JP2021187038A - インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】インク流路に溢れ出た接着剤に起因する不具合の発生を抑制することができるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法を提供する。【解決手段】インクジェットヘッドは、積層された複数の板状部材を有しインク流路が設けられた流路部材を備え、複数の板状部材は、各板状部材に設けられた貫通孔が連通する位置関係で配置されており、インク流路の少なくとも一部は、複数の貫通孔からなる貫通流路であり、隣接しない２つの板状部材に各々設けられた貫通孔を第１の貫通孔、２つの板状部材の間にある板状部材に各々設けられた貫通孔を第２の貫通孔とした場合に、貫通流路を通る断面において、第１の貫通孔の一方側の内壁面に対して、第２の貫通孔の内壁面が貫通流路側に突出しており、当該断面における第２の貫通孔の中央位置に対し、２つの第１の貫通孔の中央位置が同一方向側にずれている。【選択図】図７

Description

本発明は、インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法に関する。

従来、インクジェットヘッドに設けられたノズルから記録媒体に対してインクを吐出して所望のパターンで着弾させていくことにより記録媒体に画像を形成するインクジェット記録装置がある。インクジェット記録装置に用いられるインクジェットヘッドは、インク流路を介してノズルに連通する圧力室と、圧力室内のインクの圧力を変動させる圧力変動素子とを備え、圧力変動素子による圧力室内のインクの圧力の変動に応じてノズルからインクを吐出する。

インクジェットヘッドとしては、ノズルが設けられたノズル基板、インク流路が設けられた流路基板、及び圧力変動素子が設けられた素子基板といった複数の基板を接合した構成のものが広く用いられている。基板同士の接合には、接着剤が用いられる場合がある。接着剤による基板の接合時に余剰の接着剤がインク流路に溢れ出ると、接着剤がインク流路を伝って流動してしまうため、接着剤がノズルに流れ込んでノズルが詰まったり、圧力変動素子による可動部材（例えば、振動板）に接着剤が付着して圧力変動素子によるインクの圧力変動に異常が生じたりする。

この問題に対し、特許文献１には、接着剤による基板の接合面の端に凸部を設けることにより、接着剤が滞留可能な空隙を接合面に設け、接着剤がインク流路に溢れ出る問題の発生を抑制する技術が開示されている。

特開２００７−２０３４８３号公報

しかしながら、接合面に空隙を設けたとしても、空隙の容量に対して接着剤の塗布量が過多となった場合には、接着剤がインク流路に溢れ出るのを妨げることはできない。上記の従来技術では、一旦接着剤がインク流路に溢れ出ると、接着剤がインク流路を伝ってノズルや圧力変動素子による可動部材に向かって流動するのを防止できないため、ノズルの詰まりや圧力変動の異常といった不具合が発生してしまう。

この発明の目的は、インク流路に溢れ出た接着剤に起因する不具合の発生を抑制することができるインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、請求項１に記載のインクジェットヘッドの発明は、
インクを吐出するノズルと、
前記ノズルに供給されるインクが流れるインク流路が設けられた流路部材と、
を備え、
前記流路部材は、積層された複数の板状部材を有し、
前記複数の板状部材は、当該複数の板状部材の各々に設けられた貫通孔が連通する位置関係で配置されており、
前記インク流路の少なくとも一部は、前記複数の板状部材に亘って連通する複数の前記貫通孔からなる貫通流路であり、
前記複数の板状部材のうち隣接しないいずれか２つの前記板状部材に各々設けられた前記貫通孔を第１の貫通孔、前記２つの板状部材の間にある１又は２以上の前記板状部材に各々設けられた前記貫通孔を第２の貫通孔とした場合に、
前記貫通流路を通り前記複数の板状部材同士の接合面に垂直ないずれかの断面において、前記第１の貫通孔の一方側の内壁面に対して、前記第２の貫通孔の前記一方側の内壁面が前記貫通流路側に突出しており、
前記断面における前記接合面に平行な方向について、前記断面における前記第２の貫通孔の中央位置に対し、前記断面における２つの前記第１の貫通孔の中央位置が同一方向側にずれている。

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の板状部材は、各板状部材に設けられた前記貫通孔の中心が、前記接合面に平行なランダムな方向にずれる位置関係で配置されている。

請求項３に記載の発明は、請求項１又は２に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記接合面に垂直な方向から見て前記第１の貫通孔の内壁面に対して前記第２の貫通孔の内壁面が前記貫通流路側に突出している部分を段差部とした場合に、
前記接合面に垂直な方向から見た前記貫通流路の外周の任意の位置に、前記接合面に垂直な方向についての位置が互いに異なる複数の前記段差部のいずれかが設けられている。

請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記接合面に垂直な方向から見て前記第１の貫通孔の内壁面に対して前記第２の貫通孔の内壁面が前記貫通流路側に突出している部分を段差部とし、前記第２の貫通孔の中心に向かう方向について、前記段差部における前記第２の貫通孔の内壁面の、前記第１の貫通孔の内壁面からの突出量を段差とした場合に、
前記段差部は、前記段差の最大値が５μｍ以上２０μｍ以下である。

請求項５に記載の発明は、請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記複数の板状部材が有する複数の前記貫通孔のうち少なくとも一部の貫通孔の内壁面は、前記貫通流路側に突出した凸部を有している。

請求項６に記載の発明は、請求項５に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記凸部は、前記貫通孔の中心に向かう方向についての突出量が５μｍ以上３０μｍ以下である。

請求項７に記載の発明は、請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記接合面に平行な面内における各前記貫通孔の幅の最大値を貫通孔幅とし、前記複数の貫通孔における前記貫通孔幅の最大値を貫通孔最大幅とした場合に、
前記複数の板状部材のうち一方の端にある板状部材の前記貫通孔の中心と、他方の端にある板状部材の前記貫通孔の中心との、前記接合面に平行な方向についての距離が、前記貫通孔最大幅の１／３以下である。

請求項８に記載の発明は、請求項１〜７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドにおいて、
前記流路部材には、前記インク流路に連通する前記ノズルが設けられたノズル基板、及び前記ノズルからインクを吐出させるために、前記インク流路に連通する圧力室内のインクの圧力を変動させる圧力変動素子が設けられた素子基板のうち少なくとも一方が接着剤を介して接着されており、
前記接着剤は、インクとの接触による膨潤が生じない材質である。

また、上記目的を達成するため、請求項９に記載のインクジェット記録装置の発明は、
請求項１〜８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備える。

また、上記目的を達成するため、請求項１０に記載のインクジェットヘッドの製造方法の発明は、
インクを吐出するノズルと、積層された複数の板状部材を有し前記ノズルに供給されるインクが流れるインク流路が設けられた流路部材と、を備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
前記複数の板状部材の各々に貫通孔を形成する第１の工程と、
前記複数の板状部材を前記貫通孔が連通する位置関係で積層させて、前記インク流路の少なくとも一部を構成する、前記複数の板状部材に亘って連通する複数の前記貫通孔からなる貫通流路を形成する第２の工程と、
を含み、
前記第２の工程では、前記複数の板状部材のうち隣接しないいずれか２つの前記板状部材に各々設けられた前記貫通孔を第１の貫通孔、前記２つの板状部材の間にある１又は２以上の前記板状部材に各々設けられた貫通孔を第２の貫通孔とした場合に、
前記貫通流路を通り前記複数の板状部材同士の接合面に垂直ないずれかの断面において、前記第１の貫通孔の一方側の内壁面に対して、前記第２の貫通孔の前記一方側の内壁面が前記貫通流路側に突出し、かつ、
前記断面における前記接合面に平行な方向について、前記断面における前記第２の貫通孔の中央位置に対し、前記断面における２つの前記第１の貫通孔の中央位置が同一方向側にずれるように、前記複数の板状部材を積層させる。

