JP6214890B2 - パワーインダクタ及びその製造方法 - Google Patents

パワーインダクタ及びその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6214890B2
JP6214890B2 JP2013052959A JP2013052959A JP6214890B2 JP 6214890 B2 JP6214890 B2 JP 6214890B2 JP 2013052959 A JP2013052959 A JP 2013052959A JP 2013052959 A JP2013052959 A JP 2013052959A JP 6214890 B2 JP6214890 B2 JP 6214890B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal
polymer
composite layer
power inductor
polymer composite
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2013052959A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014130988A (ja
Inventor
パク・ムン・ス
イ・ファン・スー
チャ・ヘ・ヨン
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Original Assignee
Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Samsung Electro Mechanics Co Ltd filed Critical Samsung Electro Mechanics Co Ltd
Publication of JP2014130988A publication Critical patent/JP2014130988A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6214890B2 publication Critical patent/JP6214890B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F27/00Details of transformers or inductances, in general
    • H01F27/24Magnetic cores
    • H01F27/255Magnetic cores made from particles
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F1/00Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties
    • H01F1/01Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials
    • H01F1/03Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity
    • H01F1/12Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials
    • H01F1/14Magnets or magnetic bodies characterised by the magnetic materials therefor; Selection of materials for their magnetic properties of inorganic materials characterised by their coercivity of soft-magnetic materials metals or alloys
    • H01F1/147Alloys characterised by their composition
    • H01F1/14766Fe-Si based alloys
    • H01F1/14791Fe-Si-Al based alloys, e.g. Sendust
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/0006Printed inductances
    • H01F17/0013Printed inductances with stacked layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F41/00Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
    • H01F41/02Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets
    • H01F41/04Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for manufacturing cores, coils, or magnets for manufacturing coils
    • H01F41/041Printed circuit coils
    • H01F41/046Printed circuit coils structurally combined with ferromagnetic material
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/04Fixed inductances of the signal type  with magnetic core
    • H01F2017/048Fixed inductances of the signal type  with magnetic core with encapsulating core, e.g. made of resin and magnetic powder
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T29/00Metal working
    • Y10T29/49Method of mechanical manufacture
    • Y10T29/49002Electrical device making
    • Y10T29/4902Electromagnet, transformer or inductor

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Coils Or Transformers For Communication (AREA)
  • Soft Magnetic Materials (AREA)
  • Laminated Bodies (AREA)
  • Manufacturing Cores, Coils, And Magnets (AREA)

