JP6322598B2 - 疎水化処理方法、疎水化処理装置及び疎水化処理用記録媒体 - Google Patents
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Description
まず、図1〜3を参照しながら基板処理システム1について説明する。基板処理システム1は、塗布現像装置2と露光装置3とを備える。露光装置3は、レジスト膜の露光処理を行う。具体的には、液浸露光等の方法によりレジスト膜(感光性被膜)の露光対象部分にエネルギー線を照射する。エネルギー線としては、例えばArFエキシマレーザー、KrFエキシマレーザー、g線、i線又は極端紫外線(EUV:Extreme Ultraviolet)が挙げられる。
図4〜7を参照しながら、第1実施形態に係る疎水化処理ユニット(疎水化処理装置)U5について詳細に説明する。図4に示されるように、疎水化処理ユニットU5は、上側ケース(蓋部)21と、下側ケース22と、開閉部30と、熱板40と、給気部60と、排気部70と、昇降部80と、制御部90とを備える。
以下、制御部90により実行される疎水化処理方法について説明する。まず、制御部90は、開閉部30を制御してシャッター31を下降させることで、上側ケース21の周縁部と下側ケース22の周縁部との間を開放する(図5参照)。この状態で、ウェハWが処理空間R1内に搬入される。ウェハWは、アップした状態の支持ピン81bによって支持されることで、処理空間R1内において表面Waが上に向くように水平に配置される。
[疎水化処理ユニットの構成]
図8,9を参照しながら、第2実施形態に係る疎水化処理ユニットU15について説明する。ここでは上述の第1実施形態との相違点について主に説明する。疎水化処理ユニットU15は、熱板40を具備しない代わりに、処理空間R1に導入される処理ガスを加熱する機構を備える。加熱された処理ガスを複数のガス吐出口21cを介して処理空間R1に導入することで、ウェハWが昇温される。
以下、制御部90により実行される疎水化処理方法について説明する。ここでも上述の第1実施形態との相違点について主に説明する。
[疎水化処理ユニットの構成]
図10を参照しながら、第3実施形態に係る疎水化処理ユニットU25について説明する。ここも上述の第1実施形態との相違点について主に説明する。疎水化処理ユニットU25は、主にウェハWに対してHMDSの物理吸着を進行させる物理吸着用チャンバC1と、主にHMDSとウェハWの表面との化学反応を進行させる化学反応用チャンバC2を備える。物理吸着用チャンバC1と化学反応用チャンバC2は横方向に並んで配置されている。
まず、図10の(a)に示すように、物理吸着用チャンバC1の上側ケース41が上方に位置し且つ支持ピンがアップした状態において、搬送プレートPによって上側ケース41の下方にウェハWを搬入する。その後、上側ケース41を降下させることによって物理吸着用チャンバC1を閉じる。この状態で図10の(b)に示すように、ウェハWの表面側に処理ガスを供給する((A)工程)とともに流路Q及び流路45aを通じてウェハWの裏面Wb側に不活性ガス又は空気を供給する。(A)工程において、物理吸着用チャンバC1内に導入される処理ガスの温度は好ましくは15〜35℃であり、より好ましくは15〜30℃であり、更に好ましくは15〜20℃である。これにより、処理ガスを含む雰囲気にウェハWの表面を所定の時間にわたって曝すことができる((B)工程)。この状態を好ましくは2〜10秒、より好ましくは5〜8秒にわたって維持することで、ウェハWの表面にHMDSを十分に物理吸着させることができる。なお、物理吸着用チャンバC1はガス排出口(不図示)を備え、内部のガスを適宜排出できるように構成されている。
Claims (11)
- 基板の表面の疎水化処理を行う疎水化処理方法であって、
(A)前記基板の表面に疎水化のための処理ガスを供給する工程と、
(B)前記処理ガスを含む雰囲気に前記基板の表面を所定の時間にわたって曝す工程と、
(C)前記(B)工程後、前記処理ガスの存在下、前記基板を加熱する工程と、
を備え、
前記(A)工程及び前記(B)工程は、物理吸着用チャンバ内で実施され、
前記(C)工程は、熱板を収容する化学反応用チャンバ内で実施され、
前記(B)工程後であり且つ前記(C)工程前に、前記基板を前記物理吸着用チャンバから前記化学反応用チャンバに搬送する工程を更に備える、疎水化処理方法。 - 前記(B)工程における前記所定の時間は2〜10秒である、請求項1に記載の疎水化処理方法。
- 前記基板の周囲側から前記処理ガスを含む気体を吸引する工程を更に備える、請求項1又は2に記載の疎水化処理方法。
- 前記(A)工程及び前記(B)工程において、前記基板の裏面に不活性ガス又は空気を供給する、請求項1〜3のいずれか一項に記載の疎水化処理方法。
- 前記(A)工程及び前記(B)工程における前記基板の温度は15〜35℃である、請求項1〜4のいずれか一項に記載の疎水化処理方法。
- 前記(B)工程における前記雰囲気の温度は15〜35℃であり、前記(C)工程における前記基板の加熱温度は60〜180℃である、請求項1〜5のいずれか一項に記載の疎水化処理方法。
- 前記(A)工程の実施に先立ち、前記処理ガスの供給源と、前記基板の疎水化処理が実施されるチャンバとをつなぐ流路に対して前記供給源から前記処理ガスを供給することにより、前記流路内の前記供給源側から前記チャンバの手前までの領域を前記処理ガスで満たす工程を更に備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載の疎水化処理方法。
- 前記(A)〜(C)工程において、前記処理ガスの供給源と、前記基板の疎水化処理が実施されるチャンバとをつなぐ流路を通じて前記チャンバに前記供給源から前記処理ガスを供給した後、
前記流路を通じて前記チャンバに不活性ガスを供給する工程と、
次の基板の疎水化処理を開始するに先立ち、前記流路に対して前記処理ガスの供給源から前記処理ガスを供給することにより、前記流路内の前記供給源側から前記チャンバの手前までの領域を前記処理ガスで満たす工程を更に備える、請求項1〜6のいずれか一項に記載の疎水化処理方法。 - 基板の表面の疎水化処理を行う疎水化処理装置であって、
疎水化のための処理ガスの供給源と、
前記基板を収容可能であり、前記処理ガスが供給されることによって前記基板の表面が前記処理ガスに曝される物理吸着用チャンバと、
前記基板を収容可能であり、前記基板を加熱するための熱板を有し、前記基板が加熱される化学反応用チャンバと、
前記物理吸着用チャンバから前記化学反応用チャンバに前記基板を搬送する搬送プレートと、
を備え、
前記搬送プレートは、前記基板が前記物理吸着用チャンバ内にあるときに前記基板を支持し且つ前記基板の裏面側に不活性ガス又は空気を供給する流路を有する、疎水化処理装置。 - 前記物理吸着用チャンバ内における処理時の前記基板の温度は15〜35℃であり、前記化学反応用チャンバ内における処理時の前記基板の加熱温度は60〜180℃である、請求項9に記載の疎水化処理装置。
- 疎水化処理装置に、請求項1〜8のいずれか一項に記載の疎水化処理方法を実行させるためのプログラムを記録した、コンピュータ読み取り可能な疎水化処理用記録媒体。
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