JP6262428B2 - 荷電粒子ビーム・システムにおけるドリフト制御 - Google Patents
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Description
106 対物レンズ系
110 ステージ
112 試料ホルダ
113 試料
115 試料室
302 被温度制御装置
Claims (22)
- 荷電粒子源と、試料を保持するための試料室と、試料に荷電粒子ビームを集束させるためのレンズ系とを含む荷電粒子ビーム・システムにおけるドリフトを低減させる方法であって、前記荷電粒子ビーム・システムが、前記レンズ系と前記試料室の間に被温度制御装置を含み、前記方法が、前記試料室と前記被温度制御装置の間に断熱空気の層を配置するステップと、前記試料室内に配置された試料の位置の前記荷電粒子ビームの位置に対する熱ドリフトを低減させまたは排除するために、前記被温度制御装置の温度を制御するステップを含む方法。
- 前記被温度制御装置の温度を制御する前記ステップが、前記被温度制御装置を実質的に一定の温度に維持するステップをさらに含む、請求項1に記載の方法。
- 前記被温度制御装置の温度を制御する前記ステップが、前記被温度制御装置を、前記試料室の温度から摂氏5度以内の温度に維持するステップをさらに含む、請求項1または請求項2に記載の方法。
- 前記被温度制御装置の温度を制御する前記ステップが、前記被温度制御装置を、前記試料室の温度と実質的に同じ温度に維持するステップをさらに含む、請求項1から3のいずれかに記載の方法。
- 前記被温度制御装置を実質的に一定の温度に維持する前記ステップが、前記被温度制御装置を、摂氏17度から摂氏25度の間に維持するステップを含む、請求項2に記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームの前記ドリフトが0.5ナノメートル/分以下である、請求項1から5のいずれかに記載の方法。
- 前記荷電粒子ビームの前記ドリフトが0.1ナノメートル/分以下である、請求項1から6のいずれかに記載の方法。
- 前記被温度制御装置の温度を制御する前記ステップが、前記被温度制御装置からの熱をヒート・シンクへ導くステップをさらに含む、請求項1から7のいずれかに記載の方法。
- 前記被温度制御装置の温度を制御する前記ステップが、熱源からの熱を前記被温度制御装置へ導くステップをさらに含む、請求項1から8のいずれかに記載の方法。
- 前記荷電粒子ビーム・システムが、電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または集束イオン・ビーム・システムを備える、請求項1から9のいずれかに記載の方法。
- 荷電粒子ビーム・システムにおけるドリフトを低減させる装置であって、
荷電粒子ビーム・カラムのレンズ系と前記荷電粒子ビーム・カラムの試料室との間に配置された被温度制御装置と、
前記被温度制御装置と熱連通した温度制御器であり、荷電粒子ビームの熱ドリフトを低減させまたは排除するために前記レンズ系と前記試料室の間の熱伝達を制御する手段を備える温度制御器と、
前記試料室と前記被温度制御装置の間に配置される断熱空気の層と
を備える装置。 - 前記温度制御器がサーモスタットおよびヒート・シンクを含む、請求項11に記載の装置。
- 前記ヒート・シンクが、前記荷電粒子ビーム・システムの外部にあって廃熱を周囲の空気中へ放出する放熱器を備える、請求項12に記載の装置。
- 前記ヒート・シンクが、前記荷電粒子ビーム・システムの外部に置かれたチラー・ユニットまたは冷却ユニットを備える、請求項12に記載の装置。
- 前記試料室と前記被温度制御装置の間に配置された断熱空気の層をさらに含む、請求項11から14のいずれかに記載の装置。
- 前記荷電粒子ビーム・システムが、電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または集束イオン・ビーム・システムを備える、請求項11から15のいずれかに記載の装置。
- 荷電粒子源と、
レンズ系を含む集束カラムと、
試料を含む試料室と、
前記レンズ系と前記試料室の間の熱伝達を制御するために前記レンズ系と前記試料室の間に配置された被温度制御装置と、
前記試料室と前記被温度制御装置の間に配置される断熱空気の層と
を備える荷電粒子ビーム・システム。 - 前記被温度制御装置と熱連通した温度制御器であり、前記被温度制御装置の温度を制御する温度制御器をさらに備える、請求項17に記載のシステム。
- 前記温度制御器がサーモスタットおよびヒート・シンクを含む、請求項18に記載のシステム。
- 前記ヒート・シンクが、前記荷電粒子ビーム・システムの外部にあって廃熱を周囲の空気中へ放出する放熱器を備える、請求項19に記載のシステム。
- 前記ヒート・シンクが、前記荷電粒子ビーム・システムの外部に置かれたチラー・ユニットまたは冷却ユニットを備える、請求項19に記載のシステム。
- 前記荷電粒子ビーム・システムが、電子顕微鏡、走査電子顕微鏡、透過型電子顕微鏡または集束イオン・ビーム・システムを備える、請求項17から21のいずれかに記載のシステム。
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