JP6290117B2 - 接液処理装置および接液処理方法 - Google Patents
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光配向法によって形成された配向膜を有する基板を搬送手段によって搬送し、その搬送の間に接液処理する接液処理装置であって、
気泡を除去する手段を備え、前記基板に異方性向上液を供給して前記基板の表面上に前記異方性向上液の液膜を形成する第1ノズルと、
前記第1ノズルよりも基板搬送方向下流側で、且つ、前記基板の表面上に前記第1ノズルによって形成された前記異方性向上液の液膜が存在する状態の前記基板に前記異方性向上液を供給することができる位置に設置される、少なくとも一つの第2ノズルと、
を有し、
前記基板が前記第1ノズルの下に存在しなくなるタイミングで前記第1ノズルからの前記異方性向上液の供給を停止するとともに、前記搬送手段は、前記基板の搬送を一定時間停止し、前記第2ノズルは、前記停止している状態の前記基板に対して、前記異方性向上液の供給を行うことを特徴とする。
光配向法によって形成された配向膜を有する基板を搬送手段によって搬送し、その搬送の間に接液処理する接液処理装置であって、
気泡を除去する手段を備え、前記基板に異方性向上液を供給して前記基板の表面上に前記異方性向上液の液膜を形成する第1ノズルと、
前記第1ノズルよりも基板搬送方向下流側で、且つ、前記基板の表面上に前記第1ノズルによって形成された前記異方性向上液の液膜が存在する状態の前記基板に前記異方性向上液を供給することができる位置に設置される、少なくとも一つの第2ノズルと、
前記第2ノズルよりも基板搬送方向下流側で、且つ、前記基板の表面上に前記第2のノズルによって形成された前記異方性向上液の液膜が存在する状態の前記基板に、未使用の異方性向上液を供給する第3ノズルと、
前記第1ノズルと前記第2ノズルと前記第3ノズルから前記基板の表面に供給された前記異方性向上液が回収されるタンクと、
を有し、
前記タンクは、前記第1ノズルから供給された前記異方性向上液を主に回収する第1の領域と、前記第3ノズルから供給された前記異方性向上液を主に回収する第2の領域とに分けるための仕切りを有し、
前記タンクの壁面には、前記第1の領域に貯留される前記異方性向上液を前記第1ノズルと前記第2ノズルに供給するための循環配管を有することを特徴とする。
光配向法によって形成された配向膜を有する基板を搬送手段によって搬送し、その搬送の間に接液処理する接液処理装置であって、
気泡を除去する手段を備え、前記基板に、エチルラクテート液、IPA、オゾン水のいずれかである異方性向上液を供給して前記基板の表面上に前記異方性向上液の液膜を形成する第1ノズルと、前記第1ノズルによって前記基板の表面上に形成された前記異方性向上液の液膜を除去するべく前記基板の表面に気体を供給する液膜除去ノズルと、を備える第1の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットよりも基板搬送方向下流側に設置され、前記異方性向上液を前記基板に供給するシャワーノズルである、少なくとも1つの第2ノズルを備える第2の処理ユニットと、
を有し、
前記第1の処理ユニットは、複数連続して設けられていることを特徴とする。
光配向法によって形成された配向膜を有する基板を搬送手段によって搬送し、その搬送の間に接液処理する接液処理方法であって、
前記基板に第1ノズルから、気泡を除去したエチルラクテート液、IPA、オゾン水のいずれかである異方性向上液を供給して前記基板の表面上に前記異方性向上液の液膜を形成する工程と、
前記基板の表面上に形成された前記異方性向上液の液膜を液膜除去ノズルによって除去する工程と、
前記異方性向上液の液膜が除去された前記基板に対して、少なくとも1つのシャワーノズルである第2ノズルから前記異方性向上液を供給する工程と、
を有し、
前記第2ノズルから前記異方性向上液を供給する工程の前に、前記液膜を形成する工程と前記液膜を除去する工程との組み合わせを複数回行うことを特徴とする。
図1は、本発明の第1の実施の形態の基板処理装置100の側面図である。基板処理装置100は、基板処理装置100に基板Wが搬入される前の工程(光配向処理装置で行われる光配向処理工程)にて処理された基板Wに、処理液を供給して処理を行う装置である。なお、基板処理装置100の前の工程である光配向処理工程については後述する。
次に本発明の第2の実施の形態について説明する。
次に本発明の第3の実施の形態について説明する。
図5は、本発明の第4の実施の形態に係る接液処理装置の概略構成図である。
次に第5の実施の形態について説明する。なお、第5の実施の形態において、上述の第1ないし第4の実施の形態において説明した構成要素と同一の構成要素には同一の符号を付し、同一の構成要素の説明は重複するので省略する。
