体とを有し、
前記pn発光体は、前記アノード電極と前記カソード電極の間に形成され、
前記pn発光体のp型窒化物半導体層が前記アノード電極側に形成され、
前記pn発光体のn型窒化物半導体層が前記カソード電極側に形成され、
前記pn発光体は、前記p型窒化物半導体層と前記n型窒化物半導体層との対向面組を複数有し、
前記複数の対向面組の内少なくとも2つの対向面組が異なる面方位であり、該2つの対向面組の内の一方から出力される光のエネルギー値が他方から出力される光のエネルギー値と異なることを特徴とする窒化物半導体装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013103673 | 2013-05-16 | ||
JP2013103673 | 2013-05-16 | ||
PCT/JP2014/001812 WO2014184995A1 (ja) | 2013-05-16 | 2014-03-28 | 窒化物半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2014184995A1 JPWO2014184995A1 (ja) | 2017-02-23 |
JP6349554B2 true JP6349554B2 (ja) | 2018-07-04 |
Family
ID=51897989
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015516889A Active JP6349554B2 (ja) | 2013-05-16 | 2014-03-28 | 窒化物半導体装置 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9680053B2 (ja) |
JP (1) | JP6349554B2 (ja) |
WO (1) | WO2014184995A1 (ja) |
Families Citing this family (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017022288A (ja) * | 2015-07-13 | 2017-01-26 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体装置 |
JP6304199B2 (ja) * | 2015-11-05 | 2018-04-04 | トヨタ自動車株式会社 | スイッチング素子 |
JP6657913B2 (ja) * | 2015-12-16 | 2020-03-04 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP6651901B2 (ja) * | 2016-02-26 | 2020-02-19 | 株式会社豊田中央研究所 | 半導体装置 |
US11000203B2 (en) * | 2016-03-10 | 2021-05-11 | Epitronic Holdings Pte Ltd. | Microelectronic sensor for intestinal and gut diagnostics and gut motility monitoring |
EP3426133B1 (en) * | 2016-03-10 | 2020-05-06 | Epitronic Holdings Pte. Ltd. | Microelectronic sensors for non-invasive monitoring of physiological parameters |
JP6866769B2 (ja) * | 2017-05-31 | 2021-04-28 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体装置 |
US20210074880A1 (en) * | 2018-12-18 | 2021-03-11 | Bolb Inc. | Light-output-power self-awareness light-emitting device |
CN111384167B (zh) * | 2018-12-30 | 2022-07-29 | 苏州能讯高能半导体有限公司 | 半导体器件及制作方法 |
CN111739934B (zh) * | 2020-07-31 | 2022-03-08 | 电子科技大学 | 一种具有结型场板的氮化镓高电子迁移率晶体管 |
Family Cites Families (19)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS60110173A (ja) * | 1983-11-21 | 1985-06-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2629428B2 (ja) * | 1990-10-01 | 1997-07-09 | 日本電気株式会社 | 砒化ガリウムfet集積回路 |
EP1478031A4 (en) * | 2002-02-19 | 2008-12-03 | Hoya Corp | LIGHT EMISSION ELEMENT OF THE FIELD EFFECT TRANSISTOR TYPE |
KR100459898B1 (ko) * | 2002-03-07 | 2004-12-04 | 삼성전자주식회사 | 실리콘 발광소자 및 이를 채용한 디스플레이 장치 |
EP1687670B1 (en) * | 2003-11-19 | 2014-03-12 | University of Florida Research Foundation, Inc. | A method to contact patterned electrodes on porous substrates and devices thereby |
JP2005286135A (ja) * | 2004-03-30 | 2005-10-13 | Eudyna Devices Inc | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2006286746A (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-19 | Furukawa Electric Co Ltd:The | 電界効果トランジスタ |
JP2007173590A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Toshiba Corp | 半導体発光材料およびそれを用いた発光素子 |
JP4884883B2 (ja) * | 2006-08-18 | 2012-02-29 | 古河電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体装置 |
JP2008198731A (ja) * | 2007-02-09 | 2008-08-28 | Toshiba Corp | 半導体装置 |
KR101496151B1 (ko) * | 2008-06-25 | 2015-02-27 | 삼성전자주식회사 | 산화물 다이오드를 이용한 디스플레이 장치 |
JP2010073744A (ja) * | 2008-09-16 | 2010-04-02 | Panasonic Corp | トランジスタ及びその駆動方法、双方向スイッチ及びその駆動方法 |
JP2012099706A (ja) * | 2010-11-04 | 2012-05-24 | Panasonic Corp | 窒化物半導体装置 |
JP5655654B2 (ja) | 2011-03-18 | 2015-01-21 | 富士通株式会社 | 増幅装置 |
JP5075264B1 (ja) * | 2011-05-25 | 2012-11-21 | シャープ株式会社 | スイッチング素子 |
US9153732B2 (en) * | 2012-02-23 | 2015-10-06 | Nthdegree Technologies Worldwide Inc. | Active LED module |
JP6132290B2 (ja) * | 2012-04-30 | 2017-05-24 | トゥビタク | シリコン光源およびそれを応用したデバイス |
US9024292B2 (en) * | 2012-06-02 | 2015-05-05 | Xiaohang Li | Monolithic semiconductor light emitting devices and methods of making the same |
JP2014120731A (ja) * | 2012-12-19 | 2014-06-30 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置 |
-
2014
- 2014-03-28 WO PCT/JP2014/001812 patent/WO2014184995A1/ja active Application Filing
- 2014-03-28 JP JP2015516889A patent/JP6349554B2/ja active Active
-
2015
- 2015-11-06 US US14/934,244 patent/US9680053B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20160064600A1 (en) | 2016-03-03 |
WO2014184995A1 (ja) | 2014-11-20 |
US9680053B2 (en) | 2017-06-13 |
JPWO2014184995A1 (ja) | 2017-02-23 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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