JPH07266569A - インクジェット記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
インクジェット記録ヘッドの製造方法Info
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- JPH07266569A JPH07266569A JP8553094A JP8553094A JPH07266569A JP H07266569 A JPH07266569 A JP H07266569A JP 8553094 A JP8553094 A JP 8553094A JP 8553094 A JP8553094 A JP 8553094A JP H07266569 A JPH07266569 A JP H07266569A
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- Japan
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- glass substrate
- silicon wafer
- recording head
- jet recording
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 工数の低減を達成するとともに、精度の良い
位置合わせを容易にする。 【構成】 インクジェット記録ヘッド１０は、インク滴
を吐出するインク吐出口１２が設けられたオリフィスプ
レート１４と、インク吐出口１２からインク滴を吐出さ
せる発熱素子が設けられたサーマルヘッド基板１８とを
備えている。インクジェット記録ヘッド１０の製造方法
は、まず、オリフィスプレート１４をガラス基板２０に
複数形成すると共に、サーマルヘッド基板１８をシリコ
ンウェーハ２２に複数形成する。続いて、ガラス基板２
０とシリコンウェーハ２２とを接合する。その後、個々
のインクジェット記録ヘッド１０に分離する。
位置合わせを容易にする。 【構成】 インクジェット記録ヘッド１０は、インク滴
を吐出するインク吐出口１２が設けられたオリフィスプ
レート１４と、インク吐出口１２からインク滴を吐出さ
せる発熱素子が設けられたサーマルヘッド基板１８とを
備えている。インクジェット記録ヘッド１０の製造方法
は、まず、オリフィスプレート１４をガラス基板２０に
複数形成すると共に、サーマルヘッド基板１８をシリコ
ンウェーハ２２に複数形成する。続いて、ガラス基板２
０とシリコンウェーハ２２とを接合する。その後、個々
のインクジェット記録ヘッド１０に分離する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インク滴を噴射して記
録を行うインクジェット記録装置に用いられるインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法に関する。
録を行うインクジェット記録装置に用いられるインクジ
ェット記録ヘッドの製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、インクジェット記録ヘッドは、個
々のオリフィスプレートとサーマルヘッド基板とを接合
して製造されている。この接合に際しては、オリフィス
プレートのインク吐出口とサーマルヘッド基板の発熱素
子とが所定の位置に配置されるように、位置合わせを行
わなければならなかった。位置合わせは、高密度記録の
点から高精度が要求されており、以下に示すような方法
が用いられていた。
々のオリフィスプレートとサーマルヘッド基板とを接合
して製造されている。この接合に際しては、オリフィス
プレートのインク吐出口とサーマルヘッド基板の発熱素
子とが所定の位置に配置されるように、位置合わせを行
わなければならなかった。位置合わせは、高密度記録の
点から高精度が要求されており、以下に示すような方法
が用いられていた。
【０００３】１．オリフィスプレート及びサーマルヘッ
ド基板の端面を突き当てで平行出しを行った後、オリフ
ィスプレート又はサーマルヘッド基板の一方を前記端面
に沿って平行に移動し、位置合わせの目印を合わせて位
置合わせを行う方法。
ド基板の端面を突き当てで平行出しを行った後、オリフ
ィスプレート又はサーマルヘッド基板の一方を前記端面
に沿って平行に移動し、位置合わせの目印を合わせて位
置合わせを行う方法。
【０００４】２．位置合わせ用の穴が開けられたオリフ
ィスプレート及びサーマルヘッド基板の端面を突き当て
で平行出しを行った後、オリフィスプレートまたはサー
マルヘッド基板を前記端面に沿って平行に移動し、オリ
フィスプレートの前記穴とサーマルヘッド基板上に設け
