JP6659121B2 - 液体供給基板、その製造方法、および液体吐出ヘッド - Google Patents
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Description
図1(a)および(b)は本実施形態で使用可能な液体吐出ヘッド100の断面図および上面図である。本実施形態の液体吐出ヘッド100は、液体供給基板10の上に吐出口プレート20が積層された構造となっている。図1(b)の上面図は、液体吐出ヘッド100より、吐出口プレート20を除去した状態を示している。
図3(a)〜(c)は、本実施形態で使用可能な液体吐出ヘッド200の上面図および断面図である。第1の実施形態では第2の領域51を電気熱変換素子31に対応する位置即ち電気熱変換素子31の直下のみに配置している。これに対し、本実施形態では、XY平面に延在する中間層50の領域(第1の基板の表面に平行な面における中間層50の領域)のうち、供給口43が配されていない部分のほぼ全域に第2の領域51を配置する。ほぼ全域とは、例えば供給口43が形成されていない部分の面積の90%以上を意味する。図3(a)は、本実施形態の液体吐出ヘッド200より、吐出口プレート20を除去した状態の上面図である。また、図3(b)は、同図(a)のA−A´断面を示し、同図(c)はB−B´断面を示している。
図4(a)および(b)は本実施形態で使用可能な液体吐出ヘッド300の断面図および上面図である。第1の実施形態と異なる構成についてのみ説明する。本実施形態の第2のシリコン基板27には、Y方向に平行な2つの液体共通供給室44が形成されており、それぞれがY方向に配列する複数の供給口43と連結している。また、本実施形態の吐出口プレート20には液体共通供給室44のそれぞれに対応する2つのチャンバー32が形成されており、それぞれのチャンバー32はY方向に配列する複数の供給口43に連結している。チャンバー32は、供給口43が連結する位置から±X方向に広がりその先端位置にて吐出口25に接続されている。それぞれの吐出口25が対向する第1のシリコン基板28の位置には、電気熱変換素子31が配備されている。本実施形態において、2つの液体共通供給室44は同じ液体を供給してもよいし、異なる液体を供給してもよい。
図5は、本実施形態で採用可能な液体吐出ヘッド400の断面図である。第1の実施形態と異なる点は、中空ではなく、樹脂を充填した第2の領域52を有することである。即ち、第2の領域52は樹脂で形成されている。このような構成は、図2(c)の段階で形成された凹部の中にポリイミドのような樹脂を充填した後、図2(d)のような接合工程を行うことによって実現できる。ポリイミドの熱伝導率は空気に比べると高いものの、シリコンやシリコン酸化膜に比べれば十分低い値である。よって、本実施形態においても上記実施形態と同様、吐出時における電気熱変換素子の排熱効率を従来よりも高めることができる。
20 吐出口プレート
25 吐出口
27 第2の基板
28 第1の基板
31 電気熱変換素子
32 チャンバー
43 供給口
44 液体共通供給室
50 中間層
52 第2の領域
53 第1の領域
100 液体吐出ヘッド
Claims (10)
- チャンバーに供給された液体に電気熱変換素子から熱エネルギを付与することにより吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドの、前記チャンバーに液体を供給する液体供給基板であって、
表面が前記チャンバーと前記吐出口が形成された吐出口プレートに接続され、前記チャンバーに液体を供給するための複数の供給口が形成された第1の基板と、
前記第1の基板の前記表面とは反対の面に接続され、前記複数の供給口のそれぞれに共通して液体を供給するための液体共通供給室が形成された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板の間に配置された中間層と
を有し、
前記中間層は、シリコン酸化膜で形成されている第1の領域と、前記第1の領域よりも熱伝導率が低い第2の領域とを有することを特徴とする液体供給基板。 - 前記第1の基板および第2の基板はシリコン基板である請求項1に記載の液体供給基板。
- 前記表面に平行な面において、前記第2の領域は前記電気熱変換素子に対応する位置に配置されている請求項1に記載の液体供給基板。
- 前記表面に平行な面において、前記第2の領域は、前記中間層の領域のうち前記複数の供給口が形成されていない部分の面積の90%以上に配置されている請求項1に記載の液体供給基板。
- 前記第2の領域は中空の領域である請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液体供給基板。
- 前記第2の領域は樹脂で形成されている請求項1ないし4のいずれか1項に記載の液体供給基板。
- チャンバーに供給された液体に電気熱変換素子から熱エネルギを付与することにより、吐出口から液体を吐出させる液体吐出ヘッドであって、
前記チャンバーと前記吐出口が形成された吐出口プレートと、
表面が前記吐出口プレートに接続され、前記チャンバーに液体を供給するための複数の供給口が形成された第1の基板と、
前記第1の基板の前記表面とは反対の面に接続され、前記複数の供給口のそれぞれに共通して液体を供給するための液体共通供給室が形成された第2の基板と、
前記第1の基板と前記第2の基板の間に配置された中間層と
を有し、
前記中間層は、シリコン酸化膜で形成されている第1の領域と、前記第1の領域よりも熱伝導率が低い第2の領域とを有することを特徴とする液体吐出ヘッド。 - シリコン酸化膜が形成された第2の基板を用意する工程と、
前記シリコン酸化膜の一部を除去することにより前記シリコン酸化膜の表面に凹部を形成する工程と、
第1の基板を前記シリコン酸化膜を挟んで前記第2の基板と接合することにより、前記第1の基板と前記第2の基板の間に、第1の領域と、前記第1の領域よりも熱伝導率が低い前記凹部によって形成される第2の領域とを有する中間層を形成する工程と、
前記第1の基板の、前記中間層とは反対の面に電気熱変換素子を形成する工程と、
前記第2の基板に、前記中間層とは反対の面から前記中間層まで貫通する液体共通供給室を形成する工程と、
前記第1の基板に、前記中間層とは反対の面から前記第2の基板まで貫通する複数の供給口を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体供給基板の製造方法。 - 前記凹部は、前記シリコン酸化膜の一部を前記第2の基板に到達するまで除去することにより形成され、
前記液体共通供給室は、前記第2の基板において、前記第2の領域が存在しない領域に対応した位置に形成される請求項8に記載の液体供給基板の製造方法。 - 前記複数の供給口は、ドライエッチングによって形成される請求項8または9に記載の液体供給基板の製造方法。
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