JP6258499B2 - エレクトロマイグレーションに対処するためのレイアウト構造 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 61
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 claims description 39
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 39
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 13
- 230000008878 coupling Effects 0.000 claims description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 claims description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 claims description 8
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 205
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 33
- 230000008569 process Effects 0.000 description 13
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 11
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 7
- 238000006731 degradation reaction Methods 0.000 description 7
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 4
- 230000002457 bidirectional effect Effects 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 2
- 238000013459 approach Methods 0.000 description 1
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000006870 function Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
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- H01L27/0921—Means for preventing a bipolar, e.g. thyristor, action between the different transistor regions, e.g. Latchup prevention
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
- H01L21/822—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components the substrate being a semiconductor, using silicon technology
- H01L21/8232—Field-effect technology
- H01L21/8234—MIS technology, i.e. integration processes of field effect transistors of the conductor-insulator-semiconductor type
- H01L21/8238—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS
- H01L21/823871—Complementary field-effect transistors, e.g. CMOS interconnection or wiring or contact manufacturing related aspects
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/48—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor
- H01L23/482—Arrangements for conducting electric current to or from the solid state body in operation, e.g. leads, terminal arrangements ; Selection of materials therefor consisting of lead-in layers inseparably applied to the semiconductor body
- H01L23/4824—Pads with extended contours, e.g. grid structure, branch structure, finger structure
-
- H—ELECTRICITY
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/528—Geometry or layout of the interconnection structure
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- H01L27/00—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate
- H01L27/02—Devices consisting of a plurality of semiconductor or other solid-state components formed in or on a common substrate including semiconductor components specially adapted for rectifying, oscillating, amplifying or switching and having potential barriers; including integrated passive circuit elements having potential barriers
- H01L27/0203—Particular design considerations for integrated circuits
- H01L27/0207—Geometrical layout of the components, e.g. computer aided design; custom LSI, semi-custom LSI, standard cell technique
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- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
- H03K17/16—Modifications for eliminating interference voltages or currents
- H03K17/168—Modifications for eliminating interference voltages or currents in composite switches
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- H—ELECTRICITY
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- H03K17/00—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking
- H03K17/51—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used
- H03K17/56—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices
- H03K17/687—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors
- H03K17/6871—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors the output circuit comprising more than one controlled field-effect transistor
- H03K17/6872—Electronic switching or gating, i.e. not by contact-making and –breaking characterised by the components used by the use, as active elements, of semiconductor devices the devices being field-effect transistors the output circuit comprising more than one controlled field-effect transistor using complementary field-effect transistors
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- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
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- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
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- Metal-Oxide And Bipolar Metal-Oxide Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Description
以下に、本願出願の当初の特許請求の範囲に記載された発明を付記する。
[C1]
p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスであって、
前記NMOSドレインを互いに接続するために、相互接続レベル上の、長さ方向で延在する第1の相互接続部と、
前記NMOSドレインと互いに接続するために、前記相互接続レベル上の、前記長さ方向で延在する第2の相互接続部と、
少なくとも1つのさらなる相互接続レベル上の、前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを互いに結合する相互接続部のセットと、
前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを互いに接続するために、前記相互接続レベル上の、前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットする第3の相互接続部と
を備える、CMOSデバイス。
[C2]
前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを互いに接続するために、前記相互接続レベル上の、前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットする第4の相互接続部をさらに備え、前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部とは、前記相互接続部のセットの両側にある、
C1に記載のデバイス。
[C3]
前記少なくとも1つのさらなる相互接続レベルは、第2の相互接続レベルと第3の相互接続レベルとを備え、前記相互接続部のセットは、
前記第2の相互接続レベル上の、前記第1の相互接続部に接続される第5の相互接続部と、
前記第2の相互接続レベル上の、前記第2の相互接続部に接続される第6の相互接続部と、
前記第3の相互接続レベル上の、前記第5の相互接続部と前記第6の相互接続部とを互いに結合する第7の相互接続部と
を備える、C2に記載のデバイス。
[C4]
前記第7の相互接続部は、前記デバイスの出力である、
C3に記載のデバイス。
[C5]
前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部とは、前記第7の相互接続部と平行であり、前記第7の相互接続部から少なく距離dだけオフセットされる、
C3に記載のデバイス。
[C6]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第3の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第3の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C5に記載のデバイス。
[C7]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第4の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第4の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C5に記載のデバイス。
[C8]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第3の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第3の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C5に記載のデバイス。
[C9]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第4の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第4の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C5に記載のデバイス。
[C10]
前記CMOSデバイスは、インバータであり、前記PMOSトランジスタ各々は、PMOSゲートとPMOSソースとを有し、前記NMOSトランジスタ各々は、NMOSゲートとNMOSソースとを有し、前記NMOSトランジスタの前記NMOSソースは、互いに結合され、前記PMOSトランジスタの前記PMOSソースは、互いに結合され、前記PMOSトランジスタの前記PMOSゲートおよび前記NMOSトランジスタの前記NMOSゲートは、互いに結合される、
C1に記載のデバイス。
[C11]
p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスであって、
長さ方向で延在する相互接続レベル上の、第1の相互接続部と前記PMOSドレインを相互接続するための手段と、
前記長さ方向で延在する前記相互接続レベル上の、第2の相互接続部と前記NMOSドレインを相互接続するための手段と、
少なくともさらなる相互接続レベル上の、相互接続部のセットと前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続するための手段と、
前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされる、前記相互接続レベル上の、第3の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続するための手段と
を備える、CMOSデバイス。
[C12]
前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされる、前記相互接続レベル上の、第4の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続するための手段をさらに備え、前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部は、前記相互接続部のセットの両側にある、
C11に記載のデバイス。
[C13]
前記少なくとも1つのさらなる相互接続レベルは、第2の相互接続レベルと第3の相互接続レベルとを備え、前記相互接続部のセットは
前記第2の相互接続レベル上の、前記第1の相互接続部に接続される第5の相互接続部と、
前記第2の相互接続レベル上の、前記第2の相互接続部に接続される第6の相互接続部と、
前記第3の相互接続レベル上の、前記第5の相互接続部と前記第6の相互接続部とを互いに結合する第7の相互接続部と
を備える、C12に記載のデバイス。
[C14]
前記第7の相互接続部は、前記デバイスの出力である、
C13に記載のデバイス。
[C15]
前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部とは、前記第7の相互接続部と平行であり、前記第7の相互接続部から少なく距離dだけオフセットされる、
C13に記載のデバイス。
[C16]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第3の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第3の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C15に記載のデバイス。
[C17]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第4の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第4の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C15に記載のデバイス。
[C18]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第3の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第3の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C15に記載のデバイス。
[C19]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第4の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第4の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C15に記載のデバイス。
[C20]
前記CMOSデバイスは、インバータであり、前記PMOSトランジスタ各々は、PMOSゲートとPMOSソースとを有し、前記NMOSトランジスタ各々は、NMOSゲートとNMOSソースとを有し、前記NMOSトランジスタの前記NMOSソースは、互いに結合され、前記PMOSトランジスタの前記PMOSソースは、互いに結合され、前記PMOSトランジスタの前記PMOSゲートおよび前記NMOSトランジスタの前記NMOSゲートは、互いに結合される、
C11に記載のデバイス。
[C21]
p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスをレイアウトする方法であって、
長さ方向で延在する相互接続レベル上の、第1の相互接続部と前記PMOSドレインを相互接続することと、
前記長さ方向で延在する前記相互接続レベル上の、第2の相互接続部と前記NMOSドレインを相互接続することと、
少なくともさらなる相互接続レベル上の、相互接続部のセットと、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続することと、
前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされる、前記相互接続レベル上の、第3の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続することと
を備える、方法。
[C22]
前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされる、前記相互接続レベル上の、第4の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続することをさらに備え、前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部は、前記相互接続部のセットの両側にある、
C21に記載の方法。
[C23]
前記少なくとも1つのさらなる相互接続レベルは、第2の相互接続レベルと第3の相互接続レベルとを備え、前記相互接続部のセットは、
前記第2の相互接続レベル上の、前記第1の相互接続部に接続される第5の相互接続部と、
前記第2の相互接続レベル上の、前記第2の相互接続部に接続される第6の相互接続部と、
前記第3の相互接続レベル上の、前記第5の相互接続部と前記第6の相互接続部とを互いに結合する第7の相互接続部と
を備える、C22に記載の方法。
[C24]
前記第7の相互接続部は、前記デバイスの出力である、
C23に記載の方法。
[C25]
前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部とは、前記第7の相互接続部と平行であり、前記第7の相互接続部から少なく距離dだけオフセットされる、
C23に記載の方法。
[C26]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第3の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第3の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C25に記載の方法。
[C27]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第4の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第4の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C25に記載の方法。
[C28]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第3の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第3の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C25に記載の方法。
[C29]
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第4の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第4の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離にほぼ等しい、
C25に記載の方法。
[C30]
前記CMOSデバイスは、インバータであり、前記PMOSトランジスタ各々は、PMOSゲートとPMOSソースとを有し、前記NMOSトランジスタ各々は、NMOSゲートとNMOSソースとを有し、前記NMOSトランジスタの前記NMOSソースは、互いに結合され、前記PMOSトランジスタの前記PMOSソースは、互いに結合され、前記PMOSトランジスタの前記PMOSゲートおよび前記NMOSトランジスタの前記NMOSゲートは、互いに結合される、
C21に記載の方法。
[C31]
p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスの動作の方法であって、
長さ方向で延在し、相互接続レベル上の前記PMOSドレインと相互接続する第1の相互接続部を通じて第1の電流を流すことと、
前記長さ方向で延在し、前記相互接続レベル上の前記NMOSドレインと相互接続する第2の相互接続部を通じて第2の電流を流すことと、
少なくとも1つのさらなる相互接続レベル上の、前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを相互接続する相互接続部のセットを通じて第3の電流を流すことと、
前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされ、前記相互接続レベル上の前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを相互接続する第3の相互接続部を通じて第4の電流を流すことと、
前記相互接続レベル上の前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを相互接続し、前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされる第4の相互接続部を通じて第5の電流を流すこと、前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部とは、前記相互接続部のセットの両側にある、と
を備え、
前記CMOSデバイスが低入力を受け取ると、前記第1の電流は、前記第1の相互接続部を通じて前記相互接続部のセットの第1のサブセットへ流れ、前記第2の電流は、前記第2の相互接続部を通じて前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部から前記相互接続部のセットの第2のサブセットへ流れ、前記第3の電流は、前記相互接続部のセットを通じて前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部から流れ、前記第4の電流は、前記第3の相互接続部を通じて前記第1の相互接続部から前記第2の相互接続部へ流れ、前記第5の電流は、前記第4の相互接続部を通じて前記第1の相互接続部から前記第2の相互接続部へ流れ、
前記CMOSデバイスが高入力を受け取ると、前記第1の電流は、前記第1の相互接続部を通じて前記相互接続部のセットの前記第1のサブセットから前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部へ流れ、前記第2の電流は、前記第2の相互接続部を通じて前記相互接続部のセットの前記第2のサブセットから流れ、前記第3の電流は、前記相互接続部のセットから前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部へ流れ、前記第4の電流は、前記第3の相互接続部を通じて前記第1の相互接続部から前記第2の相互接続部へ流れ、前記第5の電流は、前記第4の相互接続部を通じて前記第1の相互接続部から前記第2の相互接続部へ流れる、
方法。
[C32]
前記少なくともさらなる相互接続レベルは、第2の相互接続レベルと第3の相互接続レベルとを備え、前記相互接続部のセットは、
前記第2の相互接続レベル上の、前記第1の相互接続部に結合される第5の相互接続部と、
前記第2の相互接続レベル上の、前記第2の相互接続部に結合される第6の相互接続部と、
前記第3の相互接続レベル上の、前記第5の相互接続部と前記第6の相互接続部とに互いに結合される第7の相互接続部と
を備える、C31に記載の方法。
[C33]
前記第7の相互接続部は、前記デバイスの出力である、
C32に記載の方法。
[C34]
p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスであって、
相互接続レベル上の、前記PMOSドレインの第1のサブセットと互いに結合する第1の相互接続部と、
前記相互接続レベル上の、前記PMOSドレインの第2のサブセットと互いに結合する第2の相互接続部、前記PMOSドレインの前記第2のサブセットは、前記PMOSドレインの前記第1のサブセットと異なり、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部は、前記相互接続レベル上で分離される、と、
前記相互接続レベル上の、前記NMOSドレインの第1のサブセットと互いに結合する第3の相互接続部と、
前記相互接続レベル上の、前記NMOSドレインの第2のサブセットと互いに結合する第4の相互接続部、前記NMOSドレインの前記第2のサブセットは、前記NMOSドレインの前記第1のサブセットと異なり、前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部は、前記相互接続レベル上で分離され、前記第1の相互接続部、前記第2の相互接続部、前記第3の相互接続部、および前記第4の相互接続部は、少なくとも1つのさらなる相互接続レベルを通じて互いに接続される、と、
第2の相互接続レベル上の第5の相互接続部、前記第5の相互接続部は、前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部と互いに結合する、と、
前記第2の相互接続レベル上の第6の相互接続部、前記第6の相互接続部は、前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部と互いに結合する、と、
第3の相互接続レベル上の第7の相互接続部、前記第7の相互接続部は、前記第5の相互接続部と前記第6の相互接続部と互いに結合する、と、
前記相互接続レベル上の、前記第1の相互接続部と前記第3の相互接続部と互いに結合する第8の相互接続部と、
前記相互接続レベル上の、前記第2の相互接続部と前記第4の相互接続部と互いに結合する第9の相互接続部と
を備える、CMOSデバイス。
[C35]
前記第1の相互接続部、前記第2の相互接続部、前記第3の相互接続部、および前記第4の相互接続部は、各々、長さが2マイクロメートルよりも短い、
C34に記載のデバイス。
[C36]
前記第5の相互接続部および前記第6の相互接続部は、各々、長さが2マイクロメートルよりも短い、
C34に記載のデバイス。
[C37]
前記デバイスの出力は、前記第7の相互接続部に接続される、
C34に記載のデバイス。
[C38]
p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスであって、
相互接続レベル上の、第1の相互接続部とPMOSドレインの第1のサブセットを相互接続するための手段と、
前記相互接続レベル上の、第2の相互接続部とPMOSドレインの第2のサブセットを相互接続するための手段、PMOSドレインの前記第2のサブセットは、前記相互接続レベル上の、PMOSドレインの前記第1のサブセットから分離される、と、
前記相互接続レベル上の、第3の相互接続部とNMOSドレインの第1のサブセットを相互接続するための手段と、
前記相互接続レベル上の、第4の相互接続部とNMOSドレインの第2のサブセットを相互接続するための手段、前記NMOSドレインの第2のサブセットは、前記相互接続レベル上で前記NMOSドレインの第1のサブセットから分離される、と、
第2の相互接続レベル上の、第5の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続するための手段と、
前記第2の相互接続レベル上の、第6の相互接続部と、前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部を相互接続するための手段と、
第3の相互接続レベル上の、第7の相互接続部と、前記第5の相互接続部および前記第6の相互接続部を相互接続するための手段と、
前記相互接続レベル上の、第8の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第3の相互接続部を相互接続するための手段と、
前記相互接続レベル上の、第9の相互接続部と前記第2の相互接続部および前記第4の相互接続部を相互接続するための手段と
を備える、CMOSデバイス。
[C39]
前記第1の相互接続部、前記第2の相互接続部、前記第3の相互接続部、および前記第4の相互接続部は、各々、長さが2マイクロメートルよりも短い、
C38に記載のデバイス。
[C40]
前記第5の相互接続部および前記第6の相互接続部は、各々、長さが2マイクロメートルよりも短い、
C38に記載のデバイス。
[C41]
前記デバイスの出力は、前記第7の相互接続部に接続される、
C38に記載のデバイス。
[C42]
p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスをレイアウトする方法であって、
相互接続レベル上の、第1の相互接続部とPMOSドレインの第1のサブセットを相互接続することと、
前記相互接続レベル上の、第2の相互接続部とPMOSドレインの第2のサブセットを相互接続すること、PMOSドレインの前記第2のサブセットは、前記相互接続レベル上の、PMOSドレインの前記第1のサブセットから分離される、と、
前記相互接続レベル上の、第3の相互接続部とNMOSドレインの第1のサブセットを相互接続することと、
前記相互接続レベル上の、第4の相互接続部とNMOSドレインの第2のサブセットを相互接続すること、前記NMOSドレインの第2のサブセットは、前記相互接続レベル上で前記NMOSドレインの第1のサブセットから分離される、と、
第2の相互接続レベル上の、第5の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続することと、
前記第2の相互接続レベル上の、第6の相互接続部と前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部を相互接続することと、
第3の相互接続レベル上の、第7の相互接続部と、前記第5の相互接続部および前記第6の相互接続部を相互接続することと、
前記相互接続レベル上の、第8の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第3の相互接続部を相互接続することと、
前記相互接続レベル上の、第9の相互接続部と、前記第2の相互接続部および前記第4の相互接続部を相互接続することと
を備える、方法。
[C43]
前記第1の相互接続部、前記第2の相互接続部、前記第3の相互接続部、および前記第4の相互接続部は、各々、長さが2マイクロメートルよりも短い、
C42に記載の方法。
[C44]
前記第5の相互接続部および前記第6の相互接続部は、各々、長さが2マイクロメートルよりも短い、
C42に記載の方法。
[C45]
前記デバイスの出力は、前記第7の相互接続部に接続される、
C42に記載の方法。
Claims (15)
- p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスであって、
第1の複数の前記PMOSドレインを互いに接続するために、相互接続レベルにある、長さ方向で延在する第1の相互接続部と、
第1の複数の前記NMOSドレインを互いに接続するために、前記相互接続レベルにある、前記長さ方向で延在する第2の相互接続部と、
少なくとも1つのさらなる相互接続レベルにある、前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを互いに結合する相互接続部のセットと、
前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを互いに接続するために、前記相互接続レベルにある、前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットする第3の相互接続部と
を備える、CMOSデバイス。 - 前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを互いに接続するために、前記相互接続レベルにある、前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットする第4の相互接続部をさらに備え、前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部とは、前記相互接続部のセットの両側にある、
請求項1に記載のデバイス。 - 前記少なくとも1つのさらなる相互接続レベルは、第2の相互接続レベルと第3の相互接続レベルとを備え、前記相互接続部のセットは、
前記第2の相互接続レベルにある、前記第1の相互接続部に接続される第5の相互接続部と、
前記第2の相互接続レベルにある、前記第2の相互接続部に接続される第6の相互接続部と、
前記第3の相互接続レベルにある、前記第5の相互接続部と前記第6の相互接続部とを互いに結合する第7の相互接続部と
を備える、請求項2に記載のデバイス。 - 前記第7の相互接続部は、前記デバイスの出力である、
請求項3に記載のデバイス。 - 前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部とは、前記第7の相互接続部と平行であり、前記第7の相互接続部から距離d以上オフセットされる、
請求項3に記載のデバイス。 - 前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第3の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第3の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離に等しい、または、
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第4の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第4の相互接続部との間の前記第1の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離に等しい、または、
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第3の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第3の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離に等しい、または、
前記距離dは、前記PMOSトランジスタをターンオンし、前記NMOSトランジスタをターンオフすると、前記第4の相互接続部と前記第7の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第1の電流が、前記PMOSトランジスタをターンオフし、前記NMOSトランジスタをターンオンすると、前記第7の相互接続部と前記第4の相互接続部との間の前記第2の相互接続部中に流れる第2の電流に等しくなるような、距離に等しい、
請求項5に記載のデバイス。 - 前記CMOSデバイスは、インバータであり、前記PMOSトランジスタ各々は、PMOSゲートとPMOSソースとを有し、前記NMOSトランジスタ各々は、NMOSゲートとNMOSソースとを有し、前記NMOSトランジスタの前記NMOSソースは、互いに結合され、前記PMOSトランジスタの前記PMOSソースは、互いに結合され、前記PMOSトランジスタの前記PMOSゲートおよび前記NMOSトランジスタの前記NMOSゲートは、互いに結合される、
請求項1に記載のデバイス。 - p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスをレイアウトする方法であって、
長さ方向で延在する相互接続レベルにある、第1の相互接続部と第1の複数の前記PMOSドレインを相互接続することと、
前記長さ方向で延在する前記相互接続レベルにある、第2の相互接続部と第1の複数の前記NMOSドレインを相互接続することと、
少なくとも1つのさらなる相互接続レベルにある、相互接続部のセットを用いて、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続することと、
前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされる、前記相互接続レベルにある、第3の相互接続部を用いて、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続することと
を備える、方法。 - p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスの動作の方法であって、
長さ方向で延在し、相互接続レベルにある第1の複数の前記PMOSドレインと相互接続する第1の相互接続部を通じて第1の電流を流すことと、
前記長さ方向で延在し、前記相互接続レベルにある第1の複数の前記NMOSドレインと相互接続する第2の相互接続部を通じて第2の電流を流すことと、
少なくとも1つのさらなる相互接続レベルにある、前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを相互接続する相互接続部のセットを通じて第3の電流を流すことと、
前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされ、前記相互接続レベルにある前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを相互接続する第3の相互接続部を通じて第4の電流を流すことと、
前記相互接続レベルにある前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部とを相互接続し、前記長さ方向と垂直に延在し、前記相互接続部のセットからオフセットされる第4の相互接続部を通じて第5の電流を流すこと、前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部とは、前記相互接続部のセットの両側にある、と
を備え、
前記CMOSデバイスが低入力を受け取ると、前記第1の電流は、前記第1の相互接続部を通じて前記相互接続部のセットの第1のサブセットへ流れ、前記第2の電流は、前記第2の相互接続部を通じて前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部から前記相互接続部のセットの第2のサブセットへ流れ、前記第3の電流は、前記相互接続部のセットを通じて前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部から流れ、前記第4の電流は、前記第3の相互接続部を通じて前記第1の相互接続部から前記第2の相互接続部へ流れ、前記第5の電流は、前記第4の相互接続部を通じて前記第1の相互接続部から前記第2の相互接続部へ流れ、
前記CMOSデバイスが高入力を受け取ると、前記第1の電流は、前記第1の相互接続部を通じて前記相互接続部のセットの前記第1のサブセットから前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部へ流れ、前記第2の電流は、前記第2の相互接続部を通じて前記相互接続部のセットの前記第2のサブセットから流れ、前記第3の電流は、前記相互接続部のセットから前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部へ流れ、前記第4の電流は、前記第3の相互接続部を通じて前記第1の相互接続部から前記第2の相互接続部へ流れ、前記第5の電流は、前記第4の相互接続部を通じて前記第1の相互接続部から前記第2の相互接続部へ流れる、
方法。 - 前記少なくとも1つのさらなる相互接続レベルは、第2の相互接続レベルと第3の相互接続レベルとを備え、前記相互接続部のセットは、
前記第2の相互接続レベルにある、前記第1の相互接続部に結合される第5の相互接続部と、
前記第2の相互接続レベルにある、前記第2の相互接続部に結合される第6の相互接続部と、
前記第3の相互接続レベルにある、前記第5の相互接続部と前記第6の相互接続部とに互いに結合される第7の相互接続部と
を備える、請求項9に記載の方法。 - 前記第7の相互接続部は、前記デバイスの出力である、
請求項10に記載の方法。 - p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスであって、
第1の相互接続レベルにある、第1の複数の前記PMOSドレインと互いに接続する第1の相互接続部と、
前記第1の相互接続レベルにある、第2の複数の前記PMOSドレインと互いに接続する第2の相互接続部、前記第2の複数の前記PMOSドレインは、前記第1の複数の前記PMOSドレインと異なり、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部は、前記第1の相互接続レベル上で分離される、と、
前記第1の相互接続レベルにある、第1の複数の前記NMOSドレインと互いに接続する第3の相互接続部と、
前記第1の相互接続レベルにある、第2の複数の前記NMOSドレインと互いに接続する第4の相互接続部、前記第2の複数の前記NMOSドレインは、前記第1の複数の前記NMOSドレインと異なり、前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部は、前記第1の相互接続レベル上で分離され、前記第1の相互接続部、前記第2の相互接続部、前記第3の相互接続部、および前記第4の相互接続部は、少なくとも1つの他の相互接続レベルを通じて互いに結合される、と、
第2の相互接続レベルにある第5の相互接続部、前記第5の相互接続部は、前記第1の相互接続部と前記第2の相互接続部と互いに結合する、と、
前記第2の相互接続レベルにある第6の相互接続部、前記第6の相互接続部は、前記第3の相互接続部と前記第4の相互接続部と互いに結合する、と、
第3の相互接続レベルにある第7の相互接続部、前記第7の相互接続部は、前記第5の相互接続部と前記第6の相互接続部と互いに結合する、と、
前記第1の相互接続レベルにある、前記第1の相互接続部と前記第3の相互接続部と互いに接続する第8の相互接続部と、
前記第1の相互接続レベルにある、前記第2の相互接続部と前記第4の相互接続部と互いに接続する第9の相互接続部と
を備える、CMOSデバイス。 - 前記第1の相互接続部、前記第2の相互接続部、前記第3の相互接続部、および前記第4の相互接続部は、各々、長さが2マイクロメートルよりも短い、
請求項12に記載のデバイス。 - 前記第5の相互接続部および前記第6の相互接続部は、各々、長さが2マイクロメートルよりも短い、および/または、
前記デバイスの出力は、前記第7の相互接続部に接続される、
請求項12に記載のデバイス。 - p型金属酸化物半導体(PMOS)ドレインを各々有する複数のPMOSトランジスタと、n型金属酸化物半導体(NMOS)ドレインを各々有する複数のNMOSトランジスタとを含む相補型金属酸化物半導体(CMOS)デバイスをレイアウトする方法であって、
第1の相互接続レベルにある、第1の相互接続部と第1の複数のPMOSドレインを相互接続することと、
前記第1の相互接続レベルにある、第2の相互接続部と第2の複数のPMOSドレインを相互接続すること、前記第2の複数のPMOSドレインは、前記第1の相互接続レベルにある、前記第1の複数のPMOSドレインから分離される、と、
前記第1の相互接続レベルにある、第3の相互接続部と第1の複数のNMOSドレインを相互接続することと、
前記第1の相互接続レベルにある、第4の相互接続部と第2の複数のNMOSドレインを相互接続すること、前記第2の複数のNMOSドレインは、前記第1の相互接続レベル上で前記第1の複数のNMOSドレインから分離される、と、
第2の相互接続レベルにある、第5の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第2の相互接続部を相互接続することと、
前記第2の相互接続レベルにある、第6の相互接続部と前記第3の相互接続部および前記第4の相互接続部を相互接続することと、
第3の相互接続レベルにある、第7の相互接続部と、前記第5の相互接続部および前記第6の相互接続部を相互接続することと、
前記第1の相互接続レベルにある、第8の相互接続部と、前記第1の相互接続部および前記第3の相互接続部を相互接続することと、
前記第1の相互接続レベルにある、第9の相互接続部と、前記第2の相互接続部および前記第4の相互接続部を相互接続することと
を備える、方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US13/975,185 US9972624B2 (en) | 2013-08-23 | 2013-08-23 | Layout construction for addressing electromigration |
US13/975,185 | 2013-08-23 | ||
PCT/US2014/052015 WO2015027022A1 (en) | 2013-08-23 | 2014-08-21 | Layout construction for addressing electromigration |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016531446A JP2016531446A (ja) | 2016-10-06 |
JP2016531446A5 JP2016531446A5 (ja) | 2017-03-02 |
JP6258499B2 true JP6258499B2 (ja) | 2018-01-10 |
Family
ID=51454984
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2016536438A Active JP6258499B2 (ja) | 2013-08-23 | 2014-08-21 | エレクトロマイグレーションに対処するためのレイアウト構造 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
US (3) | US9972624B2 (ja) |
EP (1) | EP3036767B1 (ja) |
JP (1) | JP6258499B2 (ja) |
CN (2) | CN105493283B (ja) |
WO (1) | WO2015027022A1 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8779592B2 (en) * | 2012-05-01 | 2014-07-15 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Via-free interconnect structure with self-aligned metal line interconnections |
US9972624B2 (en) | 2013-08-23 | 2018-05-15 | Qualcomm Incorporated | Layout construction for addressing electromigration |
US9786663B2 (en) | 2013-08-23 | 2017-10-10 | Qualcomm Incorporated | Layout construction for addressing electromigration |
US9640480B2 (en) | 2015-05-27 | 2017-05-02 | Qualcomm Incorporated | Cross-couple in multi-height sequential cells for uni-directional M1 |
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2013
- 2013-08-23 US US13/975,185 patent/US9972624B2/en active Active
-
2014
- 2014-08-21 JP JP2016536438A patent/JP6258499B2/ja active Active
- 2014-08-21 CN CN201480046244.1A patent/CN105493283B/zh active Active
- 2014-08-21 CN CN201811195340.9A patent/CN109378311B/zh active Active
- 2014-08-21 EP EP14758471.8A patent/EP3036767B1/en active Active
- 2014-08-21 WO PCT/US2014/052015 patent/WO2015027022A1/en active Application Filing
-
2018
- 2018-03-21 US US15/927,539 patent/US10600785B2/en active Active
-
2020
- 2020-01-30 US US16/777,639 patent/US11508725B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN109378311B (zh) | 2023-06-16 |
US20200168604A1 (en) | 2020-05-28 |
EP3036767B1 (en) | 2017-02-01 |
US11508725B2 (en) | 2022-11-22 |
US20180211957A1 (en) | 2018-07-26 |
EP3036767A1 (en) | 2016-06-29 |
JP2016531446A (ja) | 2016-10-06 |
CN105493283B (zh) | 2018-09-18 |
WO2015027022A1 (en) | 2015-02-26 |
US20150054568A1 (en) | 2015-02-26 |
CN105493283A (zh) | 2016-04-13 |
US9972624B2 (en) | 2018-05-15 |
CN109378311A (zh) | 2019-02-22 |
US10600785B2 (en) | 2020-03-24 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170126 |
|
A621 | Written request for application examination |
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|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
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|
A975 | Report on accelerated examination |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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A521 | Request for written amendment filed |
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|
A131 | Notification of reasons for refusal |
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|
A521 | Request for written amendment filed |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171206 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |