JP3394073B2 - インクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録装置Info
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- JP3394073B2 JP3394073B2 JP30553093A JP30553093A JP3394073B2 JP 3394073 B2 JP3394073 B2 JP 3394073B2 JP 30553093 A JP30553093 A JP 30553093A JP 30553093 A JP30553093 A JP 30553093A JP 3394073 B2 JP3394073 B2 JP 3394073B2
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Description
【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置およびその製造方法、より詳細には、インクを吐出し
て記録を行なうためのインクジェット記録装置における
インクジェット記録ヘッドの構造およびその製造方法に
関する。 【0002】 【従来の技術】プリンタやファクシミリ等の記録装置
は、一般に、用紙に沿って移動するキャリッジと、その
キャリッジに搭載され、印字データ信号に基づいて駆動
される複数の圧電素子やノズル等のドット形成素子が設
けられた記録ヘッドから構成されている。近年、上記の
記録装置に対して、印字の際の画像品質に対する要求、
特にフルカラーや中間調表現等のカラー印写の要求があ
る一方、記録装置のコンパクト化も要求されている。 【0003】上記の記録装置でカラー印写を行なう場合
は、複数の色のための記録ヘッドが必要となり、特に中
間調表現をする場合は、同色でも濃度が異なるインクを
必要とするため、更に記録ヘッド数の増加が必要とな
る。また、印字の際に、より鮮明な画像を実現するため
には、高精度なノズル配列のみならずドットの高密度化
等が必要となり、この対応にも記録ヘッド数の増加が必
要となる。一方、記録装置のコンパクト化を図るために
は、キャリッジ、ひいては、キャリッジに搭載されてい
る記録ヘッドのサイズを小さくする必要がある。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】記録ヘッドはキャリッ
ジ上に搭載されているため、上述のような印字の際の画
像品質の要求に対して、単に記録ヘッドの数を増したの
では、キャリッジの大型化を招くこととなり、記録装置
全体のサイズがますます大型化することになる。他方、
記録装置をコンパクトなサイズにするためには、キャリ
ッジ、すなわち、記録ヘッドのサイズを小さくする必要
がある。従って、上述のような印字の際の画像品質の要
求に応えつつ記録装置のコンパクト化を図るために、コ
ンパクトな記録ヘッドの実現が課題となっていた。 【0005】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、コンパクトで高集積化されたインクジェッ
トヘッド(記録ヘッド)を簡単な構成、簡単な製造方法
で安価に提供することを目的になされたものである。 【0006】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、基板部材と、該基板部材上に接合した圧
電素子を有するインクジェット記録装置において、基板
部材上に個別電極パターンと共通電極パターンを有し、
該圧電素子と前記基板部材上に施された個別電極パター
ン及び共通電極パターンとが接合され、前記基板部材の
端部の角に面取り部を有し、該面取り部に前記共通電極
パターンと電気的に接続する回り込み電極面を有し、前
記圧電素子は前記回り込み電極面を全部分断しない程度
の深さに溝加工されていることを特徴としたものであ
る。 【0007】 【作用】コンパクトで高集積化されたインクジェットヘ
ッド(記録ヘッド)を簡単な構成、簡単な製造方法で安
価に提供する。 【0008】 【実施例】図1は、本発明が適用されるインクジェット
記録装置の一例を説明するための構成図、図2は、図1
のA−A矢視図、図3は、図1の表面側ヘッドの分解
図、図4は、図1の液室部(液室ユニット)の分解図、
