JP6342033B2 - 固体撮像装置 - Google Patents
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本発明の実施例1について、図1から図8を用いて説明する。
本発明の実施例2について、図9を用いて説明する。図9(A)、図9(B)及び図9(C)は固体撮像装置の断面模式図であり、それぞれ図4で示した固体撮像装置の変形例を示す断面図である。図9において図4と同様の構成については同一の符号を付し、詳細な説明を省略する。
本発明の実施例3について、図10、図11を用いて説明する。図10(A)、図10(B)及び図10(C)は固体撮像装置の断面模式図であり、それぞれ図4で示した固体撮像装置の変形例を示す断面図である。図11は図10の固体撮像装置の更なる変形例である。図10、図11において図4と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
本発明の実施例4について、図12を用いて説明する。図12(A)、図12(B)及び図12(C)は固体撮像装置の断面模式図であり、それぞれ図4で示した固体撮像装置の変形例を示す断面図である。図12において図4と同様の構成については同一の符号を付し、説明を省略する。
図13を用いて実施例5の固体撮像装置に関して説明する。実施例5の固体撮像装置の実施例1〜4の固体撮像装置と異なる点は、第1部材と第2部材のシール部において、導電体で構成されたシールリングどうしは接触しておらず、第1部材、第2部材の最表面に配されたパッシベーション層が互いに接している点である。
302 周辺回路部
308 第1部材
309 第2部材
150 シールリング
151 シールリング
152 シールリング
Claims (20)
- 第1トランジスタおよび開口を有する第1半導体基板と、
第2トランジスタを有し前記第1半導体基板に重なる第2半導体基板と、
前記第1半導体基板と前記第2半導体基板との間に配され、前記第1トランジスタに接続された第1導電パターンを含む第1層と、
前記第1層と前記第2半導体基板との間に配され、前記第2トランジスタに接続された第2導電パターンを含む第2層と、を備える装置であって、
前記装置は、平面視において前記第1トランジスタおよび前記第2トランジスタを含む第1部分と、前記開口と前記第2半導体基板との間に位置する第2部分と、シール部と、を有し、
前記シール部は、前記第1層に含まれる第3導電パターンと、前記第2層に含まれる第4導電パターンと、で少なくとも構成されており、
前記第3導電パターンおよび前記第4導電パターンは前記第2部分を囲み、
前記第3導電パターンの一部が前記第2部分と前記第1導電パターンの間に位置し、前記第4導電パターンの一部が前記第2部分と前記第2導電パターンとの間に位置していることを特徴とする装置。 - 第1トランジスタおよび開口を有する第1半導体基板と、
第2トランジスタを有し前記第1半導体基板に重なる第2半導体基板と、
前記第1半導体基板と前記第2半導体基板との間に配され、前記第1トランジスタに接続された第1導電パターンを含む第1層と、
前記第1層と前記第2半導体基板との間に配され、前記第2トランジスタに接続された第2導電パターンを含む第2層と、を備える装置であって、
前記装置は、平面視において前記第1トランジスタおよび前記第2トランジスタを含む第1部分と、前記開口と前記第2半導体基板との間に位置する第2部分と、シール部と、を有し、
前記シール部は、前記第1層に含まれる第3導電パターンと、前記第2層に含まれる第4導電パターンと、で少なくとも構成されており、
前記第3導電パターンは前記第1導電パターンを囲み、前記第4導電パターンは前記第2導電パターンを囲み、
前記第3導電パターンの一部が前記第2部分と前記第1導電パターンの間に位置し、前記第4導電パターンの一部が前記第2部分と前記第2導電パターンとの間に位置していることを特徴とする装置。 - 前記第1半導体基板の厚みは前記第2半導体基板の厚みよりも小さい、請求項1または2に記載の装置。
- 前記第2部分は、前記開口と前記第2半導体基板との間に位置する第5導電パターンを含む、請求項1乃至3のいずれか1項に記載の装置。
- 前記開口と前記第5導電パターンとの間には、前記第1半導体基板と前記第2半導体基板との間に配された絶縁体に開口が設けられている、請求項4に記載の装置。
- 前記第5導電パターンと前記第2半導体基板との間には、前記第5導電パターンに接続された配線が設けられている、請求項4または5に記載の装置。
- 前記第2部分は、前記開口と前記第2半導体基板との間に位置する第5導電パターンを含み、
前記第3導電パターンは前記第5導電パターンと前記第1半導体基板との間に位置する、
請求項1に記載の装置。 - 前記第2部分は、前記開口と前記第2半導体基板との間に位置する第5導電パターンを含み、
前記第3導電パターンの前記一部は前記第1導電パターンと前記第5導電パターンとの間に位置する、請求項2に記載の装置。 - 前記第5導電パターンは前記第1層に含まれる、請求項8に記載の装置。
- 前記第5導電パターンと前記第2半導体基板との距離は、前記第2導電パターンと前記第2半導体基板との距離よりも大きい、請求項4乃至9のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第5導電パターンと前記第2半導体基板との距離は、前記第2導電パターンと前記第2半導体基板との距離よりも小さい、請求項4乃至9のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第2層と前記第2半導体基板との間に配され、前記第2導電パターンに接合した第6導電パターンを含む第3層をさらに備える、請求項1乃至11のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第3層は前記第2部分を囲む第7導電パターンを含み、前記第7導電パターンの一部は前記第2部分と前記第6導電パターンとの間に位置している、請求項12に記載の装置。
- 前記第1層は前記第1導電パターンおよび前記第3導電パターンを囲む導電パターンを含み、前記第2層は前記第2導電パターンおよび前記第4導電パターンを囲む導電パターンを含む、請求項1乃至13のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第1導電パターンの主成分は銅であり、前記第5導電パターンの主成分はアルミニウムである、請求項4乃至11のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第1半導体基板は光電変換部を有する、請求項1乃至15のいずれか1項に記載の装置。
- 前記第1トランジスタは前記光電変換部の電荷を転送する転送トランジスタである、請求項16に記載の装置。
- AD変換を行う回路を有する、請求項1乃至17のいずれか1項に記載の装置。
- 請求項1乃至18のいずれかに記載の装置と、
前記装置から出力された信号を処理する処理部と、を備えることを特徴とするシステム。 - 請求項1乃至18のいずれかに記載の装置を備えるカメラであって、
前記装置が裏面照射型の固体撮像装置であるカメラ。
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