JPH07156392A - インクジェット記録装置およびその製造方法 - Google Patents

インクジェット記録装置およびその製造方法

Info

Publication number
JPH07156392A
JPH07156392A JP30553093A JP30553093A JPH07156392A JP H07156392 A JPH07156392 A JP H07156392A JP 30553093 A JP30553093 A JP 30553093A JP 30553093 A JP30553093 A JP 30553093A JP H07156392 A JPH07156392 A JP H07156392A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording head
substrate member
ink jet
recording
recording apparatus
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP30553093A
Other languages
English (en)
Other versions
JP3394073B2 (ja
Inventor
Michio Umezawa
道夫 梅沢
Tetsuo Hirota
哲郎 廣田
Shuzo Matsumoto
修三 松本
Osamu Naruse
修 成瀬
Tsutomu Sasaki
勉 佐々木
Hideyuki Makita
秀行 牧田
Taeko Murai
妙子 村井
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP30553093A priority Critical patent/JP3394073B2/ja
Publication of JPH07156392A publication Critical patent/JPH07156392A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3394073B2 publication Critical patent/JP3394073B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Abstract

(57)【要約】 【目的】 コンパクトで高集積化されたインクジェット
ヘッドを簡単な構成、簡単な製造方法で安価に提供す
る。 【構成】 表面側ヘッド20は、基板1の表面に形成さ
れた電極に導電ペースト3により導通されたPZT2と
フレーム5からなるアクチュエータユニット14と、振
動板6,ノズル流路板7,カバー12からなる液室部1
5により構成されており、インク供給口13から供給さ
れるインクは、共通液室11,圧力室9を通ってノズル
8から噴射される。基板1の裏側(下側)にも表面側ヘ
ッド20と同様な構造の裏面側ヘッド40が配設されて
おり、1枚の基板に2個のヘッド20,40を取り付け
ることによりコンパクト化を図る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置およびその製造方法、より詳細には、インクを吐出し
て記録を行なうためのインクジェット記録装置における
インクジェット記録ヘッドの構造およびその製造方法に
関する。
【0002】
【従来の技術】プリンタやファクシミリ等の記録装置
は、一般に、用紙に沿って移動するキャリッジと、その
キャリッジに搭載され、印字データ信号に基づいて駆動
される複数の圧電素子やノズル等のドット形成素子が設
けられた記録ヘッドから構成されている。近年、上記の
記録装置に対して、印字の際の画像品質に対する要求、
特にフルカラーや中間調表現等のカラー印写の要求があ
る一方、記録装置のコンパクト化も要求されている。
【0003】上記の記録装置でカラー印写を行なう場合
は、複数の色のための記録ヘッドが必要となり、特に中
間調表現をする場合は、同色でも濃度が異なるインクを
必要とするため、更に記録ヘッド数の増加が必要とな
る。また、印字の際に、より鮮明な画像を実現するため
には、高精度なノズル配列のみならずドットの高密度化
等が必要となり、この対応にも記録ヘッド数の増加が必
要となる。一方、記録装置のコンパクト化を図るために
は、キャリッジ、ひいては、キャリッジに搭載されてい
る記録ヘッドのサイズを小さくする必要がある。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】記録ヘッドはキャリッ
ジ上に搭載されているため、上述のような印字の際の画
像品質の要求に対して、単に記録ヘッドの数を増したの
では、キャリッジの大型化を招くこととなり、記録装置
全体のサイズがますます大型化することになる。他方、
記録装置をコンパクトなサイズにするためには、キャリ
ッジ、すなわち、記録ヘッドのサイズを小さくする必要
がある。従って、上述のような印字の際の画像品質の要
求に応えつつ記録装置のコンパクト化を図るために、コ
ンパクトな記録ヘッドの実現が課題となっていた。
【0005】本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなさ
れたもので、コンパクトで高集積化されたインクジェッ
トヘッド(記録ヘッド)を簡単な構成、簡単な製造方法
で安価に提供することを目的になされたものである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、(1)インクを吐出するインク吐出部を