られた目印とを合わせることにより行う方法。
ィスプレート及びサーマルヘッド基板の端面を突き当て
で平行出しを行った後、オリフィスプレートまたはサー
マルヘッド基板を前記端面に沿って平行に移動し、オリ
フィスプレートの前記穴とサーマルヘッド基板上に設け
られた目印とを合わせることにより行う方法。
【０００５】３．オリフィスプレートとサーマルヘッド
基板とに各々対応して設けられた凹凸部の位置決め手段
で合わせる方法。
基板とに各々対応して設けられた凹凸部の位置決め手段
で合わせる方法。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】位置決めに突き当てを
利用する方法では、オリフィスプレート及びサーマルヘ
ッド基板の端面を精度よく仕上げておく必要がある。ま
た、オリフィスプレート及びサーマルヘッド基板それぞ
れの突き当て作業を行った後、もう一度位置合わせを行
うという二回の操作を行うため、作業者の熟練を必要と
する。
利用する方法では、オリフィスプレート及びサーマルヘ
ッド基板の端面を精度よく仕上げておく必要がある。ま
た、オリフィスプレート及びサーマルヘッド基板それぞ
れの突き当て作業を行った後、もう一度位置合わせを行
うという二回の操作を行うため、作業者の熟練を必要と
する。
【０００７】凹凸部の位置決め手段で合わせる方法で
は、凹凸部の形成作業として、メッキ、エッチングを用
いた場合、凹凸部形成作業が工程に含まれるので、アセ
ンブリ工程が増えることになる。また、ドライフィルム
のフォトレジストのパターニングにより凹凸部を形成す
る場合は、インク流路を形成する際に同時に行うことが
できるが、パターニング時の誤差が発生するので正確な
位置合わせができない。
は、凹凸部の形成作業として、メッキ、エッチングを用
いた場合、凹凸部形成作業が工程に含まれるので、アセ
ンブリ工程が増えることになる。また、ドライフィルム
のフォトレジストのパターニングにより凹凸部を形成す
る場合は、インク流路を形成する際に同時に行うことが
できるが、パターニング時の誤差が発生するので正確な
位置合わせができない。
【０００８】また、以上に述べた従来例では、インクジ
ェット記録ヘッドのアセンブリを個々のオリフィスプレ
ート及びサーマルヘッド基板の接合により行っているの
で、工数が増えるという問題点がある。
ェット記録ヘッドのアセンブリを個々のオリフィスプレ
ート及びサーマルヘッド基板の接合により行っているの
で、工数が増えるという問題点がある。
【０００９】
【発明の目的】そこで、本発明の目的は、工数を低減で
きるとともに、精度の良い位置合わせが容易にできるイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにあ
る。
きるとともに、精度の良い位置合わせが容易にできるイ
ンクジェット記録ヘッドの製造方法を提供することにあ
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明に係るインクジェ
ット記録ヘッドの製造方法は、上記目的を達成するため
になされたものであり、インク滴を吐出するインク吐出
口が設けられたオリフィスプレートと、前記インク吐出
口から前記インク滴を吐出させる発熱素子が設けられた
サーマルヘッド基板とを備えたインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法を改良したものである。
ット記録ヘッドの製造方法は、上記目的を達成するため
になされたものであり、インク滴を吐出するインク吐出
口が設けられたオリフィスプレートと、前記インク吐出
口から前記インク滴を吐出させる発熱素子が設けられた
サーマルヘッド基板とを備えたインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法を改良したものである。
【００１１】すなわち、前記オリフィスプレートをガラ
ス基板に複数形成すると共に、前記サーマルヘッド基板
をシリコンウェーハに複数形成し、前記ガラス基板と前
記シリコンウェーハとを接合した後、個々のインクジェ
ット記録ヘッドに分離することを特徴とするものであ
る。
ス基板に複数形成すると共に、前記サーマルヘッド基板
をシリコンウェーハに複数形成し、前記ガラス基板と前
記シリコンウェーハとを接合した後、個々のインクジェ
ット記録ヘッドに分離することを特徴とするものであ
る。
【００１２】また、前記ガラス基板及び前記シリコンウ
ェーハの相対する位置にそれぞれ位置決め用の目合わせ
マークを形成し、これらの目合わせマークを用いて前記
ガラス基板と前記シリコンウェーハとの位置決めをした