(その他の変形例)
なお、上記各実施の形態において、基板が搬送ローラによって搬送される例を説明したが、これに限らず、たとえばノズル側が移動するなど、基板とノズルが相対移動する機構を有していれば良い。
2 ノズル
3 スリットノズル
4 光配向処理装置
100 基板処理装置
U1 接液処理ユニット(接液処理装置)
U2 リンス処理ユニット
U3 乾燥ユニット
N1 第1ノズル
N2 第2ノズル
W 基板
X 基板搬送方向
L ランプ
Claims (5)
- 光配向法によって形成された配向膜を有する基板を搬送手段によって搬送し、その搬送の間に接液処理する接液処理装置であって、
気泡を除去する手段を備え、前記基板に異方性向上液を供給して前記基板の表面上に前記異方性向上液の液膜を形成する第1ノズルと、
前記第1ノズルよりも基板搬送方向下流側で、且つ、前記基板の表面上に前記第1ノズルによって形成された前記異方性向上液の液膜が存在する状態の前記基板に前記異方性向上液を供給することができる位置に設置される、少なくとも一つの第2ノズルと、
を有し、
前記基板が前記第1ノズルの下に存在しなくなるタイミングで前記第1ノズルからの前記異方性向上液の供給を停止するとともに、前記搬送手段は、前記基板の搬送を一定時間停止し、前記第2ノズルは、前記停止している状態の前記基板に対して、前記異方性向上液の供給を行うことを特徴とする接液処理装置。 - 光配向法によって形成された配向膜を有する基板を搬送手段によって搬送し、その搬送の間に接液処理する接液処理装置であって、
気泡を除去する手段を備え、前記基板に異方性向上液を供給して前記基板の表面上に前記異方性向上液の液膜を形成する第1ノズルと、
前記第1ノズルよりも基板搬送方向下流側で、且つ、前記基板の表面上に前記第1ノズルによって形成された前記異方性向上液の液膜が存在する状態の前記基板に前記異方性向上液を供給することができる位置に設置される、少なくとも一つの第2ノズルと、
前記第2ノズルよりも基板搬送方向下流側で、且つ、前記基板の表面上に前記第2のノズルによって形成された前記異方性向上液の液膜が存在する状態の前記基板に、未使用の異方性向上液を供給する第3ノズルと、
前記第1ノズルと前記第2ノズルと前記第3ノズルから前記基板の表面に供給された前記異方性向上液が回収されるタンクと、
を有し、
前記タンクは、前記第1ノズルから供給された前記異方性向上液を主に回収する第1の領域と、前記第3ノズルから供給された前記異方性向上液を主に回収する第2の領域とに分けるための仕切りを有し、
前記タンクの壁面には、前記第1の領域に貯留される前記異方性向上液を前記第1ノズルと前記第2ノズルに供給するための循環配管を有することを特徴とする接液処理装置。 - 前記異方性向上液は、エチルラクテート液、IPA、オゾン水のいずれかであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の接液処理装置。
- 光配向法によって形成された配向膜を有する基板を搬送手段によって搬送し、その搬送の間に接液処理する接液処理装置であって、
気泡を除去する手段を備え、前記基板に、エチルラクテート液、IPA、オゾン水のいずれかである異方性向上液を供給して前記基板の表面上に前記異方性向上液の液膜を形成する第1ノズルと、前記第1ノズルによって前記基板の表面上に形成された前記異方性向上液の液膜を除去するべく前記基板の表面に気体を供給する液膜除去ノズルと、を備える第1の処理ユニットと、
前記第1の処理ユニットよりも基板搬送方向下流側に設置され、前記異方性向上液を前記基板に供給するシャワーノズルである、少なくとも1つの第2ノズルを備える第2の処理ユニットと、
を有し、
前記第1の処理ユニットは、複数連続して設けられていることを特徴とする接液処理装置。 - 光配向法によって形成された配向膜を有する基板を搬送手段によって搬送し、その搬送の間に接液処理する接液処理方法であって、
前記基板に第1ノズルから、気泡を除去したエチルラクテート液、IPA、オゾン水のいずれかである異方性向上液を供給して前記基板の表面上に前記異方性向上液の液膜を形成する工程と、
前記基板の表面上に形成された前記異方性向上液の液膜を液膜除去ノズルによって除去する工程と、
前記異方性向上液の液膜が除去された前記基板に対して、少なくとも1つのシャワーノズルである第2ノズルから前記異方性向上液を供給する工程と、
を有し、
前記第2ノズルから前記異方性向上液を供給する工程の前に、前記液膜を形成する工程と前記液膜を除去する工程との組み合わせを複数回行うことを特徴とする接液処理方法。
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