一側面に有する記録ヘッド部と、該記録ヘッド部と一体
的に構成され、該記録ヘッド部を固設するための基板部
材とを有するインクジェット記録装置において、前記基
板部材の表,裏両面に前記記録ヘッド部を有すること、
更には、(2)前記(1)において、前記各記録ヘッド
部の形状が同一であること、更には、(3)前記(1)
又は前記(2)において、前記両記録ヘッド部のノズル
が千鳥配列となるように前記両記録ヘッド部が位置決め
されて前記基板部材に固設されていること、更には、
(4)前記(1)乃至前記(3)において、前記両記録
ヘッド部の各ノズルを設けた単一のノズルプレートが前
記両記録ヘッド部のインク吐出側側面に固着されている
こと、更には、(5)前記(1)乃至前記(4)におい
て、前記各記録ヘッド部がそれぞれ異なったインクを吐
出すること、更には、(6)インクを吐出するインク吐
出部を一側面に有する記録ヘッド部と、該記録ヘッド部
と一体的に構成され、該記録ヘッド部を固設するための
基板部材とを有し、該基板部材の表,裏両面に前記記録
ヘッド部を有するインクジェット記録装置の製造方法に
おいて、前記各記録ヘッド部を製作した後、該記録ヘッ
ド部を前記基板部材に一体化するように固設すること、
或いは、(7)基板部材と、該基板部材上に接合した圧
電素子を有するインクジェット記録装置の製造方法にお
いて、前記圧電素子が複数の個々の圧電素子に分断され
る前に、該圧電素子の少なくとも個別電極側が前記基板
部材上に施された個別電極パターンと導電処理されてい
ること、或いは、(8)基板部材と、該基板部材上に接
合した圧電素子とを有するインクジェット記録装置にお
いて、前記基板部材は該圧電素子の共通電極に対応した
端部に共通電極パターンが施された面取り部を有し、前
記圧電素子が該面取り部より浅い溝で複数の個々の圧電
素子に分断されていることを特徴としたものである。
【0007】
【作用】コンパクトで高集積化されたインクジェットヘ
ッド(記録ヘッド)を簡単な構成、簡単な製造方法で安
価に提供する。
【0008】
【実施例】図1は、本発明によるインクジェット記録装
置の一実施例を説明するための構成図、図2は、図1の
A−A矢視図、図3は、図1の表面側ヘッドの分解図、
図4は、図1の液室部(液室ユニット)の分解図、図5
は、図1のPZT(圧電素子)と液室部の位置関係を説
明するための模式図、図6は、図1のPZTを説明する
ための図で、図中、1は基板、2はPZT、3は導電ペ
ースト、4は溝、5はフレーム、6は振動板、7はノズ
ル流路板、8はノズル、9は圧力室、10は流体抵抗、
11は共通液室、12はカバー、13インク供給口、1
4はアクチュエータユニット、15は液室部、20は表
面側ヘッド、40は裏面側ヘッドである。
【0009】図1に示すように、インクジェット記録ヘ
ッド(記録ヘッド)は、セラミック、ステンレス等の材
料で形成されている基板1とその両側(図1では上下
面)に配設された各ヘッド20,40で構成されてい
る。図1に示す例は、表面側(上側)ヘッド20と裏面
側(下側)ヘッド40の内部構造が共に同じであるた
め、裏面側ヘッド40は外形線のみで現わし、内部の詳
細は省略してある。
【0010】まず、表面側ヘッド20の構成およびその
製造過程について説明する。図3に示すように、基板1
の表面にはホット電極(個別電極)1aと、グランド電
極(共通電極)1bのパターンが設けられている。この
電極パターン1a,1bは導電性金属等によるメッキ、
若しくは厚膜印刷等によって形成されている。その基板
1上の所定位置に積層タイプのPZT2が接着剤によっ
て接着,固定する。この時、図6に示すように、PZT
2は複数のチャンネル分が1枚につながった形状であ
る。PZT2の内部には内装電極2aが積層され、両側
面には外部電極2bが設けられており、例えば、奇数番
目の内装電極2aは左側面の外部電極2bに、偶数番目
の内装電極2aは右側面の外部電極2bにと、内装電極
2aから両側面の外部電極2bへ電気的に接続されてい
る。
【0011】基板1上の所定位置にPZT2を接着した
後、PZT2の外部電極2bと基板1のグランド電極パ
ターン1bとを導通するため、図1に示すように、導電
ペースト3等を塗布する。
【0012】次に、PZT2を各チャンネルごとに分割
するため、溝4の加工を行なう。溝加工は、ダイシング
ソー、ワイヤソー等による加工法にて行なわれが、PZ
T2を分断し、更にその下の基板1の表面に形成された
電極パターン1a,1bを分断する深さまで刃を入れる
ことが望ましい。基板1の表面に形成されていたホット
電極パターン1aが各チャンネルごとに分割されていな
くても、この溝加工により各チャンネルごとに分割され
ることになるからである。
【0013】図3に示す例は、ホット電極パターン1a
が各チャンネルごとに分割された状態で形成されたもの
であり、従って、ホット電極1aの中央付近(4a)ま
で溝加工がなされている。この場合、加工の際に、分割
されたホット電極1aの位置と溝加工の位置との位置合
わせ精度が問題となる。一方、ホット電極1aが分割パ
ターンではなく、連続している場合には、ホット電極1
aを越えたところ(4b)まで溝加工を行なえば良い。
どちらを選ぶかは必要精度と加工工数を比較して有利に
なる方を採用すれば良い。
【0014】このようにして、PZT2およびホット電
極1aは分割され、分割された一つが後で説明する噴射
ノズル8の一チャンネルに対応することになる。グラン
ド電極パターン1bも上記溝加工時に分割される。しか
しながら、グランド電極1bは全チャンネル共通で配線
されるため、全チャンネルが連通している必要があり、
図3に示すように、基板1の端面にはグランド電極の回
り込み部1cが形成されている。
【0015】次に、上述のようにして組て立てられた基
板1の上に樹脂またはセラミックからなるフレーム5が
接着される。フレーム5のPZT2に対応する部分は、
窓のような切欠き部5aがあり、その部分にPZT2が
顔を出すことになる。この時、フレーム5上面とPZT
2上面とは、ほぼ同一の高さとなっている。以上の工程
により、組み上がったものをアクチュエータユニット1
4と呼ぶ。
【0016】次に、液室ユニット15について説明す
る。振動板6は金属箔または樹脂フィルム等で形成され
るが、Ni電鋳等により、PZT2の変位を効率よく伝
達するような形状に成形された金属箔が好適である。図
5に示すように、振動板6の断面は薄肉部6aと厚肉部
6b,6eとからなり、PZT2の変位を圧力室9に効
率よく伝えるとともに、ほかのチャンネルへ影響を与え
ないような形状に工夫されている。
【0017】振動板6には、ドライフィルムで形成され
た2層のノズル流路板7b,7cがドライフィルム自身
の接着力によって接着されている。このドライフィルム
は、周知の通り、フォトリソ工程により図3,図4に示
すような形状に成形され、ノズル流路板7b,7cの接
着により、ノズル8、圧力室9、流体抵抗10、共通液
室11の各部分が形成される。
【0018】一方、ガラスまたは樹脂で作られるカバー
12にもドライフィルムによるノズル流路板7aが接着
されている。ノズル流路板7aはインク供給口の穴13
aを除きフラットな板状であり、ノズル流路板7b,7
cとあわせてノズル口8を構成する。ノズル流路板7a
が必要な理由は、ノズル口8を構成する複数の材料の種
類が異なると、材料の違いによりインクと材料との濡れ
性が異なることになり、インク滴噴射の際の噴射方向に
影響を及ぼすからであり、インクとノズル口8を構成す
る材料との相互作用で問題がなければノズル流路板7a
を省略しても良い。上述のようにして形作られた振動板
部15bとカバー部15aをドライフィルム同士(7
a,7b)の接着力で接着して液室ユニット15ができ
る。
【0019】最後に、アクチュエータユニット14の上
面(フレーム5の上面とPZT2の上面)にスクリーン
印刷、または、たこ印刷等の方法により接着剤を塗布
し、液室ユニット15を高精度に位置合わせをして加圧
接着する。この時、図5に示すように、振動板6の変位
部分6cはPZT2と接着し、振動板6のフラット部分
6dはフレーム5と接着する。インク供給口13は接着
剤でカバー12に接着する。
【0020】上述のような製造方法により、表面側ヘッ
ド20が完成する。裏面側ヘッド40についても、表面
側ヘッド20と同様な方法で表面側ヘッド20の反対面
に組み立てられる。この時、各ヘッド20,40の各イ
ンク供給口13には、それぞれ異なったインク、例え
ば、異なった色、あるいは、異なった濃度のインクの供
給が可能なようになっている(図示せず)。
【0021】図7は、本発明によるインクジェット記録
装置の他の実施例を説明するための図で、19は表面側
ヘッドのユニット基板、39は裏面側ヘッドのユニット
基板、その他、図1〜図6と同じ作用をする部分には、
図1〜図6と同じ符号を付してある。表面側ヘッドユニ
ット20′と裏面側ヘッドユニット40′の内部構造
は、共に同じであるため、裏面側ヘッドユニット40′
は外形線のみで現わし、内部の詳細は省略してある。
【0022】図7に示す例は、ユニット化された記録ヘ
ッドの組立状態を示すもので、表面側ヘッドと裏面側ヘ
ッドを、別々にユニットとして組み立て、それを基板1
に接合し、一体化するようにしたもので、各ヘッドユニ
ット20′,40′には、各ヘッドをユニット化し、基
板1に接合するための必要最小限のユニット基板19,
39が設けられている。また、表面側ヘッドユニット2
0′と裏面側ヘッドユニット40′が基板1に対して相
対する位置に正確に組み付けられるように、基板1には
凸部(ピン等)が設けられ(図示せず)、各ヘッドユニ
ット20,40に設けられた凹部(穴等)(図示せず)
に入れ込むようになっている。更に、表面側ヘッドユニ
ット20′と裏面側ヘッドユニット40′は全く同一の
形状をしており、両ユニットの互換性が利くようになっ
ている。
【0023】図8は、本発明によるインクジェット記録
装置の更に他の実施例を説明するための図で、図1〜図
7と同じ作用をする部分には、図1〜図7と同じ符号を
付してある。図8に示す例は、表面側ヘッドユニット2
0′と裏面側ヘッドユニット40′のノズルが千鳥配列
になるように配置したもので、図7に示した例と同様、
基板1に設けられた凸部(ピン等)と各ヘッドユニット
20′,40′設けられた凹部(穴等)により、各ヘッ
ドユニット20′,40′の位置決めができるようにし
たものである。従って、基板1に各ヘッドユニット2
0′,40′を取付けるだけで、ノズルが千鳥配列にな
るようにしたものである。
【0024】図9は、本発明によるインクジェット記録
装置の更に他の実施例を説明するための図で、図中、2
1はノズルプレート、図1〜図8と同じ作用をする部分
には、図1〜図8と同じ符号を付してある。図9に示す
例は、ノズル部を、1枚のノズルプレート21で構成し
たもので、表面側ヘッドユニット20′,裏面側ヘッド
ユニット40′はノズルに至るまでの流路部分をそれぞ
れが有しており、その流路に対応する位置にノズルが配
