JP6589432B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
まず、図4に示すように、半導体基板110、バッファ層112、電子走行層114、電子供給層116、p型層122が積層した積層体を準備する。この積層体は、MOCVD技術を利用して、半導体基板110上に結晶成長させることで形成することができる。なお、半導体基板110の厚みは約500μmであり、バッファ層112の厚みは約4μmであり、電子走行層114の厚みは約2μmであり、電子供給層116の厚みは約20nmであり、p型層122の厚みは約100nmである。
110:半導体基板
110a:上面
110b:下面
112:バッファ層
114:電子走行層
116:電子供給層
118:ソース電極
120:第1ゲート電極
122:p型層
124:ドレイン電極
125:HEMT電極
126、226:HEMT
128:第1電極(第2ゲート電極)
130:亜鉛酸化物層
132:第2電極
133:発光部
134、334、434:ダイオード
142、144:端子
146:抵抗
J1:HEMT領域
J2:ダイオード領域
Claims (8)
- 2次元電子ガス層をチャネルとして動作する半導体装置であって、
p型のシリコンである基板と、
前記基板の第1主面側に設けられており、前記基板の前記第1主面の第1範囲に対応して配置されており、前記2次元電子ガス層を発生可能に構成されている半導体積層体と、
前記基板の前記第1主面側に設けられており、前記基板の前記第1主面の前記第1範囲とは異なる第2範囲に対応して配置されている第1電極と、
前記基板の第2主面側に設けられている第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極の間に配置されており、前記基板に接するn型の亜鉛酸化物(ZnO)の亜鉛酸化物層と、を備え、
前記第1電極と前記第2電極の間を流れる電流を利用して発光する発光部が構成されており、
前記発光部は、前記基板と前記亜鉛酸化物層で構成されるダイオードを有する、半導体装置。 - 前記亜鉛酸化物層は、前記基板の前記第2主面に接する、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記亜鉛酸化物層は、前記基板の前記第1主面に直交する方向から見たときに、前記半導体積層体と重複する範囲に配置されている、請求項2に記載の半導体装置。
- 前記亜鉛酸化物層は、前記基板の前記第1主面に接する、請求項1に記載の半導体装置。
- 前記亜鉛酸化物層は、前記基板の前記第1主面に直交する方向から見たときに、前記半導体積層体と重複する範囲に配置されている、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記亜鉛酸化物層は、前記基板の前記第1主面の前記第2範囲に選択的に設けられている、請求項4に記載の半導体装置。
- 前記半導体積層体の上方に設けられているゲート電極を、さらに、備えており、
前記第1電極と前記ゲート電極が接続しており、
前記ゲート電極に電圧が印加されることで、前記2次元電子ガス層の電子密度が変化する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記半導体積層体の上方に設けられており、前記ゲート電極から離れて配置されているドレイン電極と、
前記半導体積層体の上方に設けられており、前記ゲート電極及び前記ドレイン電極から離れて配置されているソース電極と、を備えており、
前記ゲート電極は、前記ドレイン電極と前記ソース電極の間に設けられている、請求項7に記載の半導体装置。
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