JP2006056240A - インクジェット記録ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

Abstract

【課題】液体吐出基板から発生する熱の放熱効率を向上させ、基板温度の上昇を効果的に抑制する。
【解決手段】液体供給穴２２を備えた支持部材１と、液体供給穴２２に連通する液体供給口１２、液体供給口１２から供給された液体が吐出される吐出口１４、液体供給口１２から供給された液体を一時的に貯留する液室１５、及び液室１５内の液体を吐出口１４から吐出させるエネルギーを発生する電気熱変換素子１６を備えた液体吐出基板２とを有し、液体吐出基板２は、支持部材１に対する投影面積よりも面積が大きい銅箔３１を介して支持部材１上に載置されている。
【選択図】図２

Description

本発明は、インクなどの液体（以下まとめて「インク」と呼ぶ）を入力された電気信号に応じて吐出する記録ヘッドに関するものである。

インクジェット記録ヘッドの一種として、電気熱変換素子が発生するエネルギーを利用してインク滴を吐出させる記録ヘッドが知られている。この種の記録ヘッドでは、図１３に示すように、インク滴が吐出される吐出口２００と、吐出口２００から吐出されるインクが一時的に貯留される液室２０１と、液室２０１に連通した液体供給口２０２と、液室２０１内のインクに吐出エネルギーを与える電気熱変換素子２０３とを備えたシリコン製の液体吐出基板２０４がアルミナ製の支持部材２０５の上に載置されて一体化されている。より具体的には、液体吐出基板２０４の裏面と支持部材２０５の表面とがエポキシ系の接着剤２０６によって直接接合され、接着剤２０６の対向する界面２０７によって形成されたインク流路を介して、液体吐出基板２０４の液体供給口２０２が支持部材２０５に設けられている液体供給穴２０８に連通している。（より詳しくは、例えば特許文献１に記載されているようなインクジェット記録ヘッドを参照。）
ここで、電気熱変換素子２０３は、液室２０１内のインクに熱エネルギーを与えることによって該インクに相変化を生じさせ、その際にインク中に発生する気泡の圧力によって微小なインク滴を吐出口２００から吐出させるものであり、余剰の熱は、液体吐出基板２０４を介して支持部材２０５に伝導し、放熱される。
特開平１０−４４４２０号公報

上記のようなインクジェット記録ヘッドにおいては、インクが発泡する際の気泡圧力を利用してインク滴を吐出させる関係上、液体吐出基板の温度が高くなると吐出制御が困難になり、インク滴が誤って吐出されるなどの不都合を生じる。そこで、従来のインクジェット記録装置では、液体吐出基板の温度が高くなった場合には、一時的に吐出動作を休止させる機構を備えている。一方、より高解像度で高速な記録実現の要求に応えるべく、電気熱変換素子は高密度化の一途をたどっており、個々の電気熱変換素子の消費電力も増加の一途をたどっている。この結果、動作中の液体吐出基板の温度は上昇傾向にあり、このままでは記録ヘッドが頻繁に休止する状態に陥ることが予想される。

本発明は、上記のような状況に鑑みてなされたものであり、その目的は、液体吐出基板の熱を効率良く放熱させ、基板温度の上昇を効果的に抑制することにある。

本発明は、液体供給穴を備えた支持部材と、前記液体供給穴に連通する液体供給口、前記液体供給口から供給された液体が吐出される吐出口、及び前記液体を前記吐出口から吐出させるためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段を備えた液体吐出基板とを有するインクジェット記録ヘッドであって、前記液体吐出基板が放熱部材を介して支持部材上に載置され、その放熱部材の面積が前記液体吐出基板の前記支持部材に対する投影面積よりも大きいことを特徴とする。また、本発明のインクジェット記録装置は、前記本発明のインクジェット記録ヘッドを用いることを特徴とする。

上記特徴を有する本発明によれば、液体吐出基板の熱を効率良く放熱させ、基板温度の上昇を効果的に抑制することができる。

以下に説明する本発明に係る実施の形態は、支持部材と液体吐出基板との間に、液体吐出基板の支持部材に対する投影面積よりも面積の大きな箔状の放熱部材を介在させることによって、液体吐出基板から発生する熱を効率良く放熱させるものである。すなわち、支持部材の上に載置された液体吐出基板は、何れかの面が支持部材の外面と対向することになる。そこで、支持部材の外面と、この外面に対向する液体吐出基板の外面（対向面）との間に、対向面よりも面積の大きな放熱部材を介在させることによって、液体吐出基板から発生した熱を広範囲に拡散させることによって放熱効率の向上を図るものである。尚、支持部材と液体吐出基板との間に、上記対向面よりも面積の大きな箔状の放熱部材を介在させた場合、放熱部材の全周縁が液体吐出基板の外側にはみ出すのが通常である。しかし、放熱部材と液体吐出基板との相対的位置関係や縦横比等によっては、放熱部材の周縁の一部が液体吐出基板の下に隠れる場合もある。もっとも、放熱部材の周縁の一部が液体吐出基板の下に隠れたとしても、放熱部材の面積が上記条件を満たせば、本発明の目的は達成される。同様に、放熱部材の一部に切り欠きが形成されていたり、スリットが形成されていたりする場合であっても、放熱部材の面積が上記条件を満たせば、本発明の目的は達成される。さらに、放熱部材が２以上設けられていたり、２以上に分割されていたりしても、それら２以上の放熱部材間で熱伝導が可能である場合には、これら放熱部材の合計面積が上記条件を満たすものであればよい。また、放熱部材としては、以下の各実施の形態では銅箔を例示しているが、箔状の部材に限られず、一般に箔と称される部材よりも厚さの厚いシート状の部材であってもよい。また、放熱部材の材料は、少なくとも用いられる接着剤及び支持部材よりも熱伝導率が良好な材料であれば良く、さらに、液体吐出基板よりも熱伝導率の良好な材料であればさらに望ましい。

上記液体吐出基板と放熱部材とをバンプを介して接触させることによって、液体吐出基板から放熱部材への熱伝導効率を向上させ、放熱特性を向上させることもできる。さらに、液体吐出基板に金属膜を設け、この金属膜と放熱部材とをバンプを介して接触させることによって、より一層熱伝導効率を向上させることもできる。
（実施形態１）
以下、本発明の記録ヘッドの実施形態の一例について図１〜図３を参照しながら説明する。尚、図１は、本例の記録ヘッドの一部を示す模式的平面図であり、図２は、図１のＡ−Ａ′線に沿った模式的断面図である。

図１及び図２に示すように、本例の記録ヘッドは、支持部材１と、その支持部材１の上に載置された（マウントされた）液体吐出基板２とから構成されている。液体吐出基板２は、シリコン製の基板本体１０の裏面１１に液体供給口１２が形成され、表面１３側に吐出口１４が形成され、液体供給口１２と吐出口１４との間に液室１５が形成され、液室１５内に電気熱変換素子１６が形成されたものである。より具体的には、基板本体１０の裏面１１の幅方向中央には、該基板本体１０の長手方向に沿って細長の液体供給口１２が形成されている。また、基板本体１０の表面１３側には、複数の吐出口１４を該基板本体１０の長手方向に沿って一列に配置してなる吐出口列１４Ａ、１４Ｂが２列形成されている。ここで、一方の吐出口列１４Ａを構成する各吐出口１４と、他方の吐出口列１４Ｂを構成する各吐出口１４とは、半ピッチずれていることが図１によって理解できる。また、２つの吐出口列１４Ａ、１４Ｂは、液体供給口１２の幅方向両外側に位置していることが図２によって理解できる。

支持部材１は、アルミナ製であって、図２に示すように、裏面２０から表面２１まで貫通する液体供給穴２２が形成されている。液体吐出基板２は、箔状の放熱部材としての銅箔３１を介して支持部材１の表面２１にマウントされている。具体的には、裏面３０が支持部材１の表面２１に接合された銅箔３１の表面３２に液体吐出基板２の裏面１１が接合されている。ここで、銅箔３１は、中央に略長方形の開口部３３が形成された枠状の平面形状を有し（図３）、開口部３３の内周面は、支持部材１の表面２１と銅箔３１の裏面３０とを接合させている接着剤４０、及び銅箔３１の表面３２と液体吐出基板２の裏面１１とを接合させている接着剤４１によって封止されており、これら接着剤４０、４１の界面によって、液体供給穴２２と液体供給口１２との間にインク流路４２が形成されている。

さらに、銅箔３１の面積は、支持部材１の表面２１に対する液体吐出基板２の投影面積よりも大きく、図１に最も明確に図示されているように、銅箔３１の外周部分が液体吐出基板２の外側にはみ出している。

