JP6322157B2 - 半導体光触媒膜および酸化還元反応装置 - Google Patents
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Description
まず、本発明の半導体光触媒膜の作成について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係る半導体光触媒膜100の構成を示す基板平面に垂直な方向及び基板長手方向の断面図である。半導体光触媒膜100は、サファイア基板101と、サファイア基板101上に成長させた第1の半導体薄膜となるn型窒化ガリウム(n−GaN)薄膜102と、n−GaN薄膜102上に、山型半導体構造である複数のn−GaN山型構造103−1〜103〜Nとを備える。n−GaN山型構造103−1〜103〜Nは、n−GaN薄膜102上の図1のy軸方向に各々が平行に堆積され、x軸方向の断面が三角形である。また、それぞれのn−GaN山型構造103−1〜103〜Nは、n−GaN薄膜102に接してy軸方向に伸延する第1の平面(斜面)と、n−GaN薄膜102に接してy軸方向に伸延し第1の平面と一定の角度をなす第2の平面(斜面)とにより構成される。また、半導体光触媒膜100はn−GaN山型構造103−1〜103〜Nそれぞれの第1の斜面上に成長させた金属薄膜となるPt膜104−1〜104−Nと、n−GaN山型構造103−1〜103〜Nそれぞれの第2の斜面上に成長させた第2の半導体薄膜となる窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)膜105−1〜105〜Nとを備える。
次に、本発明の半導体光触媒膜の酸化還元反応について説明する。
図3は、本発明の実施例1に係る半導体光触媒膜の酸化還元反応に使用する酸化還元反応装置300の構成を示す図である。酸化還元反応装置300は、側面に石英窓304が形成された内容量150mlの反応セル301内に、図1の半導体光触媒膜100を固定する。半導体光触媒膜100は、n−GaN山型構造103−1〜103〜NのAlGaN膜105−1〜105−Nの上面が、反応セル301側面に形成された石英窓303に相対するように固定される。また、酸化還元反応装置300は、反応セル301の外側に、光触媒用の光源303を設置する。光源302は、300Wの高圧キセノンランプ(360nm以上をカット、照度8mW/cm2)を使用する。配置方法は、光源303からの光が、反応セル301側面に形成された石英窓304を介して、AlGaN膜105−1〜105−Nに照射されるように配置される。反応セル301内には、溶媒として1MのNaOH水溶液302を125ml注入する。
実施例2において、酸化還元反応装置は、実施例1と同一の装置を使用する。また、半導体光触媒膜100の固定方法及び光源303の配置方法も実施例1と同一である。ただし、実施例2においては半導体光触媒膜100のAlGaN膜105−1〜105−Nに光を均一に照射した後、水溶液の攪拌を行わない。
実施例3において、半導体光触媒膜を実施例1とは異なる方法で固定する。図4は、本発明の実施例3に係る半導体光触媒膜の酸化還元反応に使用する酸化還元反応装置400の構成を示す図である。実施例3においては、半導体光触媒膜100を、水溶液の水面に対して垂直になるように、かつ、半導体光触媒膜100の上面が、反応セル301側面に形成された石英窓304に相対するように固定される。さらに、光源303からの光が、反応セル301側面に形成された石英窓304を介して、光触媒膜100の上面に照射されるように配置する。酸化還元反応の手順は、実施例1と同一の方法により行われる。
実施例4において、酸化還元反応装置は、実施例3と同一の装置を使用する。また、半導体光触媒膜100の固定方法及び光源303の配置方法も実施例3と同一である。ただし、実施例4においては半導体光触媒膜100のAlGaN膜105−1〜105−Nに光を均一に照射した後、水溶液の攪拌を行わない。
実施例5において、酸化還元反応装置に使用する水溶液302を、実施例1のNaOHに変えて、蒸留水を用いる。半導体光触媒膜100及び光源303の配置方法、酸化還元反応の手順は、実施例1と同一である。
反応セル301内に注入する水溶液302には、第1〜4の実施例において用いた1MのNaOH及び第5の実施例において用いた蒸留水の代わりに、H2SO4、HCl、Na2SO4、及びKHCO3の等の電解液を用いても良い。光触媒活性の評価には、酸化および還元ターゲット物質を水とし、水の酸化反応による酸素生成、水の酸化により生じたプロトンの還元による水素生成を例にあげるが、酸化還元ターゲット物質は水に限定されることはなく、二酸化炭素を還元ターゲット物質として一酸化炭素、ギ散、メタノール、メタンの炭化水素類を生成する際にも本発明の半導体光触媒膜を使用できる。酸化還元反応も本実施例に限定されることはなく、例えば、反応セル301内において、基板101と水面とが並行になるように設置させて、反応セル301上方から太陽光を照射しても同様の効果が得られる。
本発明における酸化還元反応の効果を検証するために、従来の光触媒による酸化還元反応を比較例として、実験の結果を比較した。
陽極セルと陰極セルを分離した非特許文献3に記載の酸化還元反応装置を作製し、陽極をサファイア基板/GaN/AlGaN、陰極をPtに変更して、水素の発生を検証した。
非特許文献3に記載の酸化還元反応装置における陽極セルと陰極セルとを単一の反応セルとし、陽極及び陰極は、共に比較例1と同一の電極を使用して検証した。
比較例2の酸化還元反応装置(600)を使用し、溶媒(水溶液602)として蒸留水を用い、比較例2と同様の手順で試験を行った。
図7は、実施例1における、光照射時間に対する水素ガスの生成量のプロットを示す図である。ガスの生成量は、半導体光触媒膜100の光照射面であるAlGaN膜104−1〜104−N表面の単位面積あたり、かつ、光照射時間1時間あたりの体積に規格化して示した。図7から明らかな通り、AlGaN膜104−1〜104−N表面への光照射時間とともに水素生成量が増加した。図8は、実施例1〜5、及び比較例1〜3における水素ガス生成量を、酸化還元反応試験条件とともに示した図である。
(変形例1)
図9は、本発明の第1の実施形態の変形例1に係る半導体光触媒膜900の構成を示す基板平面に垂直な方向及び基板長手方向の断面図である。半導体光触媒膜900は、サファイア基板901と、サファイア基板901上に成長させた第1の半導体薄膜となるn−GaN薄膜902と、n−GaN薄膜902上に、y軸方向に複数成長させた山型半導体構造であるn−GaN山型構造903−1〜903〜Nとを備える。n−GaN山型構造903−1〜903〜Nは、n−GaN薄膜902上の図9のy軸方向に各々が平行に堆積され、x軸方向の断面が台形である。また、それぞれのn−GaN山型構造903−1〜903〜Nは、n−GaN薄膜902に接してy軸方向に伸延する第1の平面(斜面)と、n−GaN薄膜902に接してy軸方向に伸延する第2の平面(斜面)とを含んでいる。また、半導体光触媒膜900はn−GaN山型構造903−1〜903〜Nのそれぞれの第1の斜面上に成長させた金属薄膜となるPt膜904−1〜904−Nと、n−GaN山型構造903−1〜903〜Nのそれぞれの第2の斜面上に成長させた第2の半導体薄膜となるAlGaN膜905−1〜905〜Nとを備える。
図10は、本発明の第1の実施形態の変形例2に係る半導体光触媒膜1000の構成を示す基板垂直方向の断面図である。半導体光触媒膜1000は、サファイア基板1001と、サファイア基板1001上に成長させた第1の半導体薄膜となるn−GaN薄膜1002と、n−GaN薄膜1002上に、y軸方向に複数成長させた半導体山型構造となるn−GaN山型構造1003−1〜1003〜Nとを備える。n−GaN山型構造1003−1〜1003〜Nは、n−GaN薄膜1002上の図10のy軸方向に各々が平行に堆積され、x軸方向の断面が長方形である。また、それぞれのn−GaN山型構造1003−1〜1003〜Nは、n−GaN薄膜1002に接してy軸方向に伸延する第1の平面(垂直面)と、n−GaN薄膜102に接してy軸方向に伸延し第1の平面と一定の角度をなす第2の平面(垂直面)とにより構成される。また、半導体光触媒膜1000はn−GaN山型構造1003−1〜1003〜Nそれぞれの第1の垂直面上に成長させた金属薄膜となるPt膜1004−1〜1004−Nと、n−GaN山型構造1003−1〜1003〜Nそれぞれの第2の垂直面上に成長させた第2の半導体薄膜となる窒化アルミニウムガリウム(AlGaN)膜1005−1〜1005〜Nとを備える。
光半導体触媒膜の基板には、本実施形態において用いたサファイア基板の代わりに、ガラス基板、Si基板、GaN基板などの絶縁性または導電性の基板を用いても本実施形態と同様の効果が得られる。基板上に成長させる第1の半導体薄膜には、本実施形態において用いた窒化ガリウム(GaN)の代わりに、光触媒機能を有する酸化チタン(TiO2)、酸化タングステン(WO3)、酸化ガリウム(Ga2O3)等の金属酸化物、もしくは硫化カドミウム(CdS)等の化合物半導体を用いても同様の効果が得られる。金属薄膜には、本実施形態において用いたPtの代わりに、Ti、Ni及びAg等を用いても良い。第2の半導体薄膜には、本実施形態においてAlGaNを用いたが、伝導帯の底のエネルギー準位が第1の半導体薄膜よりも負側に大きい半導体材料であれば良い。また、本実施形態においては、第1の半導体薄膜としてn型のGaNを用い、金属薄膜側を還元反応サイトとしているが、第1の半導体薄膜としてp型の半導体を用い、金属薄膜側を酸化反応サイトとしてもかまわない。
101、901、1001 サファイア基板
102、902、1002 n−GaN薄膜
103−1〜103−N、903−1〜903−N、1003−1〜1003−N 山型構造
104−1〜104−N、904−1〜904−N、1004−1〜1004−N Pt膜
105−1〜105−N、905−1〜905−N、1005−1〜1005−N n−GaN膜
211−1〜211−N+1 パターン
202−1〜202−N 山型構造底面
203−1〜203−N、204−1〜204−N 斜面
300 酸化還元反応装置
301 反応セル
302 水溶液
303 光源
304 石英窓
305 回転子
306 気泡
Claims (8)
- 水溶液中において光を照射することにより、前記水溶液の酸化ターゲット物質に酸化反応を起こさせ、前記水溶液の還元ターゲット物質に還元反応を起こさせる半導体光触媒膜であって、
基板と、
前記基板上に形成された第1の半導体薄膜と、
前記第1の半導体薄膜の上面において一方向に渡って各々が平行に堆積される複数の山型半導体構造であって、前記第1の半導体薄膜と同一の材料であり、前記一方向に対して垂直方向の断面が多角形である、山型半導体構造と、
各山型半導体構造の、前記上面に接する第1の斜面に形成された金属薄膜と、
各山型半導体構造の、前記上面に接する斜面であって、前記第1の斜面とは異なる第2の斜面に形成された第2の半導体薄膜であって、前記水溶液中において表面に光が照射される、第2の半導体薄膜と
を備えることを特徴とする半導体光触媒膜。 - 前記山型半導体構造の前記垂直方向の断面が三角形であることを特徴とする請求項1に記載の半導体光触媒膜。
- 前記山型半導体構造の前記垂直方向の断面が台形であることを特徴とする請求項1に記載の半導体光触媒膜。
- 水溶液中において光を照射することにより、前記水溶液の酸化ターゲット物質に酸化反応を起こさせ、前記水溶液の還元ターゲット物質に還元反応を起こさせる半導体光触媒膜であって、
基板と、
前記基板上に形成された第1の半導体薄膜と、
前記第1の半導体薄膜の上面において一方向に渡って各々が平行に堆積される複数の山型半導体構造であって、前記第1の半導体薄膜と同一の材料であり、前記一方向に対して垂直方向の断面が多角形である、山型半導体構造と、
各山型半導体構造の、前記上面に接する第1の側面に形成された金属薄膜と、
各山型半導体構造の、前記上面に接する側面であって、前記第1の側面とは異なる第2の側面に形成された第2の半導体薄膜であって、前記水溶液中において表面に光が照射される、第2の半導体薄膜と
を備え、
前記山型半導体構造の前記垂直方向の断面が長方形であることを特徴とする半導体光触媒膜。 - 前記第1の半導体薄膜は、n型半導体であり、前記金属薄膜は、還元反応サイトであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体光触媒膜。
- 前記第1の半導体薄膜は、p型半導体であり、前記金属薄膜は、酸化反応サイトであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の半導体光触媒膜。
- 側面に石英窓を有し、水溶液を注入した反応セルと、
前記反応セル内の前記水溶液中に固定される、請求項1乃至5のいずれか1項に記載の半導体光触媒膜と、
前記半導体光触媒膜の前記第2の半導体薄膜の表面に光を照射する光源と
を備え、
前記半導体光触媒膜は、前記光源からの光が、前記石英窓を介して前記第2の半導体薄膜に照射されるように、前記反応セル内の前記水溶液中に固定されることを特徴とする酸化還元反応装置。 - 前記水溶液を攪拌する攪拌手段をさらに備えることを特徴とする請求項7に記載の酸化還元反応装置。
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