JP6279559B2 - 金属製るつぼ及びその形成方法 - Google Patents
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Description
本願は、2012年5月29日に出願された米国仮特許出願第61/652,393号、及び2013年3月13日に出願された米国特許出願第13/799,796号の優先権の利益を請求し、これをもってそれぞれの全開示内容を本明細書に援用する。
種々の実施形態において、本発明は、特に粉末冶金技術を利用したるつぼ及びその他の成形物品の形成に関する。
モリブデン(Mo)は、高融点を含むその有益な耐熱特性に基づき、サファイア単結晶の製造に広く用いられている。Moるつぼの多くは、Moシートの深絞りにより、又は高純度Mo粉末を利用した粉末冶金技術により製造されている。しかしながら、このような技術は往々にして実施が困難であり、かつ高コストである。例えば、Mo粉末冶金は概して高価な高純度Mo粉末を必要とする。さらに、Mo粉末の粉末冶金加工では一般に100%未満の密度を有するMoるつぼが生じ、これによってそのようなるつぼの機械的特性(例えば靭性)が損なわれることがある。
本発明の種々の実施形態による図1に示した断面図に関して、1種以上の金属前駆体粉末100の粒子を集めて加圧し、所望の形状(例えばるつぼのカップ形状)にする。例えば、前駆体粉末100をモールド110内で冷間等方圧加圧することができる。冷間等方圧加圧法の間に、モールド110は典型的にはフレキシブルであり、(例えば15,000psi〜40,000psiのレベルでの)流体圧をほぼ室温でモールドに施与して前駆体粉末100を加圧し、モールドの形状にする。前駆体粉末100は、典型的には、例えば1種以上の金属(例えばMo及び/又はWといった耐熱性金属)、酸素及び/又は他の元素の化合物を含むか又は主にこれからなる。本発明の実施形態では、以下により詳細に記載する焼結及びin situ還元の間の加圧粉末の収縮を考慮しているため、形成した前駆体粉末100の形状(これは一般にはモールド110により定義される内部形状と一致する)は、通常は、完成物品にとって望ましいサイズよりも大きいサイズを有している。そのような収縮は、すでに還元した金属粉末を成形して成形物品にする従来の方法よりも大きく、なぜならば、in situ還元は、この方法の間に一般に非固体副生成物(例えば水蒸気、アンモニア)の生成と除去を含むためである。例えば、前駆体粉末100がADM(及び/又は1種以上の他のモリブデン前駆体)を含むか又は主にこれらからなる場合、そのような収縮は約50%(又はさらには60%)〜約70%、例えば約67%の範囲になり得る。そのような収縮は、多くの場合、例えば欠陥やクラッキングの発生のような、最終物品の完全性及び/又は機械的特性の妥協が予想されるが;本発明の実施形態は意想外にも、最終焼結物品の、機械的不安定性のない所望の形状への収縮を生じる。
Claims (31)
- 最終寸法の目標設定を有しており、主に少なくとも1種の金属からなる成形物品の製造方法であって、以下の工程を含む方法:
アンモニウム系モリブデン前駆体粉末を加圧して、少なくとも一方向で最終寸法よりも大きい中間寸法を有する体積とする工程;及び
その後、前記工程で加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を焼結して、(i)前記加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を化学的に還元させ、(ii)中間寸法を有する体積を最終寸法を有する成形物品へと収縮させ、さらに(iii)非金属副生成物を放出させる工程、ここで前記工程で加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末の焼結が、
1000℃未満の第一温度で少なくとも2時間焼結し;
その後、1450℃〜1800℃の範囲から選択された第二温度で少なくとも6時間焼結すること
を含む。 - アンモニウム系モリブデン前駆体粉末が、二モリブデン酸アンモニウムを含有している、請求項1に記載の方法。
- 中間寸法から最終寸法への体積収縮が、50%〜70%の範囲内である、請求項1に記載の方法。
- アンモニウム系モリブデン前駆体粉末を冷間等方圧加圧法により加圧する、請求項1に記載の方法。
- 加熱工程のうち少なくとも2つのそれぞれが、前記加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末から異なる中間生成物への化学的還元を含んでいる、請求項1から4までのいずれか1項に記載の方法。
