JP2001084935A - 電子顕微鏡 - Google Patents
電子顕微鏡Info
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- JP2001084935A JP2001084935A JP26319499A JP26319499A JP2001084935A JP 2001084935 A JP2001084935 A JP 2001084935A JP 26319499 A JP26319499 A JP 26319499A JP 26319499 A JP26319499 A JP 26319499A JP 2001084935 A JP2001084935 A JP 2001084935A
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- cooling water
- water
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- Pending
Links
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims description 9
- 238000010894 electron beam technology Methods 0.000 claims description 4
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 abstract description 23
- 239000000498 cooling water Substances 0.000 abstract description 19
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 17
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 10
- 239000006243 Fine Thermal Substances 0.000 abstract 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
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- 239000008399 tap water Substances 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】
【課題】周囲の温度変化やレンズコイル部の温度変化に
よって発生する熱膨張のよる視野の移動を低減する。 【解決手段】周囲の温度変化やレンズコイル部の温度変
化によって発生する熱膨張のよる視野移動の発生を低減
する手段として、視野移動機構周辺およびレンズコイル
部に温度検出手段を設け、冷却水温度または冷却水水量
を制御する事により視野移動の低減を図る。
よって発生する熱膨張のよる視野の移動を低減する。 【解決手段】周囲の温度変化やレンズコイル部の温度変
化によって発生する熱膨張のよる視野移動の発生を低減
する手段として、視野移動機構周辺およびレンズコイル
部に温度検出手段を設け、冷却水温度または冷却水水量
を制御する事により視野移動の低減を図る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子顕微鏡等の冷
却水循環機構に於いて、観察視野の移動の低減を目的と
して温度センサーを設け冷却水循環装置の冷却水の温度
制御、または流量制御する事により観察視野の移動量の
補正を目的とする。
却水循環機構に於いて、観察視野の移動の低減を目的と
して温度センサーを設け冷却水循環装置の冷却水の温度
制御、または流量制御する事により観察視野の移動量の
補正を目的とする。
【０００２】
【従来の技術】従来はTEMのように設置条件として、設
置室温の制限や冷却水の温度変化などの条件を厳しくす
る事によって、高倍率観察や撮影に対応を図っていた
が、室温の変化や装置立ち上げ後の温度平衡までの間
は、高倍率では視野の移動が問題となっていた。具体的
には、電子顕微鏡等の試料移動機構は、高倍率観察に観
察視野が移動したり、観察像の撮影時に視野が移動して
しまい安定した視野での像記録が出来なくなる等の問題
が起こってくる。
置室温の制限や冷却水の温度変化などの条件を厳しくす
る事によって、高倍率観察や撮影に対応を図っていた
が、室温の変化や装置立ち上げ後の温度平衡までの間
は、高倍率では視野の移動が問題となっていた。具体的
には、電子顕微鏡等の試料移動機構は、高倍率観察に観
察視野が移動したり、観察像の撮影時に視野が移動して
しまい安定した視野での像記録が出来なくなる等の問題
が起こってくる。
【０００３】このような問題を回避する手段として、空
調機を取付け室温の温度制御を行ったり、レンズコイル
等の発熱部を水冷したりして温度変化に伴う観察視野の
移動を低減するための手段をこうじている。
調機を取付け室温の温度制御を行ったり、レンズコイル
等の発熱部を水冷したりして温度変化に伴う観察視野の