図5は、図1のPZT(圧電素子)と液室部の位置関係
を説明するための模式図、図6は、図1のPZTを説明
するための図で、図中、1は基板、2はPZT、3は導
電ペースト、4は溝、5はフレーム、6は振動板、7は
ノズル流路板、8はノズル、9は圧力室、10は流体抵
抗、11は共通液室、12はカバー、13インク供給
口、14はアクチュエータユニット、15は液室部、2
0は表面側ヘッド、40は裏面側ヘッドである。 【0009】図1に示すように、インクジェット記録ヘ
ッド(記録ヘッド)は、セラミック、ステンレス等の材
料で形成されている基板1とその両側(図1では上下
面)に配設された各ヘッド20,40で構成されてい
る。図1に示す例は、表面側(上側)ヘッド20と裏面
側(下側)ヘッド40の内部構造が共に同じであるた
め、裏面側ヘッド40は外形線のみで現わし、内部の詳
細は省略してある。 【0010】まず、表面側ヘッド20の構成およびその
製造過程について説明する。図3に示すように、基板1
の表面にはホット電極(個別電極)1aと、グランド電
極(共通電極)1bのパターンが設けられている。この
電極パターン1a,1bは導電性金属等によるメッキ、
若しくは厚膜印刷等によって形成されている。その基板
1上の所定位置に積層タイプのPZT2が接着剤によっ
て接着,固定する。この時、図6に示すように、PZT
2は複数のチャンネル分が1枚につながった形状であ
る。PZT2の内部には内装電極2aが積層され、両側
面には外部電極2bが設けられており、例えば、奇数番
目の内装電極2aは左側面の外部電極2bに、偶数番目
の内装電極2aは右側面の外部電極2bにと、内装電極
2aから両側面の外部電極2bへ電気的に接続されてい
る。 【0011】基板1上の所定位置にPZT2を接着した
後、PZT2の外部電極2bと基板1のグランド電極パ
ターン1bとを導通するため、図1に示すように、導電
ペースト3等を塗布する。 【0012】次に、PZT2を各チャンネルごとに分割
するため、溝4の加工を行なう。溝加工は、ダイシング
ソー、ワイヤソー等による加工法にて行なわれが、PZ
T2を分断し、更にその下の基板1の表面に形成された
電極パターン1a,1bを分断する深さまで刃を入れる
ことが望ましい。基板1の表面に形成されていたホット
電極パターン1aが各チャンネルごとに分割されていな
くても、この溝加工により各チャンネルごとに分割され
ることになるからである。 【0013】図3に示す例は、ホット電極パターン1a
が各チャンネルごとに分割された状態で形成されたもの
であり、従って、ホット電極1aの中央付近(4a)ま
で溝加工がなされている。この場合、加工の際に、分割
されたホット電極1aの位置と溝加工の位置との位置合
わせ精度が問題となる。一方、ホット電極1aが分割パ
ターンではなく、連続している場合には、ホット電極1
aを越えたところ(4b)まで溝加工を行なえば良い。
どちらを選ぶかは必要精度と加工工数を比較して有利に
なる方を採用すれば良い。 【0014】このようにして、PZT2およびホット電
極1aは分割され、分割された一つが後で説明する噴射
ノズル8の一チャンネルに対応することになる。グラン
ド電極パターン1bも上記溝加工時に分割される。しか
しながら、グランド電極1bは全チャンネル共通で配線
されるため、全チャンネルが連通している必要があり、
図3に示すように、基板1の端面にはグランド電極の回
り込み部1cが形成されている。 【0015】次に、上述のようにして組て立てられた基
板1の上に樹脂またはセラミックからなるフレーム5が
接着される。フレーム5のPZT2に対応する部分は、
窓のような切欠き部5aがあり、その部分にPZT2が
顔を出すことになる。この時、フレーム5上面とPZT
2上面とは、ほぼ同一の高さとなっている。以上の工程
により、組み上がったものをアクチュエータユニット1
4と呼ぶ。 【0016】次に、液室ユニット15について説明す
る。振動板6は金属箔または樹脂フィルム等で形成され
るが、Ni電鋳等により、PZT2の変位を効率よく伝
達するような形状に成形された金属箔が好適である。図
5に示すように、振動板6の断面は薄肉部6aと厚肉部
6b,6eとからなり、PZT2の変位を圧力室9に効
率よく伝えるとともに、ほかのチャンネルへ影響を与え
ないような形状に工夫されている。 【0017】振動板6には、ドライフィルムで形成され