後、前記ガラス基板と前記シリコンウェーハとを接合す
るようにしてもよい。
ェーハの相対する位置にそれぞれ位置決め用の目合わせ
マークを形成し、これらの目合わせマークを用いて前記
ガラス基板と前記シリコンウェーハとの位置決めをした
後、前記ガラス基板と前記シリコンウェーハとを接合す
るようにしてもよい。
【００１３】
【作用】オリフィスプレートは、ガラス基板に複数形成
される。サーマルヘッド基板は、シリコンウェーハに複
数形成される。ガラス基板とシリコンウェーハとを接合
すると、複数のインクジェット記録ヘッドが連結された
状態になる。したがって、ガラス基板とシリコンウェー
ハとが接合したものを複数に分離することにより、個々
のインクジェット記録ヘッドが得られる。
される。サーマルヘッド基板は、シリコンウェーハに複
数形成される。ガラス基板とシリコンウェーハとを接合
すると、複数のインクジェット記録ヘッドが連結された
状態になる。したがって、ガラス基板とシリコンウェー
ハとが接合したものを複数に分離することにより、個々
のインクジェット記録ヘッドが得られる。
【００１４】また、ガラス基板及びシリコンウェーハの
相対する位置にそれぞれ位置決め用の目合わせマークを
形成すると、これらの目合わせマークの合致がガラス基
板を通して確認される。ガラス基板は、光を透過させる
からである。
相対する位置にそれぞれ位置決め用の目合わせマークを
形成すると、これらの目合わせマークの合致がガラス基
板を通して確認される。ガラス基板は、光を透過させる
からである。
【００１５】
【実施例】本発明の第一実施例について説明する。図１
は、ガラス基板とシリコンウェーハとを接合した状態を
示す図２におけるＩ−Ｉ線縦断面図である。図２は、ガ
ラス基板とシリコンウェーハとを接合した状態を示す斜
視図である。図３は、図１における目合わせマークの詳
細図である。以下、図１乃至図３に基づき説明する。
は、ガラス基板とシリコンウェーハとを接合した状態を
示す図２におけるＩ−Ｉ線縦断面図である。図２は、ガ
ラス基板とシリコンウェーハとを接合した状態を示す斜
視図である。図３は、図１における目合わせマークの詳
細図である。以下、図１乃至図３に基づき説明する。
【００１６】インクジェット記録ヘッド１０は、インク
滴を吐出するインク吐出口１２が設けられたオリフィス
プレート１４と、インク吐出口１２からインク滴を吐出
させる発熱素子（図示せず）が設けられたサーマルヘッ
ド基板１８とを備えている。なお、発熱素子は、便宜上
省略しているが、実際にはインク吐出口１２ごとに別個
に形成されるものである。
滴を吐出するインク吐出口１２が設けられたオリフィス
プレート１４と、インク吐出口１２からインク滴を吐出
させる発熱素子（図示せず）が設けられたサーマルヘッ
ド基板１８とを備えている。なお、発熱素子は、便宜上
省略しているが、実際にはインク吐出口１２ごとに別個
に形成されるものである。
【００１７】インクジェット記録ヘッド１０の製造方法
は、以下の通りである。まず、オリフィスプレート１４
をガラス基板２０に複数形成すると共に、サーマルヘッ
ド基板１８をシリコンウェーハ２２に複数形成する。続
いて、ガラス基板２０とシリコンウェーハ２２とを接合
する。その後、個々のインクジェット記録ヘッド１０に
分離する。
は、以下の通りである。まず、オリフィスプレート１４
をガラス基板２０に複数形成すると共に、サーマルヘッ
ド基板１８をシリコンウェーハ２２に複数形成する。続
いて、ガラス基板２０とシリコンウェーハ２２とを接合
する。その後、個々のインクジェット記録ヘッド１０に
分離する。
【００１８】また、ガラス基板２０の外周部にはオリフ
ィスプレート１４形成の工程において目合わせマーク２
４が形成され、シリコンウェーハ２２の外周部にはサー
マルヘッド基板１８形成の工程において目合わせマーク
２６が形成される。
ィスプレート１４形成の工程において目合わせマーク２
４が形成され、シリコンウェーハ２２の外周部にはサー
マルヘッド基板１８形成の工程において目合わせマーク
２６が形成される。
【００１９】図４はガラス基板の平面図、図５は図４に
おけるＶ−Ｖ線縦断面図である。以下、図１乃至図５に
基づき説明する。
おけるＶ−Ｖ線縦断面図である。以下、図１乃至図５に
基づき説明する。
【００２０】ガラス基板２０上には導電性金属３０がス
パッタされ、導電性金属３０上にはフォトレジスト３２
がパターニングされている。このフォトレジスト３２の
パターン上にＮｉ電鋳を施しオリフィスプレート１４を
形成している。目合わせマーク２４は、フォトレジスト
３２をパターニングする際にフォトレジスト３２と同材
料によって同時に形成する。なお、導電性金属３０をス
パッタする際には、目合わせマーク２４が位置するガラ