Description

本発明は、インダクタンス(Inductance)特性に優れ、信頼性が向上したパワーインダクタ及びその製造方法に関する。
セラミック材料を使用する電子部品にはキャパシタ、インダクタ、圧電素子、バリスタ及びサーミスタなどがある。
このようなセラミック電子部品のうちインダクタは、抵抗及びキャパシタと共に電子回路を成す重要な受動素子の一つであり、主にノイズ(noise)を除去したり、LC共振回路を成す部品として用いられる。
このようなインダクタは、フェライト(ferrite)コアにコイルを巻いたり、印刷して両端に電極を形成して製造するか、磁性体または誘電体に内部電極を印刷した後積層して製造することができる。
このようなインダクタは、その構造によって積層型、巻線型及び薄膜型などに分類することができ、それぞれのインダクタは適用される範囲だけでなく、その製造方法にも差がある。
中でも、巻線型インダクタは、例えば、フェライト(ferrite)コアにコイルを巻いて形成することができ、高容量のインダクタンスを得るために巻線数を増加させると、コイル間に浮遊容量、即ち、導線間の静電容量が発生して製品の高周波特性が劣化するという問題点があった。
そして、パワーインダクタは、多数のフェライトまたは低誘電率の誘電体からなるセラミックシートが積層された積層体の形態に製造されることができる。
このとき、上記セラミックシート上にはコイル状の金属パターンが形成されており、上記それぞれのセラミックシート上に形成されたコイル状の金属パターンは、それぞれのセラミックシートに形成された導電性ビアにより順に接続され、セラミックシートが積層される上下方向に沿って重畳する構造を成すことができる。
従来は、このようなパワーインダクタを構成するインダクタ本体は主にニッケル(Ni)−亜鉛(Zn)−銅(Cu)−鉄(Fe)の4元系で構成されたフェライト材料を使用して構成した。
しかし、このようなフェライト材料は、飽和磁化値が金属材料より低いため、最近の電子製品が要求する高電流特性が具現できないという問題点が発生する可能性がある。
そこで、パワーインダクタを構成するインダクタ本体を金属成分を利用して構成すると、上述したインダクタ本体をフェライトで構成したものより、相対的に飽和磁化値を高めることができるが、この場合、高周波での渦電流損失及びヒステリシス損失が高くなり、材料の損失が酷くなるという問題点が発生することがあった。
従来では、このような材料の損失を減少させるために、金属粉末の間をポリマー樹脂で絶縁する構造を適用したが、上記ポリマー樹脂の含量が増加すると、金属の体積分率が低下して金属成分の利点である飽和磁化値を高める効果がうまく具現されないという問題点が発生することがあった。
一方、金属の体積分率を高める場合には、ポリマー樹脂の含量が減少する。この場合、インダクタの製造過程で用いられる強い酸または塩基溶液などがチップの内部に浸透してインダクタンス特性を減少させるという問題があり得る。
韓国公開特許第2007−0032259号公報
本発明は、インダクタンス(Inductance)特性に優れ、信頼性が向上したパワーインダクタ及びその製造方法に関する。
本発明の一実施形態は、コイルが形成された基板を含む磁性体本体と、上記基板の上面及び下面に形成された第1金属−ポリマー複合体層と、上記第1金属−ポリマー複合体層の上面及び下面に形成され、上記第1金属−ポリマー複合体層が含むポリマーの含量より多い含量のポリマーを含む第2金属−ポリマー複合体層とを含むパワーインダクタを提供する。
上記第1金属−ポリマー複合体層は、鉄−ニッケル(Fe−Ni)、鉄−ニッケル−ケイ素(Fe−Ni−Si)、鉄−アルミニウム−ケイ素(Fe−Al−Si)及び鉄−アルミニウム−クロム(Fe−Al−Cr)で構成された群から選択された一つ以上の金属を含んでもよい。
上記第2金属−ポリマー複合体層は、鉄−ニッケル(Fe−Ni)、鉄−ニッケル−ケイ素(Fe−Ni−Si)、鉄−アルミニウム−ケイ素(Fe−Al−Si)及び鉄−アルミニウム−クロム(Fe−Al−Cr)で構成された群から選択された一つ以上の金属を含んでもよい。
上記第1金属−ポリマー複合体層は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上のポリマーを含んでよい。
上記第2金属−ポリマー複合体層は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上のポリマーを含んでもよい。
上記第1金属−ポリマー複合体層は、上記金属100重量部に対して2.0〜5.0重量部のポリマーを含んでもよい。
上記第2金属−ポリマー複合体層は、上記金属100重量部に対して4.0〜10.0重量部のポリマーを含んでもよい。
上記基板と第1金属−ポリマー複合体層との間に絶縁層をさらに含んでもよい。
上記絶縁層は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上の物質を含んでもよい。
上記第1金属−ポリマー複合体層及び第2金属−ポリマー複合体層が含む金属の平均粒径は、1〜50μmであってもよい。
上記第1金属−ポリマー複合体層及び第2金属−ポリマー複合体層の厚さは、それぞれ上記磁性体本体の全体厚さに対して5〜30%であってもよい。
本発明の他の実施形態は、コイルが形成された基板を設ける段階と、金属粉末及びポリマー樹脂を含む材料からなる第1シートを複数個設ける段階と、金属粉末及びポリマー樹脂を含む材料からなり、上記第1シートよりポリマーの含量が多い第2シートを複数個設ける段階と、上記基板の上面及び下面に上記複数個の第1シートを積層して上記コイルを埋める段階と、上記第1シート上に上記第2シートを積層して磁性体本体を形成する段階と、を含むパワーインダクタの製造方法を提供する。
上記金属粉末は、鉄−ニッケル(Fe−Ni)、鉄−ニッケル−ケイ素(Fe−Ni−Si)、鉄−アルミニウム−ケイ素(Fe−Al−Si)及び鉄−アルミニウム−クロム(Fe−Al−Cr)で構成された群から選択された一つ以上であってもよい。
上記ポリマーは、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上であってもよい。
上記第1シートは、上記金属粉末100重量部に対してポリマー2.0〜5.0重量部を含んでもよい。
上記第2シートは、上記金属粉末100重量部に対してポリマー4.0〜10.0重量部を含んでもよい。
上記基板の上面及び下面に上記複数個の第1シートを積層する段階の前に、上記基板の上面及び下面に絶縁層を形成する段階をさらに含んでもよい。
上記絶縁層は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上の物質を含んでもよい。
上記金属粉末の平均粒径は、1〜50μmであってもよい。
上記磁性体本体を形成する段階の後に、上記磁性体本体の外側に外部電極を形成する段階をさらに含んでもよい。
本発明の一実施形態によると、磁性体本体を、ポリマー樹脂の含量が相対的に小さい第1金属−ポリマー複合体層及びポリマー樹脂の含量が相対的に大きい第2金属−ポリマー複合体層で構成するため、インダクタンス特性に優れた効果がある。
また、磁性体本体の外側部に形成される第2金属−ポリマー複合体層が含むポリマー樹脂の含量が相対的に大きいため、外部から酸または塩基が浸透しにくい。よって、信頼性に優れたインダクタを具現することができる。
本発明の一実施形態によるパワーインダクタの概略的な構造を示す斜視図である。 図1のA−A’切断面を示した概略断面図である。 ポリマー樹脂の含量に対するインダクタンスの特性変化を示すグラフである。 本発明の他の実施形態によるパワーインダクタの製造工程図である。 本発明の他の実施形態によるパワーインダクタの製造工程図である。 本発明の他の実施形態によるパワーインダクタの製造工程図である。 本発明の他の実施形態によるパワーインダクタの製造工程図である。
以下では、添付の図面を参照し、本発明の好ましい実施形態について説明する。しかし、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形されることができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されない。また、本発明の実施形態は、当該技術分野で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。図面における要素の形状及び大きさなどはより明確な説明のために誇張されることがある。
図1は本発明の一実施形態によるパワーインダクタの概略的な構造を示す斜視図であり、図2は図1のA−A’切断面を示した断面図であり、図3はポリマー樹脂の含量に対するインダクタンスの特性変化を示すグラフである。
図1〜図3を参照すると、本発明の一実施形態によるパワーインダクタ1は、コイル41、42が形成された基板30を含む磁性体本体10と、上記基板30の上面及び下面に形成された第1金属−ポリマー複合体層11と、上記第1金属−ポリマー複合体層11の上面及び下面に形成され、上記第1金属−ポリマー複合体層11が含むポリマーの含量より多い含量のポリマーを含む第2金属−ポリマー複合体層12と、を含んでもよい。
本発明の一実施形態によるパワーインダクタ1は、コイル41、42が形成された基板30を含む磁性体本体10を含んでもよい。
上記磁性体本体10は、必ずしもこれに制限されないが、例えば、六面体状であってもよい。
上記磁性体本体10の内部には、基板30及び上記基板30の両面にそれぞれ形成され、一端が第1及び第2外部電極21、22とそれぞれ電気的に接続されるコイル41、42が配置されてもよい。
上記基板30は、特に制限されないが、例えば、感光性ポリマーのような絶縁材料またはフェライトのような磁性材料などで製作されてもよい。
また、上記コイル41、42の間に感光性絶縁材料が充填されることができ、上記コイル41、42は導電性ビア(不図示)により互いに電気的に連結されることができる。
上記導電性ビアは、上記基板30に厚さ方向に沿って貫通するように貫通孔(不図示)を形成した後、上記貫通孔に導電性ペーストを充填するなどの方法により形成することができる。
上記コイル41、42は、例えば、厚膜印刷、塗布、蒸着及びスパッタリングなどの方法により形成することができ、本発明はこれに限定されない。
また、上記コイル41、42を形成する材料及び上記導電性ビアを形成する導電性ペーストは、銀(Ag)、銅(Cu)及び銅合金の少なくとも一つを含む材料からなることができるが、これに制限されない。
また、本発明の一実施形態によるパワーインダクタ1は、上記磁性体本体10の両端部に形成された第1及び第2外部電極21、22を含んでもよい。
上記第1及び第2外部電極21、22は、導電性ペーストに磁性体本体10を浸漬するか、印刷、蒸着及びスパッタリングなどの多様な方法により磁性体本体10の両端に形成されることができる。
上記第1及び第2外部電極21、22は、電気伝導性が付与できる金属であって、例えば、金、銀、白金、銅、ニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上の金属を含むことができる。
このとき、第1及び第2外部電極21、22の表面には、必要に応じて、ニッケル−メッキ層(不図示)またはすずメッキ層(不図示)をさらに形成してもよい。
本発明の一実施形態によるパワーインダクタ1は、上記基板30の上面及び下面に形成された第1金属−ポリマー複合体層11を含んでもよい。
上記第1金属−ポリマー複合体層11は、鉄−ニッケル(Fe−Ni)、鉄−ニッケル−ケイ素(Fe−Ni−Si)、鉄−アルミニウム−ケイ素(Fe−Al−Si)及び鉄−アルミニウム−クロム(Fe−Al−Cr)で構成された群から選択された一つ以上の金属を含むことができるが、これに制限されない。
また、上記第1金属−ポリマー複合体層11は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上のポリマーを含んでもよいが、これに制限されない。
一方、上記第1金属−ポリマー複合体層11の上面及び下面には上記第1金属−ポリマー複合体層11が含むポリマーの含量よりも多い含量のポリマーを含む第2金属−ポリマー複合体層12が形成されてもよい。
上記第2金属−ポリマー複合体層12は、鉄−ニッケル(Fe−Ni)、鉄−ニッケル−ケイ素(Fe−Ni−Si)、鉄−アルミニウム−ケイ素(Fe−Al−Si)及び鉄−アルミニウム−クロム(Fe−Al−Cr)で構成された群から選択された一つ以上の金属を含んでもよいが、これに制限されない。
また、上記第2金属−ポリマー複合体層12は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上のポリマーを含んでもよいが、これに制限されない。
上記第1金属−ポリマー複合体層11及び第2金属−ポリマー複合体層12を含む金属の表面は、フェライトでコーティングされてもよい。
上記フェライトは、ニッケルフェライト(Ni Ferrite)、亜鉛フェライト(Zn Ferrite)、銅フェライト(Cu Ferrite)、マンガンフェライト(Mn Ferrite)、コバルトフェライト(Co Ferrite)、バリウムフェライト(Ba Ferrite)及びニッケル−亜鉛−銅フェライト(Ni−Zn−Cu Ferrite)で構成された群から選択された一つ以上の酸化物フェライトなどを使用することができ、本発明はこれに限定されない。
一般的に、パワーインダクタは、金属磁性体粉末の充填率が65〜90体積%になるよう金属磁性体粉末と熱硬化性樹脂を混合して形成した複合磁性体をコイルが形成された基板に充填した後、加圧、成形及び硬化し、上記コイルを埋める方法で製作された。
上記の場合、金属磁性体粉末の充填率が高いと、最終製品のインダクタンス特性は向上するが、樹脂量が減少することにより、酸または塩基溶液がチップの内部に浸透して信頼性が低下する問題が生じる可能性がある。
一方、樹脂量が多いと、上記酸または塩基溶液がチップの内部に浸透する問題は解決できるが、金属磁性体粉末の充填率が減少し、製品のインダクタンス特性が低下する問題が生じる可能性がある。
従って、本発明の一実施形態によると、上記磁性体本体10内に上記コイル41、42を埋めるために充填される金属−ポリマー複合体が含む樹脂の含量を異ならせて適用することで、上記問題を解決することができる。
具体的には、上記基板30の上面及び下面に形成された第1金属−ポリマー複合体層11は、上記金属の充填率を高めて最終製品のインダクタンス特性を向上させることができる。
また、上記第1金属−ポリマー複合体層11の上面及び下面に、上記第1金属−ポリマー複合体層11が含むポリマーの含量よりも多い含量のポリマーを含む第2金属−ポリマー複合体層12を形成することで、上記酸または塩基溶液がチップの内部に浸透する問題を解決することができる。
上記磁性体本体10において、上記第1金属−ポリマー複合体層11及び第2金属−ポリマー複合体層12が占める厚さは、特に制限されず、製品のインダクタンス特性によって多様に適用されてもよい。
例えば、上記第1金属−ポリマー複合体層11及び上記第2金属−ポリマー複合体層12の厚さは、それぞれ上記磁性体本体10の全体厚さに対し、5〜30%を占めることができ、これにより、上記パワーインダクタ1は信頼性に優れ、インダクタンス特性も向上することができる。
上記第1金属−ポリマー複合体層11及び上記第2金属−ポリマー複合体層12の厚さがそれぞれ上記磁性体本体10の全体厚さに対し5%未満では、樹脂の含量が多い第2金属−ポリマー複合体層が薄すぎるため、酸または塩基溶液がチップの内部に浸透する問題が生じることがある。
一方、上記第1金属−ポリマー複合体層11及び上記第2金属−ポリマー複合体層12の厚さがそれぞれ上記磁性体本体10の全体厚さに対して30%を超えると、金属の充填率が低下し、最終製品のインダクタンス特性に問題が発生することがある。
本発明の一実施形態によると、上記第1金属−ポリマー複合体層11は、上記金属100重量部に対して、2.0〜5.0重量部のポリマーを含んでもよいが、必ずしもこれに制限されない。
また、上記第2金属−ポリマー複合体層12は、上記金属100重量部に対して、4.0〜10.0重量部のポリマーを含んでもよいが、これに制限されない。
上記のように、本発明の一実施形態によると、第1金属−ポリマー複合体層11が含むポリマーの含量と、第2金属−ポリマー複合体層12が含むポリマーの含量を異ならせて適用することで、インダクタンス特性の向上及び信頼性向上の効果を奏することができる。
即ち、上記磁性体本体10において、基板30に隣接した内側には金属の充填率が高い第1金属−ポリマー複合体層11が配置され、上記第1金属−ポリマー複合体層11の上面及び下面上に樹脂の含量が高い第2金属−ポリマー複合体層12を配置することで、インダクタンス特性の向上及び信頼性向上の効果が奏することができる。
本発明の一実施形態によると、上記第1金属−ポリマー複合体層11及び第2金属−ポリマー複合体層12は、複数個のシートを積層して形成することができる。
しかし、本発明はこれに限定されず、例えば、金属粉末及びポリマーを含む材料からなるペーストを一定厚さに印刷して形成したり、このようなペーストを型に入れて圧着するなど、必要に応じて、多様な方法が適用されてもよい。
このとき、上記磁性体本体10を形成するために積層されるシート数または一定厚さに印刷されるペーストの厚さは、パワーインダクタ1に要求されるインダクタンスなどの電気的特性を考慮して、適正な数または厚さにしてもよい。
上記第1金属−ポリマー複合体層11及び第2金属−ポリマー複合体層12の形成に関する詳しい事項は後述する。
図3を参照すると、樹脂の含量によるインダクタンスの変化が分かる。例えば、金属100重量部に対する樹脂の含量が5.0重量部を超えると、インダクタンスの低下が問題となる可能性があることが分かる。
一方、上記第1金属−ポリマー複合体層11及び第2金属−ポリマー複合体層12が含む金属の平均粒径は、1〜50μmであってもよいが、これに制限されない。
また、上記第1金属−ポリマー複合体層11及び第2金属−ポリマー複合体層12に含まれるポリマーは、金属粉末の間に絶縁性を提供するもので、熱硬化性樹脂からなることができる。
上記熱硬化性樹脂には、例えば、ノボラックエポキシ樹脂(Novolac Epoxy Resin)、フェノキシ型エポキシ樹脂(Phenoxy Type Epoxy Resin)、BPA型エポキシ樹脂(BPA Type Epoxy Resin)、BPF型エポキシ樹脂(BPF Type Epoxy Resin)、水添BPA型エポキシ樹脂(Hydrogenated BPA Epoxy Resin)、ダイマー酸改質エポキシ樹脂(Dimer Acid Modified Epoxy Resin)、ウレタン改質エポキシ樹脂(Urethane Modified Epoxy Resin)、ゴム改質エポキシ樹脂(Rubber Modified Epoxy Resin)及びDCPD型エポキシ樹脂(DCPD Type Epoxy Resin)からなる群から選択された一つ以上を含んでもよい。
