JP6230954B2 - エッチング方法 - Google Patents
エッチング方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6230954B2 JP6230954B2 JP2014097710A JP2014097710A JP6230954B2 JP 6230954 B2 JP6230954 B2 JP 6230954B2 JP 2014097710 A JP2014097710 A JP 2014097710A JP 2014097710 A JP2014097710 A JP 2014097710A JP 6230954 B2 JP6230954 B2 JP 6230954B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- region
- gas
- etching
- plasma
- fluorocarbon
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 191
- 238000005530 etching Methods 0.000 title claims description 80
- 239000007789 gas Substances 0.000 claims description 184
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 133
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 34
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 29
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 21
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 claims description 20
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 claims description 14
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 8
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 8
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 8
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 7
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 claims description 5
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 claims description 5
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 claims description 5
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 150000004767 nitrides Chemical group 0.000 claims description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 107
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 14
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 14
- 239000003507 refrigerant Substances 0.000 description 11
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 10
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 6
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 4
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 3
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 3
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000004075 alteration Effects 0.000 description 2
- 229940070337 ammonium silicofluoride Drugs 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 2
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 238000005979 thermal decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VRAIHTAYLFXSJJ-UHFFFAOYSA-N alumane Chemical compound [AlH3].[AlH3] VRAIHTAYLFXSJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000002826 coolant Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 1
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 1
- 238000009616 inductively coupled plasma Methods 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/32532—Electrodes
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/70—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components formed in or on a common substrate or of parts thereof; Manufacture of integrated circuit devices or of parts thereof
- H01L21/71—Manufacture of specific parts of devices defined in group H01L21/70
- H01L21/768—Applying interconnections to be used for carrying current between separate components within a device comprising conductors and dielectrics
- H01L21/76897—Formation of self-aligned vias or contact plugs, i.e. involving a lithographically uncritical step
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/32—Gas-filled discharge tubes
- H01J37/32431—Constructional details of the reactor
- H01J37/3244—Gas supply means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
- H01L21/3105—After-treatment
- H01L21/311—Etching the insulating layers by chemical or physical means
- H01L21/31105—Etching inorganic layers
- H01L21/31111—Etching inorganic layers by chemical means
- H01L21/31116—Etching inorganic layers by chemical means by dry-etching
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J2237/00—Discharge tubes exposing object to beam, e.g. for analysis treatment, etching, imaging
- H01J2237/32—Processing objects by plasma generation
- H01J2237/33—Processing objects by plasma generation characterised by the type of processing
- H01J2237/334—Etching
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
図1は、第1実施形態に係るエッチング方法を示す流れ図である。図1に示す方法MT1は、酸化シリコンから構成された第1領域を選択的にエッチングする方法である。この方法MT1は、一例においては、図2に示す被処理体に自己整合的にホールを形成するために利用することができる。
次に、第2実施形態に係るエッチング方法について説明する。図8は、第2実施形態に係るエッチング方法を示す流れ図である。図8に示す方法MT2は、酸化シリコンから構成された第1領域を選択的にエッチングする方法である。この方法MT2は、一例においては、図2に示す上述の被処理体に自己整合的にホールを形成するために利用することができる。また、方法MT2は、上述したプラズマ処理装置10を用いて実施することができる。以下では、第1実施形態との相違点を中心に説明し、重複する説明は省略する。
・工程ST2
処理容器内の圧力:500mTorr
NF3ガス流量:120sccm
H2ガス流量:300sccm
N2ガス流量:300sccm
Arガス流量:1000sccm
第1の高周波電源62の高周波電力:1000W
第2の高周波電源64の高周波バイアス電力:0W
ウエハの温度:0℃
処理時間:45秒
・工程ST3
処理容器内の圧力:50mTorr
N2ガス流量:400sccm
第1の高周波電源62の高周波電力:300W
第2の高周波電源64の高周波バイアス電力:0W
ウエハの温度:0℃
処理時間:30秒
・工程ST2
処理容器内の圧力:500mTorr
NF3ガス流量:120sccm
H2ガス流量:300sccm
N2ガス流量:300sccm
Arガス流量:1000sccm
第1の高周波電源62の高周波電力:1000W
第2の高周波電源64の高周波バイアス電力:0W
ウエハの温度:0℃
処理時間:45秒
・工程ST3
処理容器内の圧力:50mTorr
Arガス流量:400sccm
第1の高周波電源62の高周波電力:300W
第2の高周波電源64の高周波バイアス電力:0W
ウエハの温度:0℃
処理時間:30秒
・工程ST2
処理容器内の圧力:500mTorr
NF3ガス流量:120sccm
H2ガス流量:300sccm
N2ガス流量:300sccm
Arガス流量:1000sccm
第1の高周波電源62の高周波電力:1000W
第2の高周波電源64の高周波バイアス電力:0W
ウエハの温度:0℃
処理時間:45秒
・加熱処理
処理容器内の圧力:5Torr
ウエハの温度:180℃
処理時間:180秒
Claims (13)
- プラズマ処理装置の処理容器内において、酸化シリコンから構成された酸化領域を有する被処理体から該酸化領域を選択的にエッチングする方法であって、
前記処理容器内において、水素、窒素、及びフッ素を含有するガスのプラズマを生成し、前記酸化領域を変質させて、変質領域を形成する工程と、
前記変質領域を形成する工程の後、前記処理容器内において二次電子を前記被処理体に照射することによって前記変質領域を除去する工程であり、前記処理容器内に正イオンを有するプラズマを生成し、且つ、前記プラズマ処理装置の上部電極に負の直流電圧を印加することで、前記正イオンを該上部電極に衝突させ、該上部電極から前記二次電子を放出させる、該工程と、
を含む、方法。 - 前記変質領域を形成する工程においては、H2、N2、及びNF3を含有するガス、或いは、NH3及びNF3を含有するガスのプラズマを生成する、請求項1に記載の方法。
- 前記変質領域を除去する工程においては、前記処理容器内において不活性ガスのプラズマを生成する、請求項1又は2に記載の方法。
- 前記変質領域を形成する工程及び前記変質領域を除去する工程は複数回繰り返される、請求項1〜3の何れか一項に記載の方法。
- 前記被処理体は窒化シリコンから構成された窒化領域を更に有し、
前記変質領域を除去する工程の後に、
前記窒化領域上に、前記酸化領域上に形成される保護膜よりも厚い保護膜を形成する工程であり、前記被処理体をフルオロカーボンガスのプラズマに晒す、該工程と、
前記酸化領域をエッチングする工程であり、フルオロカーボンガスのプラズマに前記被処理体を晒す、該工程と、
を更に含み、
前記保護膜を形成する工程において前記被処理体を載置する載置台に供給される高周波バイアス電力が、前記酸化領域をエッチングする工程において前記載置台に供給される高周波バイアス電力よりも小さく、
前記保護膜を形成する工程において、前記被処理体の温度が60℃以上250℃以下の温度に設定される、請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。 - 前記保護膜を形成する工程では、前記載置台に高周波バイアス電力が供給されない、請求項5に記載の方法。
- 前記窒化領域は前記酸化領域内に埋め込まれており、
前記保護膜を形成する工程及び前記酸化領域をエッチングする工程は、前記変質領域を形成する工程及び前記変質領域を除去する工程により前記窒化領域が露出した後に行われる、請求項5又は6に記載の方法。 - 前記保護膜を形成する工程においては、前記フルオロカーボンガスとして、C4F6、C4F8、及びC6F6のうち少なくとも一種を含有するガスが用いられる、請求項5〜7の何れか一項に記載の方法。
- 前記保護膜を形成する工程及び前記酸化領域をエッチングする工程が交互に繰り返される、請求項5〜8の何れか一項に記載の方法。
- 前記変質領域を除去する工程の後に、
前記被処理体をフルオロカーボンガスを含む処理ガスのプラズマに晒す工程であり、前記酸化領域をエッチングし、且つ該酸化領域上にフルオロカーボンを含む堆積物を形成する、該工程と、
前記堆積物に含まれるフルオロカーボンのラジカルにより前記酸化領域をエッチングする工程と、
を更に含み、
前記被処理体をフルオロカーボンガスのプラズマに晒す工程と、前記フルオロカーボンのラジカルにより前記酸化領域をエッチングする工程とが、交互に繰り返される、
請求項1に記載の方法。 - 前記フルオロカーボンのラジカルにより前記酸化領域をエッチングする工程では、希ガスのプラズマに前記被処理体が晒される、請求項10に記載の方法。
- 前記フルオロカーボンのラジカルにより前記酸化領域をエッチングする工程では、フルオロカーボンガスが供給されない、請求項11に記載の方法。
- 前記被処理体は、窒化シリコンから構成された窒化領域を更に有し、該窒化領域は前記酸化領域内に埋め込まれており、
前記被処理体をフルオロカーボンガスを含む処理ガスのプラズマに晒す工程及び前記フルオロカーボンのラジカルにより前記酸化領域をエッチングする工程は、前記変質領域を形成する工程及び前記変質領域を除去する工程により前記窒化領域が露出した後に行われる、請求項9〜11の何れか一項に記載の方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014097710A JP6230954B2 (ja) | 2014-05-09 | 2014-05-09 | エッチング方法 |
KR1020150063089A KR102364322B1 (ko) | 2014-05-09 | 2015-05-06 | 에칭 방법 |
US14/705,462 US9443701B2 (en) | 2014-05-09 | 2015-05-06 | Etching method |
TW104114527A TWI657499B (zh) | 2014-05-09 | 2015-05-07 | 蝕刻方法 |
EP15166926.4A EP2942806A1 (en) | 2014-05-09 | 2015-05-08 | Etching method |
CN201510232383.XA CN105097497B (zh) | 2014-05-09 | 2015-05-08 | 蚀刻方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014097710A JP6230954B2 (ja) | 2014-05-09 | 2014-05-09 | エッチング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015216208A JP2015216208A (ja) | 2015-12-03 |
JP6230954B2 true JP6230954B2 (ja) | 2017-11-15 |
Family
ID=53188871
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014097710A Active JP6230954B2 (ja) | 2014-05-09 | 2014-05-09 | エッチング方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9443701B2 (ja) |
EP (1) | EP2942806A1 (ja) |
JP (1) | JP6230954B2 (ja) |
KR (1) | KR102364322B1 (ja) |
CN (1) | CN105097497B (ja) |
TW (1) | TWI657499B (ja) |
Families Citing this family (23)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6235981B2 (ja) * | 2014-07-01 | 2017-11-22 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体を処理する方法 |
CN105810579B (zh) * | 2015-01-16 | 2019-12-06 | 东京毅力科创株式会社 | 蚀刻方法 |
JP2016157793A (ja) * | 2015-02-24 | 2016-09-01 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
JP6438831B2 (ja) * | 2015-04-20 | 2018-12-19 | 東京エレクトロン株式会社 | 有機膜をエッチングする方法 |
US9620376B2 (en) * | 2015-08-19 | 2017-04-11 | Lam Research Corporation | Self limiting lateral atomic layer etch |
JP6606464B2 (ja) * | 2016-05-20 | 2019-11-13 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
JP6689674B2 (ja) | 2016-05-30 | 2020-04-28 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
JP6759004B2 (ja) * | 2016-08-29 | 2020-09-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体を処理する方法 |
JP6836953B2 (ja) * | 2016-12-13 | 2021-03-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 窒化シリコンから形成された第1領域を酸化シリコンから形成された第2領域に対して選択的にエッチングする方法 |
JP6820206B2 (ja) * | 2017-01-24 | 2021-01-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 被加工物を処理する方法 |
JP6832171B2 (ja) * | 2017-01-24 | 2021-02-24 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理装置のチャンバ本体の内部のクリーニングを含むプラズマ処理方法 |
US10483118B2 (en) * | 2017-05-11 | 2019-11-19 | Tokyo Electron Limited | Etching method |
JP6877316B2 (ja) * | 2017-11-08 | 2021-05-26 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法 |
JP6920245B2 (ja) * | 2018-04-23 | 2021-08-18 | 東京エレクトロン株式会社 | 温度制御方法 |
US10770305B2 (en) * | 2018-05-11 | 2020-09-08 | Tokyo Electron Limited | Method of atomic layer etching of oxide |
EP3821457A4 (en) * | 2018-07-09 | 2022-04-13 | Lam Research Corporation | ETCHING ATOMIC LAYER ETCHING USING ELECTRON EXCITATION |
US10720337B2 (en) * | 2018-07-20 | 2020-07-21 | Asm Ip Holding B.V. | Pre-cleaning for etching of dielectric materials |
US10720334B2 (en) * | 2018-07-20 | 2020-07-21 | Asm Ip Holding B.V. | Selective cyclic dry etching process of dielectric materials using plasma modification |
JP7203531B2 (ja) * | 2018-08-08 | 2023-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 |
JP7372073B2 (ja) * | 2019-08-02 | 2023-10-31 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法、基板処理装置及びクリーニング装置 |
JP7348019B2 (ja) * | 2019-10-09 | 2023-09-20 | 株式会社アルバック | エッチング方法、および、エッチング装置 |
CN110867365B (zh) * | 2019-11-04 | 2022-05-27 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 等离子体系统 |
KR102489934B1 (ko) * | 2021-02-17 | 2023-01-18 | 대전대학교 산학협력단 | 식각 처리 장치 및 식각 처리 방법 |
Family Cites Families (24)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3084497B2 (ja) * | 1992-03-25 | 2000-09-04 | 東京エレクトロン株式会社 | SiO2膜のエッチング方法 |
JP2804700B2 (ja) * | 1993-03-31 | 1998-09-30 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造装置及び半導体装置の製造方法 |
US5505816A (en) | 1993-12-16 | 1996-04-09 | International Business Machines Corporation | Etching of silicon dioxide selectively to silicon nitride and polysilicon |
KR100295518B1 (ko) * | 1997-02-25 | 2001-11-30 | 아끼구사 나오유끼 | 질화실리콘층의에칭방법및반도체장치의제조방법 |
US6706334B1 (en) * | 1997-06-04 | 2004-03-16 | Tokyo Electron Limited | Processing method and apparatus for removing oxide film |
JP4057198B2 (ja) * | 1999-08-13 | 2008-03-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及び処理方法 |
JP3362723B2 (ja) * | 2000-01-26 | 2003-01-07 | 日本電気株式会社 | 電界効果型トランジスタの製造方法 |
US7877161B2 (en) | 2003-03-17 | 2011-01-25 | Tokyo Electron Limited | Method and system for performing a chemical oxide removal process |
US7780793B2 (en) * | 2004-02-26 | 2010-08-24 | Applied Materials, Inc. | Passivation layer formation by plasma clean process to reduce native oxide growth |
US7988816B2 (en) * | 2004-06-21 | 2011-08-02 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus and method |
US7416989B1 (en) * | 2006-06-30 | 2008-08-26 | Novellus Systems, Inc. | Adsorption based material removal process |
JP2008078515A (ja) * | 2006-09-25 | 2008-04-03 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理方法 |
JP5260861B2 (ja) * | 2006-11-29 | 2013-08-14 | 東京エレクトロン株式会社 | キャパシタ電極の製造方法と製造システムおよび記録媒体 |
JP5352103B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2013-11-27 | 東京エレクトロン株式会社 | 熱処理装置および処理システム |
JP5578782B2 (ja) * | 2008-03-31 | 2014-08-27 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理方法及びコンピュータ読み取り可能な記憶媒体 |
US8263499B2 (en) * | 2008-03-31 | 2012-09-11 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing method and computer readable storage medium |
US8058179B1 (en) * | 2008-12-23 | 2011-11-15 | Novellus Systems, Inc. | Atomic layer removal process with higher etch amount |
US8383001B2 (en) * | 2009-02-20 | 2013-02-26 | Tokyo Electron Limited | Plasma etching method, plasma etching apparatus and storage medium |
US8211808B2 (en) | 2009-08-31 | 2012-07-03 | Applied Materials, Inc. | Silicon-selective dry etch for carbon-containing films |
US20110139748A1 (en) * | 2009-12-15 | 2011-06-16 | University Of Houston | Atomic layer etching with pulsed plasmas |
JP4733214B1 (ja) * | 2010-04-02 | 2011-07-27 | 東京エレクトロン株式会社 | マスクパターンの形成方法及び半導体装置の製造方法 |
US9666414B2 (en) * | 2011-10-27 | 2017-05-30 | Applied Materials, Inc. | Process chamber for etching low k and other dielectric films |
JP6059165B2 (ja) * | 2014-02-19 | 2017-01-11 | 東京エレクトロン株式会社 | エッチング方法、及びプラズマ処理装置 |
JP6320248B2 (ja) * | 2014-03-04 | 2018-05-09 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマエッチング方法 |
-
2014
- 2014-05-09 JP JP2014097710A patent/JP6230954B2/ja active Active
-
2015
- 2015-05-06 KR KR1020150063089A patent/KR102364322B1/ko active IP Right Grant
- 2015-05-06 US US14/705,462 patent/US9443701B2/en active Active
- 2015-05-07 TW TW104114527A patent/TWI657499B/zh active
- 2015-05-08 CN CN201510232383.XA patent/CN105097497B/zh active Active
- 2015-05-08 EP EP15166926.4A patent/EP2942806A1/en not_active Withdrawn
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9443701B2 (en) | 2016-09-13 |
KR20150128582A (ko) | 2015-11-18 |
JP2015216208A (ja) | 2015-12-03 |
TW201606873A (zh) | 2016-02-16 |
CN105097497B (zh) | 2018-05-08 |
CN105097497A (zh) | 2015-11-25 |
KR102364322B1 (ko) | 2022-02-16 |
TWI657499B (zh) | 2019-04-21 |
US20150325415A1 (en) | 2015-11-12 |
EP2942806A1 (en) | 2015-11-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6230954B2 (ja) | エッチング方法 | |
JP6235981B2 (ja) | 被処理体を処理する方法 | |
JP6396699B2 (ja) | エッチング方法 | |
WO2017208807A1 (ja) | エッチング方法 | |
US10319613B2 (en) | Method of selectively etching first region made of silicon nitride against second region made of silicon oxide | |
JP6366454B2 (ja) | 被処理体を処理する方法 | |
JP6382055B2 (ja) | 被処理体を処理する方法 | |
US20220051904A1 (en) | Etching method | |
JP6438831B2 (ja) | 有機膜をエッチングする方法 | |
JP2016136606A (ja) | エッチング方法 | |
WO2017199946A1 (ja) | エッチング方法 | |
JP2017011167A (ja) | エッチング方法 | |
JP6504827B2 (ja) | エッチング方法 | |
JP7071850B2 (ja) | エッチング方法 | |
CN109075068B (zh) | 蚀刻方法 | |
EP3046137A1 (en) | Etching method |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20170118 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170927 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171003 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171018 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6230954 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |