JP6313196B2 - 研磨面洗浄装置、研磨装置、および研磨面洗浄装置の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明の好ましい態様は、前記アームの底面、前記溶接材料の底面、および前記ノズルの先端面の表面粗さRaは、3.2μm未満であることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ノズルの前記先端面には突出部が形成されており、前記突出部内には流体出口が形成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ノズルの突出部は、前記アームの底面から0.1mm〜0.2mmだけ突出していることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ノズルおよび前記アームのうちの少なくとも一方は、撥水性の材料から構成されていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ノズルの先端面および前記アームの底面のうちの少なくとも一方は、撥水性の材料で覆われていることを特徴とする。
本発明の好ましい態様は、前記ノズルを前記アームに溶接する工程は、開先溶接により行われることを特徴とする。
図1は、研磨面洗浄装置を備えた研磨装置の一実施形態を示す模式図である。図1に示す研磨装置は、基板の一例であるウェハを化学機械的に研磨するCMP装置である。
尚、図13では、先端面15aと突出部15cとの間の境界線は突出部15cが微小段部のため省略しているが、先端面15aと突出部15cとの間の境界線は、先端面15aの縁部15bに略平行である。
2 研磨パッド
3 研磨テーブル
5 研磨液供給ノズル
6 テーブルモータ
10 アトマイザー
12 アーム
15,16 ノズル
17,18 流体出口
19 流体入口
20 連結管
21 基台
24 支持軸
26A,26B 側板
28A,28B 突出プレート
30 流体流路
35 溶接材料
Claims (12)
- 研磨面を洗浄流体で洗浄するための研磨面洗浄装置であって、
流体流路を有するアームと、
前記流体流路に連通するノズルと、
前記ノズルを前記アームに固定する溶接材料とを備え、
前記アームの底面と前記ノズルの先端面の縁部との間の隙間は、前記溶接材料で満たされており、
前記アームの底面、前記溶接材料の底面、および前記ノズルの先端面は、略同一面内にあることを特徴とする研磨面洗浄装置。 - 前記アームの底面、前記溶接材料の底面、および前記ノズルの先端面の縁部は、同一面内にあることを特徴とする請求項1に記載の研磨面洗浄装置。
- 前記アームの底面、前記溶接材料の底面、および前記ノズルの先端面の表面粗さRaは、3.2μm未満であることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨面洗浄装置。
- 前記ノズルの前記先端面には突出部が形成されており、前記突出部内には流体出口が形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の研磨面洗浄装置。
- 前記ノズルの突出部は、前記アームの底面から0.1mm〜0.2mmだけ突出していることを特徴とする請求項4に記載の研磨面洗浄装置。
- 前記アームの底面、前記ノズルの先端面、および前記溶接材料の底面は、平坦面から構成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の研磨面洗浄装置。
- 前記ノズルおよび前記アームのうちの少なくとも一方は、撥水性の材料から構成されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の研磨面洗浄装置。
- 前記ノズルの先端面および前記アームの底面のうちの少なくとも一方は、撥水性の材料で覆われていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の研磨面洗浄装置。
- 研磨面を有する研磨パッドを支持するための研磨テーブルと、
基板を前記研磨面に押し付ける研磨ヘッドと、
請求項1乃至8のいずれか一項に記載の研磨面洗浄装置とを備えたことを特徴とする研磨装置。 - 研磨面を洗浄流体で洗浄するための研磨面洗浄装置の製造方法であって、
アームの底面に形成された凹部内にノズルを挿入し、
前記ノズルを前記アームに溶接し、前記アームの底面と前記ノズルの先端面の縁部との間の隙間を溶接材料で満たし、
前記ノズルを前記アームに溶接した後、前記アームの底面、前記溶接材料の底面、および前記ノズルの先端面の縁部が同一面内に位置するまで、前記アームの底面、前記溶接材料の底面、および前記ノズルの先端面の縁部を切削することを特徴とする研磨面洗浄装置の製造方法。 - 前記切削工程によって切削される前記ノズルの先端面の領域は、前記ノズルの先端面の縁部を含み、かつ前記ノズルの流体出口を含まない領域であることを特徴とする請求項10に記載の研磨面洗浄装置の製造方法。
- 前記ノズルを前記アームに溶接する工程は、開先溶接により行われることを特徴とする請求項10または11に記載の研磨面洗浄装置の製造方法。
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