本発明の一実施形態によると、上記基板30と第1金属−ポリマー複合体層11との間には、上記基板30の上面または下面に形成されたコイル41、42と金属との絶縁のために絶縁層50がさらに含まれてもよい。
上記絶縁層50はエポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上の物質を含んでもよいが、これに制限されない。
以下では、本発明の他の実施形態によるパワーインダクタの製造方法を説明するが、これに制限されない。
図4a〜図4dは、本発明の他の実施形態によるパワーインダクタの製造工程図である。
図4a〜図4dを参照すると、本発明の他の実施形態によるパワーインダクタの製造方法は、コイルが形成された基板を設ける段階と、金属粉末及びポリマー樹脂を含む材料からなる第1シートを複数個設ける段階と、金属粉末及びポリマー樹脂を含む材料からなり、上記第1シートよりもポリマーの含量が多い第2シートを複数個設ける段階と、上記基板の上面及び下面に上記複数個の第1シートを積層して上記コイルを埋める段階と、上記第1シート上に上記第2シートを積層して磁性体本体を形成する段階と、を含んでもよい。
まず、絶縁または磁性材料からなる基板を用意する。
次に、上記基板30の両面にコイル41、42をそれぞれ形成することで、コイルが形成された基板を用意することができる。
上記コイル41、42は、上記基板30の一面に導電性ペーストをメッキして第1コイル41を形成した後、上記基板30を貫通する導電性ビアを形成し、上記第1コイル41が形成された面の反対面に導電性ペーストをメッキして第2コイル442を形成する手順で構成することができ、上記第1及び第2コイル41、42は、上記導電性ビアにより互いに電気的に連結されることができる。
上記導電性ビアは、レーザーまたは穿孔機などを利用して上記基板30の厚さ方向に貫通孔を形成した後、上記貫通孔に導電性ペーストを充電するなどの方法で形成してもよい。
このとき、上記導電性ペーストは電気伝導性を付与する金属であって、例えば、金、銀、白金、銅、ニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含んでもよい。
また、上記第1及び第2コイル41、42と上記導電性ビアは、より安定的な電気的特性のために全て同一材料からなることができる。
次に、第1及び第2コイル41、42が形成された基板30を配置する。
このとき、基板30は磁性体本体10の厚さ方向に複数個を積層して形成することができ、基板30の上下面の第1または第2コイル41、42の一端部は、それぞれビア導体(不図示)を介して接触し、互いに電気的に連結させることができる。
また、第1及び第2コイル41、42の周りに絶縁特性を有するポリマーのような材料を用いて、その表面が取り囲まれるように絶縁膜を形成することができる。
次いで、金属粉末及びポリマー樹脂を含む材料からなる第1シートを複数個用意する。
上記複数個の第1シート11a、11b、11c、11d、11e、11fは、本発明の一実施形態によるパワーインダクタにおいて、第1金属−ポリマー複合層を形成するもので、第1シートのそれぞれは金属100重量部に対して2.0〜5.0重量部のポリマーを含んで製作されることができる。
次に、金属粉末及びポリマー樹脂を含む材料からなり、上記第1シートよりもポリマーの含量が多い第2シートを複数個用意する。
上記複数個の第2シート12a、12bは、本発明の一実施形態によるパワーインダクタにおいて、第2金属−ポリマー複合層を形成するもので、第2シート12a、12bのそれぞれは、金属100重量部に対して4.0〜10.0重量部のポリマーを含んで製作されることができる。
次に、上記基板の上面及び下面に上記複数個の第1シート11a、11b、11c、11d、11e、11fを積層して上記コイルを埋め、上記第1シート上に上記第2シート12a、12bを積層して磁性体本体を形成することができる。
上記磁性体本体を形成する各段階は、上記第1シート11a、11b、11c、11d、11e、11fを積層してコイルを埋めた後、上記第1シート上に上記第2シート12a、12bを積層し、加圧及び成形を行い、上記複数個のシートを硬化させることで、完了することができる。
本発明の他の実施形態によると、上記基板の上面及び下面に、上記複数個の第1シートを積層する段階の前に、上記基板の上面及び下面に絶縁層を形成する段階をさらに含んでもよい。
次に、上記磁性体本体10の両端部にコイル41、42が引き出された部分と電気的に接続されるように第1及び第2外部電極21、22を形成することができる。
このとき、第1及び第2外部電極21、22は導電性ペーストに上記磁性体本体10を浸漬する方法、上記磁性体本体10の両端部に導電性ペーストを印刷、蒸着及びスパッタリングする方法などで形成することができる。
上記導電性ペーストは第1及び第2外部電極21、22に電気伝導性が付与できる金属であって、例えば、金、銀、白金、銅、ニッケル、パラジウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含んでもよい。
また、第1及び第2外部電極21、22の表面には、必要に応じて、ニッケルメッキ層及びすずメッキ層をさらに形成してもよい。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されず、特許請求の範囲に記載された本発明の技術的思想から外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者には明らかである。
1 パワーインダクタ
10 磁性体本体
11(11a、11b、11c、11d、11e、11f) 第1金属−ポリマー複合層
12(12a、12b) 第2金属−ポリマー複合層
21、22 第1及び第2外部電極
30 基板
41、42 コイル
50 絶縁層

Claims (18)

  1. コイルが形成された基板を含む磁性体本体と、
    前記基板の上面及び下面に形成され、金属粒子及びポリマーを含む第1金属−ポリマー複合体層と、
    前記第1金属−ポリマー複合体層の上面及び下面に形成され、金属粒子及びポリマーを含み、且つ前記第1金属−ポリマー複合体層が含むポリマーの含量よりも多い含量のポリマーを含む第2金属−ポリマー複合体層と、
    前記基板と前記第1金属−ポリマー複合体層との間に形成され、前記第1金属−ポリマー複合体層の金属粒子と前記コイルを絶縁させる絶縁層と、
    を含むパワーインダクタ。
  2. 前記第1金属−ポリマー複合体層は、鉄−ニッケル(Fe−Ni)、鉄−ニッケル−ケイ素(Fe−Ni−Si)、鉄−アルミニウム−ケイ素(Fe−Al−Si)及び鉄−アルミニウム−クロム(Fe−Al−Cr)で構成された群から選択された一つ以上の金属を含む請求項1に記載のパワーインダクタ。
  3. 前記第2金属−ポリマー複合体層は、鉄−ニッケル(Fe−Ni)、鉄−ニッケル−ケイ素(Fe−Ni−Si)、鉄−アルミニウム−ケイ素(Fe−Al−Si)及び鉄−アルミニウム−クロム(Fe−Al−Cr)で構成された群から選択された一つ以上の金属を含む請求項1に記載のパワーインダクタ。
  4. 前記第1金属−ポリマー複合体層は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上のポリマーを含む請求項1に記載のパワーインダクタ。
  5. 前記第2金属−ポリマー複合体層は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上のポリマーを含む請求項1に記載のパワーインダクタ。
  6. 前記第1金属−ポリマー複合体層は、前記金属100重量部に対して2.0〜5.0重量部のポリマーを含む請求項1に記載のパワーインダクタ。
  7. 前記第2金属−ポリマー複合体層は、前記金属100重量部に対して4.0〜10.0重量部のポリマーを含む請求項1に記載のパワーインダクタ。
  8. 前記絶縁層はエポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上の物質を含む請求項に記載のパワーインダクタ。
  9. 前記第1金属−ポリマー複合体層及び第2金属−ポリマー複合体層が含む金属の平均粒径は、1〜50μmである請求項1に記載のパワーインダクタ。
  10. 前記第1金属−ポリマー複合体層及び第2金属−ポリマー複合体層の厚さは、それぞれ前記磁性体本体の全体厚さに対して5〜30%である請求項1に記載のパワーインダクタ。
  11. コイルが形成された基板を設ける段階と、
    金属粉末及びポリマー樹脂を含む材料からなる第1シートを複数個設ける段階と、
    金属粉末及びポリマー樹脂を含む材料からなり、前記第1シートよりもポリマーの含量が多い第2シートを複数個設ける段階と、
    前記基板の上面及び下面に前記複数個の第1シートを積層して前記コイルを埋める段階と、
    前記第1シート上に前記第2シートを積層して磁性体本体を形成する段階と、
    前記基板の上面及び下面に前記複数個の第1シートを積層する段階の前に、前記基板の上面及び下面に絶縁層を形成する段階と、
    を含むパワーインダクタの製造方法。
  12. 前記金属粉末は、鉄−ニッケル(Fe−Ni)、鉄−ニッケル−ケイ素(Fe−Ni−Si)、鉄−アルミニウム−ケイ素(Fe−Al−Si)及び鉄−アルミニウム−クロム(Fe−Al−Cr)で構成された群から選択された一つ以上である請求項11に記載のパワーインダクタの製造方法。
  13. 前記ポリマーは、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上である請求項11に記載のパワーインダクタの製造方法。
  14. 前記第1シートは、前記金属粉末100重量部に対してポリマー2.0〜5.0重量部を含む請求項11に記載のパワーインダクタの製造方法。
  15. 前記第2シートは、前記金属粉末100重量部に対してポリマー4.0〜10.0重量部を含む請求項11に記載のパワーインダクタの製造方法。
  16. 前記絶縁層は、エポキシ(epoxy)、ポリイミド(polyimide)及び液晶結晶性ポリマー(Liquid Crystalline Polymer、LCP)で構成された群から選択された一つ以上の物質を含む請求項11に記載のパワーインダクタの製造方法。
  17. 前記金属粉末の平均粒径は、1〜50μmである請求項11に記載のパワーインダクタの製造方法。
  18. 前記磁性体本体を形成する段階の後に、前記磁性体本体の外側に外部電極を形成する段階をさらに含む請求項11に記載のパワーインダクタの製造方法。
JP2013052959A 2012-12-28 2013-03-15 パワーインダクタ及びその製造方法 Active JP6214890B2 (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020120155965A KR101983136B1 (ko) 2012-12-28 2012-12-28 파워 인덕터 및 그 제조방법
KR10-2012-0155965 2012-12-28

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014130988A JP2014130988A (ja) 2014-07-10
JP6214890B2 true JP6214890B2 (ja) 2017-10-18

Family

ID=51016543

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2013052959A Active JP6214890B2 (ja) 2012-12-28 2013-03-15 パワーインダクタ及びその製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9269486B2 (ja)
JP (1) JP6214890B2 (ja)
KR (1) KR101983136B1 (ja)

Families Citing this family (57)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101541581B1 (ko) * 2012-06-28 2015-08-03 삼성전기주식회사 인덕터 및 인덕터 제조방법
KR101823191B1 (ko) * 2014-05-07 2018-01-29 삼성전기주식회사 칩 전자부품 및 그 제조방법
KR101580399B1 (ko) * 2014-06-24 2015-12-23 삼성전기주식회사 칩 전자부품 및 그 제조방법
CN106463239B (zh) * 2014-07-25 2018-12-04 株式会社村田制作所 电子部件及其制造方法
KR101686989B1 (ko) 2014-08-07 2016-12-19 주식회사 모다이노칩 파워 인덕터
KR101681200B1 (ko) * 2014-08-07 2016-12-01 주식회사 모다이노칩 파워 인덕터
KR102188450B1 (ko) * 2014-09-05 2020-12-08 삼성전기주식회사 파워 인덕터용 코일 유닛, 파워 인덕터용 코일 유닛의 제조 방법, 파워 인덕터 및 파워 인덕터의 제조 방법
KR101681201B1 (ko) 2014-09-11 2016-12-01 주식회사 모다이노칩 파워 인덕터
KR101607026B1 (ko) * 2014-11-04 2016-03-28 삼성전기주식회사 칩 전자부품 및 그 제조방법
KR101630086B1 (ko) * 2014-12-10 2016-06-21 삼성전기주식회사 칩 전자부품
KR102105393B1 (ko) * 2015-01-27 2020-04-28 삼성전기주식회사 코일 부품 및 그 실장 기판
KR102109634B1 (ko) 2015-01-27 2020-05-29 삼성전기주식회사 파워 인덕터 및 그 제조 방법
KR20160092394A (ko) 2015-01-27 2016-08-04 삼성전기주식회사 인덕터 및 그 제조방법
JP6464785B2 (ja) * 2015-02-09 2019-02-06 Tdk株式会社 コイル装置
KR20160102657A (ko) * 2015-02-23 2016-08-31 삼성전기주식회사 칩 전자부품 및 그 제조방법
JP6330692B2 (ja) * 2015-02-25 2018-05-30 株式会社村田製作所 電子部品
US10431365B2 (en) 2015-03-04 2019-10-01 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component and method for manufacturing electronic component
KR102105394B1 (ko) * 2015-03-09 2020-04-28 삼성전기주식회사 코일 부품 및 그 실장 기판
KR101659216B1 (ko) * 2015-03-09 2016-09-22 삼성전기주식회사 코일 전자부품 및 그 제조방법
US10875095B2 (en) 2015-03-19 2020-12-29 Murata Manufacturing Co., Ltd. Electronic component comprising magnetic metal powder
JP6583003B2 (ja) * 2015-03-19 2019-10-02 株式会社村田製作所 電子部品およびその製造方法
KR102138891B1 (ko) * 2015-04-16 2020-07-29 삼성전기주식회사 칩 부품 및 그 제조방법
KR20160140153A (ko) 2015-05-29 2016-12-07 삼성전기주식회사 코일 전자부품 및 그 제조방법
KR101719908B1 (ko) * 2015-07-01 2017-03-24 삼성전기주식회사 코일 전자부품 및 그 제조방법
KR101751117B1 (ko) * 2015-07-31 2017-06-26 삼성전기주식회사 코일 전자 부품 및 그 제조방법
KR20170023501A (ko) * 2015-08-24 2017-03-06 삼성전기주식회사 코일 전자부품 및 그 제조방법
KR101900879B1 (ko) * 2015-10-16 2018-09-21 주식회사 모다이노칩 파워 인덕터
WO2017065528A1 (ko) * 2015-10-16 2017-04-20 주식회사 모다이노칩 파워 인덕터
KR101832564B1 (ko) 2015-10-27 2018-02-26 삼성전기주식회사 코일 부품
KR101900880B1 (ko) * 2015-11-24 2018-09-21 주식회사 모다이노칩 파워 인덕터
WO2017090950A1 (ko) * 2015-11-24 2017-06-01 주식회사 모다이노칩 파워 인덕터
KR101792365B1 (ko) * 2015-12-18 2017-11-01 삼성전기주식회사 코일 부품 및 그 제조 방법
JP6459986B2 (ja) * 2016-01-08 2019-01-30 株式会社村田製作所 金属磁性粉含有シート、インダクタの製造方法及びインダクタ
JP6288396B2 (ja) * 2016-01-28 2018-03-07 株式会社村田製作所 コイル部品の製造方法、コイル部品、並びにdc−dcコンバータ
KR20170120779A (ko) 2016-04-22 2017-11-01 삼성전기주식회사 인덕터 및 그 제조 방법
JP6631392B2 (ja) * 2016-04-25 2020-01-15 Tdk株式会社 コイル装置
JP6631391B2 (ja) * 2016-04-25 2020-01-15 Tdk株式会社 コイル装置
JP2018019062A (ja) * 2016-07-27 2018-02-01 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. インダクタ
KR102093153B1 (ko) * 2016-07-27 2020-03-25 삼성전기주식회사 인덕터
KR101868026B1 (ko) 2016-09-30 2018-06-18 주식회사 모다이노칩 파워 인덕터
JP6400803B2 (ja) * 2016-10-28 2018-10-03 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. コイル部品
KR101823267B1 (ko) * 2016-11-01 2018-01-29 삼성전기주식회사 박막 인덕터 및 그 제조 방법
JP6763295B2 (ja) * 2016-12-22 2020-09-30 株式会社村田製作所 表面実装インダクタ
KR101863280B1 (ko) * 2017-03-16 2018-05-31 삼성전기주식회사 코일부품 및 그 제조방법
JP2018182209A (ja) * 2017-04-19 2018-11-15 株式会社村田製作所 コイル部品
JP6891623B2 (ja) * 2017-05-02 2021-06-18 Tdk株式会社 インダクタ素子
JP7021459B2 (ja) * 2017-05-02 2022-02-17 Tdk株式会社 インダクタ素子
JP7307524B2 (ja) * 2017-09-15 2023-07-12 Tdk株式会社 コイル部品及びコイル部品の製造方法
KR102511867B1 (ko) * 2017-12-26 2023-03-20 삼성전기주식회사 칩 전자부품
JP2019140148A (ja) * 2018-02-06 2019-08-22 Tdk株式会社 コイル部品及びその製造方法
TWI655649B (zh) * 2018-04-12 2019-04-01 品翔電通股份有限公司 Passive component structure
TWI671769B (zh) * 2018-05-02 2019-09-11 聯寶電子股份有限公司 磁感應元件及其製造方法
JP7379012B2 (ja) * 2018-08-31 2023-11-14 太陽誘電株式会社 コイル部品及び電子機器
US11961652B2 (en) * 2018-11-01 2024-04-16 Tdk Corporation Coil component
US11127524B2 (en) * 2018-12-14 2021-09-21 Hong Kong Applied Science and Technology Research Institute Company Limited Power converter
JP7338213B2 (ja) * 2019-04-10 2023-09-05 Tdk株式会社 インダクタ素子
KR102163420B1 (ko) 2019-05-13 2020-10-08 삼성전기주식회사 코일 전자부품

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1055916A (ja) * 1996-08-08 1998-02-24 Kiyoto Yamazawa 薄型磁気素子およびトランス
JPH1167522A (ja) * 1997-08-19 1999-03-09 Taiyo Yuden Co Ltd 巻線型電子部品
EP1661149A2 (en) 2003-08-26 2006-05-31 Philips Intellectual Property & Standards GmbH Ultra-thin flexible inductor
KR20070032259A (ko) 2003-08-26 2007-03-21 코닌클리즈케 필립스 일렉트로닉스 엔.브이. 인덕터 및 인덕터 제조 방법
JP4769033B2 (ja) 2005-03-23 2011-09-07 スミダコーポレーション株式会社 インダクタ
JP2006310716A (ja) * 2005-03-31 2006-11-09 Tdk Corp 平面コイル素子
US20070032259A1 (en) 2005-08-05 2007-02-08 George Gounaris Method and apparatus for voice amplitude feedback in a communications device
JP2007067214A (ja) * 2005-08-31 2007-03-15 Taiyo Yuden Co Ltd パワーインダクタ
CN101351855B (zh) * 2006-04-05 2011-08-31 株式会社村田制作所 层叠型陶瓷电子器件的制造方法以及层叠型陶瓷电子器件
JP2009004670A (ja) * 2007-06-25 2009-01-08 Nec Tokin Corp ドラム型インダクタとその製造方法
JP4687760B2 (ja) * 2008-09-01 2011-05-25 株式会社村田製作所 電子部品
JP5381956B2 (ja) * 2010-10-21 2014-01-08 Tdk株式会社 コイル部品
JP5048155B1 (ja) * 2011-08-05 2012-10-17 太陽誘電株式会社 積層インダクタ

Also Published As

Publication number Publication date
US9269486B2 (en) 2016-02-23
KR20140085997A (ko) 2014-07-08
US20140184374A1 (en) 2014-07-03
JP2014130988A (ja) 2014-07-10
KR101983136B1 (ko) 2019-09-10

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6214890B2 (ja) パワーインダクタ及びその製造方法
US20140002221A1 (en) Power inductor and method of manufacturing the same
JP6058582B2 (ja) チップ電子部品及びその製造方法
JP6071945B2 (ja) インダクタ及びその製造方法
US9976224B2 (en) Chip electronic component and manufacturing method thereof
KR101983146B1 (ko) 칩 전자부품
CN108597731B (zh) 片式电子组件及其制造方法
KR101792281B1 (ko) 파워 인덕터 및 그 제조 방법
US10878988B2 (en) Method of manufacturing a coil electronic component
JP5955691B2 (ja) パワーインダクタ及びその製造方法
US20130293334A1 (en) Multilayer inductor and method of manufacturing the same
KR101994730B1 (ko) 인덕터
CN111261367A (zh) 片式电子组件
KR102052770B1 (ko) 파워인덕터 및 그 제조방법
JP2013102127A (ja) 積層型インダクタ及びその製造方法
JP2021013042A (ja) チップ電子部品及びその実装基板
KR20180012621A (ko) 코일 부품
US20160225512A1 (en) Power inductor
US20160307693A1 (en) Electronic component and manufacturing method thereof
US20150187487A1 (en) Ceramic electronic component
CN111834077B (zh) 线圈电子组件
KR20160026940A (ko) 코일 부품
KR101412816B1 (ko) 칩 인덕터 및 그 제조방법
KR20140015074A (ko) 파워 인덕터
CN111883343A (zh) 线圈电子组件

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20151214

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20161026

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20161129

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20170222

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20170822

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170920

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6214890

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250