JPH0516373A - インクジエツトヘツドの製造方法 - Google Patents
インクジエツトヘツドの製造方法Info
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- JPH0516373A JPH0516373A JP17665291A JP17665291A JPH0516373A JP H0516373 A JPH0516373 A JP H0516373A JP 17665291 A JP17665291 A JP 17665291A JP 17665291 A JP17665291 A JP 17665291A JP H0516373 A JPH0516373 A JP H0516373A
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- nozzle
- ink
- plate
- ink jet
- jet head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、インクジェットプリンタに用いら
れるインクジェットヘッドの製造方法に関し、粒子の飛
翔方向を改善するとともに、ノズル列間のずれをなくし
て高解像度を実現することのできるインクジェットヘッ
ドの製造方法を提供することを目的としている。 【構成】 インクジェットヘッド１は、インク滴を噴射
するノズル２と、該ノズル２に圧力を伝達する導通路３
と、ノズル２からインク滴を噴射する圧力を発生する圧
力室７と、該圧力室７にインクを供給する供給路８と、
該供給路８にインクを供給する共通インク室９とを、そ
れぞれ組立穴１６を有する多層板の接合により構成され
る。多層板はそれぞれエッチング技術で形成され、該多
層板の各組立穴１６にガイドピン２１を圧入することに
よってインクジェットヘッド１は組み立てられる。ノズ
ル２は、板両面からのエッチングにより四角ノズルに形
成されている。
れるインクジェットヘッドの製造方法に関し、粒子の飛
翔方向を改善するとともに、ノズル列間のずれをなくし
て高解像度を実現することのできるインクジェットヘッ
ドの製造方法を提供することを目的としている。 【構成】 インクジェットヘッド１は、インク滴を噴射
するノズル２と、該ノズル２に圧力を伝達する導通路３
と、ノズル２からインク滴を噴射する圧力を発生する圧
力室７と、該圧力室７にインクを供給する供給路８と、
該供給路８にインクを供給する共通インク室９とを、そ
れぞれ組立穴１６を有する多層板の接合により構成され
る。多層板はそれぞれエッチング技術で形成され、該多
層板の各組立穴１６にガイドピン２１を圧入することに
よってインクジェットヘッド１は組み立てられる。ノズ
ル２は、板両面からのエッチングにより四角ノズルに形
成されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェットプリン
タに用いられるインクジェットヘッドの製造方法に関す
るものである。
タに用いられるインクジェットヘッドの製造方法に関す
るものである。
【０００２】インクジェットプリンタは、小型で低騒
音，低価格であることから、ＯＡ用のプリンタとして脚
光を浴びており、特に、ワードプロセッサ、パーソナル
コンピュータ用としてユーザの強い要望がある。また、
インクジェットプリンタは、カラー記録が容易に行える
利点もあり、開発が急務となっている。
音，低価格であることから、ＯＡ用のプリンタとして脚
光を浴びており、特に、ワードプロセッサ、パーソナル
コンピュータ用としてユーザの強い要望がある。また、
インクジェットプリンタは、カラー記録が容易に行える
利点もあり、開発が急務となっている。
【０００３】
【従来の技術】図５は従来のインクジェットヘッドの構
造を示す側面図で、インクジェットヘッド１００は、イ
ンク滴を噴射するノズル１０１と、該ノズル１０１に圧
力を伝達する導通路１０２と、ピエゾ素子１０３と振動
板１０４より成るインク滴噴射用圧力発生源１０５を有
する圧力室１０６と、該圧力室１０６にインクを供給す
る供給路１０７と、該供給路１０７にインクを供給する