請求項１１に記載の発明は、請求項１０に記載のインクジェットヘッドの製造方法において、
前記第１の工程では、前記複数の板状部材の各々の一方の面側及び他方の面側からそれぞれ前記板状部材をエッチングして、内壁面が前記貫通流路側に突出した凸部を有する前記貫通孔を形成する。

本発明によれば、インク流路に溢れ出た接着剤に起因する不具合の発生を抑制することができる。

インクジェット記録装置の概略構成を示す図である。 インクジェットヘッドの構成を示す斜視図である。 ヘッドチップの構成を示す図である。 アクチュエーター基板のＸ軸方向正側の端部の拡大図である。 ヘッドチップのＸ軸に垂直な断面を示す図である。 ノズル基板におけるノズルの配列を模式的に示す図である。 ヘッドチップのうち圧力室付近の構成の断面を示す部分斜視図である。 貫通流路の断面を拡大して示す図である。 Ｚ軸方向負側から見たときの、貫通流路における段差部の形成領域を示す図である。 貫通孔の内壁面が凸部を有している構成における貫通流路の断面を拡大して示す図である。 凸部の形成方法を説明する断面図である。 インクジェットヘッドの製造工程の手順を示すフローチャートである。

以下、本発明のインクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法に係る実施の形態を図面に基づいて説明する。

図１は、本発明の実施形態であるインクジェット記録装置１００の概略構成を示す図である。
インクジェット記録装置１００は、搬送ベルト１０１、搬送ローラー１０２、ヘッドユニット１０３などを備える。

搬送ローラー１０２は、図示しない搬送モーターの駆動によって回転軸を中心に回転する。搬送ベルト１０１は、一対の搬送ローラー１０２により内側が支持された輪状のベルトであり、搬送ローラー１０２が回転動作するのに従って一対の搬送ローラー１０２の回りを周回移動する。インクジェット記録装置１００は、搬送ベルト１０１上に記録媒体Ｍが載置された状態で、搬送ローラー１０２の回転速度に応じた速度で搬送ベルト１０１が周回移動することで記録媒体Ｍを搬送ベルト１０１の移動方向（図１のＹ軸方向）に搬送する。

ヘッドユニット１０３は、搬送ベルト１０１により搬送される記録媒体Ｍに対して画像データに基づいてノズル５１（図５及び図６等参照）からインクを吐出して記録媒体Ｍ上に画像を記録する。本実施形態のインクジェット記録装置１００では、イエロー（Ｙ）、マゼンタ（Ｍ）、シアン（Ｃ）、ブラック（Ｋ）の４色のインクにそれぞれ対応する４つのヘッドユニット１０３が記録媒体Ｍの搬送方向上流側から順に所定の間隔で並ぶように配列されている。ヘッドユニット１０３の数は、記録に用いる色の数に応じて３つ以下又は５つ以上とされていてもよい。

各ヘッドユニット１０３は、平板状の基部１０３ａと、当該基部１０３ａを貫通する孔部に篏合した状態で基部１０３ａに固定された複数の（ここでは７つの）インクジェットヘッド１とを有する。ヘッドユニット１０３は、複数のインクジェットヘッド１を含む構成要素を格納する筐体を有するが、図１では記載が省略されている。

インクジェットヘッド１では、インクを吐出する複数のノズル５１が記録媒体Ｍの搬送方向と交差する方向（本実施形態では搬送方向と直交する幅方向、すなわち図１のＸ軸方向）に配列されている。また、各インクジェットヘッド１では、Ｘ軸方向に一次元配列されたノズル５１からなるノズル列が４列設けられている（図６参照）。
インクジェットヘッド１には、各ノズル５１に対応して、ノズル５１からインクを吐出させるための機構が設けられている。

各ヘッドユニット１０３における複数のインクジェットヘッド１は、ノズル５１のＸ軸方向についての配置範囲が、搬送ベルト１０１上の記録媒体Ｍのうち画像が記録可能な領域のＸ軸方向についての幅をカバーするように千鳥格子状に配置されている。このようにインクジェットヘッド１が配置されることで、インクジェット記録装置１００では、ヘッドユニット１０３を固定した状態でインクジェットヘッド１から画像データに応じた適切なタイミングでインクを吐出することにより、搬送される記録媒体Ｍ上に画像を記録することができる。すなわち、インクジェット記録装置１００は、シングルパス方式で画像を記録する。

図２は、インクジェットヘッド１の構成を示す斜視図である。
図３は、インクジェットヘッド１が有するヘッドチップ１３の構成を示す図である。
図２に示すように、インクジェットヘッド１は、筐体１０と、ヘッドベース１２とを備える。筐体１０は、ヘッドベース１２に対して着脱可能となっている。

筐体１０は、下面が開放された矩形の箱体である。筐体１０の上面には内部に繋がる切欠き１０ａが設けられ、この切欠き１０ａを介して回路基板１１が筐体１０に収納されている。回路基板１１には、ヘッドチップ１３内のアクチュエーターを駆動するための駆動回路が実装されている。切欠き１０ａのＸ軸正側とＸ軸負側に、それぞれ、円形の穴部１０ｂが設けられている。穴部１０ｂは、図示略のインク供給用のチューブを筐体１０の内部へと導くためのものである。

ヘッドベース１２は、上下に貫通する矩形の開口１２ａを中央に有する枠体である。開口１２ａの下端に、図３に示すヘッドチップ１３が設けられている。ヘッドチップ１３には、開口１２ａ内において回路基板１１とＦＰＣ（Flexible Printed Circuits）が電気的に接続されている。

図３に示すように、ヘッドチップ１３は、アクチュエーター基板３０（素子基板）、流路基板４０（流路部材）及びノズル基板５０がこの順に積層された構成を有する。アクチュエーター基板３０、流路基板４０及びノズル基板５０は、直方体状の板体であり、Ｚ方向から見た形状が同一となっている。アクチュエーター基板３０及び流路基板４０は、接着剤を介して接合されている。また、流路基板４０及びノズル基板５０は、接着剤を介して接合されている。

流路基板４０には、Ｘ軸方向に延在する４つのメイン流路２１が形成されている。
アクチュエーター基板３０のＸ軸正側の端部とＸ軸負側の端部には、それぞれ、４つのインク供給口３０ａがＹ軸方向に並んで形成されている。各インク供給口３０ａは、それぞれ一つのメイン流路２１に繋がっている。

図４は、アクチュエーター基板３０のＸ軸方向正側の端部の拡大図である。
アクチュエーター基板３０には、メイン流路２１に沿って複数の圧力室２２が設けられている。詳しくは、アクチュエーター基板３０の裏面には、圧力室２２に対応する位置に溝が形成されており、アクチュエーター基板３０が流路基板４０に重ねられることにより、アクチュエーター基板３０裏面の溝と流路基板４０の上面との間に、圧力室２２が形成される。圧力室２２は、流路基板４０に形成された連絡流路２３（図５参照）を介してメイン流路２１に繋がっている。

なお、アクチュエーター基板３０上面のＹ軸負側の端部とＹ軸正側の端部には、それぞれ、回路基板１１のＦＰＣを接続するための端子群（図示せず）が設けられている。この端子群は、アクチュエーター基板３０の圧電体層３４（図５参照）に電圧（駆動信号）を印加するためのものである。

上記のように、メイン流路２１は、端部がインク供給口３０ａに繋がっている。メイン流路２１に沿って多数の圧力室２２が配置され、各圧力室２２が連絡流路２３によってメイン流路２１に繋がっている。

図３に戻り、８つのインク供給口３０ａには、それぞれ図示略のインク供給チューブが接続されており、当該インク供給チューブからインクが供給される。インク供給口３０ａに供給されたインクは、メイン流路２１及び連絡流路２３を通って圧力室２２に供給される。本実施形態では、４つのメイン流路２１には同一の色のインクが供給される。ただし、これに限られず、各メイン流路２１に互いに異なる色のインクを供給して、１つのインクジェットヘッド１により４色のインクを吐出できるようにしてもよい。

図５は、ヘッドチップ１３のＸ軸に垂直な断面を示す図である。
図５に示すように、流路基板４０には、メイン流路２１、連絡流路２３及び貫通流路２４が設けられている。連絡流路２３は、メイン流路２１のＺ軸方向負側から延びて圧力室２２に接続されている。貫通流路２４は、圧力室２２とノズル基板５０のノズル５１とを接続するように流路基板４０を貫通している。メイン流路２１、連絡流路２３及び貫通流路２４が、「ノズルに供給されるインクが流れるインク流路」に相当する。

ノズル基板５０には、圧力室２２からＺ軸正方向に延びる貫通流路２４に対応する位置に、ノズル基板５０を貫通するノズル５１が形成されている。ノズル５１は、Ｚ軸正方向に向かうに従って次第に径が小さくなる形状を有しており、出口付近では径が均一になっている。ノズル基板５０の材質は、特には限られないが、例えばシリコンとすることができる。

アクチュエーター基板３０には、圧力室２２が形成されている圧力室層３１と、圧力室層３１の上部（Ｚ軸方向負側）に積層された振動板３２、絶縁層３３、圧電体層３４（圧力変動素子）及び電極層３５を有している。振動板３２、絶縁層３３、圧電体層３４及び電極層３５は、スパッタ法等の真空製膜技術により形成することができる。これらの層は、塗布等の他の製膜技術により形成されてもよい。圧力室層３１は、めっき工法等の厚膜形成技術又は金属板のエッチング工法により形成することができる。圧力室層３１の下面に流路基板４０が接合されることにより、圧力室２２が形成される。振動板３２は、導電性の金属材料から構成され、圧電体層３４の下部電極（共通電極）を兼ねている。絶縁層３３は、圧電体層３４に対して振動板３２を絶縁する。すなわち、絶縁層３３は、圧電機能領域Ｒ１以外の圧電体層３４への電圧印加を遮蔽する。

圧電体層３４は、例えば、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）で形成される。圧電体層３４の膜厚は数μｍ程度である。電極層３５は、導電性材料により形成される。電極層３５は、例えば、貴金属を含むチタンから形成される。電極層３５の膜厚は０．２μｍ程度である。

電極層３５に電圧が印加されることにより圧電機能領域Ｒ１において圧電体層３４がＺ軸方向に変形し、これに伴い、振動板３２が変形する。圧電機能領域Ｒ１において振動板３２が下方に変形すると、圧力室２２の容積が減少し、圧力室２２に充填されたインク６０の圧力が高まる。また、圧電機能領域Ｒ１において振動板３２が上方に変形すると、圧力室２２の容積が増大し、圧力室２２に充填されたインク６０の圧力が低下する。インク６０の圧力を所定の順序で変動させることにより（例えば、減圧させた後に加圧することにより）、貫通流路２４を介して圧力室２２に連通するノズル５１からインク６０の液滴６１が吐出される。

圧力室層３１、振動板３２、絶縁層３３、圧電体層３４及び電極層３５は、それぞれ、必ずしも単層でなくともよく、複数の層によって形成されてもよい。また、各層の間に、さらに他の層が配置されてもよい。

図６は、ノズル基板５０におけるノズル５１の配列を模式的に示す図である。
図６に示すように、ノズル基板５０には、複数のノズル５１が一列に並ぶように配置されている。ノズル基板５０には、４つのノズル５１の列Ｌ１〜Ｌ４が配置されている。例えば、列Ｌ１〜Ｌ４に、それぞれ数百個のノズル５１が一定間隔で設けられている。また、各ノズル列は、ノズル５１のＸ軸方向の位置が互いにずれる位置関係で設けられている。各列のノズル５１の数はこれに限られるものではない。

図７は、ヘッドチップ１３のうち圧力室２２付近の構成の断面を示す部分斜視図である。
図７に示すように、流路基板４０は、Ｚ軸方向に順に積層された複数の（ここでは１１枚の）板状部材４０１〜４１１を有している。板状部材４０１〜４１１は、Ｚ軸方向から見た外形が同一の矩形であり、上面及び下面がＸＹ平面に平行である。板状部材４０１〜４１１の材質は、例えばＳＵＳ（ステンレス鋼材）であるが、これに限られない。Ｚ軸方向負側の端に板状部材４０１が配置されており、この板状部材４０１は接着剤を介してアクチュエーター基板３０に接合されている。また、Ｚ軸方向正側の端に板状部材４１１が配置されており、この板状部材４１１は接着剤を介してノズル基板５０に接合されている。

板状部材４０１〜４１１のうち下から３番目の板状部材４０９は、他の板状部材よりも薄くなっており、メイン流路２１のダンパーとして機能する。このダンパーは、アクチュエーター基板３０が駆動され、振動板３２がＺ軸方向に変位した際に連絡流路２３からメイン流路２１に付与される圧力波を吸収するためのものである。
板状部材４０９を除いた板状部材４０１〜４０８、４１０及び４１１の厚さは、約２００μｍである。

板状部材４０１〜４１１には、それぞれ貫通流路２４の一部となる貫通孔４０１ａ〜４１１ａが形成されている。板状部材４０１〜４１１は、貫通孔４０１ａ〜４１１ａが連通して貫通流路２４を構成する位置関係で配置されている。換言すれば、板状部材４０１〜４１１に亘って連通する複数の貫通孔４０１ａ〜４１１ａにより、貫通流路２４が構成されている。貫通孔４０１ａ〜４１１ａの開口形状は、直径約１６０μｍの円形である。

また、板状部材４０１〜４１１は、複数の貫通孔４０１ａ〜４１１ａの中心が、板状部材同士の接合面Ｓ０（Ｚ軸に垂直な面）に平行なランダムな方向にずれる位置関係で配置されている。ただし、板状部材４０１〜４１１のずれ量は、貫通流路２４が全体としてＺ軸方向に延在する範囲内とされている。詳しくは、板状部材４０１〜４１１のずれ量は、Ｚ軸方向負側の端にある板状部材４０１の貫通孔４０１ａの中心と、Ｚ軸方向正側の端にある板状部材４１１の貫通孔４１１ａの中心との、ＸＹ平面内（接合面Ｓ０に平行な面内）における距離が貫通孔最大幅の１／３以下となる範囲内に収められている。ここで、貫通孔最大幅は、接合面Ｓ０に平行な面内における各貫通孔の幅の最大値（本実施形態では直径）を貫通孔幅とした場合に、貫通孔４０１ａ〜４１１ａにおける貫通孔幅の最大値である。本実施形態では、貫通孔の形状ばらつきにより貫通孔最大幅は１６８μｍとなっており、上記の「貫通孔最大幅の１／３以下となる範囲内」は、５６μｍ以下に相当する。また、貫通孔の中心は、貫通孔をＺ軸方向から見たときの、貫通孔の開口形状の面積重心である。貫通孔の中心がランダムな方向にずれていることにより、貫通流路２４は、その内壁面に凹凸を有している。この特徴については後に詳述する。

板状部材４０１、４０２にはそれぞれ、連絡流路２３を構成する孔部４０１ｂ、４０２ｂが形成されている。孔部４０１ｂの開口形状は、略円形である。また、孔部４０２ｂの直径は、孔部４０１ｂの直径より小さくなっている。

板状部材４０３〜４０８にはそれぞれ、メイン流路２１に対応する領域に開口４０３ｂ〜４０８ｂが形成されている。換言すれば、連通する開口４０３ｂ〜４０８ｂによりメイン流路２１が構成されている。
また、板状部材４１０には、開口４０３ｂ〜４０８ｂと同一形状の開口４１０ｂが形成されている。開口４１０ｂがなす空間は、インクが流入しない空気室を形成する。この空気室と、メイン流路２１とは、板状部材４０９（ダンパー）により仕切られている。

板状部材４０１〜４１１は、例えば熱拡散工法により拡散接合されている。ただし、これに限られず、板状部材同士が接着剤により接合されていてもよい。
板状部材４０１とアクチュエーター基板３０とを接着剤により接合することで、連絡流路２３と圧力室２２とが連通するとともに、圧力室２２と貫通流路２４とが連通する。また、板状部材４１１とノズル基板５０とを接着剤により接合することで、貫通流路２４とノズル５１とが連通する。

ところで、流路基板４０に対して接着剤によりアクチュエーター基板３０及びノズル基板５０を接合する際に、余剰の接着剤が貫通流路２４に溢れ出る場合がある。貫通流路２４の内壁面に凹凸が設けられていない従来の構成では、この接着剤が貫通流路２４を伝って流動してしまい、接着剤がノズル５１に流れ込んでノズル５１が詰まったり、アクチュエーター基板３０の振動板３２に接着剤が付着して圧力室２２内のインクの圧力変動に異常が生じたりする問題がある。
詳しくは、流路基板４０にノズル基板５０を接着した後に、ノズル基板５０が鉛直方向最下部にある状態で上からアクチュエーター基板３０を接着剤により接合する場合に、接着剤が貫通流路２４に溢れ出ると、この接着剤がノズル基板５０に向かって鉛直下方に流動してノズル５１に到達してしまう。
また、流路基板４０にアクチュエーター基板３０を接着した後に、アクチュエーター基板３０が鉛直方向最下部にある状態で上からノズル基板５０を接着剤により接合する場合に、接着剤が貫通流路２４に溢れ出ると、この接着剤がアクチュエーター基板３０に向かって鉛直下方に流動して振動板３２に到達してしまう。

これに対し、本実施形態のインクジェットヘッド１では、貫通流路２４を構成する貫通孔４０１ａ〜４１１ａの中心がランダムな方向にずれていることにより、貫通流路２４の内壁面に凹凸が設けられている。この凹凸により接着剤が堰き止められ、ノズル５１や振動板３２に到達しないようになっている。

図８は、貫通流路２４の断面を拡大して示す図である。
図８の断面は、貫通流路２４を通り接合面Ｓ０に垂直な断面（ここでは接合面Ｓ０及びＸ軸に垂直な断面）であって、貫通孔４０１ａ〜４１１ａのうちいずれかの中心を通る断面である。

図８に示すように、板状部材４０１〜４１１のうち隣接しない２つの板状部材４０３、４０５に設けられた貫通孔４０３ａ、４０５ａを第１の貫通孔とし、これらの板状部材４０３、４０５の間にある板状部材４０４に設けられた貫通孔４０４ａを第２の貫通孔とした場合に、第１の貫通孔の一方側（Ｙ軸方向正側）の内壁面Ｓ１に対して、第２の貫通孔の当該一方側の内壁面Ｓ２が貫通流路２４側（Ｙ軸方向負側）に突出している。

これにより、Ｚ軸方向負側から見たときに、第１の貫通孔としての貫通孔４０３ａの内壁面Ｓ１に対して第２の貫通孔としての貫通孔４０４ａの内壁面Ｓ２が貫通流路２４側に突出していることによって、段差部Ａ１が形成されている。貫通流路２４に溢れ出た接着剤がＺ軸方向正側に流動した場合には、この段差部Ａ１によって接着剤が堰き止められる。
また、Ｚ軸方向正側から見たときに、第１の貫通孔としての貫通孔４０５ａの内壁面Ｓ１に対して第２の貫通孔としての貫通孔４０４ａの内壁面Ｓ２が貫通流路２４側に突出していることによって、段差部Ｂ１が形成されている。貫通流路２４に溢れ出た接着剤がＺ軸方向負側に流動した場合には、この段差部Ｂ１によって接着剤が堰き止められる。

また、図８の断面における接合面Ｓ０に平行な方向について、当該断面における第２の貫通孔としての貫通孔４０４ａの中央位置Ｃ２に対し、当該断面における第１の貫通孔としての貫通孔４０３ａ、４０５ａの中央位置Ｃ１が同一方向側（Ｙ軸方向正側）にずれている。板状部材４０３〜４０５がこのような位置関係で積層されることで、段差部Ａ１、Ｂ１を設けつつ、貫通流路２４の全体の傾斜を抑制してインクを流動しやすくすることができる。ここで、中央位置Ｃ１、Ｃ２は、図８の断面において貫通孔が形成する空隙の中央位置であり、必ずしもＺ軸方向から見た貫通孔の中心と一致するとは限らない。

同様に、隣接しない２つの板状部材４０１、４０４に設けられた貫通孔４０１ａ、４０４ａを第１の貫通孔とし、これらの板状部材４０１、４０４の間にある板状部材４０２、４０３に設けられた貫通孔４０２ａ、４０３ａを第２の貫通孔とした場合に、第１の貫通孔の一方側（Ｙ軸方向負側）の内壁面Ｓ１に対して、第２の貫通孔の当該一方側の内壁面Ｓ２が貫通流路２４側（Ｙ軸方向正側）に突出している。
これにより、Ｚ軸方向負側から見たときに、第１の貫通孔としての貫通孔４０１ａの内壁面Ｓ１に対して第２の貫通孔としての貫通孔４０２ａ、４０３ａの内壁面Ｓ２が貫通流路２４側に突出していることによって、段差部Ａ２が形成されている。貫通流路２４に溢れ出た接着剤がＺ軸方向正側に流動した場合には、この段差部Ａ２によって接着剤が堰き止められる。
また、Ｚ軸方向正側から見たときに、第１の貫通孔としての貫通孔４０４ａの内壁面Ｓ１に対して第２の貫通孔としての貫通孔４０２ａ、４０３ａの内壁面Ｓ２が貫通流路２４側に突出していることによって、段差部Ｂ２が形成されている。貫通流路２４に溢れ出た接着剤がＺ軸方向負側に流動した場合には、この段差部Ｂ２によって接着剤が堰き止められる。
第１の貫通孔としての貫通孔４０１ａ、４０４ａ、第２の貫通孔としての貫通孔４０２ａ、４０３ａについても、第２の貫通孔の中央位置に対し、２つの第１の貫通孔の中央位置が同一方向側（ここではＹ軸方向負側）にずれている。

図８では、接合面Ｓ０及びＸ軸に垂直な断面を例示したが、貫通流路２４を通り接合面Ｓ０に垂直ないずれかの断面において、Ｚ軸方向のいずれかの位置に段差部が形成されていればよい。
また、段差部が形成されるＺ軸方向の位置及び段差部の数は、図８に示した例に限られない。

また、接着剤として、インクとの接触による膨潤が生じない材質のものが用いられている。これにより、段差部で堰き止められた接着剤が膨潤して貫通流路２４におけるインクの流動が妨げられるのを抑制することができる。
また、接着剤は、インクにより溶解しない材質であることが望ましい。これにより、段差部で堰き止められた接着剤が溶解してインクが変質することに起因する不具合（画質の低下等）の発生を抑えることができる。

図９は、Ｚ軸方向負側から見たときの、貫通流路２４における段差部の形成領域を示す図である。以下では、第１の貫通孔が設けられている板状部材を「第１の板状部材」とも記し、第２の貫通孔が設けられている板状部材を「第２の板状部材」とも記す。
段差部は、Ｚ軸方向から見て、第１の貫通孔の内壁面Ｓ１と、第２の貫通孔の内壁面Ｓ２のうち第１の貫通孔の内側に露出（突出）している部分と、によって囲まれた領域である。より詳しくは、段差部は、Ｚ軸方向から見て、第１の貫通孔の、第２の板状部材側の開口と、第２の貫通孔の、第１の板状部材側の開口のうち第１の貫通孔の内側に露出（突出）している部分と、によって囲まれた領域である。換言すれば、段差部は、第２の板状部材の、第１の板状部材側の表面（Ｚ軸に垂直な面）のうち、Ｚ軸方向から見て第２の貫通孔の内側に露出（突出）している部分である。
図９（ａ）は、板状部材４０１の貫通孔４０１ａの開口位置をＺ軸方向負側から見た図である。貫通孔４０１ａの開口部内には、貫通孔４０１ａの内壁面Ｓ１から板状部材４０２の貫通孔４０２ａの内壁面Ｓ２が突出することにより形成された段差部Ａ２が露出している。この段差部Ａ２は、貫通流路２４の内壁面のうち図９（ａ）における中５時方向から１１時方向にかけて設けられている。段差部Ａ２は、貫通孔４０１ａ、４０２ａの内壁面Ｓ１、Ｓ２により囲まれた三日月状の形状を有している。

内壁面Ｓ１の各位置から、第２の貫通孔としての貫通孔４０２ａの中心Ｏに向かう方向についての内壁面Ｓ２の突出量を段差部Ａ２の段差とした場合に、段差の最大値Ｗは、５μｍ以上２０μ以下となっている。詳しくは、貫通孔４０１ａ〜４１１ａ（直径１６０μｍ）の形成時に生じ得る直径の誤差が±１０μｍであり、板状部材４０１〜４１１のランダムな位置ずれ量が１０μｍであることから、段差の最大値Ｗは２０μｍ以下となる。

図９（ｂ）は、板状部材４０３の貫通孔４０３ａの開口位置をＺ軸方向負側から見た図である。貫通孔４０３ａの開口部内には、貫通孔４０３ａの内壁面Ｓ１から板状部材４０４の貫通孔４０４ａの内壁面Ｓ２が突出することにより形成された段差部Ａ１が露出している。この段差部Ａ１は、貫通流路２４の内壁面のうち図９（ｂ）における１２時方向から６時方向にかけて設けられている。段差部Ａ１の段差の最大値も、段差部Ａ２と同様、５μｍ以上２０μｍ以下である。

図９（ｃ）は、板状部材４０５の貫通孔４０５ａの開口位置をＺ軸方向負側から見た図である。貫通孔４０５ａの開口部内には、貫通孔４０５ａの内壁面Ｓ１から板状部材４０６の貫通孔４０６ａの内壁面Ｓ２が突出することにより形成された段差部Ａ３が露出している。この段差部Ａ３は、貫通流路２４の内壁面のうち図９（ｃ）における１０時方向から４時方向にかけて設けられている。段差部Ａ３の段差の最大値も、段差部Ａ２と同様、５μｍ以上２０μｍ以下である。
図８に示した断面では、板状部材４０５と板状部材４０６との間にはＹ軸方向についてほとんどずれが見られないが、図９（ｃ）に示すように、板状部材４０５に対して板状部材４０６が主にＸ軸方向にずれることにより段差部Ａ３が形成されている。このように、段差部を形成する板状部材同士のずれ（貫通孔４０１ａ〜４１１ａの中心Ｏのずれ）は、一方向（例えばＹ軸方向）に限られず、ＸＹ平面内（接合面Ｓ０に平行な面内）におけるランダムな方向が含まれる。

図９（ｄ）は、段差部Ａ１〜Ａ３を重畳させて示した図である。
貫通孔４０１ａ〜４１１ａの中心ＯがＸＹ平面内でランダムな方向にずれていることによって、図９（ｄ）に示すように、Ｚ軸方向負側から見た貫通流路２４の外周の任意の位置（方位）に、Ｚ軸方向についての位置が互いに異なる複数の段差部Ａ１〜Ａ３のいずれかが設けられている。これにより、貫通流路２４の外周のうちのどの位置に接着剤が溢れ出したとしても、当該接着剤をいずれかの段差部により堰き止めることができる。
なお、ここでは、３つの段差部Ａ１〜Ａ３により貫通流路２４の外周がカバーされている例を用いて説明したが、これに限られず、Ｚ軸方向の位置が異なる２つ又は４つ以上の段差部Ａ１〜Ａ３により貫通流路２４の外周がカバーされていてもよい。
また、Ｚ軸方向正側から見た場合にも、図８に示す段差部Ｂ１、Ｂ２を含む複数の段差部により貫通流路２４の外周がカバーされていることが望ましい。これにより、接着剤がＺ軸方向のいずれの向きに流動した場合においても効果的に接着剤を堰き止めることができる。

上述した例では、貫通孔４０１ａ〜４１１ａの内壁面がＺ軸方向に平行な平滑面であったが、接着剤をより確実に堰き止めるために、貫通孔４０１ａ〜４１１ａのうち少なくとも一部の内壁面が、貫通流路２４側に突出した凸部を有していることがより好ましい。

図１０は、貫通孔の内壁面が凸部を有している構成における貫通流路２４の断面を拡大して示す図である。
図１０に示す例では、各板状部材４０１〜４１１の貫通孔４０１ａ〜４１１ａの内壁面が、貫通流路２４側に突出した凸部Ｄを有している。ただし、板状部材４０９は、ダンパーとして機能する薄板であるので、貫通孔４０９ａの内壁面は凸部Ｄを有していなくてもよい。凸部Ｄは、各貫通孔の内壁面の全周に亘って設けられている。凸部Ｄを有する構成では、Ｚ軸方向から見て、第１の貫通孔の内壁面Ｓ１（より詳しくは、第１の貫通孔の第２の板状部材側の開口）から、上述した段差部に加えて凸部がさらに突出することとなるため、より確実に接着剤を堰き止めることが可能となる。
凸部Ｄは、当該凸部Ｄが設けられている板状部材の貫通孔の中心に向かう方向についての突出量が、５μｍ以上３０μｍ以下となっている。なお、凸部Ｄの突出量が、内壁面の全周に亘って均一でない場合には、突出量の最大値が５μｍ以上３０μｍ以下となっている構成とすることができる。このような突出量とすることで、段差部の段差の最大値が５μｍ以上２０μｍ以下である構成において、貫通流路２４においてインクを適正に流動可能な流動領域を確保することができる。ここで、凸部Ｄの突出量の基準は、貫通孔の開口位置、すなわち板状部材の表面における貫通孔の開口の縁の位置とすることができる。

凸部Ｄは、板状部材４０１〜４１１の各々の一方の面側及び他方の面側からそれぞれ当該板状部材をエッチングすることにより形成することができる。

図１１は、凸部Ｄの形成方法を説明する断面図である。
図１１では、板状部材４０１に凸部Ｄを形成する場合を例に挙げて説明する。
まず、板状部材４０１の一方側の面のうち貫通孔４０１ａの形成領域を除く領域に、レジスト７０を形成する（図１１（ａ））。なお、図示は省略しているが、レジスト７０は、孔部４０１ｂの形成領域も除外した領域に形成される。

次に、レジスト７０をマスクとして所定のエッチング液により板状部材４０１をエッチングする（図１１（ｂ））。ここでは、エッチング量は板状部材４０１の厚さの１／２程度とする。

次に、板状部材４０１の他方側の面のうち貫通孔４０１ａの形成領域を除く領域にレジスト７０を形成し（図１１（ｃ））、このレジスト７０をマスクとして所定のエッチング液により板状部材４０１を他方側の面からエッチングする（図１１（ｄ））。図１１（ｂ）及び図１１（ｄ）に示すように、板状部材４０１のエッチングでは、レジスト７０の端部から等距離にエッチングが進むため、エッチング領域の外縁部では、エッチング後の板状部材の内壁面が曲面状となる。板状部材４０１の各面からのエッチングによりそれぞれ形成された曲面により、凸部Ｄが形成される。
エッチング終了後、レジスト７０を除去することにより、貫通孔４０１ａの内壁面に凸部Ｄを有する板状部材４０１が得られる。

次に、インクジェットヘッド１の製造方法について説明する。
図１２は、インクジェットヘッド１の製造工程の手順を示すフローチャートである。
インクジェットヘッド１の製造工程では、まず、図１１を用いて説明した方法で板状部材４０１〜４１１に貫通孔４０１ａ〜４１１ａを形成する（ステップＳ１０１：第１の工程）。このステップＳ１０１では、貫通孔４０１ａ〜４１１ａと併せて孔部４０１ｂ、４０２ｂ、及び開口４０３ｂ〜４０８ｂ、４１０ｂを形成する。

次に、貫通孔４０１ａ〜４１１ａが連通するとともに、貫通孔４０１ａ〜４１１ａの中心がランダムな方向にずれる位置関係で、すなわち上述した段差部が形成される位置関係で、板状部材４０１〜４１１を積層して流路基板４０を形成する（ステップＳ１０２：第２の工程）。

次に、予め作成したアクチュエーター基板３０を、接着剤を介して流路基板４０の板状部材４０１に接合する（ステップＳ１０３）。また、予め作成したノズル基板５０を、接着剤を介して流路基板４０の板状部材４１１に接合する（ステップＳ１０４）。これによりヘッドチップ１３が完成する。なお、ステップＳ１０３、Ｓ１０４は、順序を入れ替えてもよい。

最後に、ヘッドチップ１３を含むインクジェットヘッド１の各構成要素を筐体１０及びヘッドベース１２に筐体に組み込んで（ステップＳ１０５）、インクジェットヘッド１が完成する。

以上のように、本実施形態に係るインクジェットヘッド１は、インクを吐出するノズル５１と、ノズル５１に供給されるインクが流れるインク流路が設けられた流路基板４０と、を備え、流路基板４０は、積層された板状部材４０１〜４１１を有し、板状部材４０１〜４１１は、当該板状部材４０１〜４１１の各々に設けられた貫通孔４０１ａ〜４１１ａが連通する位置関係で配置されており、上記インク流路の少なくとも一部は、板状部材４０１〜４１１に亘って連通する貫通孔４０１ａ〜４１１ａからなる貫通流路２４であり、板状部材４０１〜４１１のうち隣接しないいずれか２つの板状部材に各々設けられた貫通孔を第１の貫通孔、２つの板状部材の間にある１又は２以上の板状部材に各々設けられた貫通孔を第２の貫通孔とした場合に、貫通流路２４を通り板状部材４０１〜４１１同士の接合面に垂直ないずれかの断面において、第１の貫通孔の一方側の内壁面Ｓ１に対して、第２の貫通孔の一方側の内壁面Ｓ２が貫通流路２４側に突出しており、上記断面における接合面Ｓ０に平行な方向について、上記断面における第２の貫通孔の中央位置Ｃ２に対し、上記断面における２つの第１の貫通孔の中央位置Ｃ１が同一方向側にずれている。
このような構成によれば、第１の貫通孔の内壁面Ｓ１に対して第２の貫通孔の内壁面Ｓ２が貫通流路２４側に突出している部分に段差部が形成される。このため、流路基板４０に接着剤を介してアクチュエーター基板３０又はノズル基板５０を接合する際に、貫通流路２４に接着剤が溢れ出たとしても、貫通流路２４の内壁面に沿ってＺ軸方向に流動する接着剤をこの段差部によって堰き止めることができる。よって、貫通流路２４に溢れ出た接着剤がノズル基板５０やアクチュエーター基板３０に接触することに起因する不具合（例えば、ノズル５１に流入してノズル５１が詰まったり、接着剤が振動板３２に接触して圧電体層３４によるインクの圧力変動に異常が生じたりする不具合）の発生を抑制することができる。また、板状部材４０１〜４１１が、第２の貫通孔の中央位置Ｃ２に対し、２つの第１の貫通孔の中央位置Ｃ１が同一方向側にずれている位置関係で積層されていることで、段差部を設けつつ、貫通流路２４の全体の傾斜を抑制してインクを流動しやすくすることができる。

また、板状部材４０１〜４１１は、各板状部材に設けられた貫通孔の中心Ｏが、接合面Ｓ０に平行なランダムな方向にずれる位置関係で配置されている。これにより、Ｚ軸方向から見て貫通流路２４の外周の各位置に偏りなく段差部を形成することができる。

また、接合面Ｓ０に垂直な方向から見て第１の貫通孔の内壁面Ｓ１に対して第２の貫通孔の内壁面Ｓ２が貫通流路２４側に突出している部分を段差部とした場合に、上記方向から見た貫通流路２４の外周の任意の位置に、接合面Ｓ０に垂直な方向についての位置が互いに異なる複数の段差部のいずれかが設けられている。これにより、Ｚ軸方向から見た貫通流路２４の外周のうちのどの位置（方位）に接着剤が溢れ出したとしても、当該接着剤をいずれかの段差部により堰き止めることができる。

また、第２の貫通孔の中心Ｏに向かう方向について、段差部における第２の貫通孔の内壁面Ｓ２の、第１の貫通孔の内壁面Ｓ１からの突出量を段差とした場合に、段差部は、段差の最大値が５μｍ以上２０μｍ以下である。段差を５μｍ以上とすることにより、段差部において接着剤を効果的に堰き止めることができる。また、段差を２０μｍ以下とすることにより、貫通流路２４におけるインクの円滑な流動を確保することができる。

また、板状部材４０１〜４１１が有する貫通孔４０１ａ〜４１１ａのうち少なくとも一部の内壁面は、貫通流路２４側に突出した凸部Ｄを有している。これによれば、貫通流路２４に溢れ出た接着剤を凸部Ｄによっても堰き止めることができる。よって、より確実に接着剤を堰き止めることができるため、接着剤に起因する不具合の発生をより効果的に抑制することができる。

また、凸部Ｄは、貫通孔の中心Ｏに向かう方向についての突出量が５μｍ以上３０μｍ以下である。凸部Ｄの突出量を５μｍ以上とすることにより、凸部Ｄにおいて接着剤を効果的に堰き止めることができる。また、凸部Ｄの突出量を３０μｍ以下とすることにより、貫通流路２４におけるインクの円滑な流動を確保することができる。

また、接合面Ｓ０に平行な面内における各貫通孔の幅の最大値を貫通孔幅とし、貫通孔４０１ａ〜４１１ａにおける貫通孔幅の最大値を貫通孔最大幅とした場合に、板状部材４０１〜４１１のうち一方の端にある板状部材４０１の貫通孔４０１ａの中心と、他方の端にある板状部材４１１の貫通孔４１１ａの中心との、接合面Ｓ０に平行な方向についての距離が、貫通孔最大幅の１／３以下である。これにより、貫通流路２４の全体の傾斜を抑制してインクを流動しやすくすることができる。

また、流路基板４０には、インク流路に連通するノズル５１が設けられたノズル基板５０、及びインク流路に連通する圧力室内のインクの圧力を変動させる圧力変動素子が設けられたアクチュエーター基板３０のうち少なくとも一方が接着剤を介して接着されており、接着剤は、インクとの接触による膨潤が生じない材質である。これにより、段差部で堰き止められた接着剤が膨潤して貫通流路２４におけるインクの流動が妨げられるのを抑制することができる。

また、本実施形態のインクジェット記録装置は、上記インクジェットヘッド１を備えるため、インクジェットヘッド１の貫通流路２４に溢れ出た接着剤に起因する不具合の発生を抑制することができる。よって、接着剤に起因する画質の低下を抑制することができる。

また、本実施形態のインクジェットヘッド１の製造方法は、板状部材４０１〜４１１の各々に貫通孔４０１ａ〜４１１ａを形成する第１の工程と、板状部材４０１〜４１１を貫通孔が連通する位置関係で積層させて、インク流路の少なくとも一部を構成する、板状部材４０１〜４１１に亘って連通する貫通孔４０１ａ〜４１１ａからなる貫通流路２４を形成する第２の工程と、を含み、第２の工程では、板状部材４０１〜４１１のうち隣接しないいずれか２つの板状部材に各々設けられた貫通孔を第１の貫通孔、２つの板状部材の間にある１又は２以上の板状部材に各々設けられた貫通孔を第２の貫通孔とした場合に、貫通流路２４を通り板状部材４０１〜４１１同士の接合面に垂直ないずれかの断面において、第１の貫通孔の一方側の内壁面Ｓ１に対して、第２の貫通孔の一方側の内壁面Ｓ２が貫通流路２４側に突出し、かつ、上記断面における接合面Ｓ０に平行な方向について、上記断面における第２の貫通孔の中央位置Ｃ２に対し、上記断面における２つの第１の貫通孔の中央位置Ｃ１が同一方向側にずれるように、板状部材４０１〜４１１を積層させる。
これにより、貫通流路２４の内壁面に段差部を形成することができるため、貫通流路２４に溢れ出た接着剤を段差部によって堰き止めることができる。よって、貫通流路２４に溢れ出た接着剤がノズル基板５０やアクチュエーター基板３０に接触することに起因する不具合の発生を抑制することができる。また、板状部材４０１〜４１１を、第２の貫通孔の中央位置Ｃ２に対し、２つの第１の貫通孔の中央位置Ｃ１が同一方向側にずれている位置関係で積層することで、段差部を設けつつ、貫通流路２４の全体の傾斜を抑制してインクを流動しやすくすることができる。

また、第１の工程では、板状部材４０１〜４１１の各々の一方の面側及び他方の面側からそれぞれ板状部材をエッチングすることにより、内壁面が貫通流路２４側に突出した凸部を有する貫通孔を形成する。これにより、貫通孔４０１ａ〜４１１ａの内壁面に凸部Ｄを形成することができ、貫通流路２４に溢れ出た接着剤を当該凸部Ｄによっても堰き止めることができる。よって、より確実に接着剤を堰き止めることができるため、接着剤に起因する不具合の発生をより効果的に抑制することができる

なお、本発明は、上記実施形態及び各変形例に限られるものではなく、様々な変更が可能である。
例えば、Ｚ軸方向から見た貫通孔４０１ａ〜４１１ａの形状は、円形に限られず、楕円形や矩形等の他の形状であってもよい。

また、上記実施形態では、図９（ｄ）に示すように、Ｚ軸方向から見た貫通流路２４の外周の任意の位置（方位）に、Ｚ軸方向についての位置が互いに異なる複数の段差部Ａ１〜Ａ３のいずれかが設けられている構成を例に挙げて説明したが、これに限られず、Ｚ軸方向から見た貫通流路２４の外周の一部に段差部が設けられていてもよい。

また、貫通流路２４として、圧力室２２の下面とノズル５１とを直接繋ぐものを例示したが、ヘッドチップ１３における貫通流路２４の配置位置はこれに限られない。

また、上記実施形態では、貫通流路２４が、流路基板４０を構成する全ての板状部材４０１〜４１１を貫通する例を用いて説明したが、これに限られない。貫通流路２４は、流路基板４０を構成する全ての板状部材のうち、一部の板状部材を貫通するものであってもよい。この場合には、当該一部の板状部材が「複数の板状部材」に相当する。

また、上記実施形態では、段差部の段差の最大値が５μｍ以上２０μｍ以下、凸部Ｄの突出量が５μｍ以上３０μｍ以下である例を用いて説明したが、貫通流路２４におけるインクの流動を妨げない範囲で、当該数値範囲を超えていてもよい。例えば、貫通孔の内壁面が凸部Ｄを有しない場合には、その分インクの流動領域が確保されるため、段差部の段差の最大値を２０μｍより大きな値とすることもできる。
また、必ずしも全ての段差部が「段差の最大値が５μｍ以上２０μｍ以下である」との条件を満たしていなくてもよい。また、必ずしも全ての凸部Ｄが「突出量が５μｍ以上３０μｍ以下である」との条件を満たしていなくてもよい。

また、上記実施形態では、複数の板状部材は、複数の貫通孔の中心が、板状部材同士の接合面Ｓ０に平行なランダムな方向にずれる位置関係で積層されていたが、これに限られない。例えば、複数の板状部材は、複数の貫通孔の中心が所定の規則性を有するずれ量及びずれ方向で互いにずれた位置関係で積層されていてもよい。

また、上記実施形態では、シングルパス形式のインクジェット記録装置１００を例に挙げて説明したが、記録ヘッドを走査させながら画像の記録を行うインクジェット記録装置に本発明を適用してもよい。

本発明のいくつかの実施形態を説明したが、本発明の範囲は、上述の実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載された発明の範囲とその均等の範囲を含む。

１ インクジェットヘッド
１０ 筐体
１１ 回路基板
１２ ヘッドベース
１３ ヘッドチップ
２１ メイン流路
２２ 圧力室
２３ 連絡流路
２４ 貫通流路
３０ アクチュエーター基板（素子基板）
３０ａ インク供給口
３１ 圧力室層
３２ 振動板
３３ 絶縁層
３４ 圧電体層（圧力変動素子）
３５ 電極層
４０ 流路基板（流路部材）
５０ ノズル基板
５１ ノズル
６０ インク
６１ 液滴
７０ レジスト
１００ インクジェット記録装置
１０１ 搬送ベルト
１０２ 搬送ローラー
１０３ ヘッドユニット
４０１〜４１１ 板状部材
４０１ａ〜４１１ａ 貫通孔
４０１ｂ、４０２ｂ 孔部
４０３ｂ〜４０８ｂ、４１０ｂ 開口
Ａ１〜Ａ３、Ｂ１、Ｂ２ 段差部
Ｃ１、Ｃ２ 中央位置
Ｄ 凸部
Ｍ 記録媒体
Ｏ 中心
Ｒ１ 圧電機能領域
Ｓ０ 接合面
Ｓ１、Ｓ２ 内壁面

Claims (11)

1. インクを吐出するノズルと、
   前記ノズルに供給されるインクが流れるインク流路が設けられた流路部材と、
   を備え、
   前記流路部材は、積層された複数の板状部材を有し、
   前記複数の板状部材は、当該複数の板状部材の各々に設けられた貫通孔が連通する位置関係で配置されており、
   前記インク流路の少なくとも一部は、前記複数の板状部材に亘って連通する複数の前記貫通孔からなる貫通流路であり、
   前記複数の板状部材のうち隣接しないいずれか２つの前記板状部材に各々設けられた前記貫通孔を第１の貫通孔、前記２つの板状部材の間にある１又は２以上の前記板状部材に各々設けられた前記貫通孔を第２の貫通孔とした場合に、
   前記貫通流路を通り前記複数の板状部材同士の接合面に垂直ないずれかの断面において、前記第１の貫通孔の一方側の内壁面に対して、前記第２の貫通孔の前記一方側の内壁面が前記貫通流路側に突出しており、
   前記断面における前記接合面に平行な方向について、前記断面における前記第２の貫通孔の中央位置に対し、前記断面における２つの前記第１の貫通孔の中央位置が同一方向側にずれている、インクジェットヘッド。
2. 前記複数の板状部材は、各板状部材に設けられた前記貫通孔の中心が、前記接合面に平行なランダムな方向にずれる位置関係で配置されている、請求項１に記載のインクジェットヘッド。
3. 前記接合面に垂直な方向から見て前記第１の貫通孔の内壁面に対して前記第２の貫通孔の内壁面が前記貫通流路側に突出している部分を段差部とした場合に、
   前記接合面に垂直な方向から見た前記貫通流路の外周の任意の位置に、前記接合面に垂直な方向についての位置が互いに異なる複数の前記段差部のいずれかが設けられている、請求項１又は２に記載のインクジェットヘッド。
4. 前記接合面に垂直な方向から見て前記第１の貫通孔の内壁面に対して前記第２の貫通孔の内壁面が前記貫通流路側に突出している部分を段差部とし、前記第２の貫通孔の中心に向かう方向について、前記段差部における前記第２の貫通孔の内壁面の、前記第１の貫通孔の内壁面からの突出量を段差とした場合に、
   前記段差部は、前記段差の最大値が５μｍ以上２０μｍ以下である、請求項１〜３のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
5. 前記複数の板状部材が有する複数の前記貫通孔のうち少なくとも一部の貫通孔の内壁面は、前記貫通流路側に突出した凸部を有している、請求項１〜４のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
6. 前記凸部は、前記貫通孔の中心に向かう方向についての突出量が５μｍ以上３０μｍ以下である、請求項５に記載のインクジェットヘッド。
7. 前記接合面に平行な面内における各前記貫通孔の幅の最大値を貫通孔幅とし、前記複数の貫通孔における前記貫通孔幅の最大値を貫通孔最大幅とした場合に、
   前記複数の板状部材のうち一方の端にある板状部材の前記貫通孔の中心と、他方の端にある板状部材の前記貫通孔の中心との、前記接合面に平行な方向についての距離が、前記貫通孔最大幅の１／３以下である、請求項１〜６のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
8. 前記流路部材には、前記インク流路に連通する前記ノズルが設けられたノズル基板、及び前記ノズルからインクを吐出させるために、前記インク流路に連通する圧力室内のインクの圧力を変動させる圧力変動素子が設けられた素子基板のうち少なくとも一方が接着剤を介して接着されており、
   前記接着剤は、インクとの接触による膨潤が生じない材質である、請求項１〜７のいずれか一項に記載のインクジェットヘッド。
9. 請求項１〜８のいずれか一項に記載のインクジェットヘッドを備えるインクジェット記録装置。
10. インクを吐出するノズルと、積層された複数の板状部材を有し前記ノズルに供給されるインクが流れるインク流路が設けられた流路部材と、を備えたインクジェットヘッドの製造方法であって、
    前記複数の板状部材の各々に貫通孔を形成する第１の工程と、
    前記複数の板状部材を前記貫通孔が連通する位置関係で積層させて、前記インク流路の少なくとも一部を構成する、前記複数の板状部材に亘って連通する複数の前記貫通孔からなる貫通流路を形成する第２の工程と、
    を含み、
    前記第２の工程では、前記複数の板状部材のうち隣接しないいずれか２つの前記板状部材に各々設けられた前記貫通孔を第１の貫通孔、前記２つの板状部材の間にある１又は２以上の前記板状部材に各々設けられた貫通孔を第２の貫通孔とした場合に、
    前記貫通流路を通り前記複数の板状部材同士の接合面に垂直ないずれかの断面において、前記第１の貫通孔の一方側の内壁面に対して、前記第２の貫通孔の前記一方側の内壁面が前記貫通流路側に突出し、かつ、
    前記断面における前記接合面に平行な方向について、前記断面における前記第２の貫通孔の中央位置に対し、前記断面における２つの前記第１の貫通孔の中央位置が同一方向側にずれるように、前記複数の板状部材を積層させるインクジェットヘッドの製造方法。
11. 前記第１の工程では、前記複数の板状部材の各々の一方の面側及び他方の面側からそれぞれ前記板状部材をエッチングして、内壁面が前記貫通流路側に突出した凸部を有する前記貫通孔を形成する、請求項１０に記載のインクジェットヘッドの製造方法。

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