JP2014188872A - 液体噴射ヘッドの製造方法 - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims abstract description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 28
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 108
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 claims abstract description 15
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims abstract 2
- 238000004891 communication Methods 0.000 claims description 46
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 25
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 13
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 230000008569 process Effects 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 239000010408 film Substances 0.000 description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 4
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 238000001459 lithography Methods 0.000 description 2
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 2
- 230000035515 penetration Effects 0.000 description 2
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 2
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000018 DNA microarray Methods 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 239000005416 organic matter Substances 0.000 description 1
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 1
- 238000007790 scraping Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 description 1
- 230000003068 static effect Effects 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1629—Manufacturing processes etching wet etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/161—Production of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
- B41J2/1628—Manufacturing processes etching dry etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2002/14419—Manifold
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2202/00—Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
- B41J2202/01—Embodiments of or processes related to ink-jet heads
- B41J2202/22—Manufacturing print heads
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Abstract
【解決手段】液体を吐出するノズル開口に連通する液体流路39が設けられた流路基板33を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、前記流路基板33の両面からウェットエッチングする第1工程と、前記流路基板33のウェットエッチングにより生じたバリ139cを除去することで前記液体流路39を形成する第2工程と、を具備する。
【選択図】 図3
Description
しかしながら、マニホールドが設けられた基板の厚さを厚くするには、複数の基板を積層することで実現できるものの、部品点数が増大すると共に基板同士の接着工程が必要となり高コストになってしまうという問題がある。また、複数の基板を積層すると、基板間が剥離する虞があり、信頼性が低下してしまうという問題がある。
本発明はこのような事情に鑑み、比較的厚い流路部材に液体流路を形成することができる液体噴射ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。
かかる態様では、複数の流路基板をウェットエッチングによって短時間で且つ低コストで加工することができると共に、ウェットエッチングによって形成されたバリを除去することで、液体流路の流路抵抗が増大するのを抑制するために液体流路の開口を広げる必要がなく、流路基板が大型化するのを抑制することができる。また、バリを除去することで、バリに気泡やゴミなどの異物がトラップされて液滴の吐出不良が生じるのを抑制することができる。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの斜視図であり、図2はインクジェット式記録ヘッドの断面図及び要部を拡大した断面図である。
そして、この流路形成基板22の一方面には、振動板23が固定され、圧力発生室21の一方面はこの振動板23により封止されている。
そして、圧電アクチュエーター40は、振動板23上の各圧力発生室21に対向する領域のそれぞれに設けられている。
そして、このような流路ユニット30とアクチュエーターユニット20とは、接着剤や熱溶着フィルムを介して接合されて固定されている。
また、流路ユニット30をアクチュエーターユニット20に接合することで、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド10とする。
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の基本的構成は上述したものに限定されるものではない。以下の変形例を1つ又は複数組み合わせるなども可能である。
例えば、上述した実施形態1では、マニホールド形成基板33として、金属材料で形成された板状部材を例示したが、両面からのウェットエッチングによってバリが形成される材料であれば金属材料に限定されるものではなく、ガラスや半導体であってもよい。
Claims (6)
- 液体を吐出するノズル開口に連通する液体流路が設けられた流路基板を備えた液体噴射ヘッドの製造方法であって、
前記流路基板の両面からウェットエッチングする第1工程と、
前記流路基板のウェットエッチングにより生じたバリを除去することで前記液体流路を形成する第2工程と、
を具備することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記流路基板は、圧力発生室と前記ノズル開口とを連通するノズル連通孔と、前記圧力発生室に液体を供給するマニホールドと、を具備し、
前記第2工程では、少なくとも前記ノズル連通孔となる壁面に形成された前記バリを除去することを特徴とする請求項1記載の液体噴射ヘッドの製造方法。 - 前記第2工程では、前記マニホールドとなる壁面に形成された前記バリも除去することを特徴とする請求項2記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記第2工程では、レーザー加工により前記バリを除去することを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記第2工程では、ポンチにより前記バリを除去することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
- 前記第2工程では、ドライエッチングによって前記バリを除去することを特徴とする請求項1〜5の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013067310A JP6103209B2 (ja) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
US14/224,019 US9061501B2 (en) | 2013-03-27 | 2014-03-24 | Manufacturing method of liquid ejecting head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013067310A JP6103209B2 (ja) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014188872A true JP2014188872A (ja) | 2014-10-06 |
JP6103209B2 JP6103209B2 (ja) | 2017-03-29 |
Family
ID=51619791
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013067310A Expired - Fee Related JP6103209B2 (ja) | 2013-03-27 | 2013-03-27 | 液体噴射ヘッドの製造方法 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9061501B2 (ja) |
JP (1) | JP6103209B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019206148A (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置、ならびに液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2021006410A (ja) * | 2014-10-08 | 2021-01-21 | ローム株式会社 | インクジェット装置およびインクジェット装置の製造方法 |
JP2021187038A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6333055B2 (ja) * | 2014-05-13 | 2018-05-30 | キヤノン株式会社 | 基板加工方法および液体吐出ヘッド用基板の製造方法 |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08323986A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-10 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JPH1158747A (ja) * | 1997-08-12 | 1999-03-02 | Ricoh Co Ltd | ノズル形成部材及びその製造方法並びにインクジェットヘッド |
JP2000272128A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Nec Corp | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
JP3168713B2 (ja) * | 1992-08-06 | 2001-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JP2003204024A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレームの製造方法 |
JP2004025514A (ja) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Hitachi Ltd | インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド |
JP2006326868A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Brother Ind Ltd | 板状部材構造およびその製造方法 |
JP2012176566A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Brother Industries Ltd | 液体吐出装置の製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6171510B1 (en) * | 1997-10-30 | 2001-01-09 | Applied Materials Inc. | Method for making ink-jet printer nozzles |
US20020118253A1 (en) * | 2000-03-21 | 2002-08-29 | Nec Corporation | Ink jet head having improved pressure chamber and its manufacturing method |
JP2002321356A (ja) * | 2001-04-24 | 2002-11-05 | Fuji Xerox Co Ltd | インクジェット記録ヘッドおよびその製造方法 |
JP4639782B2 (ja) | 2004-12-02 | 2011-02-23 | セイコーエプソン株式会社 | 液体噴射ヘッド |
JP4854336B2 (ja) * | 2006-03-07 | 2012-01-18 | キヤノン株式会社 | インクジェットヘッド用基板の製造方法 |
-
2013
- 2013-03-27 JP JP2013067310A patent/JP6103209B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2014
- 2014-03-24 US US14/224,019 patent/US9061501B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3168713B2 (ja) * | 1992-08-06 | 2001-05-21 | セイコーエプソン株式会社 | インクジェットヘッド及びその製造方法 |
JPH08323986A (ja) * | 1995-05-31 | 1996-12-10 | Fuji Electric Co Ltd | インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
JPH1158747A (ja) * | 1997-08-12 | 1999-03-02 | Ricoh Co Ltd | ノズル形成部材及びその製造方法並びにインクジェットヘッド |
JP2000272128A (ja) * | 1999-03-25 | 2000-10-03 | Nec Corp | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
JP2003204024A (ja) * | 2002-01-08 | 2003-07-18 | Toppan Printing Co Ltd | リードフレームの製造方法 |
JP2004025514A (ja) * | 2002-06-24 | 2004-01-29 | Hitachi Ltd | インクジェットヘッドの製造方法及びインクジェットヘッド |
JP2006326868A (ja) * | 2005-05-23 | 2006-12-07 | Brother Ind Ltd | 板状部材構造およびその製造方法 |
JP2012176566A (ja) * | 2011-02-28 | 2012-09-13 | Brother Industries Ltd | 液体吐出装置の製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2021006410A (ja) * | 2014-10-08 | 2021-01-21 | ローム株式会社 | インクジェット装置およびインクジェット装置の製造方法 |
JP7063967B2 (ja) | 2014-10-08 | 2022-05-09 | ローム株式会社 | インクジェット装置およびインクジェット装置の製造方法 |
JP2019206148A (ja) * | 2018-05-30 | 2019-12-05 | 京セラ株式会社 | 液体吐出ヘッド、およびそれを用いた記録装置、ならびに液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP2021187038A (ja) * | 2020-05-29 | 2021-12-13 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
JP7400628B2 (ja) | 2020-05-29 | 2023-12-19 | コニカミノルタ株式会社 | インクジェットヘッド、インクジェット記録装置及びインクジェットヘッドの製造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6103209B2 (ja) | 2017-03-29 |
US20140291285A1 (en) | 2014-10-02 |
US9061501B2 (en) | 2015-06-23 |
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Date | Code | Title | Description |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A977 | Report on retrieval |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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