共通インク室１０８とを備えている。
造を示す側面図で、インクジェットヘッド１００は、イ
ンク滴を噴射するノズル１０１と、該ノズル１０１に圧
力を伝達する導通路１０２と、ピエゾ素子１０３と振動
板１０４より成るインク滴噴射用圧力発生源１０５を有
する圧力室１０６と、該圧力室１０６にインクを供給す
る供給路１０７と、該供給路１０７にインクを供給する
共通インク室１０８とを備えている。
【０００４】印字に際しては、ピエゾ素子１０３に信号
を印加する。これにより、ピエゾ素子１０３が収縮し、
振動板１０４は圧力室１０６側に変形して該圧力室１０
６に圧力が発生する。この圧力は、導通路１０２を介し
ノズル１０１に伝達され、ノズル１０１からインク滴が
噴射される。このピエゾ素子１０３への信号は、振動板
１０４上のピエゾ素子１０３に導電性ゴム１１０を介し
押し付けられているフレキシブルプリント板１０９によ
り印加される。
を印加する。これにより、ピエゾ素子１０３が収縮し、
振動板１０４は圧力室１０６側に変形して該圧力室１０
６に圧力が発生する。この圧力は、導通路１０２を介し
ノズル１０１に伝達され、ノズル１０１からインク滴が
噴射される。このピエゾ素子１０３への信号は、振動板
１０４上のピエゾ素子１０３に導電性ゴム１１０を介し
押し付けられているフレキシブルプリント板１０９によ
り印加される。
【０００５】このインクジェットヘッド１００は、５枚
の板を重ねた多層構造のもので、上記ノズル１０１，導
通路１０２，圧力室１０６，供給路１０７等は一枚の板
内に形成され、ノズル１０１は千鳥状に配列されてい
る。
の板を重ねた多層構造のもので、上記ノズル１０１，導
通路１０２，圧力室１０６，供給路１０７等は一枚の板
内に形成され、ノズル１０１は千鳥状に配列されてい
る。
【０００６】また、図６に示すように、インクジェット
ヘッド１００の製造に際しては、ピエゾ素子を接着する
振動板１０４，１０４′や、ノズル１０１等を形成した
流路板１１１，１１１′や、該流路板１１１，１１１′
間を仕切る基板１１２等はエッチング技術を用いて製作
し、ノズル１０１だけはエッチングを一方向から行うハ
ーフエッチングで半円形状に製作する。
ヘッド１００の製造に際しては、ピエゾ素子を接着する
振動板１０４，１０４′や、ノズル１０１等を形成した
流路板１１１，１１１′や、該流路板１１１，１１１′
間を仕切る基板１１２等はエッチング技術を用いて製作
し、ノズル１０１だけはエッチングを一方向から行うハ
ーフエッチングで半円形状に製作する。
【０００７】次に、ヘッドの組立は、組立治具１１５を
用いて行う。組立治具１１５は、１対のクランプ治具１
１３と、一方のクランプ治具（図６の下方のクランプ治
具）１１３に取り付けられたガイド治具１１４とで構成
され、ガイド治具１１４には２個のガイドピン１１６が
突設されている。組立に際しては、一方のクランプ治具
１１３上に、振動板１０４，流路板１１１，基板１１
２，流路板１１１′，振動板１０４′を順次積層する
が、このとき、各板にエッチング技術により形成されて
いる組立穴１１７をガイドピン１１６に案内させて積層
を行う。
用いて行う。組立治具１１５は、１対のクランプ治具１
１３と、一方のクランプ治具（図６の下方のクランプ治
具）１１３に取り付けられたガイド治具１１４とで構成
され、ガイド治具１１４には２個のガイドピン１１６が
突設されている。組立に際しては、一方のクランプ治具
１１３上に、振動板１０４，流路板１１１，基板１１
２，流路板１１１′，振動板１０４′を順次積層する
が、このとき、各板にエッチング技術により形成されて
いる組立穴１１７をガイドピン１１６に案内させて積層
を行う。
【０００８】積層が完了したら、クランプ治具１１３，
１１３をねじ締め等で固定し、ガイド治具１１４を取り
外す。そして、加圧可能な高温真空炉で拡散接合して組
立が完了する。
１１３をねじ締め等で固定し、ガイド治具１１４を取り
外す。そして、加圧可能な高温真空炉で拡散接合して組
立が完了する。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】しかし、上述の従来方
法では、ノズル形状が半円のため、非対称で粒子の飛翔
方向が悪く、また、エッチング技術で製作した組立穴の
加工精度は 0 +0.04 mmであり、ガイドピンを 0 -0.01 mm
の加工精度に仕上げて組み立てるためや、拡散接合時に
ガイドピンを取り外して加圧するために、各板の間でず
れが起き、ノズル列間の位置ずれも大きく、高解度ヘッ
ドを製造することができないという問題があった。
法では、ノズル形状が半円のため、非対称で粒子の飛翔
方向が悪く、また、エッチング技術で製作した組立穴の
加工精度は 0 +0.04 mmであり、ガイドピンを 0 -0.01 mm
の加工精度に仕上げて組み立てるためや、拡散接合時に
ガイドピンを取り外して加圧するために、各板の間でず
れが起き、ノズル列間の位置ずれも大きく、高解度ヘッ
ドを製造することができないという問題があった。
【００１０】本発明は、粒子の飛翔方向を改善するとと
もに、ノズル例間のずれをなくして高解像度を実現する
ことのできる印字ヘッドの製造方法を提供することを目
的としている。
もに、ノズル例間のずれをなくして高解像度を実現する
ことのできる印字ヘッドの製造方法を提供することを目
的としている。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
め、本発明では、インク滴を噴射するノズルと、該ノズ
ルに圧力を伝達する導通路と、前記ノズルからインク滴
を噴射する圧力を発生する圧力室と、該圧力室にインク
を供給する供給路と、該供給路にインクを供給する共通
インク室とを、それぞれ組立穴を有する多層板の接合に
より構成したインクジェットヘッドの製造方法におい
て、前記多層板をそれぞれエッチング技術で形成し、該
多層板を、前記組立穴にガイドピンを圧入して組み立て
るようにしたことを特徴とする構成とする。
め、本発明では、インク滴を噴射するノズルと、該ノズ
ルに圧力を伝達する導通路と、前記ノズルからインク滴
を噴射する圧力を発生する圧力室と、該圧力室にインク
を供給する供給路と、該供給路にインクを供給する共通
インク室とを、それぞれ組立穴を有する多層板の接合に
より構成したインクジェットヘッドの製造方法におい
て、前記多層板をそれぞれエッチング技術で形成し、該
多層板を、前記組立穴にガイドピンを圧入して組み立て
るようにしたことを特徴とする構成とする。
【００１２】また、上記構成のインクジェットヘッドの
製造方法において、ノズルが、板両面からのエッチング
により四角ノズルになるように形成されたことを特徴と
する構成とする。
製造方法において、ノズルが、板両面からのエッチング
により四角ノズルになるように形成されたことを特徴と
する構成とする。
【００１３】
【作用】多層板の組立は、各板の組立穴にガイドピンを
圧入することにより高精度で行われ、ノズル列間のずれ
を少なくすることができるため、高解像度が実現され
る。また、ノズル形状を対称になるように四角とした場
合は、インク滴の飛翔方向が改善される。
圧入することにより高精度で行われ、ノズル列間のずれ
を少なくすることができるため、高解像度が実現され
る。また、ノズル形状を対称になるように四角とした場
合は、インク滴の飛翔方向が改善される。
【００１４】
【実施例】以下図１乃至図４に関連して本発明の実施例
を説明する。
を説明する。
【００１５】図２は本例のインクジェットヘッド１の側
面図で、該インクジェットヘッド１は、インク滴を噴射
するノズル２と、該ノズル２に圧力を伝達する導通路３
と、ピエゾ素子４と振動板５より成るインク滴噴射用圧
力発生源６を有する圧力室７と、該圧力室７にインクを
供給する供給路８と、該供給路８にインクを供給する共
通インク室９とを備えている。１０はフレキシブルプリ
ント板で、導電性ゴム１１を介しピエゾ素子４に押し付
けられていて、該ピエゾ素子４に印字時に信号を印加す
る。印字要領は従来と同様なので説明を省略する。
面図で、該インクジェットヘッド１は、インク滴を噴射
するノズル２と、該ノズル２に圧力を伝達する導通路３
と、ピエゾ素子４と振動板５より成るインク滴噴射用圧
力発生源６を有する圧力室７と、該圧力室７にインクを