た2層のノズル流路板7b,7cがドライフィルム自身
の接着力によって接着されている。このドライフィルム
は、周知の通り、フォトリソ工程により図3,図4に示
すような形状に成形され、ノズル流路板7b,7cの接
着により、ノズル8、圧力室9、流体抵抗10、共通液
室11の各部分が形成される。 【0018】一方、ガラスまたは樹脂で作られるカバー
12にもドライフィルムによるノズル流路板7aが接着
されている。ノズル流路板7aはインク供給口の穴13
aを除きフラットな板状であり、ノズル流路板7b,7
cとあわせてノズル口8を構成する。ノズル流路板7a
が必要な理由は、ノズル口8を構成する複数の材料の種
類が異なると、材料の違いによりインクと材料との濡れ
性が異なることになり、インク滴噴射の際の噴射方向に
影響を及ぼすからであり、インクとノズル口8を構成す
る材料との相互作用で問題がなければノズル流路板7a
を省略しても良い。上述のようにして形作られた振動板
部15bとカバー部15aをドライフィルム同士(7
a,7b)の接着力で接着して液室ユニット15ができ
る。 【0019】最後に、アクチュエータユニット14の上
面(フレーム5の上面とPZT2の上面)にスクリーン
印刷、または、たこ印刷等の方法により接着剤を塗布
し、液室ユニット15を高精度に位置合わせをして加圧
接着する。この時、図5に示すように、振動板6の変位
部分6cはPZT2と接着し、振動板6のフラット部分
6dはフレーム5と接着する。インク供給口13は接着
剤でカバー12に接着する。 【0020】上述のような製造方法により、表面側ヘッ
ド20が完成する。裏面側ヘッド40についても、表面
側ヘッド20と同様な方法で表面側ヘッド20の反対面
に組み立てられる。この時、各ヘッド20,40の各イ
ンク供給口13には、それぞれ異なったインク、例え
ば、異なった色、あるいは、異なった濃度のインクの供
給が可能なようになっている(図示せず)。 【0021】図7は、本発明が適用されるインクジェッ
ト記録装置の他の例を説明するための図で、19は表面
側ヘッドのユニット基板、39は裏面側ヘッドのユニッ
ト基板、その他、図1〜図6と同じ作用をする部分に
は、図1〜図6と同じ符号を付してある。表面側ヘッド
ユニット20′と裏面側ヘッドユニット40′の内部構
造は、共に同じであるため、裏面側ヘッドユニット4
0′は外形線のみで現わし、内部の詳細は省略してあ
る。 【0022】図7に示す例は、ユニット化された記録ヘ
ッドの組立状態を示すもので、表面側ヘッドと裏面側ヘ
ッドを、別々にユニットとして組み立て、それを基板1
に接合し、一体化するようにしたもので、各ヘッドユニ
ット20′,40′には、各ヘッドをユニット化し、基
板1に接合するための必要最小限のユニット基板19,
39が設けられている。また、表面側ヘッドユニット2
0′と裏面側ヘッドユニット40′が基板1に対して相
対する位置に正確に組み付けられるように、基板1には
凸部(ピン等)が設けられ(図示せず)、各ヘッドユニ
ット20,40に設けられた凹部(穴等)(図示せず)
に入れ込むようになっている。更に、表面側ヘッドユニ
ット20′と裏面側ヘッドユニット40′は全く同一の
形状をしており、両ユニットの互換性が利くようになっ
ている。 【0023】図8は、本発明が適用されるインクジェッ
ト記録装置の更に他の例を説明するための図で、図1〜
図7と同じ作用をする部分には、図1〜図7と同じ符号
を付してある。図8に示す例は、表面側ヘッドユニット
20′と裏面側ヘッドユニット40′のノズルが千鳥配
列になるように配置したもので、図7に示した例と同
様、基板1に設けられた凸部(ピン等)と各ヘッドユニ
ット20′,40′設けられた凹部(穴等)により、各
ヘッドユニット20′,40′の位置決めができるよう
にしたものである。従って、基板1に各ヘッドユニット
20′,40′を取付けるだけで、ノズルが千鳥配列に
なるようにした 【0024】図9は、本発明によるインクジェット記録
装置の更に他の実施例を説明するための図で、図中、2
1はノズルプレート、図1〜図8と同じ作用をする部分
には、図1〜図8と同じ符号を付してある。図9に示す
例は、ノズル部を、1枚のノズルプレート21で構成し
たもので、表面側ヘッドユニット20′,裏面側ヘッド
ユニット40′はノズルに至るまでの流路部分をそれぞ
れが有しており、その流路に対応する位置にノズルが配
列されるようにノズルプレート21を接合,固着したも
のである。 【0025】図10は、本発明によるインクジェット記
録装置の実施例を説明するための図で、図1〜図9と同
じ作用をする部分には、図1〜図9と同じ符号を付して
ある。図10に示す例は、基板1の端部の角を面取り
し、面取り部1dにもグランド電極パターン1bを形成
するようにしたものである。基板1にPZT2を接着
後、溝4の加工をするが、面取り部1dに形成されたグ
ランド電極を全部分断しない程度の深さに溝加工するこ
とにより、図3に示した例よりも、コストの安い構成と
することができる(すなわち、図3の例では、端面への
電極作成は平面部と同時に作成するのは困難であり工程
が多くなる。一方面取りであれば、工程を同時に行える
ため、コストダウンを図ることが可能となる)。 【0026】 【発明の効果】圧電素子を分断する前に面取り部に共通
電極パターンを設け、加工後も共通電極パターンが全体
的に導通するように一部残した加工をすることにより、
後から共通リードを設けて共通電極を作る必要が無く、
一度に個別電極、個別圧電素子、共通電極を形成するこ
とができるため、加工方法の簡略化およびコストダウン
が図れる。更には、分断加工によって生じるバリ等の後
処理が不要となり、加工方法の簡略化およびコストダウ
ンが図れる。
置およびその製造方法、より詳細には、インクを吐出し
て記録を行なうためのインクジェット記録装置における
インクジェット記録ヘッドの構造およびその製造方法に
関する。 【0002】 【従来の技術】プリンタやファクシミリ等の記録装置
は、一般に、用紙に沿って移動するキャリッジと、その
キャリッジに搭載され、印字データ信号に基づいて駆動
される複数の圧電素子やノズル等のドット形成素子が設
けられた記録ヘッドから構成されている。近年、上記の
記録装置に対して、印字の際の画像品質に対する要求、
特にフルカラーや中間調表現等のカラー印写の要求があ
る一方、記録装置のコンパクト化も要求されている。 【0003】上記の記録装置でカラー印写を行なう場合
は、複数の色のための記録ヘッドが必要となり、特に中
間調表現をする場合は、同色でも濃度が異なるインクを
必要とするため、更に記録ヘッド数の増加が必要とな
る。また、印字の際に、より鮮明な画像を実現するため
には、高精度なノズル配列のみならずドットの高密度化
等が必要となり、この対応にも記録ヘッド数の増加が必
要となる。一方、記録装置のコンパクト化を図るために
は、キャリッジ、ひいては、キャリッジに搭載されてい
る記録ヘッドのサイズを小さくする必要がある。 【0004】 【発明が解決しようとする課題】記録ヘッドはキャリッ
ジ上に搭載されているため、上述のような印字の際の画
像品質の要求に対して、単に記録ヘッドの数を増したの
では、キャリッジの大型化を招くこととなり、記録装置
全体のサイズがますます大型化することになる。他方、
記録装置をコンパクトなサイズにするためには、キャリ
ッジ、すなわち、記録ヘッドのサイズを小さくする必要
がある。従って、上述のような印字の際の画像品質の要
求に応えつつ記録装置のコンパクト化を図るために、コ
ンパクトな記録ヘッドの実現が課題となっていた。 【0005】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、コンパクトで高集積化されたインクジェッ
トヘッド(記録ヘッド)を簡単な構成、簡単な製造方法
で安価に提供することを目的になされたものである。 【0006】 【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、基板部材と、該基板部材上に接合した圧
電素子を有するインクジェット記録装置において、基板
部材上に個別電極パターンと共通電極パターンを有し、
該圧電素子と前記基板部材上に施された個別電極パター
ン及び共通電極パターンとが接合され、前記基板部材の
端部の角に面取り部を有し、該面取り部に前記共通電極
パターンと電気的に接続する回り込み電極面を有し、前
記圧電素子は前記回り込み電極面を全部分断しない程度
の深さに溝加工されていることを特徴としたものであ
る。 【0007】 【作用】コンパクトで高集積化されたインクジェットヘ
ッド(記録ヘッド)を簡単な構成、簡単な製造方法で安