- 成形物品が、焼結後に90%〜95%の範囲内の密度を有している、請求項1に記載の方法。
- 焼結を、水素を含有する雰囲気中で行う、請求項1に記載の方法。
- 成形物品がるつぼを含む、請求項1に記載の方法。
- 副生成物が、アンモニア、酸素若しくは水蒸気のうち少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 最終寸法の目標設定を有しており、主に少なくとも1種の金属からなる成形物品の製造方法であって、以下の工程を含む方法:
アンモニウム系モリブデン前駆体粉末を加圧して、少なくとも一方向で最終寸法よりも大きい中間寸法を有する体積とする工程;及び
その後、前記工程で加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を焼結して、(i)前記加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を化学的に還元させ、(ii)中間寸法を有する体積を最終寸法を有する成形物品へと収縮させ、さらに(iii)非金属副生成物を放出させる工程、ここで前記工程で加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末の焼結が、
450℃〜650℃の範囲から選択された第一温度で、4時間〜6時間の範囲から選択された第一時間にわたって焼結し;
その後、500℃〜700℃の範囲から選択された第二温度で、5時間〜7時間の範囲から選択された第二時間にわたって焼結し;
その後、800℃〜1000℃の範囲から選択された第三温度で、1時間〜5時間の範囲から選択された第三時間にわたって焼結し;
その後、1450℃〜1800℃の範囲から選択された第四温度で、6時間〜25時間の範囲から選択された第四時間にわたって焼結すること
を含む。 - 最終寸法の目標設定を有しており、主に少なくとも1種の金属からなる成形物品の製造方法であって、以下の工程を含む方法:
アンモニウム系モリブデン前駆体粉末を加圧して、少なくとも一方向で最終寸法よりも大きい中間寸法を有する体積とする工程;及び
その後、前記工程で加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を焼結して、(i)前記加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を化学的に還元させ、(ii)中間寸法を有する体積を最終寸法を有する成形物品へと収縮させ、さらに(iii)非金属副生成物を放出させる工程、ここで前記工程で加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末の焼結が、
450℃〜650℃の範囲から選択された第一温度で、4時間〜6時間の範囲から選択された第一時間にわたって焼結し;
その後、第一温度を上回りかつ700℃未満である第二温度で、5時間〜7時間の範囲から選択された第二時間にわたって焼結し;
その後、第二温度を上回りかつ1000℃未満である第三温度で、1時間〜5時間の範囲から選択された第三時間にわたって焼結し;
その後、第三温度を上回りかつ1800℃未満である第四温度で、6時間〜25時間の範囲から選択された第四時間にわたって焼結すること
を含む。 - 前記加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を第一温度で焼結した後に、さらに
(i−1)成形物品を、100℃を上回りかつ第一温度未満である温度に冷却し、この成形物品をこの温度で1時間〜8時間にわたって
(ii−1)水素を含有する環境内で
保持する工程
を含む、請求項1から11までのいずれか1項に記載の方法。 - 成形物品を前記(i−1)の条件で保持した後に、さらに
(i−2)この成形物品を、100℃を上回りかつ第一温度未満である温度で1時間〜8時間にわたって
(ii−2)窒素を含有する環境内で
保持する工程
を含む、請求項12に記載の方法。 - (i−1)における温度が(i−2)における温度と等しい、請求項13に記載の方法。
- さらに、成形物品の少なくとも1つの表面上に添加物を施与する工程を含む、請求項1から14までのいずれか1項に記載の方法。
- さらに、成形物品をアニールする工程を含み、それにより、添加物と少なくとも1種の金属との合金化か若しくは混合のうち少なくとも1つによって処理物品を形成する、請求項15に記載の方法。
- 処理物品の少なくとも1つの表面が、少なくとも1種の金属と添加物との合金を含んでいる、請求項16に記載の方法。