ス基板２０の外周部をマスキングする。
パッタされ、導電性金属３０上にはフォトレジスト３２
がパターニングされている。このフォトレジスト３２の
パターン上にＮｉ電鋳を施しオリフィスプレート１４を
形成している。目合わせマーク２４は、フォトレジスト
３２をパターニングする際にフォトレジスト３２と同材
料によって同時に形成する。なお、導電性金属３０をス
パッタする際には、目合わせマーク２４が位置するガラ
ス基板２０の外周部をマスキングする。
【００２１】ガラス基板２０側の目合わせマーク２４と
シリコンウェーハ２２側の目合わせマーク２６のそれぞ
れの形成される位置は、ガラス基板２０とシリコンウェ
ーハ２２を接合した場合に、オリフィスプレート１４の
インク吐出口１２の中心点と、サーマルヘッド基板１８
の発熱素子の中心点が、インクジェット記録ヘッド１０
内の全てのインク吐出口１２において合致する位置に形
成される。ガラス基板２０とシリコンウェーハ２２の接
合は、接着剤をインク流路構成部材１６上に塗布し接着
するか、インク流路構成部材１６自身の接着力を利用し
て行う。
シリコンウェーハ２２側の目合わせマーク２６のそれぞ
れの形成される位置は、ガラス基板２０とシリコンウェ
ーハ２２を接合した場合に、オリフィスプレート１４の
インク吐出口１２の中心点と、サーマルヘッド基板１８
の発熱素子の中心点が、インクジェット記録ヘッド１０
内の全てのインク吐出口１２において合致する位置に形
成される。ガラス基板２０とシリコンウェーハ２２の接
合は、接着剤をインク流路構成部材１６上に塗布し接着
するか、インク流路構成部材１６自身の接着力を利用し
て行う。
【００２２】ガラス基板２０とシリコンウェーハ２２を
位置合わせをし接合した後、ダイシングソー等により、
個々のインクジェット記録ヘッド１０ごとにシリコンウ
ェーハ２２を切断する。そして、ガラス基板２０，フォ
トレジスト３２等を除去してチップ化する。図６はイン
クジェット記録ヘッド１０の分離後の全体斜視図であ
る。
位置合わせをし接合した後、ダイシングソー等により、
個々のインクジェット記録ヘッド１０ごとにシリコンウ
ェーハ２２を切断する。そして、ガラス基板２０，フォ
トレジスト３２等を除去してチップ化する。図６はイン
クジェット記録ヘッド１０の分離後の全体斜視図であ
る。
【００２３】次に、本発明の第二実施例について説明す
る。図７は、本実施例におけるオリフィスプレートを形
成したガラス基板の断面図である。本実施例において
は、まず、ガラス基板２０上に導電性金属４０をスパッ
タする。続いて、導電性金属４０上に図示しないフォト
レジストをパターニングし、これをマスクとして導電性
金属４０をエッチングすることによりオリフィスプレー
ト４２の電鋳用のパターンを形成する。さらに、フォト
レジストを剥離後、この導電性金属４０のパターン上に
Ｎｉ電鋳を施すことにより、オリフィスプレート４２を
形成する。図示しない目合わせマークは導電性金属４０
と同材料で、導電性金属４０のエッチング工程時に同時
に形成される。以後は、第一実施例と同様に、このガラ
ス基板２０とシリコンウェーハを目合わせマークを用い
て位置合わせをして接合した後、個々のチップに切断す
る。
る。図７は、本実施例におけるオリフィスプレートを形
成したガラス基板の断面図である。本実施例において
は、まず、ガラス基板２０上に導電性金属４０をスパッ
タする。続いて、導電性金属４０上に図示しないフォト
レジストをパターニングし、これをマスクとして導電性
金属４０をエッチングすることによりオリフィスプレー
ト４２の電鋳用のパターンを形成する。さらに、フォト
レジストを剥離後、この導電性金属４０のパターン上に
Ｎｉ電鋳を施すことにより、オリフィスプレート４２を
形成する。図示しない目合わせマークは導電性金属４０
と同材料で、導電性金属４０のエッチング工程時に同時
に形成される。以後は、第一実施例と同様に、このガラ
ス基板２０とシリコンウェーハを目合わせマークを用い
て位置合わせをして接合した後、個々のチップに切断す
る。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したように本発明によるインク
ジェット記録ヘッド製造方法によれば、オリフィスプレ
ートを複数形成したガラス基板と、サーマルヘッド基板
を複数形成したシリコンウェーハとを接合した後、個々
のインクジェット記録ヘッドに分離することにより、１
回のアセンブリで複数のインクジェット記録ヘッドを同
時に製造できるため、工数を低減できると共にこれによ
る低コスト化を達成できる。
ジェット記録ヘッド製造方法によれば、オリフィスプレ
ートを複数形成したガラス基板と、サーマルヘッド基板
を複数形成したシリコンウェーハとを接合した後、個々
のインクジェット記録ヘッドに分離することにより、１
回のアセンブリで複数のインクジェット記録ヘッドを同
時に製造できるため、工数を低減できると共にこれによ
る低コスト化を達成できる。
【００２５】また、ガラス基板及びシリコンウェーハに
それぞれ位置決め用の目合わせマークを設けることによ
り、ガラス基板を通して目合わせマークを確認できるの
で、ガラス基板とシリコンウェーハとの位置合わせを容
易にしかも正確に行うことができる。
それぞれ位置決め用の目合わせマークを設けることによ
り、ガラス基板を通して目合わせマークを確認できるの
で、ガラス基板とシリコンウェーハとの位置合わせを容
易にしかも正確に行うことができる。
【図１】図２におけるＩ−Ｉ線縦断面図である。
【図２】第一実施例のガラス基板とシリコンウェーハと
を接合した状態を示す斜視図である。
を接合した状態を示す斜視図である。
【図３】図１における目合わせマークを示す詳細図であ
る。
る。
【図４】第一実施例のガラス基板を示す平面図である。
【図５】図４におけるＶ−Ｖ線縦断面図である。
【図６】分離後のインクジェット記録ヘッドを示す全体
斜視図である。
斜視図である。
【図７】第二実施例のガラス基板を示す断面図である。
１０ インクジェット記録ヘッド １２ インク吐出口 １４，４２ オリフィスプレート １６ インク流路構成部材 １８ サーマルヘッド基板 ２０ ガラス基板 ２２ シリコンウェーハ ２４ ガラス基板側の目合わせマーク ２６ シリコンウェーハ側の目合わせマーク ３０，４０ 導電性金属 ３２ フォトレジスト
Claims (2)
- 【請求項１】 インク滴を吐出するインク吐出口が設け
られたオリフィスプレートと、前記インク吐出口から前
記インク滴を吐出させる発熱素子が設けられたサーマル
ヘッド基板とを備えたインクジェット記録ヘッドの製造
方法において、 前記オリフィスプレートをガラス基板に複数形成すると
共に、前記サーマルヘッド基板をシリコンウェーハに複
数形成し、前記ガラス基板と前記シリコンウェーハとを
接合した後、個々のインクジェット記録ヘッドに分離す
ることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方
法。 - 【請求項２】 前記ガラス基板及び前記シリコンウェー
ハの相対する位置にそれぞれ位置決め用の目合わせマー
クを形成し、これらの目合わせマークを用いて前記ガラ
ス基板と前記シリコンウェーハとの位置決めをした後、
前記ガラス基板と前記シリコンウェーハとを接合するこ
とを特徴とする請求項１記載のインクジェット記録ヘッ
ドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8553094A JP2730481B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8553094A JP2730481B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07266569A true JPH07266569A (ja) | 1995-10-17 |
| JP2730481B2 JP2730481B2 (ja) | 1998-03-25 |
Family
ID=13861450
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8553094A Expired - Fee Related JP2730481B2 (ja) | 1994-03-31 | 1994-03-31 | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2730481B2 (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006168345A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-29 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法、及び液体吐出ヘッド |
| JP2008068536A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドユニット用アライメントマスク及び液体噴射ヘッドユニット用アライメント装置並びに液体噴射ヘッドユニットのアライメント方法 |
| JP2008168619A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-24 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2008173972A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Samsung Electronics Co Ltd | インクジェットプリントヘッド、及びその製造方法 |
| US7506960B2 (en) | 2003-04-28 | 2009-03-24 | Panasonic Corporation | Nozzle head, line head using the same, and ink jet recording apparatus mounted with its line head |
| US7589420B2 (en) | 2006-06-06 | 2009-09-15 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Print head with reduced bonding stress and method |
| US8556387B2 (en) | 2003-04-28 | 2013-10-15 | Panasonic Corporation | Ink jet head unit and ink jet recording apparatus mounted with the same |
-
1994
- 1994-03-31 JP JP8553094A patent/JP2730481B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7506960B2 (en) | 2003-04-28 | 2009-03-24 | Panasonic Corporation | Nozzle head, line head using the same, and ink jet recording apparatus mounted with its line head |
| US8556387B2 (en) | 2003-04-28 | 2013-10-15 | Panasonic Corporation | Ink jet head unit and ink jet recording apparatus mounted with the same |
| JP2006168345A (ja) * | 2004-11-22 | 2006-06-29 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドの製造方法、及び液体吐出ヘッド |
| US7589420B2 (en) | 2006-06-06 | 2009-09-15 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Print head with reduced bonding stress and method |
| US8388778B2 (en) | 2006-06-06 | 2013-03-05 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Print head with reduced bonding stress and method |
| JP2008068536A (ja) * | 2006-09-14 | 2008-03-27 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッドユニット用アライメントマスク及び液体噴射ヘッドユニット用アライメント装置並びに液体噴射ヘッドユニットのアライメント方法 |
| JP2008168619A (ja) * | 2006-12-14 | 2008-07-24 | Canon Inc | 液体吐出ヘッドおよびその製造方法 |
| JP2008173972A (ja) * | 2007-01-18 | 2008-07-31 | Samsung Electronics Co Ltd | インクジェットプリントヘッド、及びその製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2730481B2 (ja) | 1998-03-25 |
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| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20071219 Year of fee payment: 10 |
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