JPH02188256A - 吐出口プレートの接合方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は吐出口プレートを有するインクジェット記録ヘ
ッドの製造過程における吐出口プレートの記録ヘッド本
体部分への接合方法に関する。

［従来の技術］ 板材に貫通孔を設けて形成した吐出口プレートを有する
インクジェット記録ヘッドは例えば第３図、第４図に示
されるような代表的構成を有する。

すなわち、インク吐出のためのエネルギーを発生する吐
出エネルギー発生体１０を所定部に有する基板５Ｆ、に
液路壁６により少なくとも液路を形成した本体部分に、
吐出ロアを有する吐出口プレート９を接合した構造を有
する。

［発明が解決、しようとす条課題］ 吐出口プレートを用いた記録ヘッドの製造においては、
液路等が形成されている本体部分と、吐出口プレートと
の接合に精度良い精密な位置合せが要求され、多数の吐
出口を高密度で配列したマルチタイプの吐出口プレート
においては、より高度な位置合せ精度が要求される。

ところが、従来の方法は、良好な位置合せ精度を得るの
に煩雑な作業が必要であるなど、なお改善すべき問題を
含んでいる。

例えば、従来の位置合せ方法としては、以下のような方
法が列挙できる。

１）吐出口プレートの周壁面の一端面と記録ヘッドの本
体部分の基板（本体基板）の一端面とを付き当てでそろ
え平行合せを行なった後、吐出口プレート及び本体基板
の始めに平行合せを行なった端面と平行でない端面どう
じを同様に付き当てで合せる方法。

２）上記１）の方法と同様に吐出口プレート及び本体基
板の端面を付き当てて平行出しを行なった後、吐出口プ
レートまたは本体基板の一方を前記端面にそって平行に
移動し、位置合せの目印を合せて位置合せを行なう方法
。

３）吐出口プレートが透明な時は、本体部分基板に設け
られた目印を吐出［１プレートを通して吐出口プレート
上の目印と合せて位置合せを行なう方法。

４）吐出口プレートに穴を設けておき、その穴と本体基
板上に設けた目印と合せて位置合せを行なう方法。

ところが、位置合せに付き当てを利用する上記１）及び
２）の方法では、吐出口プレート及び本体基板の位置合
せ用の端面を精度良く仕上る必要があり、また第１回目
の平行合せの後にもう一度位置合せを行なうという煩雑
な作業が要求され、作業性が悪い。

また、上記３）の方法では、吐出口プレートに用いる材
料が限定されてしまう。

本発明の目的は、インクジェット記録ヘッドの製造にお
ける記録ヘッド本体部分に含まれる流路の開口端面に吐
出口プレートを接合する際の位置合せを、効率よく、か
つ高精度に行なえる方法を提供することにある。

すなわち、本発明は、吐出口プレートの材料として、３
）の様に材料に限定されることがなく、また吐出口プレ
ートに不要な位置合わせマークを設けることなく、位置
合わせできることを目的としている。

特に吐出口プレートは、その厚みが、少なくとも３０μ
戯以下であり、単体では扱いにくい。そこで、本発明で
はガラスなどの透明なものを支持体として、吐出口プレ
ートを固定している。

［課題を解決するための手段］ 本発明の吐出口プレートの接合方法は、透明担体上に担
持させた状態で吐出口プレートと、インクジェット記録
ヘッドを構成するための少なくとも流路が設けられた本
体部分部分とを位置合せして接合した後、該透明担体を
該吐出口プレートから剥離する過程を含む。

すなわち、透明担体上に吐出口プレートを積層したまま
記録ヘッド本体部分と吐出口プレートとの位置合せ及び
接合を行なうので、透明担体を通して本体部分と吐出口
プレートの位置合せ状態を逐一確認しつつ位置合せを行
なうことができ、また透明担体に担持させた状態の吐出
口プレートはその取り扱いも容易であり、位置合せの操
作性も良好となる。

以下１図面を参照しつつ発明の方法を詳細に説明する。

本発明の方法においては、まず、第１図（Ａ）に示すよ
うに、透明担体１上に後述の吐出口プレートを構成する
金属材料の電鋳に必要なチタン、クロム、１．Ｔ、０．
等からなる導電層２を設ける。

なお、透明担体１としては、例えばガラス、等の透明な
板状部材を用いることができる。

次に、例えば感光性樹脂を利用したフォトリソエツチン
グ工程により、吐出口プレートの形状に対応した形状に
導電層２をバターニングし、更に、パターニングされた
導電層２を有する担体１表面の導電層が除去された露出
部分に例えば感光性樹脂を利用したフォトリソエツチン
グ工程によりメツキレジスト層３を設ける［第１図（Ｃ
）］。

ここで、′ｒｌｆ、鋳により金属層４を導電層２上に成
長させて金属プレートを形成する［第１図（Ｄ）］。

この金属プレート形成用の材料としては、ニッケル、ク
ロム、銅、金等が利用できる。

最後に金属プレート内に取り残されたレジスト層３を適
当な方法で除去して、透明担体１に担持された吐出口プ
レート９を得る［第１図（Ｅ）］。

なお、吐出口プレート９の形成には、上述の方法の他に
、例えば第２図（Ａ）及び（Ｂ）に示す方法を用いるこ
ともできる。

すなわち、透明担体１上に導電層２を設けたところで、
少なくとも吐出口となる部分にメツキレジスト層３を形
成する。次に、電鋳により金属プレート４を形成し、金
属プレート４に取り残されたメツキレジスト層３を除去
する。

