JPH022003A - インクジェット記録ヘッド - Google Patents
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- JPH022003A JPH022003A JP14364188A JP14364188A JPH022003A JP H022003 A JPH022003 A JP H022003A JP 14364188 A JP14364188 A JP 14364188A JP 14364188 A JP14364188 A JP 14364188A JP H022003 A JPH022003 A JP H022003A
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Classifications
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- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［産業上の利用分野］
本発明は、液体を噴射し、飛翔液滴を形成して記録を行
なうエツジタイプのインクジェット記録ヘッドのオリフ
ィスプレートに関する。
なうエツジタイプのインクジェット記録ヘッドのオリフ
ィスプレートに関する。
［従来の技術］
エツジタイプのインクジェット記録ヘッドは、インク吐
出発生素子を設置した基板と、その基板上に設けられた
流路形成部材に、インク吐出口を有するオリフィスプレ
ートを接合することにより構成されている。オリフィス
プレートの接合はインク滴の飛翔に影響をおよぼし、正
確な位置合わせがなされていないと、印字品位画像品位
などの劣化につながるため重要なことである。
出発生素子を設置した基板と、その基板上に設けられた
流路形成部材に、インク吐出口を有するオリフィスプレ
ートを接合することにより構成されている。オリフィス
プレートの接合はインク滴の飛翔に影響をおよぼし、正
確な位置合わせがなされていないと、印字品位画像品位
などの劣化につながるため重要なことである。
従来のオリフィスプレートの位置合わせ方法は、オリフ
ィスプレートに設けられたオリフィスと、インク流路の
端面によって行なわれていた。その方法を具体的に説明
すると、第１Ｏ図のように、インク流路形成部材とオリ
フィスプレートを配置し、オリフィスプレートのオリフ
ィスから、インク流路を確認しながら接合していた。し
かし、オリフィスプレートのオリフィスはφ７０μｍ以
下と微小であるために、オリフィスをとおして流路な確
認することは難しかった。とくに位置合わせをするため
に、１つのオリフィスを顕微鏡などにより拡大して確認
しながら、合わせるために、エツジタイプの複数個のオ
リフィスが配列されているヘッドでは、図１１、図１２
に示すように、位置ずれによる不良があった。また、イ
ンク流路の径より、オリフィスプレートの径が小さい場
合には、オリフィスがインク流路の中心に位置合わせさ
れているかどうか確認できなかった。
ィスプレートに設けられたオリフィスと、インク流路の
端面によって行なわれていた。その方法を具体的に説明
すると、第１Ｏ図のように、インク流路形成部材とオリ
フィスプレートを配置し、オリフィスプレートのオリフ
ィスから、インク流路を確認しながら接合していた。し
かし、オリフィスプレートのオリフィスはφ７０μｍ以
下と微小であるために、オリフィスをとおして流路な確
認することは難しかった。とくに位置合わせをするため
に、１つのオリフィスを顕微鏡などにより拡大して確認
しながら、合わせるために、エツジタイプの複数個のオ
リフィスが配列されているヘッドでは、図１１、図１２
に示すように、位置ずれによる不良があった。また、イ
ンク流路の径より、オリフィスプレートの径が小さい場
合には、オリフィスがインク流路の中心に位置合わせさ
れているかどうか確認できなかった。
以上のように、今までのオリフィスプレートでは、イン
ク流路とオリフィスを精度よく位置合わせすることが出
来ず、また位置が正確でないインクジェット記録ヘッド
は、その性能に影響する問題があった。
ク流路とオリフィスを精度よく位置合わせすることが出
来ず、また位置が正確でないインクジェット記録ヘッド
は、その性能に影響する問題があった。
［発明が解決しようとする課題］
本発明の目的は、オリフィスプレートの位置合わせが簡
単にできるオリフィスプレートを提供し、またその容易
な製造方法を提供することである。
単にできるオリフィスプレートを提供し、またその容易
な製造方法を提供することである。
［課題を解決するための手段］
本発明による手段は、インク吐出圧発生素子が設置され
