JP2008168619A - 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板101の表面から基板101の裏面まで貫通する、発熱抵抗体110に電力を供給する第1の貫通電極105を有する。さらに、基板101の裏面側に接合された補強板106と、補強板106の表面から補強板106の裏面まで貫通する第2の貫通電極105とを有する。第2の貫通電極105と第1の貫通電極106とは電気的に接続されている。
【選択図】図1A
Description
101a、106a 表面
101b、106b 裏面
102 インク供給口
103 吐出口
104 ノズル材
105 第1の貫通電極
106 補強板
107 梁
108 電極
109 第2の貫通電極
211 駆動素子
Claims (7)
- 液体を吐出する吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段と、吐出口を備えた流路形成部材と、を表面に備え、前記吐出エネルギーによって吐出される液体を前記流路形成部材の流路に供給する液体供給口が貫通して形成された基板を有する液体吐出ヘッドにおいて、
前記基板の表面から前記基板の裏面まで貫通する、前記吐出エネルギー発生手段に電力を供給する第1の貫通電極と、
前記基板の裏面側に接合された補強部材と、
前記補強部材の表面から前記補強部材の裏面まで貫通する第2の貫通電極と、を有し、
前記第2の貫通電極が、前記第1の貫通電極と電気的に接続されていることを特徴とする液体吐出ヘッド。 - 前記補強部材は、前記基板の前記液体供給口と連通する開口が当該補強部材の表面から当該補強部材の裏面まで貫通して形成されている、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極とは、前記補強部材の前記表面に形成された配線を介して電気的に接続されている、請求項1または2に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記補強部材には、前記吐出エネルギー発生手段を駆動する駆動手段が形成されている、請求項1から3のいずれか1項に記載の液体吐出ヘッド。
- 液体を吐出する吐出エネルギーを発生する吐出エネルギー発生手段と液体供給口とを基板に備える液体吐出ヘッドの製造方法において、
第1のウエハに当該第1のウエハを貫通して、複数の前記液体供給口を形成する工程と、
基板の表面から前記基板の裏面まで貫通する、前記吐出エネルギー発生手段に電力を供給する第1の貫通電極を、前記第1のウエハを貫通して形成する工程と、
第2のウエハに当該第2のウエハを貫通して、複数の開口を形成する工程と、
前記基板の裏面に後の工程で接合される補強部材の表面から当該補強部材の裏面まで貫通する第2の貫通電極を、前記第2のウエハを貫通して形成する工程と、
前記第1のウエハの裏面と前記第2のウエハの表面とを、前記液体供給口と前記開口とが連通し、前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極とが電気的に導通するように接合する工程と、
前記補強部材が接合された前記基板を、接合した前記第1のウエハと前記第2のウエハとから切り出す工程と、を含むことを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1の貫通電極と前記第2の貫通電極とを電気的に接続するための配線を前記補強部材の表面に形成した後に、前記第1のウエハと前記第2のウエハとを接合する、請求項5に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記補強部材に、前記吐出エネルギー発生手段を駆動する駆動手段を形成した後に、前記第1のウエハと前記第2のウエハとを接合する、請求項5または6に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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