この方法では導電層２のパターニング過程を省略できる
。

以上のようにして形成された透明担体ｌに担持された吐
出口プレート９は、例えば第５図に示すような基板５上
にインク吐出のためのエネルギー発生体、該発生体への
吐出信号印加手段（不図示）、インクの通路となる液路
の壁６等を有する記録ヘッド本体部分と接合される。

その際、透明担体１を通してこれらの位置合せ状態が確
認でき、良好かつ精度良い位置合せを行なうことができ
る。しかも、透明担体１を持って位置合せや吐出口プレ
ートの取り扱いを行なうので、良好な作業性が得られる
。

なお、第４図に示すような構成の記録ヘッドを作製する
場合にも同様の効果を得ることができる。

［実施例］ 以下、実施例により本発明を更に詳細に説明する。

実施例１ ガラス板の所定面上にスパッタリングによりチタン層（
厚み：１００人）を設けた後、該チタン層を感光性樹脂
を利用したフォトリソエツチング工程により吐出口プレ
ートの形状（サイズφ３０ｕ＋、配列ピッチ７０．５ｇ
１Ｉ）にパターニングした。

次に、チタン層が除去されたガラス板露出部にフォトリ
ソエツチング工程によりドライフィルム（ラミナーＨＧ
、ダイナケム社）層（厚み＝２５μ）を形成し、更にニ
ッケルメッキを行なってガラス板上のチタン層上にニッ
ケルメッキ層（厚み：２０μｍ）を形成した。

ここで、ニッケルメッキ層に残されているドライフィル
ム層を剥離液に浸漬させてこれをガラス板上から除去し
、ガラス板に相持されたニッケルからなる吐出口プレー
トを得た。

更に、ガラス板に担持させた状態で第５図に示した構成
の記録ヘッド本体部分（流路壁としてドライフィルム５
Ｘ３５０．東京応化、を使用）とをこれらの接着面に接
着剤（セメダインハイス−バー、セメダイン■）を塗布
してから重ね合せ、ガラス板背面側から確認しつつ位置
合せを行ない、その状態に接着剤の接着効果を得るのに
必要な時間固定した後、ガラス板を本体部分に接着され
た吐出口プレートから剥離して記録ヘッドを得た。

上記の操作において、本体部分部分と吐出口プレートと
の良好かつ精度良い位置合せが行なえ、しかも、ガラス
板を利用することにより吐出口プレートを容易に作業性
良く取り扱うことができた。

［実施例２］ ガラス板の所定面上により１．Ｔ、０．導電層（厚み：
１００人）を設けた後、オリフィス形成部（サイズφ３
０μ転配列ピッチ７０，５μ）にフォトリソエツチング
工程によりドライフィルム（ラミナーＩＦ）層（ｙｌ、
み：２５μｍ）を設けた。

次に、ドライフィルム層を有するガラス板面に電鋳によ
りニッケルメッキを行ないニッケルメッキ層（厚み：２
０μ）を形成し、更にニッケルメッキ層に残されている
ドライフィルム層を剥離液に浸漬させてこれをガラス板
上から除去し、ガラス板に担持されたニッケルからなる
吐出口プレートを得た。

得られたガラス板担持吐出口プレートを、実施例１と同
様にして記録ヘッド本体部分との接合に用い、インクジ
ェット記録ヘッドを得た。

木実流側においても、本体部分部分と吐出Ｌ１プレート
との良好かつ精度良い位置合せが行なえ、しかも、ガラ
ス板を利用することにより吐出口プレートを容易に作業
性良く取り扱うことができた。

［発明の効果］ 本発明によれば、吐出口プレートを担体に担持させた状
態で扱うので、その取り扱いが容易となり、各種作業に
おける作業性が良好となった。

しかも、吐出口プレートの担体が透明なので、該担体の
背面側からも吐出口プレートを観察でき、該担体に担持
させた吐出口プレートの記録ヘッド本体部分への接合の
際の良好かつ積度良い位置合せが容易となった。

【図面の簡単な説明】

第１図（Ａ）〜（Ｅ）及び第２図（Ａ）〜（ｒ））は本
発明の方法に用いる吐出口プレート形成における主要過
程を説明するための工程図、第３図は第５図と同様の構
成の吐出口プレートを用いたインクジェット記録ヘッド
の斜視図、第４図は吐出口プレートを用いた他の構成の
インクジェット記録ヘッドの主要部の展開斜視図、第５
図は本発明の方法における吐出口プレートとインクジェ
ット記録ヘッド本体部分との接合関係を示す斜視図であ
る。 ｌ：吐出口プレート形成用基板 ２：導電層 ３　： ４　＝ ５二 ６＝ ７： ９： ｌＯ： 樹脂層 金属層 記録ヘッド本体部分基板 液路壁 吐出口 吐出口プレート 吐出壬ネルギー発生体

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １）液路が設けられた本体部分と該液路に連通する吐出
   口を有する吐出口プレートとを接合する方法において、
   透明担体上に担持させた状態で吐出口プレートと前記本
   体部分とを位置合せして接合した後、該透明担体を該吐
   出口プレートから剥離する過程を含むことを特徴とする
   吐出口プレートの接合方法。