JP2015521238A - 金属製るつぼ及びその形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本願は、2012年5月29日に出願された米国仮特許出願第61/652,393号、及び2013年3月13日に出願された米国特許出願第13/799,796号の優先権の利益を請求し、これをもってそれぞれの全開示内容を本明細書に援用する。
種々の実施形態において、本発明は、特に粉末冶金技術を利用したるつぼ及びその他の成形物品の形成に関する。
モリブデン(Mo)は、高融点を含むその有益な耐熱特性に基づき、サファイア単結晶の製造に広く用いられている。Moるつぼの多くは、Moシートの深絞りにより、又は高純度Mo粉末を利用した粉末冶金技術により製造されている。しかしながら、このような技術は往々にして実施が困難であり、かつ高コストである。例えば、Mo粉末冶金は概して高価な高純度Mo粉末を必要とする。さらに、Mo粉末の粉末冶金加工では一般に100%未満の密度を有するMoるつぼが生じ、これによってそのようなるつぼの機械的特性(例えば靭性)が損なわれることがある。
本発明の種々の実施形態による図1に示した断面図に関して、1種以上の金属前駆体粉末100の粒子を集めて加圧し、所望の形状(例えばるつぼのカップ形状)にする。例えば、前駆体粉末100をモールド110内で冷間等方圧加圧することができる。冷間等方圧加圧法の間に、モールド110は典型的にはフレキシブルであり、(例えば15,000psi〜40,000psiのレベルでの)流体圧をほぼ室温でモールドに施与して前駆体粉末100を加圧し、モールドの形状にする。前駆体粉末100は、典型的には、例えば1種以上の金属(例えばMo及び/又はWといった耐熱性金属)、酸素及び/又は他の元素の化合物を含むか又は主にこれからなる。本発明の実施形態では、以下により詳細に記載する焼結及びin situ還元の間の加圧粉末の収縮を考慮しているため、形成した前駆体粉末100の形状(これは一般にはモールド110により定義される内部形状と一致する)は、通常は、完成物品にとって望ましいサイズよりも大きいサイズを有している。そのような収縮は、すでに還元した金属粉末を成形して成形物品にする従来の方法よりも大きく、なぜならば、in situ還元は、この方法の間に一般に非固体副生成物(例えば水蒸気、アンモニア)の生成と除去を含むためである。例えば、前駆体粉末100がADM(及び/又は1種以上の他のモリブデン前駆体)を含むか又は主にこれらからなる場合、そのような収縮は約50%(又はさらには60%)〜約70%、例えば約67%の範囲になり得る。そのような収縮は、多くの場合、例えば欠陥やクラッキングの発生のような、最終物品の完全性及び/又は機械的特性の妥協が予想されるが;本発明の実施形態は意想外にも、最終焼結物品の、機械的不安定性のない所望の形状への収縮を生じる。
Claims (37)
- 最終寸法の目標設定を有しており、主に少なくとも1種の金属からなる成形物品の製造方法であって、以下の工程を含む方法:
前駆体粉末を加圧して、少なくとも一方向で最終寸法よりも大きい中間寸法を有する体積とする工程であって、ここで、この前駆体粉末は、(i)少なくとも1種の金属と(ii)非金属化学種とを含む化合物を含んでいるものとする工程;及び
その後、この加圧前駆体粉末を焼結して(i)この前駆体粉末を化学的に還元させ、(ii)中間寸法を有する体積を最終寸法を有する成形物品へと収縮させ、さらに(iii)非金属副生成物を放出させる工程。 - 非金属種が、酸素若しくはアンモニウムのうち少なくとも一方を含有している、請求項1に記載の方法。
- 少なくとも1種の金属がモリブデンを含有している、請求項1に記載の方法。
- 前駆体粉末が、二モリブデン酸アンモニウムを含有している、請求項1に記載の方法。
- 中間寸法から最終寸法への体積収縮が、約50%〜約70%の範囲内である、請求項1に記載の方法。
- 前駆体粉末を冷間等方圧加圧法により加圧する、請求項1に記載の方法。
- 加圧前駆体粉末の焼結が、それぞれ異なる最高温度での複数の加熱工程を含んでいる、請求項1に記載の方法。
- 加熱工程のうち少なくとも2つのそれぞれが、加圧粉末から異なる中間生成物への化学的還元を含んでいる、請求項7に記載の方法。
- 成形物品が、焼結後に約90%〜約95%の範囲内の密度を有している、請求項1に記載の方法。
- 焼結を、水素を含有する雰囲気中で行う、請求項1に記載の方法。
- 成形物品がるつぼを含む、請求項1に記載の方法。
- 副生成物が、アンモニア、酸素若しくは水蒸気のうち少なくとも1つを含む、請求項1に記載の方法。
- 加圧前駆体粉末の焼結が、
約1000℃未満の第一温度で少なくとも2時間焼結し;
その後、約1450℃〜約1800℃の範囲から選択された第二温度で少なくとも6時間焼結すること
を含む、請求項1に記載の方法。 - 加圧前駆体粉末の焼結が、
約450℃〜約650℃の範囲から選択された第一温度で、約4時間〜約6時間の範囲から選択された第一時間にわたって焼結し;
その後、約500℃〜約700℃の範囲から選択された第二温度で、約5時間〜約7時間の範囲から選択された第二時間にわたって焼結し;
その後、約800℃〜約1000℃の範囲から選択された第三温度で、約1時間〜約5時間の範囲から選択された第三時間にわたって焼結し;
その後、約1450℃〜約1800℃の範囲から選択された第四温度で、約6時間〜約25時間の範囲から選択された第四時間にわたって焼結すること
を含む、請求項1に記載の方法。 - 加圧前駆体粉末の焼結が、
約450℃〜約650℃の範囲から選択された第一温度で、約4時間〜約6時間の範囲から選択された第一時間にわたって焼結し;
その後、第一温度を上回りかつ約700℃未満である第二温度で、約5時間〜約7時間の範囲から選択された第二時間にわたって焼結し;
その後、第二温度を上回りかつ約1000℃未満である第三温度で、約1時間〜約5時間の範囲から選択された第三時間にわたって焼結し;
その後、第三温度を上回りかつ約1800℃未満である第四温度で、約6時間〜約25時間の範囲から選択された第四時間にわたって焼結すること
を含む、請求項1に記載の方法。 - 加圧前駆体粉末を第一温度で焼結し、この加圧前駆体粉末の焼結後に、さらに以下の工程:
成形物品を、100℃を上回りかつ第一温度未満である第二温度に冷却する工程;及び
この成形物品を第二温度で(i)約1時間〜約8時間の範囲から選択された第一時間にわたって、かつ(ii)水素を含有する環境内で保持する工程
を含む、請求項1に記載の方法。 - 成形物品を第二温度で第一時間にわたって保持した後に、さらに以下の工程:
この成形物品を、100℃を上回りかつ第一温度未満である第三温度で(i)約1時間〜約8時間の範囲から選択された第二時間にわたって、かつ(ii)窒素を含有する環境内で保持する工程
を含む、請求項16に記載の方法。 - 第二温度が第三温度とほぼ等しい、請求項17に記載の方法。
- さらに、成形物品の少なくとも1つの表面上に添加物を施与する工程を含む、請求項1に記載の方法。
- さらに、成形物品をアニールする工程を含み、それにより、添加物と少なくとも1種の金属との合金化か若しくは混合のうち少なくとも1つによって処理物品を形成する、請求項19に記載の方法。
- 処理物品の少なくとも1つの表面が、少なくとも1種の金属と添加物との合金を含んでいる、請求項20に記載の方法。
- 添加物の濃度が処理物品の厚さの関数として変化する、請求項20に記載の方法。
- 添加物の濃度が段階的である、請求項22に記載の方法。
- 処理物品の厚さの一部分が実質的に添加物不含である、請求項20に記載の方法。
- 処理物品の粒度が、成形物品の粒度とほぼ等しい、請求項20に記載の方法。
- 添加物が、タングステンか若しくは銅のうち少なくとも一方を含有している、請求項19に記載の方法。
- 添加物が粉末である、請求項19に記載の方法。
- 添加物の施与が、散布、スラリー塗布若しくはスプレー堆積のうち少なくとも一つを含む、請求項27に記載の方法。
- 最終寸法の目標設定を有しており、主にモリブデンからなる成形物品の製造方法であって、以下の工程:
アンモニウム系モリブデン前駆体粉末を加圧して、少なくとも一方向で最終寸法よりも大きい中間寸法を有する体積とする工程;及び
その後、この加圧粉末を焼結してこの前駆体粉末を化学的に還元させ、中間寸法を有する体積を収縮させて最終寸法を有する成形物品にする工程
を含む方法において、この加圧粉末の焼結が、
約450℃〜約650℃の範囲から選択された第一温度で、約4時間〜約6時間の範囲から選択された第一時間にわたって焼結し;
その後、第一温度を上回りかつ約700℃未満である第二温度で、約5時間〜約7時間の範囲から選択された第二時間にわたって焼結し;
その後、第二温度を上回りかつ約1000℃未満である第三温度で、約1時間〜約5時間の範囲から選択された第三時間にわたって焼結し;
その後、第三温度を上回りかつ約1800℃未満である第四温度で、約6時間〜約25時間の範囲から選択された第四時間にわたって焼結すること
を含む、方法。 - アンモニウム系モリブデン前駆体粉末が、二モリブデン酸アンモニウムを含有している、請求項29に記載の方法。
- 最終寸法の目標設定を有しており、主にモリブデンからなる成形物品の製造方法であって、以下の工程を含む方法:
二モリブデン酸アンモニウム粉末を加圧して、少なくとも一方向で最終寸法よりも大きい中間寸法を有する体積とする工程;及び
その後、この加圧粉末を焼結してこの前駆体粉末を化学的に還元させ、中間寸法を有する体積を収縮させて最終寸法を有する成形物品にする工程であって、
その際、この加圧粉末の焼結が、
第一温度で焼結して、二モリブデン酸アンモニウムを三酸化モリブデンへと化学的に還元させ;
その後、第二温度で、三酸化モリブデンを二酸化モリブデンへと化学的に還元させ;
その後、第三温度で、二酸化モリブデンをモリブデンへと化学的に還元させ;
その後、第四温度で焼結してモリブデンを緻密化させ、それにより成形物品を形成させること
を含むものとする。 - (i)第四温度が第三温度を上回っており、(ii)第三温度が第二温度を上回っており、(iii)第二温度が第一温度を上回っており、かつ(iv)第一温度が約100℃〜約650℃の範囲から選択されている、請求項31に記載の方法。
- (i)第一温度が約450℃〜約650℃の範囲から選択されており、(ii)第二温度が約500℃〜約700℃の範囲から選択されており、(iii)第三温度が約800℃〜約1000℃の範囲から選択されており、かつ(iv)第四温度が約1450℃〜約1800℃の範囲から選択されている、請求項31に記載の方法。
- (i)第一温度での焼結を、約4時間〜約6時間の範囲から選択された第一時間にわたって行い、(ii)第二温度での焼結を、約5時間〜約7時間の範囲から選択された第二時間にわたって行い、(iii)第三温度での焼結を、約1時間〜約5時間の範囲から選択された第三時間にわたって行い、かつ(iv)第四温度での焼結を、約6時間〜約25時間の範囲から選択された第四時間にわたって行う、請求項33に記載の方法。
- (i)第一温度での焼結を、約4時間〜約6時間の範囲から選択された第一時間にわたって行い、(ii)第二温度での焼結を、約5時間〜約7時間の範囲から選択された第二時間にわたって行い、(iii)第三温度での焼結を、約1時間〜約5時間の範囲から選択された第三時間にわたって行い、かつ(iv)第四温度での焼結を、約6時間〜約25時間の範囲から選択された第四時間にわたって行う、請求項31に記載の方法。
- 成形物品の処理方法であって、以下の工程を含む方法:
金属を含有する成形物品の少なくとも1つの表面上に添加物を施与する工程であって、ここで、この成形物品は約95%未満の密度を有しているものする;及び
この成形物品をアニールし、それによって、添加物と金属との合金化か若しくは混合のうち少なくとも1つによって、(i)添加物と金属との合金若しくは混合物を含有する内層、(ii)主に金属からなる外層、及び(iii)その間にある、段階的な濃度の添加物と金属との合金若しくは混合物を含む帯域を含む処理物品を形成する工程。 - 以下のものを含む、るつぼ:
主にモリブデンとタングステンとの合金からなる内層;
主にモリブデンからなる外層;及び
その間にある、主に段階的濃度のモリブデンとタングステンとからなる帯域。
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US201261652393P | 2012-05-29 | 2012-05-29 | |
US61/652,393 | 2012-05-29 | ||
US13/799,796 US9457405B2 (en) | 2012-05-29 | 2013-03-13 | Metallic crucibles and methods of forming the same |
US13/799,796 | 2013-03-13 | ||
PCT/US2013/041347 WO2013180965A2 (en) | 2012-05-29 | 2013-05-16 | Metallic crucibles and methods of forming the same |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015521238A true JP2015521238A (ja) | 2015-07-27 |
JP6279559B2 JP6279559B2 (ja) | 2018-02-14 |
Family
ID=49668708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015515030A Expired - Fee Related JP6279559B2 (ja) | 2012-05-29 | 2013-05-16 | 金属製るつぼ及びその形成方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US9457405B2 (ja) |
EP (1) | EP2855052A2 (ja) |
JP (1) | JP6279559B2 (ja) |
KR (1) | KR20150023454A (ja) |
CN (1) | CN104470658A (ja) |
WO (1) | WO2013180965A2 (ja) |
Families Citing this family (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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- 2013-03-13 US US13/799,796 patent/US9457405B2/en active Active
- 2013-05-16 JP JP2015515030A patent/JP6279559B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2013-05-16 KR KR1020147036057A patent/KR20150023454A/ko not_active Application Discontinuation
- 2013-05-16 WO PCT/US2013/041347 patent/WO2013180965A2/en active Application Filing
- 2013-05-16 EP EP13728274.5A patent/EP2855052A2/en not_active Withdrawn
- 2013-05-16 CN CN201380028611.0A patent/CN104470658A/zh active Pending
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EP2855052A2 (en) | 2015-04-08 |
WO2013180965A2 (en) | 2013-12-05 |
JP6279559B2 (ja) | 2018-02-14 |
WO2013180965A3 (en) | 2014-05-08 |
KR20150023454A (ko) | 2015-03-05 |
US20160368058A1 (en) | 2016-12-22 |
US10100438B2 (en) | 2018-10-16 |
US9457405B2 (en) | 2016-10-04 |
CN104470658A (zh) | 2015-03-25 |
US20130319321A1 (en) | 2013-12-05 |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160129 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20161221 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A601 | Written request for extension of time |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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