列されるようにノズルプレート21を接合,固着したも
のである。
【0025】図10は、本発明によるインクジェット記
録装置の更に他の実施例を説明するための図で、図1〜
図9と同じ作用をする部分には、図1〜図9と同じ符号
を付してある。図10に示す例は、基板1の端部の角を
面取りし、面取り部1dにもグランド電極パターン1b
を形成するようにしたものである。基板1にPZT2を
接着後、溝4の加工をするが、面取り部1dに形成され
たグランド電極を全部分断しない程度の深さに溝加工す
ることにより、図3に示した例よりも、コストの安い構
成とすることができる(すなわち、図3の例では、端面
への電極作成は平面部と同時に作成するのは困難であり
工程が多くなる。一方面取りであれば、工程を同時に行
えるため、コストダウンを図ることが可能となる)。
【0026】
【発明の効果】(1)請求項1に対応する効果;1枚の
基板に2個の記録ヘッドを取付けることにより、部品数
が削減できコストの低減が可能になる。また、1か所に
2個の記録ヘッドが配置できることにより、記録ヘッド
の配置機構がコンパクトになり、引いては記録装置全体
のコンパクト化も可能になる。 (2)請求項2に対応する効果;基板の両側に設けた記
録ヘッドを全く同じ形状にすることにより、部品や工程
の共通化が図られ、製造の際の管理費用等が低減でき、
コストダウンが可能になる。 (3)請求項3に対応する効果;基板の両側に設けた記
録ヘッドの2列のノズルを千鳥配列にすることにより、
記録ヘッドの一列配置に比べてノズルの密度が実質的に
2倍になり、高印写密度が得られ、印字の際に要求され
る高い画像品質への対応が可能になる。 (4)請求項4に対応する効果;基板の両側に設けた記
録ヘッドのノズル部を1枚のノズルプレートにして別部
品とすることにより、ノズル配列の精度を高めることが
可能になり、印字の際に要求される高画像品質に伴うド
ット配列の精度を高めることが可能になる。また、記録
ヘッド組み立ての際にノズル配列の精度を重視する必要
がなくなるため、組み立て作業を容易にすることが可能
になる。 (5)請求項5に対応する効果;基板の両側に設けた記
録ヘッド毎にインクの種類が変えられるので、カラー印
写への対応が可能になり、更に、1つのインクジェット
ヘッドで2色の印字が可能になるため、フルカラー印写
や濃度が異なるインクを使用する中間調表現等への対応
に際して、インクジェットヘッド取付機構やキャリッジ
部の構造を簡単、かつ、安価にすることが可能になる。 (6)請求項6に対応する効果;記録ヘッド部分をあら
かじめ1つのユニットとして組み立てておき、それを1
枚の基板の両側に組み付ける製造方法にすることによ
り、基板の片側の記録ヘッドを組み立てた後に反対側の
記録ヘッド組み立てる製造方法に比べて、組み立て作
業、特に製造途中の未完成品の取り扱いを容易にするこ
とが可能になる。 (7)請求項7に対応する効果;PZTを接着した後、
溝加工をする前にPZTの両電極と基板の電極パターン
との導通処理をすることにより、注意深い作業を必要と
する溝加工後の導通処理より、導通処理作業を容易にす
ることが可能になる。また、導通処理のミスによるPZ
Tの内装電極間のショート等を未然に防止することが可
能になる。 (8)請求項8に対応する効果;基板の端部を面取りし
たうえにグランド電極を形成しておくことにより、処理
加工が難しい溝加工後のグランド電極の導通処理を行な
う必要がないため、作業工程を容易にすることができ、
コストダウンも可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明によるインクジェット記録装置の一実
施例を説明するための構成図である。
【図2】 図1のA−A矢視図である。
【図3】 本発明によるインクジェット記録装置の表面
側ヘッドの分解図である。
【図4】 本発明によるインクジェット記録装置の液室
部の分解図である。
【図5】 本発明によるインクジェット記録装置のPZ
Tと液室部の位置関係を説明するための模式図である。
【図6】 本発明によるインクジェット記録装置のPZ
Tを説明するための図である。
【図7】 本発明によるインクジェット記録装置の他の
実施例を説明するための図である。
【図8】 本発明によるインクジェット記録装置の更に
他の実施例を説明するための図である。
【図9】 本発明によるインクジェット記録装置の更に
他の実施例を説明するための図である。
【図10】 本発明によるインクジェット記録装置の更
に他の実施例を説明するための図である。
【符号の説明】
1…基板、2…PZT、3…導電ペースト、4…溝、5
…フレーム、6…振動板、7…ノズル流路、8…ノズ
ル、9…圧力室、10…流体抵抗、11…共通液室、1
2…カバー、13インク供給口、14…アクチュエータ
ユニット、15…液室部、19…ユニット基板、20…
表面側ヘッド、20′…表面側ヘッドユニット、21…
ノズルプレート、39…ユニット基板、40…裏面側ヘ
ッド、40′…裏面側ヘッドユニット。
フロントページの続き (72)発明者 成瀬 修 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 佐々木 勉 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 牧田 秀行 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内 (72)発明者 村井 妙子 東京都大田区中馬込1丁目3番6号 株式 会社リコー内