価に提供する。 【0008】 【実施例】図1は、本発明が適用されるインクジェット
記録装置の一例を説明するための構成図、図2は、図1
のA−A矢視図、図3は、図1の表面側ヘッドの分解
図、図4は、図1の液室部(液室ユニット)の分解図、
図5は、図1のPZT(圧電素子)と液室部の位置関係
を説明するための模式図、図6は、図1のPZTを説明
するための図で、図中、1は基板、2はPZT、3は導
電ペースト、4は溝、5はフレーム、6は振動板、7は
ノズル流路板、8はノズル、9は圧力室、10は流体抵
抗、11は共通液室、12はカバー、13インク供給
口、14はアクチュエータユニット、15は液室部、2
0は表面側ヘッド、40は裏面側ヘッドである。 【0009】図1に示すように、インクジェット記録ヘ
ッド(記録ヘッド)は、セラミック、ステンレス等の材
料で形成されている基板1とその両側(図1では上下
面)に配設された各ヘッド20,40で構成されてい
る。図1に示す例は、表面側(上側)ヘッド20と裏面
側(下側)ヘッド40の内部構造が共に同じであるた
め、裏面側ヘッド40は外形線のみで現わし、内部の詳
細は省略してある。 【0010】まず、表面側ヘッド20の構成およびその
製造過程について説明する。図3に示すように、基板1
の表面にはホット電極(個別電極)1aと、グランド電
極(共通電極)1bのパターンが設けられている。この
電極パターン1a,1bは導電性金属等によるメッキ、
若しくは厚膜印刷等によって形成されている。その基板
1上の所定位置に積層タイプのPZT2が接着剤によっ
て接着,固定する。この時、図6に示すように、PZT
2は複数のチャンネル分が1枚につながった形状であ
る。PZT2の内部には内装電極2aが積層され、両側
面には外部電極2bが設けられており、例えば、奇数番
目の内装電極2aは左側面の外部電極2bに、偶数番目
の内装電極2aは右側面の外部電極2bにと、内装電極
2aから両側面の外部電極2bへ電気的に接続されてい
る。 【0011】基板1上の所定位置にPZT2を接着した
後、PZT2の外部電極2bと基板1のグランド電極パ
ターン1bとを導通するため、図1に示すように、導電
ペースト3等を塗布する。 【0012】次に、PZT2を各チャンネルごとに分割
するため、溝4の加工を行なう。溝加工は、ダイシング
ソー、ワイヤソー等による加工法にて行なわれが、PZ
T2を分断し、更にその下の基板1の表面に形成された
電極パターン1a,1bを分断する深さまで刃を入れる
ことが望ましい。基板1の表面に形成されていたホット
電極パターン1aが各チャンネルごとに分割されていな
くても、この溝加工により各チャンネルごとに分割され
ることになるからである。 【0013】図3に示す例は、ホット電極パターン1a
が各チャンネルごとに分割された状態で形成されたもの
であり、従って、ホット電極1aの中央付近(4a)ま
で溝加工がなされている。この場合、加工の際に、分割
されたホット電極1aの位置と溝加工の位置との位置合
わせ精度が問題となる。一方、ホット電極1aが分割パ
ターンではなく、連続している場合には、ホット電極1
aを越えたところ(4b)まで溝加工を行なえば良い。
どちらを選ぶかは必要精度と加工工数を比較して有利に
なる方を採用すれば良い。 【0014】このようにして、PZT2およびホット電
極1aは分割され、分割された一つが後で説明する噴射
ノズル8の一チャンネルに対応することになる。グラン
ド電極パターン1bも上記溝加工時に分割される。しか
しながら、グランド電極1bは全チャンネル共通で配線
されるため、全チャンネルが連通している必要があり、
図3に示すように、基板1の端面にはグランド電極の回
り込み部1cが形成されている。 【0015】次に、上述のようにして組て立てられた基
板1の上に樹脂またはセラミックからなるフレーム5が
接着される。フレーム5のPZT2に対応する部分は、
窓のような切欠き部5aがあり、その部分にPZT2が
顔を出すことになる。この時、フレーム5上面とPZT
2上面とは、ほぼ同一の高さとなっている。以上の工程
により、組み上がったものをアクチュエータユニット1
4と呼ぶ。 【0016】次に、液室ユニット15について説明す
る。振動板6は金属箔または樹脂フィルム等で形成され
るが、Ni電鋳等により、PZT2の変位を効率よく伝
達するような形状に成形された金属箔が好適である。図
5に示すように、振動板6の断面は薄肉部6aと厚肉部
6b,6eとからなり、PZT2の変位を圧力室9に効
率よく伝えるとともに、ほかのチャンネルへ影響を与え
ないような形状に工夫されている。 【0017】振動板6には、ドライフィルムで形成され
た2層のノズル流路板7b,7cがドライフィルム自身
の接着力によって接着されている。このドライフィルム
は、周知の通り、フォトリソ工程により図3,図4に示
すような形状に成形され、ノズル流路板7b,7cの接
着により、ノズル8、圧力室9、流体抵抗10、共通液
室11の各部分が形成される。 【0018】一方、ガラスまたは樹脂で作られるカバー
12にもドライフィルムによるノズル流路板7aが接着
されている。ノズル流路板7aはインク供給口の穴13
aを除きフラットな板状であり、ノズル流路板7b,7
cとあわせてノズル口8を構成する。ノズル流路板7a
が必要な理由は、ノズル口8を構成する複数の材料の種
類が異なると、材料の違いによりインクと材料との濡れ
性が異なることになり、インク滴噴射の際の噴射方向に
影響を及ぼすからであり、インクとノズル口8を構成す
る材料との相互作用で問題がなければノズル流路板7a
を省略しても良い。上述のようにして形作られた振動板
部15bとカバー部15aをドライフィルム同士(7
a,7b)の接着力で接着して液室ユニット15ができ
る。 【0019】最後に、アクチュエータユニット14の上
面(フレーム5の上面とPZT2の上面)にスクリーン
印刷、または、たこ印刷等の方法により接着剤を塗布
し、液室ユニット15を高精度に位置合わせをして加圧
接着する。この時、図5に示すように、振動板6の変位
部分6cはPZT2と接着し、振動板6のフラット部分
6dはフレーム5と接着する。インク供給口13は接着
剤でカバー12に接着する。 【0020】上述のような製造方法により、表面側ヘッ
ド20が完成する。裏面側ヘッド40についても、表面
側ヘッド20と同様な方法で表面側ヘッド20の反対面
に組み立てられる。この時、各ヘッド20,40の各イ
ンク供給口13には、それぞれ異なったインク、例え
ば、異なった色、あるいは、異なった濃度のインクの供
給が可能なようになっている(図示せず)。 【0021】図7は、本発明が適用されるインクジェッ
ト記録装置の他の例を説明するための図で、19は表面
側ヘッドのユニット基板、39は裏面側ヘッドのユニッ
ト基板、その他、図1〜図6と同じ作用をする部分に
は、図1〜図6と同じ符号を付してある。表面側ヘッド
ユニット20′と裏面側ヘッドユニット40′の内部構
造は、共に同じであるため、裏面側ヘッドユニット4
0′は外形線のみで現わし、内部の詳細は省略してあ
る。 【0022】図7に示す例は、ユニット化された記録ヘ
ッドの組立状態を示すもので、表面側ヘッドと裏面側ヘ
ッドを、別々にユニットとして組み立て、それを基板1
に接合し、一体化するようにしたもので、各ヘッドユニ
ット20′,40′には、各ヘッドをユニット化し、基
板1に接合するための必要最小限のユニット基板19,
39が設けられている。また、表面側ヘッドユニット2
0′と裏面側ヘッドユニット40′が基板1に対して相
対する位置に正確に組み付けられるように、基板1には
凸部(ピン等)が設けられ(図示せず)、各ヘッドユニ
ット20,40に設けられた凹部(穴等)(図示せず)
に入れ込むようになっている。更に、表面側ヘッドユニ
ット20′と裏面側ヘッドユニット40′は全く同一の
形状をしており、両ユニットの互換性が利くようになっ
ている。 【0023】図8は、本発明が適用されるインクジェッ
ト記録装置の更に他の例を説明するための図で、図1〜
図7と同じ作用をする部分には、図1〜図7と同じ符号
を付してある。図8に示す例は、表面側ヘッドユニット
20′と裏面側ヘッドユニット40′のノズルが千鳥配
列になるように配置したもので、図7に示した例と同
様、基板1に設けられた凸部(ピン等)と各ヘッドユニ
ット20′,40′設けられた凹部(穴等)により、各
ヘッドユニット20′,40′の位置決めができるよう
にしたものである。従って、基板1に各ヘッドユニット
20′,40′を取付けるだけで、ノズルが千鳥配列に
なるようにした 【0024】図9は、本発明によるインクジェット記録
装置の更に他の実施例を説明するための図で、図中、2
1はノズルプレート、図1〜図8と同じ作用をする部分
