JPS60122951A - 光学装置 - Google Patents

光学装置

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JPS60122951A
JPS60122951A JP58230577A JP23057783A JPS60122951A JP S60122951 A JPS60122951 A JP S60122951A JP 58230577 A JP58230577 A JP 58230577A JP 23057783 A JP23057783 A JP 23057783A JP S60122951 A JPS60122951 A JP S60122951A
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JP
Japan
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temperature
fluid
projection lens
optical device
controlled
Prior art date
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Pending
Application number
JP58230577A
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English (en)
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Minoru Yomoda
四方田　実
Mitsugi Yamamura
山村　貢
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Canon Inc
Original Assignee
Canon Inc
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Publication date
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Priority to US06/677,517 priority patent/US4669842A/en
Priority to DE19843444569 priority patent/DE3444569A1/de
Priority to GB08430806A priority patent/GB2153109B/en
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    • G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
    • G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
    • G03F9/7003—Alignment type or strategy, e.g. leveling, global alignment
    • G03F9/7023—Aligning or positioning in direction perpendicular to substrate surface
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
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    • G02B7/00—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements
    • G02B7/008—Mountings, adjusting means, or light-tight connections, for optical elements with means for compensating for changes in temperature or for controlling the temperature; thermal stabilisation
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は、光学装置に関し、特に投影光学系の温度を一
定にし、又温度分布を一様にすることにより、光学性能
を常に一定にし、解像力、倍率、ディストーション、ピ
ント位置、像シフトなどの熱による変動要因を除去した
光学装置に関する。
〔従来技術〕
従来、光学装置に対する温度の影響を防止する手段とし
て、光学装置を恒温室に於いて使用するかあるいは、光
学装置全体に温調された空気を吹き付ける方法がとられ
ていた。また光学装置内部の温度制御方法としては、主
要部を箱で囲み、その箱の中に一定の温度の流体を供給
する方法があった。
しかしながら、上記いずれの場合にも、温度制御装置が
大型化し、コストの上昇の要因となる欠点があり、また
投影光学系が、該投影光学系を通過する光線による発熱
、あるいは投影光学系を含む装置内部に存在する発熱源
による発熱、あるいは周囲の温度変化などの影響を受け
、光学性能を最良状態に保持することができないという
欠点があった。
〔目　的〕
本発明の目的は、上記従来例の欠点を除去して、光学性
能の安定した光学装置を提供することにあり、また本発
明によれば、光学装置の設計時、あるいは製作時に設定
された温度に保持することが達成できると共に、光学装
置の評価結果によって、最良の光学性能が得られる温度
に維持することがＩｉＪ能となり、又故意に光学装置の
温度を変化する事により、解像力、倍率、ディストーシ
ョン、ピント位置を修正することも可能となる。
〔実施例〕
以下図面を参照して本発明の一実施例を説明する。第１
図は、本発明の一実施例である投影型露光装置の概略構
成図であり、光源ｌからの光束はコンデンサレンズ２に
より集光されて、集積回路パターンを有するマスク３を
照射し、この回路パターンは投影レンズ４を介してウェ
ハ７上に投影される。
投影レンズ４は、複数のレンズあるいは反射鏡（不図示
）が円筒形の支持部材４　ａにより支持されて構成され
、支持部材４ａの内壁には、温度検知器６が取り付けら
れ、温度検知器６は後述する温度制御回路９に接続され
ている。支持部材４ａは、円筒形の部材１１により包囲
されて、支持部材４ａの回りに気体あるいは液体の通る
ダクト５を形成している。ここで支持部材４ａはアルミ
ニウム、銅などの熱伝導率の高い材料により形成され、
部材１１は熱伝導率が低く熱膨張係数が低いセラミック
などの断熱材で形成される。尚、支持部材４ａの面に熱
伝導率の高い材料でコーティングしてもよい。
ダクト５は流体温度調整器８を介して不図示の流体源に
結合されており、流体温度調整器８は温度制御回路９に
接続されている。温度制御回路９は、温度検知器６と温
度設定値入力器ＩＯに接続されている。
上記構成において、マスク８のパターンを投影レンズ４
を介してウェハ７上に投影する場合に、温度検知器６に
より投影レンズ４内の温度を検知する。温度制御回路９
は、この投影レンズ４内の温度と、予め温度設定値人力
器ｌＯに人力された所望の温度とを比較し、その温度差
に応じて流体温度制御器＆を制御し、流体温度制御器８
は流体の温度を制御する。温度制御された流体はダクト
５内を通過し、投影レンズ４内は温度設定値に予め人力
された温度に制御される。
ＯｉＩ記実施例においては流体を投影レンズの支持部材
の外壁面を流れるようにダクトを構成したが。
同様なダクト或いはパイプ等を支持部材の内壁部に設け
てもよい。
〔効果〕
以］二、説明したように、本発明によれば光源あるいは
装置内の他の熱源、更に装置の周囲の温度変化による投
影光学系の光学性能への影響を除去することができ、ま
た装置を配置する場所の温度条件を緩和することができ
る。
更に、本発明によれば、光学装置を所望の温度設定する
ことができるので、光学性能の微調整が５丁能となり、
また固定焦点方式の光学装置に於いては、ピント位置が
温度に対して変化しなくなるのでピント調整機構が不要
となる利点がある。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の一実施例の概略構成図である０ ４・・・・・・投影レンズ、４・ａ・・・投影レンズ支
持部材５・・・・・・ダクト、６・・・温度検知器、８
・・・・・・流体温度調整器、９・・・・・−濡度制゛
御回路、ｌＯ・・・温度設定値人力器、ｌｌ・・・円筒
形部材。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １投影光学系を保持する部材の壁に沿って温度制御され
    た流体を流すようにした光学装置。 ２、前記投影光学系の温度を検知する温度検知器と、所
    望の湿度を設定する人力手段と、流体の温度を調整する
    手段とを有し、前記温度検知器により検出された温度と
    前記人力手段に設定された温度の差により前記流体の温
    度を制御することを特徴とする特許請求の範囲第１項記
    載の光学装置。
JP58230577A 1983-12-08 1983-12-08 光学装置 Pending JPS60122951A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58230577A JPS60122951A (ja) 1983-12-08 1983-12-08 光学装置
US06/677,517 US4669842A (en) 1983-12-08 1984-12-03 Projection optical device
DE19843444569 DE3444569A1 (de) 1983-12-08 1984-12-06 Optische projektionsvorrichtung
GB08430806A GB2153109B (en) 1983-12-08 1984-12-06 Focus control

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP58230577A JPS60122951A (ja) 1983-12-08 1983-12-08 光学装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS60122951A true JPS60122951A (ja) 1985-07-01

Family

ID=16909920

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP58230577A Pending JPS60122951A (ja) 1983-12-08 1983-12-08 光学装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS60122951A (ja)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0581119U (ja) * 1991-05-17 1993-11-02 株式会社デンコー 搬送装置
US5812242A (en) * 1995-10-03 1998-09-22 Nikon Corporation Projection exposure apparatus including a temperature control system for the lens elements of the optical system

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0581119U (ja) * 1991-05-17 1993-11-02 株式会社デンコー 搬送装置
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