Claims (8)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 インクを吐出するインク吐出部を一側面
    に有する記録ヘッド部と、該記録ヘッド部と一体的に構
    成され、該記録ヘッド部を固設するための基板部材とを
    有するインクジェット記録装置において、前記基板部材
    の表,裏両面に前記記録ヘッド部を有することを特徴と
    するインクジェット記録装置。
  2. 【請求項2】 前記各記録ヘッド部の形状が同一である
    ことを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録
    装置。
  3. 【請求項3】 前記両記録ヘッド部のノズルが千鳥配列
    となるように前記両記録ヘッド部が位置決めされて前記
    基板部材に固設されていることを特徴とする請求項1又
    は2に記載のインクジェット記録装置。
  4. 【請求項4】 前記両記録ヘッド部の各ノズルを設けた
    単一のノズルプレートが前記両記録ヘッド部のインク吐
    出側側面に固着されていることを特徴とする請求項1乃
    至3のいずれか1に記載のインクジェット記録装置。
  5. 【請求項5】 前記各記録ヘッド部がそれぞれ異なった
    インクを吐出することを特徴とする請求項1乃至4のい
    ずれか1に記載のインクジェット記録装置。
  6. 【請求項6】 インクを吐出するインク吐出部を一側面
    に有する記録ヘッド部と、該記録ヘッド部と一体的に構
    成され、該記録ヘッド部を固設するための基板部材とを
    有し、該基板部材の表,裏両面に前記記録ヘッド部を有
    するインクジェット記録装置の製造方法において、前記
    各記録ヘッド部を製作した後、該記録ヘッド部を前記基
    板部材に一体化するように固設することを特徴とするイ
    ンクジェット記録装置の製造方法。
  7. 【請求項7】 基板部材と、該基板部材上に接合した圧
    電素子を有するインクジェット記録装置の製造方法にお
    いて、前記圧電素子が複数の個々の圧電素子に分断され
    る前に、該圧電素子の少なくとも個別電極側が前記基板
    部材上に施された個別電極パターンと導電処理されてい
    ることを特徴とするインクジェット記録装置の製造方
    法。
  8. 【請求項8】 基板部材と、該基板部材上に接合した圧
    電素子とを有するインクジェット記録装置において、前
    記基板部材は該圧電素子の共通電極に対応した端部に共
    通電極パターンが施された面取り部を有し、前記圧電素
    子が該面取り部より浅い溝で複数の個々の圧電素子に分
    断されていることを特徴とするインクジェット記録装
    置。
JP30553093A 1993-12-06 1993-12-06 インクジェット記録装置 Expired - Fee Related JP3394073B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30553093A JP3394073B2 (ja) 1993-12-06 1993-12-06 インクジェット記録装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP30553093A JP3394073B2 (ja) 1993-12-06 1993-12-06 インクジェット記録装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH07156392A true JPH07156392A (ja) 1995-06-20
JP3394073B2 JP3394073B2 (ja) 2003-04-07