た基板と、その基板上に設けられた流路形成部材と、オ
リフィスを有するオリフィスプレートが接合されたイン
クジェット記録ヘッドにおいて、オリフィスプレートが
位置合わせ用パターンを有することを特徴とするインク
ジェット記録ヘット、および該位置合わせ用パターンを
、オリフィスプレートのオリフィスおよび外形と同時に
形成する工程を有するインクジェット記録ヘッドの製造
方法である。
た基板と、その基板上に設けられた流路形成部材と、オ
リフィスを有するオリフィスプレートが接合されたイン
クジェット記録ヘッドにおいて、オリフィスプレートが
位置合わせ用パターンを有することを特徴とするインク
ジェット記録ヘット、および該位置合わせ用パターンを
、オリフィスプレートのオリフィスおよび外形と同時に
形成する工程を有するインクジェット記録ヘッドの製造
方法である。
本発明の目的は、オリフィスプレートに位置合わせ用の
パターンを以下の方法によって製造することで達成され
る。これを図面で説明する。
パターンを以下の方法によって製造することで達成され
る。これを図面で説明する。
まずステンレス製（ＳＵＳ３０４）などの基板２に、感
光性樹脂であるドライフィルム（日立、ＰＨＴ−８８７
ＡＦ−４０）をラミネートし、フォトリソエツチング工
程により、オリフィスプレートの形状・オリフィスを形
成するとともに、オリフィスプレート位置合わせ用のパ
ターン９を同時に形成する。第１図（ａ）はこの段階を
示したものであり、パターニングされたドライフィルム
４によりオリフィスプレートの外枠とオリフィス部が形
成され、さらに位置合わせ用のパターン９が形成されて
いる。
光性樹脂であるドライフィルム（日立、ＰＨＴ−８８７
ＡＦ−４０）をラミネートし、フォトリソエツチング工
程により、オリフィスプレートの形状・オリフィスを形
成するとともに、オリフィスプレート位置合わせ用のパ
ターン９を同時に形成する。第１図（ａ）はこの段階を
示したものであり、パターニングされたドライフィルム
４によりオリフィスプレートの外枠とオリフィス部が形
成され、さらに位置合わせ用のパターン９が形成されて
いる。
第１図（ｂ）はこの状態の中央部分のみについての断面
図である。
図である。
次に、ニッケル、金、銅などの電解めっきまたは無電解
めっきにより、基板上に、ドライフィルム４の厚さ以下
にめっき５をする（第２図）。次に、基板とその上に設
けためっきを剥離する（第３図）。この剥離されためっ
きは、パターニングされた形状と同じであり、これがオ
リフィスプレート３となる（第４図（ａ）、第４図（ｂ
））。
めっきにより、基板上に、ドライフィルム４の厚さ以下
にめっき５をする（第２図）。次に、基板とその上に設
けためっきを剥離する（第３図）。この剥離されためっ
きは、パターニングされた形状と同じであり、これがオ
リフィスプレート３となる（第４図（ａ）、第４図（ｂ
））。
次に以上によって作られたオリフィスプレートを用いて
接合する方法を示す。
接合する方法を示す。
まず、従来と同じように（第１Ｏ図）、基板とその流路
に、オリフィスプレートを配置する。次に、オリフィス
プレート３の中央のオリフィスと流路の中央とを位置合
わせする。このとき、従来のように正確な位置合わせな
する必要がなく、互いの中央と考えられるオリフィス流
路の一ケ所が合えばよい。次に、位置合わせをしたオリ
フィスを中心として、流路形成部材またはオリフィスプ
レート３を回転させる。このとき、本発明によって作ら
れたオリフィスプレートは、第６図（ａ）のように位置
合わせ用パターン９があるため、両端のパターンで確認
しながら調整できる。具体的には、基板とインク流路の
接合面６と、オリフィスプレートの位置合わせ用パター
ン９が第６図（ａ）、第６図（ｂ）のように平行になる
ようにする。つぎに、Ｙ方向を、基板とインク流路の接
合面６と、位置合わせパターンが両端で等距離になるよ
うにする。次に同じように、Ｘ方向を、ヘッドの両端か
ら等距離になるようにする。その状態を第７図に示す。
に、オリフィスプレートを配置する。次に、オリフィス
プレート３の中央のオリフィスと流路の中央とを位置合
わせする。このとき、従来のように正確な位置合わせな
する必要がなく、互いの中央と考えられるオリフィス流
路の一ケ所が合えばよい。次に、位置合わせをしたオリ
フィスを中心として、流路形成部材またはオリフィスプ
レート３を回転させる。このとき、本発明によって作ら
れたオリフィスプレートは、第６図（ａ）のように位置
合わせ用パターン９があるため、両端のパターンで確認
しながら調整できる。具体的には、基板とインク流路の
接合面６と、オリフィスプレートの位置合わせ用パター
ン９が第６図（ａ）、第６図（ｂ）のように平行になる