以上の構造を有する本例の記録ヘッドでは、液体吐出基板２の熱は、銅箔３１に伝導し、銅箔３１の全体に拡散して放熱されると共に、支持部材１に伝導して放熱される。すなわち、液体吐出基板２の熱が該基板２の裏面１１よりも面積が大きい銅箔３１に拡散されることによって、液体吐出基板２の裏面１１を支持部材１の表面２１に直接接合させた構成に比べて優れた放熱特性を有する。かかる作用効果に照らせば、放熱部材の材料は銅に限定されず、少なくとも接着剤４０、４１及び支持部材１よりも熱伝導率が良好な材料であれば良いことが理解できる。また、放熱部材は、液体吐出基板２よりも熱伝導率の良好な材料であればさらに望ましい。また、同様に、支持部材１の材料はアルミナに限定されず、液体吐出基板２の材料はシリコンに限定されない。これは後述する実施形態のそれぞれについても同様である。

尚、液体吐出基板２の裏面１１と銅箔３１の表面３２とを接合させている接着剤４１は、液体吐出基板２から銅箔３１への熱伝導を阻害する熱抵抗となる。また、銅箔３１の裏面３０と支持部材１の表面２１とを接合させている接着剤４０は、銅箔３１から支持部材１への熱伝導を阻害する熱抵抗となる。従って、接着剤４０、４１の厚みを薄くしたり、放熱特性の良好な接着剤を用いたりすることによって、上記熱抵抗をなるべく小さくすることが放熱特性を向上させる観点からは望ましい。例えば、接着剤４０の厚みは、１０μm以下であることが望ましい。

（実施形態２）
以下、本発明の記録ヘッドの実施形態の他例について図４及び図５を参照しながら説明する。尚、図４は、本例の記録ヘッドを示す模式的平面図であり、図５は、図４のＢ−Ｂ′線に沿った模式的断面図である。もっとも本例の記録ヘッドの基本構成は、実施形態１の記録ヘッドと同一である。そこで、実施形態１の記録ヘッドと共通の構成については図４及び図５中に同一の符号を付して説明を省略する。

本例の記録ヘッドが実施形態１の記録ヘッドと異なる点は、液体吐出基板２と銅箔３１との接合構造である。具体的には、液体吐出基板２の裏面１１に金属の薄膜５０が形成され、この薄膜５０と銅箔３１の表面３２とが複数の放熱用バンプ５１を介して接合されている。尚、図４に最も明確に図示されているように、薄膜５０は液体供給口１２の周囲を取り囲むように形成されており、放熱用バンプ５１は薄膜５０の上に略等間隔で形成されている。

以上の構造を有する本例の記録ヘッドによれば、液体吐出基板２から銅箔３１への熱伝導効率が向上し、さらに良好な放熱特性が得られる。尚、薄膜５０及び放熱用バンプ５１の上記作用効果に照らせば、これら薄膜５０及び放熱用バンプ５１の材料が特定の材料に限定されるものではなく、接着剤４０、４１よりも熱伝導率の良好な材料であれば如何なる材料であっても構わないことが理解できる。例えば、本例における薄膜５０の材料はアルミニウムであるが、金によって薄膜５０を形成してもよい。また、本例における放熱用バンプ５１は半田バンプであるが、金バンプに替えることもできる。さらに、本例では、液体吐出基板２の裏面１１の一部（液体供給口１２の周囲）のみに薄膜５０が形成されているが、薄膜５０の面積を拡大したり、放熱用バンプ５１の数を増やしたりすることによって、放熱特性のさらなる向上を図ることも可能である。

（実施形態３）
以下、本発明の記録ヘッドの実施形態の他例について説明する。本例の記録ヘッドの基本構成は、実施形態１の記録ヘッドと同一である。本例の記録ヘッドが実施形態１の記録ヘッドと相違する点は、放熱部材としての銅箔が電気熱変換素子に駆動信号等を供給するための配線パターンが形成されたフィルム状の電気回路基板（以下「フレキシブル配線基板」）に形成されている点である。そこで、図６を参照しながら本例の記録ヘッドを構成するフレキシブル配線基板の構造について概説した後に、本例の記録ヘッドの構造について図７及び図８を参照しながら説明する。もっとも、本例の記録ヘッドを構成する支持部材及び液体吐出基板は、実施形態１の記録ヘッドにおけるそれらと共通である。そこで、支持部材及び液体吐出基板については、図７及び図８中に同一の符号を付して説明を省略する。

図６に示すフレキシブル配線基板６２は、ベースフィルム６３と、ベースフィルム６３の表面に形成された配線パターン６１及び電極端子６４と、ベースフィルム６３の裏面に形成された銅箔６０とから構成されている。ベースフィルム６３の幅方向中央には、長手方向に細長の矩形穴６５が形成されており、この矩形穴６５を取り囲むようにして配線パターン６１が形成されている。また、電極端子６４は、矩形穴６５の長手方向両外側にベースフィルム６３の幅方向に沿って配置されて電極列を形成しており、各電極端子６４が対応する配線パターン６１と電気的に導通している。また、銅箔６０には、ベースフィルム６３の矩形穴６５と連通する開口部６６が形成されている。さらに、銅箔６０は、図７、８に示すように、液体吐出基板２の面積よりも大きく、液体吐出基板２の熱を拡散して支持部材１に伝導し、放熱させることが可能である。

次に、本例の記録ヘッドの構造について図７及び図８を参照しながら説明する。尚、図７は、本例の記録ヘッドを示す模式的平面図であり、図８は、図７のＣ−Ｃ′線に沿った模式的断面図である。これらの図面に示すように、本例の記録ヘッドでは、支持部材１の上に上記構造を有するフレキシブル配線基板６２を介して液体吐出基板２がマウントされている。具体的には、フレキシブル配線基板６２のベースフィルム６３の裏面及び銅箔６０の裏面６７が接着剤４０によって支持部材１の表面２１に接合され、液体吐出基板２の裏面１１が矩形穴６５から露出している銅箔６０の表面６８に接着剤４１によって接合されている。尚、フレキシブル配線基板６２の各電極端子６４は、液体吐出基板２の表面１３に形成されている表面電極６９とワイヤーボンディング７０を介して接続されている。

尚、液体吐出基板２の裏面１１に金属の薄膜を形成し、この薄膜と銅箔６０とを放熱用バンプを介して接合することもできる。すなわち、本例の記録ヘッドにおいても実施形態２で説明した接合構造を採用することができる。また、液体吐出基板２の裏面に電極（裏面電極）を設けると共に、この裏面電極を該基板２を貫通する電極（貫通電極）を介して表面電極６９と導通させる場合には、上記金属の薄膜を裏面電極として利用することもできる。例えば、上記金属の薄膜と上記貫通電極とをバンプを介して接続することによって、上記薄膜を裏面電極として利用可能である。この際、金属の薄膜と貫通電極とを導通させるバンプは、上記放熱用バンプと兼用であってもよく、放熱用バンプとは別に設けた電気接続用バンプであってもよい。

さらに、図８から明らかなように、フレキシブル配線基板６２のベースフィルム６３の裏面（銅箔６０が形成されている面）に、銅箔６０よりも厚みの厚いカバーフィルム等が設けられていると、銅箔６０の裏面６７と支持部材１の表面２１との間に介在する接着剤４１が厚くなる。そして、接着剤４１が厚くなればなる程、銅箔６０から支持部材１への熱伝導が阻害されることは容易に理解できる。そこで、ベースフィルム６３の裏面にはカバーフィルム等を設けないか、設けるとしても、銅箔６０の裏面６７よりも支持部材１の表面２１側に突出しない厚みとすることが望ましい。

（実施形態４）
以下、本発明の記録ヘッドの実施形態の他例について説明する。本例の記録ヘッドは、放熱部材としての銅箔が形成されたフレキシブル配線基板を介して液体吐出基板が支持部材上にマウントされている点において実施形態３の記録ヘッドと共通する。異なるのは、単一のフレキシブル配線基板の上に複数の液体吐出基板がマウントされている点である。そこで、図９を参照しながら本例の記録ヘッドを構成するフレキシブル配線基板の構造について概説した後に、本例の記録ヘッドの構造について図１０及び図１１を参照しながら説明する。もっとも、各液体吐出基板は実施形態１の記録ヘッドを構成する液体吐出基板２と共通である。そこで、液体吐出基板については、図１０及び図１１中に同一の符号を付して説明を省略する。

図９に示すフレキシブル配線基板８０は、ベースフィルム８１と、ベースフィルム８１の表裏両面または片面に形成された不図示の配線パターンと、それら配線パターンと電気的に導通した電極端子８２と、ベースフィルム８１の表裏両面に形成された銅箔８３ａ及び８３ｂとから構成されている。ベースフィルム８１には、その長手方向に細長の矩形穴８４が幅方向に複数並列されており、各矩形穴８４の長手方向両外側に複数の電極端子８２が形成されている。これら電極端子８２は、ベースフィルム８１の幅方向に沿って配列されて電極列を形成しており、各電極端子８２が不図示の配線パターンと電気的に導通している。さらに、ベースフィルム８１の表裏両面に設けられた銅箔８３ａ、８３ｂには、各矩形穴８４と連通する開口部８５が形成されている。また、銅箔８３ａと８３ｂとは、ベースフィルム８１を貫通して２ヶ所以上で接続されており、一方から他方へ熱伝導可能となっている。さらに、銅箔８３ｂは、図１１に示すように、液体吐出基板２の面積よりも大きく、液体吐出基板２の熱を拡散して支持部材１に伝導し、放熱させることが可能である。

次に、図１０及び図１１を参照しながら本例の記録ヘッドの構造について説明する。尚、図１０は、本例の記録ヘッドを示す模式的平面図であり、図１１は、図１０のＤ−Ｄ′線に沿った一部省略の模式的断面図である。これらの図面に示すように、本例の記録ヘッドでは、支持部材１の上に上記構造を有するフレキシブル配線基板８０を介して複数の液体吐出基板２がマウントされ、各液体吐出基板２の液体供給口１２がインク流路８９を介して支持部材１の液体供給穴２２に連通している。具体的には、ベースフィルム８１の裏面に設けられている銅箔８３ｂが接着剤８６によって支持部材１の表面２１に接合されている。一方、ベースフィルム８１の表面に設けられている銅箔８３ａが放熱用バンプ８７を介して液体吐出基板２の裏面１１に設けられている金属の薄膜８８に接合されている。さらに、これら接着剤８６の界面によってインク流路８９が形成されている。尚、薄膜８８は、実施形態２で説明した薄膜５０と同一のものである。

以上の構造を有する本例の記録ヘッドでは、液体吐出基板２の熱は、薄膜８８及び放熱用バンプ８７を介して銅箔８３ａに伝導して拡散及び放熱されると共に、銅箔８３ｂにも伝導して拡散及び放熱される。さらに、銅箔８３ｂに伝導した熱は支持部材１にも伝導して放熱される。

（実施形態５）
次に、本発明の第５の実施の形態として、上述したような記録ヘッドを搭載可能な記録装置（インクジェット記録装置）について説明する。図１２は、本発明の記録ヘッドを搭載可能な記録装置の一例を示す説明図である。

図１２に示す記録装置では、実施形態１乃至実施形態４に示した記録ヘッドＨ1001がキャリッジ１０２に位置決めして交換可能に搭載されており、キャリッジ１０２には、記録ヘッドＨ1001に駆動信号等を伝達するための電気接続部（不図示）が設けられている。

キャリッジ１０２は、主走査方向に延在して装置本体に設置されたガイドシャフト１０３に沿って往復移動可能に案内支持されている。そして、キャリッジ１０２は主走査モータ１０４によりモータプーリ１０５、従動プーリ１０６およびタイミングベルト１０７等の駆動機構を介して駆動されるとともにその位置及び移動が制御される。また、キャリッジ１０２にホームポジションセンサ１３０が設けられている。これにより遮蔽板１３６をキャリッジ１０２上のホームポジションセンサ１３０が通過した際にキャリッジ１０２の位置を知ることが可能となる。

ホームポジションセンサ１３０が遮蔽板１３６を検知するキャリッジの位置（ホームポジション）には、吐出口が形成された記録ヘッドＨ1001の前面を塞ぐキャップ１３７が配置され、キャップ１３７は不図示の吸引手段によりキャップ内開口を介して記録ヘッドのインク吸引回復を行うために用いられる。キャップ１３７はギア等を介して伝達される駆動力により移動して吐出口形成面を覆うことができる。キャップ１３７の近傍にはクリーニングブレード１３８が設けられている。これらのキャッピング、クリーニング、吸引回復の各動作は、キャリッジ１０２がホームポジションに移動したときに、記録ヘッドのインク吐出口面に対して実行されるように構成されている。