Family

ID=17946264

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP30553093A Expired - Fee Related JP3394073B2 (ja) 1993-12-06 1993-12-06 インクジェット記録装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3394073B2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10109415A (ja) * 1996-10-07 1998-04-28 Brother Ind Ltd インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッド形成方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10109415A (ja) * 1996-10-07 1998-04-28 Brother Ind Ltd インクジェットヘッドおよびインクジェットヘッド形成方法

Also Published As

Publication number Publication date
JP3394073B2 (ja) 2003-04-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5818482A (en) Ink jet printing head
JP4529813B2 (ja) 液体噴射装置
JP6492756B2 (ja) 液体吐出装置
JPH0970966A (ja) インクジェット式記録ヘッド
EP1258356B1 (en) Ink jet head and printer
JP2003136710A (ja) 偏向電極を備えたインクジェットプリンタ用ライン型記録ヘッド
KR100469879B1 (ko) 잉크젯 헤드, 잉크젯 헤드의 제조 방법 및 인쇄 장치
JPH05169654A (ja) インクジェット記録ヘッド及びその製造方法
JPH10217452A (ja) インクジェット式記録ヘッド
JPH07227966A (ja) 積層型インクジェット式記録ヘツド
JPH10100401A (ja) インクジェットヘッド
JPH07156392A (ja) インクジェット記録装置およびその製造方法
JP4560888B2 (ja) インクジェットヘッド
JP2003251811A (ja) インクジェットプリンタヘッド及びその製造方法
JP7002012B2 (ja) 液体吐出装置
JPH05229115A (ja) インクジェットヘッド
JP2638780B2 (ja) インクジェット記録ヘッド
JP2003145778A (ja) 積層型インクジェット式記録ヘッド
JPH0825627A (ja) インクジェットヘッドおよびその製造方法
JP3466827B2 (ja) インクジェット記録ヘッド及び該インクジェット記録ヘッドの製造方法
JPH11216861A (ja) インクジェットヘッド
JPH04126258A (ja) インクジェット記録ヘッド
JP3248562B2 (ja) インクジェット式記録ヘッド
JP2005125665A (ja) ヘッドモジュール、液体吐出ヘッド、液体吐出装置、ヘッドモジュールの製造方法及び液体吐出ヘッドの製造方法
JPH11309849A (ja) インクジェットヘッド

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 5

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20080131

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Year of fee payment: 6

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090131

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100131

Year of fee payment: 7

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees