JP6128991B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
まず、図2(a)に示すように、表面7a側にエネルギー発生素子9を有する基板(ウェハ)7を用意した。エネルギー発生素子はTaSiNとし、基板としてはシリコン基板の(100)基板を用いた。基板の厚みは700μmとした。エネルギー発生素子上には、SiO2及びSiNをプラズマCVDで成膜し、これを絶縁保護層とした。
実施例1では、図2(c)において、反応性イオンエッチングによって第一の穴13と第二の穴14とを形成した。実施例2では、図2(c)のかわりに、レーザー照射とウェットエッチングによって第一の穴13と第二の穴14とを形成した。実施例1と同様の部分は省略して説明する。
Claims (9)
- 液体供給口を形成する基板と、該基板の表面側に流路形成部材とを有し、ウェハから切り分け部分で切り分けられることで製造される液体吐出ヘッドの製造方法であって、
ウェハに、前記液体供給口の少なくとも一部となるウェハを貫通した第一の穴と、前記切り分け部分の少なくとも一部となるウェハを貫通しない第二の穴とを、ウェハの表面側から形成する工程と、
前記ウェハの表面側に、前記第一の穴と第二の穴とを表面側で塞ぐようにドライフィルムを配置する工程と、
前記第一の穴が前記ウェハを貫通した状態で、前記ドライフィルムを加熱及び現像することで、前記ドライフィルムから流路形成部材を形成する工程と、
前記第二の穴がウェハを貫通するように、前記表面側の反対側である裏面側から前記ウェハを削ることで、前記ウェハから液体吐出ヘッドを切り分ける工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第一の穴と第二の穴とは、前記ウェハの表面側に形成したエッチングマスクの開口から形成し、前記基板はエネルギー発生素子を有し、前記エッチングマスクは該エネルギー発生素子を覆う請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ウェハはシリコンで形成されたシリコンウェハである請求項1または2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムはネガ型の感光性ドライフィルムである請求項1乃至3のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第二の穴の深さは、前記第一の穴の深さに対して50%以上、95%以下である請求項1乃至4のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第一の穴と第二の穴とは、前記ウェハの表面側に形成したエッチングマスクの開口から形成し、該エッチングマスクは、前記第一の穴を形成するための開口と、前記第二の穴を形成するための開口とを有し、前記第一の穴を形成するための開口の基板の表面と平行方向の開口面積は、前記第二の穴を形成するための開口の基板の表面と平行方向の開口面積よりも広い請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第一の穴と第二の穴との形成を、反応性イオンエッチングによって行う請求項1乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第一の穴と第二の穴との形成を、ウェットエッチングによって行う請求項1乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記ドライフィルムの前記第二の穴を塞ぐ部分には露光を行わない請求項4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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