ようにする。つぎに、Ｙ方向を、基板とインク流路の接
合面６と、位置合わせパターンが両端で等距離になるよ
うにする。次に同じように、Ｘ方向を、ヘッドの両端か
ら等距離になるようにする。その状態を第７図に示す。
以上で、位置合わせが終了する。
位置合わせ用パターンの形状として、前記実施例の他に
、例えば、第８図のような、三角形のパターン９°を入
れると、三角形の頂点を基板と流路の接合面に合わせる
ことができ、より正確に位置合わせができ、また作業が
より簡単になる。その他、オリフィスプレートの４つの
角を、第９図のような形状にして、流路形成部材と基板
が見えるようにすれば、オリフィスプレートと、基板・
流路との位置がより明確になり、さらに位置合わせが楽
になる。
、例えば、第８図のような、三角形のパターン９°を入
れると、三角形の頂点を基板と流路の接合面に合わせる
ことができ、より正確に位置合わせができ、また作業が
より簡単になる。その他、オリフィスプレートの４つの
角を、第９図のような形状にして、流路形成部材と基板
が見えるようにすれば、オリフィスプレートと、基板・
流路との位置がより明確になり、さらに位置合わせが楽
になる。
［発明の効果］
以上のような方法で位置合わせをすれば、微小なオリフ
ィスであわせることなく、確実にしかも而単に位置合わ
せなすることができる。また、位置合わせのパターンは
、形状が任意にできるとともに、今までと同じ方法で容
易に製造することができる。
ィスであわせることなく、確実にしかも而単に位置合わ
せなすることができる。また、位置合わせのパターンは
、形状が任意にできるとともに、今までと同じ方法で容
易に製造することができる。
第１図から第３図までは本発明によるオリフィスプレー
トの製造方法の例を示し、第１図は、基板にドライフィ
ルムをラミネートし、パターニングした後の状態を示し
ており、（ａ）は全体の斜視図、（ｂ）は中央部分のみ
の断面図であり、第２図はめっきを施した際の中央部分
断面図、第３図はめっき層をはがした際の中央部分断面
図、第４図は本発明によるオリフィスプレートの実施例
を示“しくａ）は斜視図（ｂ）は上面図であり、第５図
から第７図までは位置合わせの方法を示した図であり、
第８図と第９図は他の実施例を示し、第１０図は、流路
形成部材と基板に、オリフィスプレートを接合する際の
位置合わせを説明するための斜視図、第１１図および第
１２図は、正しく位置合わせがされていない例を示した
図である。 １：流路形成部材、 ２：基板、 ３ニオリフイスプレート、 ４：パターニングされたドライフィルム、５・めっき ６：接合面、 ７：オリフィス、 ８：インク流路、 ９．９゛ ：位置合わせ用パターン。 特許出願人 キャノン株式会社
トの製造方法の例を示し、第１図は、基板にドライフィ
ルムをラミネートし、パターニングした後の状態を示し
ており、（ａ）は全体の斜視図、（ｂ）は中央部分のみ
の断面図であり、第２図はめっきを施した際の中央部分
断面図、第３図はめっき層をはがした際の中央部分断面
図、第４図は本発明によるオリフィスプレートの実施例
を示“しくａ）は斜視図（ｂ）は上面図であり、第５図
から第７図までは位置合わせの方法を示した図であり、
第８図と第９図は他の実施例を示し、第１０図は、流路
形成部材と基板に、オリフィスプレートを接合する際の
位置合わせを説明するための斜視図、第１１図および第
１２図は、正しく位置合わせがされていない例を示した
図である。 １：流路形成部材、 ２：基板、 ３ニオリフイスプレート、 ４：パターニングされたドライフィルム、５・めっき ６：接合面、 ７：オリフィス、 ８：インク流路、 ９．９゛ ：位置合わせ用パターン。 特許出願人 キャノン株式会社
Claims (2)
- （１）インク吐出圧発生素子が設置された基板と、その
基板上に設けられた流路形成部材と、オリフィスを有す
るオリフィスプレートが接合されたインクジェット記録
ヘッドにおいて、オリフィスプレートが位置合わせ用パ
ターンを有することを特徴とするインクジェット記録ヘ
ッド。 - （２）請求項１記載の位置合わせ用パターンを、オリフ
ィスプレートのオリフィスおよび外形と同時に形成する
工程を有するインクジェット記録ヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14364188A JPH022003A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14364188A JPH022003A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH022003A true JPH022003A (ja) | 1990-01-08 |
Family
ID=15343502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14364188A Pending JPH022003A (ja) | 1988-06-13 | 1988-06-13 | インクジェット記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH022003A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5930895A (en) * | 1991-10-22 | 1999-08-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing an ink jet recording head |
| WO2002102355A2 (en) | 2001-06-01 | 2002-12-27 | Celanese Ventures Gmbh | Two part hard shell capsule made of poly (1,4-alpha-d-glucan)and starch |
| EP1221375A3 (en) * | 2001-01-08 | 2003-04-16 | Hewlett-Packard Company | Orifice plate for inkjet printhead |
| JP2006264159A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド |
| KR100921202B1 (ko) * | 2004-11-04 | 2009-10-13 | 삼성전자주식회사 | 시공간 주파수 블록 부호화 장치 및 방법 |
| WO2011021475A1 (ja) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | コニカミノルタＩｊ株式会社 | ノズルプレート保持装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
-
1988
- 1988-06-13 JP JP14364188A patent/JPH022003A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5930895A (en) * | 1991-10-22 | 1999-08-03 | Canon Kabushiki Kaisha | Process for producing an ink jet recording head |
| EP1221375A3 (en) * | 2001-01-08 | 2003-04-16 | Hewlett-Packard Company | Orifice plate for inkjet printhead |
| WO2002102355A2 (en) | 2001-06-01 | 2002-12-27 | Celanese Ventures Gmbh | Two part hard shell capsule made of poly (1,4-alpha-d-glucan)and starch |
| KR100921202B1 (ko) * | 2004-11-04 | 2009-10-13 | 삼성전자주식회사 | 시공간 주파수 블록 부호화 장치 및 방법 |
| JP2006264159A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Seiko Epson Corp | 液体噴射ヘッド |
| JP4639886B2 (ja) * | 2005-03-24 | 2011-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
| WO2011021475A1 (ja) * | 2009-08-21 | 2011-02-24 | コニカミノルタＩｊ株式会社 | ノズルプレート保持装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
| US8540834B2 (en) | 2009-08-21 | 2013-09-24 | Konica Minolta Ij Technologies, Inc. | Nozzle plate holding device and method for manufacturing inkjet head |
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