- 添加物の濃度が処理物品の厚さの関数として変化する、請求項16に記載の方法。
- 添加物の濃度が段階的である、請求項18に記載の方法。
- 処理物品の厚さの一部分が実質的に添加物不含である、請求項16に記載の方法。
- 処理物品の粒度が、成形物品の粒度と等しい、請求項16に記載の方法。
- 添加物が、タングステンか若しくは銅のうち少なくとも一方を含有している、請求項15に記載の方法。
- 添加物が粉末である、請求項15に記載の方法。
- 添加物の施与が、散布、スラリー塗布若しくはスプレー堆積のうち少なくとも一つを含む、請求項23に記載の方法。
- 最終寸法の目標設定を有しており、主にモリブデンからなる成形物品の製造方法であって、以下の工程:
アンモニウム系モリブデン前駆体粉末を加圧して、少なくとも一方向で最終寸法よりも大きい中間寸法を有する体積とする工程;及び
その後、前記工程で加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を焼結して、前記加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末を化学的に還元させ、中間寸法を有する体積を収縮させて最終寸法を有する成形物品にする工程
を含む方法において、前記工程で加圧によって得られたアンモニウム系モリブデン前駆体粉末の焼結が、
450℃〜650℃の範囲から選択された第一温度で、4時間〜6時間の範囲から選択された第一時間にわたって焼結し;
その後、第一温度を上回りかつ700℃未満である第二温度で、5時間〜7時間の範囲から選択された第二時間にわたって焼結し;
その後、第二温度を上回りかつ1000℃未満である第三温度で、1時間〜5時間の範囲から選択された第三時間にわたって焼結し;
その後、第三温度を上回りかつ1800℃未満である第四温度で、6時間〜25時間の範囲から選択された第四時間にわたって焼結すること
を含む、方法。 - アンモニウム系モリブデン前駆体粉末が、二モリブデン酸アンモニウムを含有している、請求項25に記載の方法。
- 最終寸法の目標設定を有しており、主にモリブデンからなる成形物品の製造方法であって、以下の工程を含む方法:
二モリブデン酸アンモニウム粉末を加圧して、少なくとも一方向で最終寸法よりも大きい中間寸法を有する体積とする工程;及び
その後、前記工程で加圧によって得られた二モリブデン酸アンモニウム粉末を焼結して、前記加圧によって得られた二モリブデン酸アンモニウム粉末を化学的に還元させ、中間寸法を有する体積を収縮させて最終寸法を有する成形物品にする工程であって、
その際、前記工程で加圧によって得られた二モリブデン酸アンモニウム粉末の焼結が、
第一温度で焼結して、二モリブデン酸アンモニウムを三酸化モリブデンへと化学的に還元させ;
その後、第二温度で焼結して、三酸化モリブデンを二酸化モリブデンへと化学的に還元させ;
その後、第三温度で焼結して、二酸化モリブデンをモリブデンへと化学的に還元させ;
その後、第四温度で焼結してモリブデンを緻密化させ、それにより成形物品を形成させること
を含むものとする。 - (i)第四温度が第三温度を上回っており、(ii)第三温度が第二温度を上回っており、(iii)第二温度が第一温度を上回っており、かつ(iv)第一温度が100℃〜650℃の範囲から選択されている、請求項27に記載の方法。
- (i)第一温度が450℃〜650℃の範囲から選択されており、(ii)第二温度が500℃〜700℃の範囲から選択されており、(iii)第三温度が800℃〜1000℃の範囲から選択されており、かつ(iv)第四温度が1450℃〜1800℃の範囲から選択されている、請求項27に記載の方法。
- (i)第一温度での焼結を、4時間〜6時間の範囲から選択された第一時間にわたって行い、(ii)第二温度での焼結を、5時間〜7時間の範囲から選択された第二時間にわたって行い、(iii)第三温度での焼結を、1時間〜5時間の範囲から選択された第三時間にわたって行い、かつ(iv)第四温度での焼結を、6時間〜25時間の範囲から選択された第四時間にわたって行う、請求項29に記載の方法。
- (i)第一温度での焼結を、4時間〜6時間の範囲から選択された第一時間にわたって行い、(ii)第二温度での焼結を、5時間〜7時間の範囲から選択された第二時間にわたって行い、(iii)第三温度での焼結を、1時間〜5時間の範囲から選択された第三時間にわたって行い、かつ(iv)第四温度での焼結を、6時間〜25時間の範囲から選択された第四時間にわたって行う、請求項27に記載の方法。
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