記録用紙やプラスチック薄板等の記録媒体１０８は、給紙モータ１３５によって回転駆動されるピックアップローラ１３１によってオートシートフィーダ（以後ＡＳＦ）１３２から一枚ずつ分離されて給紙される。給紙された記録媒体１０８は、ギアを介して伝達されるＬＦモータ１３４の駆動力によって回転する搬送ローラ１０９によって記録ヘッドＨ1001の吐出口形成面と対向する位置（プリント部）を通って搬送（副走査）される。その際、給紙されたかどうかの判定と給紙時の頭出し位置の確定は、ペーパエンドセンサ１３３を記録媒体１０８が通過した時点で行われる。さらに、記録媒体１０８の後端が実際にどこに有り、実際の後端から現在の記録位置を最終的に割り出すためにもペーパエンドセンサ１３３は使用される。

尚、記録媒体８は、プリント部において平坦なプリント面を形成するように、その裏面がプラテン（不図示）により支持される。この場合、キャリッジ１０２に搭載された記録ヘッドＨ1001は、吐出口形成面がキャリッジ１０２から下方へ突出して上記２組の搬送ローラ対の間で記録媒体１０８と平行になるように保持されている。

記録ヘッドＨ1001は、各吐出口列における吐出口の並び方向が上述したキャリッジ１０２の走査方向に対して交差する方向になるようにキャリッジ１０２に搭載され、これらの吐出口列からインクを吐出して記録を行う。

本発明の記録ヘッドの実施形態の一例を示す模式的平面図である。 図１に示す記録ヘッドを同図のＡ−Ａ´線に沿って切断した模式的断面図である。 図１に示す銅箔の模式的斜視図である。 本発明の記録ヘッドの実施形態の他例を示す模式的平面図である。 図２に示す記録ヘッドを同図のＢ−Ｂ´線に沿って切断した模式的断面図である。 フレキシブル配線基板の一例を示す模式的平面図である。 本発明の記録ヘッドの実施形態の他例を示す模式的平面図である。 図７に示す記録ヘッドを同図のＣ−Ｃ´線に沿って切断した模式的断面図である。 フレキシブル配線基板の他例を示す模式的平面図である。 本発明の記録ヘッドの実施形態の他例を示す模式的平面図である。 図１０に示す記録ヘッドを同図のＤ−Ｄ´線に沿って切断した模式的断面図である。 本発明の記録装置の実施形態の一例を示す模式的平面図である。 従来の記録ヘッドを示す模式的断面図である。

符号の説明

１ 支持部材
２ 液体突出基板
１２ 液体供給口
１４ 吐出口
１６ 電気熱変換素子
２２ 液体供給穴
３１ 、６０ 銅箔
４０、４１、８６ 接着剤
５０、８３ 薄膜
５１ 放熱用バンプ
６１ 配線パターン
６２、８０ フレキシブル配線基板
Ｈ１００１ インクジェット記録ヘッド
１０２ キャリッジ

Claims (8)

1. 液体供給穴を備えた支持部材と、
   前記液体供給穴に連通する液体供給口、前記液体供給口から供給された液体が吐出される吐出口、及び前記液体を前記吐出口から吐出させるためのエネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段を備えた液体吐出基板と、を有するインクジェット記録ヘッドであって、
   前記液体吐出基板が箔状の放熱部材を介して支持部材上に載置され、その放熱部材の面積が前記液体吐出基板の前記支持部材に対する投影面積よりも大きいインクジェット記録ヘッド。
2. 液体吐出基板と支持部材とが接着剤によって接合されており、前記接着剤の界面によって、前記液体吐出基板の液体供給口と前記支持部材の液体供給穴との間に流路が形成されている請求項１記載のインクジェット記録ヘッド。
3. 液体吐出基板がバンプを介して放熱部材と接している請求項１又は請求項２記載のインクジェット記録ヘッド。
4. 液体吐出基板に設けられた金属膜がバンプを介して放熱部材と接している請求項１乃至請求項３のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
5. 放熱部材が箔状の放熱面を有する部材である請求項１乃至請求項４のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
6. 放熱部材が吐出エネルギー発生手段に駆動信号を供給するための配線パターンが形成されたフィルム上に形成されている請求項１乃至請求項５のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
7. 放熱部材が２以上設けられ、それら２以上の放熱部材同士が熱伝導可能に接続されている請求項１乃至請求項６のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド。
8. 請求項１乃至請求項７のいずれかに記載されたインクジェット記録ヘッドと、前記インクジェット記録ヘッドを記録媒体に対向して保持するヘッド保持部材と、を有するインクジェット記録装置。

Images