供給する供給路８と、該供給路８にインクを供給する共
通インク室９とを備えている。１０はフレキシブルプリ
ント板で、導電性ゴム１１を介しピエゾ素子４に押し付
けられていて、該ピエゾ素子４に印字時に信号を印加す
る。印字要領は従来と同様なので説明を省略する。
【００１６】そして、上記インクジェットヘッド１は、
７枚の板（詳細後述）を重ねた多層構造のもので、ノズ
ル２，圧力室７，供給路８等は二枚の板に分割して形成
され、ノズル２の配列は千鳥状になっている。
７枚の板（詳細後述）を重ねた多層構造のもので、ノズ
ル２，圧力室７，供給路８等は二枚の板に分割して形成
され、ノズル２の配列は千鳥状になっている。
【００１７】インクジェットヘッド１の製造に際して
は、図１に示すように、ピエゾ素子を接着する振動板
５，５′や、導通路３，圧力室７，供給路８を形成した
流路板１２，１２′や、ノズル２，導通路３を形成した
ノズル板１３，１３′や、該ノズル板１３，１３′間を
仕切る基板１４の計７枚をエッチング技術を用いて製作
する。ノズル２は、ノズル板１３，１３′を両面からエ
ッチングして形成し、その形状は、両面から流路板１
２，１２′と基板４を重ねることで四角形になる。上記
７枚の板には、それぞれの板内の同一位置に、２個の補
助組立穴１５と４個の組立穴１６がエッチング技術によ
り形成されている。
は、図１に示すように、ピエゾ素子を接着する振動板
５，５′や、導通路３，圧力室７，供給路８を形成した
流路板１２，１２′や、ノズル２，導通路３を形成した
ノズル板１３，１３′や、該ノズル板１３，１３′間を
仕切る基板１４の計７枚をエッチング技術を用いて製作
する。ノズル２は、ノズル板１３，１３′を両面からエ
ッチングして形成し、その形状は、両面から流路板１
２，１２′と基板４を重ねることで四角形になる。上記
７枚の板には、それぞれの板内の同一位置に、２個の補
助組立穴１５と４個の組立穴１６がエッチング技術によ
り形成されている。
【００１８】ヘッドの組立は、組立治具１９を用いて行
う。組立治具１９は、１対のクランプ治具１７と、一方
のクランプ治具１７に取り付けられたガイド治具１８と
で構成され、ガイド治具１８には２個のガイドピン２０
が突設されている。組立に際しては、一方のクランプ治
具１７上に、振動板５，流路板１２，ノズル板１３，基
板４，ノズル板１３′，流路板１２′，振動板５′を順
次積層するが、このとき、各板に形成されている補助組
立穴１５をカイドピン２０に案内させて積層を行う。
う。組立治具１９は、１対のクランプ治具１７と、一方
のクランプ治具１７に取り付けられたガイド治具１８と
で構成され、ガイド治具１８には２個のガイドピン２０
が突設されている。組立に際しては、一方のクランプ治
具１７上に、振動板５，流路板１２，ノズル板１３，基
板４，ノズル板１３′，流路板１２′，振動板５′を順
次積層するが、このとき、各板に形成されている補助組
立穴１５をカイドピン２０に案内させて積層を行う。
【００１９】次に、４個の組立穴１６にガイドピン２１
を圧入して７枚の板を正確に位置決めした後、クランプ
治具１７，１７をねじ締め等で固定してガイド治具１８
を取り外し、加圧可能な高温真空炉で拡散接合して組立
が完了する。
を圧入して７枚の板を正確に位置決めした後、クランプ
治具１７，１７をねじ締め等で固定してガイド治具１８
を取り外し、加圧可能な高温真空炉で拡散接合して組立
が完了する。
【００２０】この方法では、ノズル形状が四角になって
いるため、粒子の飛翔方向が改善される。また、補助組
立穴１５とガイドピン２０の係合により積層された７枚
の板を、組立穴１６にガイドピン２１圧入することによ
って正確に位置決めすることができるため、ノズル列間
のずれ（ノズル板１３のノズル列とノズル板１３′のノ
ズル列間のずれ）を±５μm 以内に抑えることが可能に
なった。このことは高解像度ヘッドを製造する上できわ
めて有利となる。
いるため、粒子の飛翔方向が改善される。また、補助組
立穴１５とガイドピン２０の係合により積層された７枚
の板を、組立穴１６にガイドピン２１圧入することによ
って正確に位置決めすることができるため、ノズル列間
のずれ（ノズル板１３のノズル列とノズル板１３′のノ
ズル列間のずれ）を±５μm 以内に抑えることが可能に
なった。このことは高解像度ヘッドを製造する上できわ
めて有利となる。
【００２１】図３に応用例を示す。
【００２２】図３に示すように、インクジェットヘッド
３１の組立には組立治具３４を使用する。組立治具３４
は、１対のクランプ治具３２と、一方のクランプ治具３
２に取り付けられたガイド治具３３とより成り、ガイド
治具３３にはガイドピン３５が突設されている。
３１の組立には組立治具３４を使用する。組立治具３４
は、１対のクランプ治具３２と、一方のクランプ治具３
２に取り付けられたガイド治具３３とより成り、ガイド
治具３３にはガイドピン３５が突設されている。
【００２３】組立に際しては、一方のクランプ治具３２
上に、振動板５，流路板１２，ノズル板１３，基板１
４，ノズル板１３′，流路板１２′，振動板５′を順次
積層するが、このとき、７枚の板の補助組立穴１５をガ
イドピン３５に案内させる。そして、その上に多層板と
の融着を防止するためのアルミナ基板３６をのせ、４個
の組立穴１６に、ブロック３７に打ち込んだガイドピン
３８を圧入して、該ブロック３７と同じ厚さのスペーサ
３９を置き、クランプ治具３２，３２をねじ締め等で固
定してガイド治具３３を取り外し、加圧可能な高温真空
炉で拡散接合して組立が完了する。
上に、振動板５，流路板１２，ノズル板１３，基板１
４，ノズル板１３′，流路板１２′，振動板５′を順次
積層するが、このとき、７枚の板の補助組立穴１５をガ
イドピン３５に案内させる。そして、その上に多層板と
の融着を防止するためのアルミナ基板３６をのせ、４個
の組立穴１６に、ブロック３７に打ち込んだガイドピン
３８を圧入して、該ブロック３７と同じ厚さのスペーサ
３９を置き、クランプ治具３２，３２をねじ締め等で固
定してガイド治具３３を取り外し、加圧可能な高温真空
炉で拡散接合して組立が完了する。
【００２４】本方式の場合は、前例と同様の効果の他
に、圧入したガイドピンの倒れを防止することができ、
より効果的である。
に、圧入したガイドピンの倒れを防止することができ、
より効果的である。
【００２５】図４に他の応用例を示す。本例は、ヘッド
を分割して接合し、接合後に位置合わせを行うもので、
その製造方法は次の通りである。
を分割して接合し、接合後に位置合わせを行うもので、
その製造方法は次の通りである。
【００２６】図４（Ｃ）に示すインクジェットヘッド４
１の製造に際しては、ピエゾ素子を接着する振動板４
２，４２′や、導通路３，圧力室７，供給路８を形成し
た流路板４３，４３′や、ノズル２，導通路３を形成し
たノズル板４４，４４′や、該ノズル板間を仕切る基板
４５，４５′等はエッチング技術を用いて製作する。ノ
ズル２は、両面からのエッチングにより形成され、その
形状は、両面から流路板４３（４３′）と基板４５（４
５′）を重ねることで四角形になる。それぞれの板内の
同一位置には補助組立穴４６が形成され、ノズル板４
４，４４′の同一位置には組立穴４７が、それぞれの板
内には組立穴４７と同一位置に逃げ穴がそれぞれ形成さ
れている。これらの各穴はエッチング技術により形成さ
れる。
１の製造に際しては、ピエゾ素子を接着する振動板４
２，４２′や、導通路３，圧力室７，供給路８を形成し
た流路板４３，４３′や、ノズル２，導通路３を形成し
たノズル板４４，４４′や、該ノズル板間を仕切る基板
４５，４５′等はエッチング技術を用いて製作する。ノ
ズル２は、両面からのエッチングにより形成され、その
形状は、両面から流路板４３（４３′）と基板４５（４
５′）を重ねることで四角形になる。それぞれの板内の
同一位置には補助組立穴４６が形成され、ノズル板４
４，４４′の同一位置には組立穴４７が、それぞれの板
内には組立穴４７と同一位置に逃げ穴がそれぞれ形成さ
れている。これらの各穴はエッチング技術により形成さ
れる。
【００２７】ヘッド組立は、図４（Ａ）に示す組立治具
５０を用いて行う。組立治具５０は、１対のクランプ治
具４８と、一方のクランプ治具４８に取り付けられたガ
イド治具４９とで構成され、ガイド治具４９には２個の
ガイドピン５１が突設されている。組立に際しては、ま
ず図４（Ａ）に示すように、一方のクランプ治具４８の
上に、振動板４２，流路板４３，ノズル板４４，基板４
５の４枚を順次積層するが、このとき、各板の補助組立
穴４６はガイドピン５１により案内される。
５０を用いて行う。組立治具５０は、１対のクランプ治
具４８と、一方のクランプ治具４８に取り付けられたガ
イド治具４９とで構成され、ガイド治具４９には２個の
ガイドピン５１が突設されている。組立に際しては、ま
ず図４（Ａ）に示すように、一方のクランプ治具４８の
上に、振動板４２，流路板４３，ノズル板４４，基板４
５の４枚を順次積層するが、このとき、各板の補助組立
穴４６はガイドピン５１により案内される。
【００２８】上記積層が完了したら、クランプ治具４
８，４８をねじ締め等により固定し、ガイド治具４９を
取り外す。そして、加圧可能な高温真空炉で拡散接合を
行ってサブヘット４１Ａが組み立てられる。図４（Ｂ）
に示すサブヘッド４１Ｂも、同様に、一方のクランプ治
具４８上に、基板４５′から振動板４２′の順に４枚の
板を積層し、拡散接合を行って組み立てられる。
８，４８をねじ締め等により固定し、ガイド治具４９を
取り外す。そして、加圧可能な高温真空炉で拡散接合を
行ってサブヘット４１Ａが組み立てられる。図４（Ｂ）
に示すサブヘッド４１Ｂも、同様に、一方のクランプ治
具４８上に、基板４５′から振動板４２′の順に４枚の
板を積層し、拡散接合を行って組み立てられる。
【００２９】このようにして形成されたサブヘッド４１
Ａ，４１Ｂを組み立てることによりインクジェットヘッ
ド４１が構成されるが、この組立は、図４（Ｃ）に示す
ように、ノズル板４４，４４′に形成した組立穴４７に
ガイドピン５２を圧入することにより行われる。
Ａ，４１Ｂを組み立てることによりインクジェットヘッ
ド４１が構成されるが、この組立は、図４（Ｃ）に示す
ように、ノズル板４４，４４′に形成した組立穴４７に
ガイドピン５２を圧入することにより行われる。
【００３０】本例の場合も、前例と同様の効果が得られ
る。
る。
【００３１】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、ヘ
ッドのノズル形状を四角形にしたことで粒子の飛翔方向
が改善され、また、ノズル板等の組立穴にピンを圧入し
て組み立てることで、ノズル列間のずれを少なく抑える
ことが可能になり、高解像度ヘッドを製造することでき
わめて有利である。
ッドのノズル形状を四角形にしたことで粒子の飛翔方向
が改善され、また、ノズル板等の組立穴にピンを圧入し
て組み立てることで、ノズル列間のずれを少なく抑える
ことが可能になり、高解像度ヘッドを製造することでき
わめて有利である。
【図１】本発明の実施例のインクジェットヘッドの製造
方法説明図である。
方法説明図である。
【図２】本発明の実施例のインクジェットヘッドの側面
図である。
図である。
【図３】本発明の応用例のインクジェットヘッドの製造
方法説明図である。
方法説明図である。
【図４】本発明の他の応用例のインクジェットヘッドの
製造方法説明図で、図４（Ａ）は一方のサブヘッドの組
立方法を、図４（Ｂ）は組み立てられた他方のサブヘッ
ドを、図４（Ｃ）は両サブヘッドの組立方法を、それぞ
れ示している。
製造方法説明図で、図４（Ａ）は一方のサブヘッドの組
立方法を、図４（Ｂ）は組み立てられた他方のサブヘッ
ドを、図４（Ｃ）は両サブヘッドの組立方法を、それぞ
れ示している。
【図５】従来のインクジェットヘッドを示す側面図であ
る。
る。
【図６】従来のインクジェットヘッドの製造方法説明図
である。
である。
１，３１，４１ インクジェットヘッド
２ ノズル
３ 導通路
４ ピエゾ素子
５，５′，４２，４２′ 振動板
６ 圧力発生源
７ 圧力室
８ 供給路
９ 共通インク室
１２，１２′，４３，４３′流路板
１３，１３′，４４，４４′ノズル板
１４，４５，４５′ 基板
１６，４７ 組立穴
２１，３８，５２ ガイドピン
４１Ａ，４１Ｂ サブヘッド
Claims (2)
- 【請求項１】 インク滴を噴射するノズル（２）と、該
ノズル（２）に圧力を伝達する導通路（３）と、前記ノ
ズル（２）からインク滴を噴射する圧力を発生する圧力
室（７）と、該圧力室（７）にインクを供給する供給路
（８）と、該供給路（８）にインクを供給する共通イン
ク室（９）とを、それぞれ組立穴（１６）を有する多層
板の接合により構成したインクジェットヘッドの製造方
法において、 前記多層板をそれぞれエッチング技術で形成し、該多層
板を前記組立穴（１６）にガイドピン（２１）を圧入し
て組み立てるようにしたことを特徴とするインクジェッ
トヘッドの製造方法。 - 【請求項２】ノズル（２）が、板両面からのエッチング
により四角ノズルになるように形成されたことを特徴と
する請求項１記載のインクジェットヘッドの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17665291A JPH0516373A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17665291A JPH0516373A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0516373A true JPH0516373A (ja) | 1993-01-26 |
Family
ID=16017329
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17665291A Withdrawn JPH0516373A (ja) | 1991-07-17 | 1991-07-17 | インクジエツトヘツドの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0516373A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0903234A3 (en) * | 1997-09-17 | 2000-07-05 | Seiko Epson Corporation | Micro device |
| US7654437B2 (en) | 2005-01-06 | 2010-02-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for bonding metallic plates and jig for the bonding of the metallic plates |
| US7836599B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-11-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method of manufacturing thereof |
-
1991
- 1991-07-17 JP JP17665291A patent/JPH0516373A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0903234A3 (en) * | 1997-09-17 | 2000-07-05 | Seiko Epson Corporation | Micro device |
| US7836599B2 (en) | 2004-12-28 | 2010-11-23 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Ink jet head and method of manufacturing thereof |
| US7654437B2 (en) | 2005-01-06 | 2010-02-02 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method for bonding metallic plates and jig for the bonding of the metallic plates |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19981008 |