には、図1〜図8と同じ符号を付してある。図9に示す
例は、ノズル部を、1枚のノズルプレート21で構成し
たもので、表面側ヘッドユニット20′,裏面側ヘッド
ユニット40′はノズルに至るまでの流路部分をそれぞ
れが有しており、その流路に対応する位置にノズルが配
列されるようにノズルプレート21を接合,固着したも
のである。 【0025】図10は、本発明によるインクジェット記
録装置の実施例を説明するための図で、図1〜図9と同
じ作用をする部分には、図1〜図9と同じ符号を付して
ある。図10に示す例は、基板1の端部の角を面取り
し、面取り部1dにもグランド電極パターン1bを形成
するようにしたものである。基板1にPZT2を接着
後、溝4の加工をするが、面取り部1dに形成されたグ
ランド電極を全部分断しない程度の深さに溝加工するこ
とにより、図3に示した例よりも、コストの安い構成と
することができる(すなわち、図3の例では、端面への
電極作成は平面部と同時に作成するのは困難であり工程
が多くなる。一方面取りであれば、工程を同時に行える
ため、コストダウンを図ることが可能となる)。 【0026】 【発明の効果】圧電素子を分断する前に面取り部に共通
電極パターンを設け、加工後も共通電極パターンが全体
的に導通するように一部残した加工をすることにより、
後から共通リードを設けて共通電極を作る必要が無く、
一度に個別電極、個別圧電素子、共通電極を形成するこ
とができるため、加工方法の簡略化およびコストダウン
が図れる。更には、分断加工によって生じるバリ等の後
処理が不要となり、加工方法の簡略化およびコストダウ
ンが図れる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるインクジェット記録装置の一実
施例を説明するための構成図である。 【図2】 図1のA−A矢視図である。 【図3】 本発明によるインクジェット記録装置の表面
側ヘッドの分解図である。 【図4】 本発明によるインクジェット記録装置の液室
部の分解図である。 【図5】 本発明によるインクジェット記録装置のPZ
Tと液室部の位置関係を説明するための模式図である。 【図6】 本発明によるインクジェット記録装置のPZ
Tを説明するための図である。 【図7】 本発明によるインクジェット記録装置の他の
実施例を説明するための図である。 【図8】 本発明によるインクジェット記録装置の更に
他の実施例を説明するための図である。 【図9】 本発明によるインクジェット記録装置の更に
他の実施例を説明するための図である。 【図10】 本発明によるインクジェット記録装置の更
に他の実施例を説明するための図である。 【符号の説明】 1…基板、2…PZT、3…導電ペースト、4…溝、5
…フレーム、6…振動板、7…ノズル流路、8…ノズ
ル、9…圧力室、10…流体抵抗、11…共通液室、1
2…カバー、13インク供給口、14…アクチュエータ
ユニット、15…液室部、19…ユニット基板、20…
表面側ヘッド、20′…表面側ヘッドユニット、21…
ノズルプレート、39…ユニット基板、40…裏面側ヘ
ッド、40′…裏面側ヘッドユニット。
施例を説明するための構成図である。 【図2】 図1のA−A矢視図である。 【図3】 本発明によるインクジェット記録装置の表面
側ヘッドの分解図である。 【図4】 本発明によるインクジェット記録装置の液室
部の分解図である。 【図5】 本発明によるインクジェット記録装置のPZ
Tと液室部の位置関係を説明するための模式図である。 【図6】 本発明によるインクジェット記録装置のPZ
Tを説明するための図である。 【図7】 本発明によるインクジェット記録装置の他の
実施例を説明するための図である。 【図8】 本発明によるインクジェット記録装置の更に
他の実施例を説明するための図である。 【図9】 本発明によるインクジェット記録装置の更に
他の実施例を説明するための図である。 【図10】 本発明によるインクジェット記録装置の更
に他の実施例を説明するための図である。 【符号の説明】 1…基板、2…PZT、3…導電ペースト、4…溝、5
…フレーム、6…振動板、7…ノズル流路、8…ノズ
ル、9…圧力室、10…流体抵抗、11…共通液室、1
2…カバー、13インク供給口、14…アクチュエータ
ユニット、15…液室部、19…ユニット基板、20…
表面側ヘッド、20′…表面側ヘッドユニット、21…
ノズルプレート、39…ユニット基板、40…裏面側ヘ
ッド、40′…裏面側ヘッドユニット。
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フロントページの続き
(72)発明者 成瀬 修
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株
式会社リコー内
(72)発明者 佐々木 勉
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株
式会社リコー内
(72)発明者 牧田 秀行
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株
式会社リコー内
(72)発明者 村井 妙子
東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株
式会社リコー内
(56)参考文献 特開 平7−137259(JP,A)
特開 平4−197645(JP,A)
特開 平5−116329(JP,A)
特開 平2−167751(JP,A)
特開 平5−198860(JP,A)
特開 平4−310746(JP,A)
(58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名)
B41J 2/045
B41J 2/055
B41J 2/16
Claims (1)
- (57)【特許請求の範囲】 【請求項1】 基板部材と、該基板部材上に接合した圧
電素子を有するインクジェット記録装置において、基板
部材上に個別電極パターンと共通電極パターンを有し、
該圧電素子と前記基板部材上に施された個別電極パター
ン及び共通電極パターンとが接合され、前記基板部材の
端部の角に面取り部を有し、該面取り部に前記共通電極
パターンと電気的に接続する回り込み電極面を有し、前
記圧電素子は前記回り込み電極面を全部分断しない程度
の深さに溝加工されていることを特徴とするインクジェ
ット記録装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30553093A JP3394073B2 (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | インクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30553093A JP3394073B2 (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | インクジェット記録装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH07156392A JPH07156392A (ja) | 1995-06-20 |
JP3394073B2 true JP3394073B2 (ja) | 2003-04-07 |
Family
ID=17946264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30553093A Expired - Fee Related JP3394073B2 (ja) | 1993-12-06 | 1993-12-06 | インクジェット記録装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3394073B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10109415A (ja) * | 1996-10-07 | 1998-04-28 | Brother Ind Ltd | インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッド形成方法 |
-
1993
- 1993-12-06 JP JP30553093A patent/JP3394073B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH07156392A (ja) | 1995-06-20 |
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