移動を低減するための手段をこうじている。
【０００４】しかし観察倍率の高倍率化や、鏡体周辺の
温度変化、電源投入直後より温度平衡までの間は、依然
として観察視野の移動による像記録への影響が問題とな
っている。
温度変化、電源投入直後より温度平衡までの間は、依然
として観察視野の移動による像記録への影響が問題とな
っている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】従来の方法では、レン
ズコイルや、鏡体周辺の温度変化が起こってしまうと、
機構系の温度平衡が取れるまでは、視野の移動が発生し
てしまい高倍率観察、撮影は行えず問題が有った。
ズコイルや、鏡体周辺の温度変化が起こってしまうと、
機構系の温度平衡が取れるまでは、視野の移動が発生し
てしまい高倍率観察、撮影は行えず問題が有った。
【０００６】本発明の目的は、上記問題を解決する手段
として、視野移動装置周辺の温度検出、レンズコイルの
温度検出等を行い、冷却水温または、冷却水量を制御し
温度変化に伴い発生する機構系の熱膨張による視野移動
の発生を低減する機能を提供する事にある。
として、視野移動装置周辺の温度検出、レンズコイルの
温度検出等を行い、冷却水温または、冷却水量を制御し
温度変化に伴い発生する機構系の熱膨張による視野移動
の発生を低減する機能を提供する事にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を達成する為
に、本発明では温度変化により発生する熱膨張による視
野の移動を、レンズコイルに流す冷却水温度または、冷
却水水量を制御する事によって、視野の移動量を低減す
る機能を提供することにある。
に、本発明では温度変化により発生する熱膨張による視
野の移動を、レンズコイルに流す冷却水温度または、冷
却水水量を制御する事によって、視野の移動量を低減す
る機能を提供することにある。
【０００８】
【発明の実施の形態】本発明の実施形態の例とする電子
顕微鏡等の視野移動補正を図1を用い説明する。
顕微鏡等の視野移動補正を図1を用い説明する。
【０００９】図１は電子顕微鏡等の視野移動機構部にお
ける、周囲温度の変化や、レンズコイルの温度変化によ
って発生する視野の移動の低減を目的とした構成図であ
る。
ける、周囲温度の変化や、レンズコイルの温度変化によ
って発生する視野の移動の低減を目的とした構成図であ
る。
【００１０】試料移動装置内に装填された試料8は視野
移動機構によって任意の視野が選択できる構成となって
いる。選択された視野は試料8、上を走査する電子線10
の走査面積から倍率が決定される。走査面積を小さくす
る毎に高倍率に拡大される。
移動機構によって任意の視野が選択できる構成となって
いる。選択された視野は試料8、上を走査する電子線10
の走査面積から倍率が決定される。走査面積を小さくす
る毎に高倍率に拡大される。
【００１１】対物レンズ2は観察する試料8の高さや電子
線10の速度などでも焦点が合わせられる対物レンズ制御
回路3から構成されている。
線10の速度などでも焦点が合わせられる対物レンズ制御
回路3から構成されている。
【００１２】対物レンズ部は、温度上昇に伴う機構系の
熱膨張による視野移動を低減する目的として、対物レン
ズ水冷パイプ4が設けられ従来より水道水を用いた冷却
や循環装置16による冷却が行われている。
熱膨張による視野移動を低減する目的として、対物レン
ズ水冷パイプ4が設けられ従来より水道水を用いた冷却
や循環装置16による冷却が行われている。
【００１３】循環装置16には、冷却水槽15が設けられこ
の水槽内に温度センサー20および水温制御のためのヒー
タ(2)19が組み込まれ冷却温制御18により温度制御を行
っているが温度制御精度の問題や冷却水槽15の容量など
の問題から温度変化の無い水温制御が難しく短時間での
水温の変化が視野移動機構周辺の温度変化となって視野
の移動の問題が発生する。
の水槽内に温度センサー20および水温制御のためのヒー
タ(2)19が組み込まれ冷却温制御18により温度制御を行
っているが温度制御精度の問題や冷却水槽15の容量など
の問題から温度変化の無い水温制御が難しく短時間での
水温の変化が視野移動機構周辺の温度変化となって視野
の移動の問題が発生する。
【００１４】また、対物レンズや周辺の構造物の熱容量
が大きいために、電源投入後のレンズコイルの温度平衡
まで間、視野の移動が発生するほか、焦点あわせなどに
よっても、対物レンズの電流が発生しドリフトの問題が
発生してしまう。
が大きいために、電源投入後のレンズコイルの温度平衡
まで間、視野の移動が発生するほか、焦点あわせなどに
よっても、対物レンズの電流が発生しドリフトの問題が
発生してしまう。
【００１５】本提案ではこれらの問題を回避する一手段
として、対物レンズ2の端子電圧を温度検出信号5として
用い温度制御回路6から冷却水量の調整のためのバルブ1
2による水量を制御する。または温度制御水槽21を新た
に設けこの水槽内の水温を制御するためのヒータ(1)14
を設け温度変化に対応した水量の制御や冷却水温を制御
する事によって、微細な熱変化によって発生する熱膨張
による視野の移動を制限する事によって可能となる。
として、対物レンズ2の端子電圧を温度検出信号5として
用い温度制御回路6から冷却水量の調整のためのバルブ1
2による水量を制御する。または温度制御水槽21を新た
に設けこの水槽内の水温を制御するためのヒータ(1)14
を設け温度変化に対応した水量の制御や冷却水温を制御
する事によって、微細な熱変化によって発生する熱膨張
による視野の移動を制限する事によって可能となる。
【００１６】以上のように、本実施例によれば、視野移
動機構周辺やレンズコイルの温度変化に伴い発生する観
察視野や像撮影時の視野の移動を低減が可能となる。
動機構周辺やレンズコイルの温度変化に伴い発生する観
察視野や像撮影時の視野の移動を低減が可能となる。
【００１７】
【発明の効果】本発明によれば、電子顕微鏡等の視野移
動機構に用いられる機構において、温度変化によって発
生する熱膨張による視野の移動が発生せず、効果は顕著
である。
動機構に用いられる機構において、温度変化によって発
生する熱膨張による視野の移動が発生せず、効果は顕著
である。
【図１】本発明の一実施例の構成図である。
1…電子光学系、2…対物レンズ、3…対物レンズ制御回
路、4…対物レンズ水冷パイプ、5…温度検出信号、6…
温度制御回路、7…バルブ制御信号、8…試料、9…ドリ
フト、10…電子線、11…冷却水給水、12…バルブ、13…
ヒータ信号、14…ヒータ(1)、15…冷却水槽、16…循環
装置、17…冷却水排水、18…冷却温制御、19…ヒータ
(2)、20…温度センサー、21…温度制御水槽。
路、4…対物レンズ水冷パイプ、5…温度検出信号、6…
温度制御回路、7…バルブ制御信号、8…試料、9…ドリ
フト、10…電子線、11…冷却水給水、12…バルブ、13…
ヒータ信号、14…ヒータ(1)、15…冷却水槽、16…循環
装置、17…冷却水排水、18…冷却温制御、19…ヒータ
(2)、20…温度センサー、21…温度制御水槽。
Claims (1)
- 【請求項１】 電子源と、当該電子源から放出される電
子線を収束する磁界形レンズを有する電子顕微鏡におい
て、前記磁界形レンズを冷却する手段と、前記磁界形レ
ンズの温度を検出する温度検出手段と、当該温度検出手
段で検出される温度に応じて前記冷却手段の冷却効率を
変化させる手段を備えたことを特徴とする電子顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26319499A JP2001084935A (ja) | 1999-09-17 | 1999-09-17 | 電子顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26319499A JP2001084935A (ja) | 1999-09-17 | 1999-09-17 | 電子顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001084935A true JP2001084935A (ja) | 2001-03-30 |
Family
ID=17386093
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26319499A Pending JP2001084935A (ja) | 1999-09-17 | 1999-09-17 | 電子顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001084935A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103187223A (zh) * | 2011-12-27 | 2013-07-03 | Fei公司 | 带电粒子束系统中的漂移控制 |
| WO2013129124A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
-
1999
- 1999-09-17 JP JP26319499A patent/JP2001084935A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN103187223A (zh) * | 2011-12-27 | 2013-07-03 | Fei公司 | 带电粒子束系统中的漂移控制 |
| JP2013138007A (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-11 | Fei Co | 荷電粒子ビーム・システムにおけるドリフト制御 |
| CN103187223B (zh) * | 2011-12-27 | 2018-11-16 | Fei 公司 | 带电粒子束系统中的漂移控制 |
| WO2013129124A1 (ja) * | 2012-02-28 | 2013-09-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20040330 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |