JP3248562B2 - インクジェット式記録ヘッド - Google Patents
インクジェット式記録ヘッドInfo
- Publication number
- JP3248562B2 JP3248562B2 JP35571996A JP35571996A JP3248562B2 JP 3248562 B2 JP3248562 B2 JP 3248562B2 JP 35571996 A JP35571996 A JP 35571996A JP 35571996 A JP35571996 A JP 35571996A JP 3248562 B2 JP3248562 B2 JP 3248562B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- forming substrate
- reservoir
- nozzle
- communication hole
- recording head
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Description
【０００１】
【発明が属する技術の分野】本発明は、ノズル開口に連
通する圧力発生室に対向する領域の弾性板にたわみ変位
する圧電振動子を設け、この圧電振動子により圧力発生
室を圧縮してインク滴を発生させるインクジェット記録
ヘッドに関する。
通する圧力発生室に対向する領域の弾性板にたわみ変位
する圧電振動子を設け、この圧電振動子により圧力発生
室を圧縮してインク滴を発生させるインクジェット記録
ヘッドに関する。
【０００２】
【従来の技術】たわみ変位を利用してインクを加圧する
インクジェット式記録ヘッドは、図６に示したように圧
力発生室３０を構成する流路形成基板３１、これの一方
の面を封止し、圧力発生室３０に対向する位置に圧電振
動子３２が形成された弾性板３３、リザーバ３４やノズ
ル開口３５との連通路を形成する第２の蓋材３６、リザ
ーバのインクを一定の流路抵抗で圧力発生室３０に供給
するインク供給口３７を形成するインク供給口形成基板
３８、リザーバ３４を形成するリザーバ形成基板３９、
及びノズル開口を形成するノズルプレート４０を積層し
て構成されている。なお、図中符号４１乃至４４は連通
路を示す。
インクジェット式記録ヘッドは、図６に示したように圧
力発生室３０を構成する流路形成基板３１、これの一方
の面を封止し、圧力発生室３０に対向する位置に圧電振
動子３２が形成された弾性板３３、リザーバ３４やノズ
ル開口３５との連通路を形成する第２の蓋材３６、リザ
ーバのインクを一定の流路抵抗で圧力発生室３０に供給
するインク供給口３７を形成するインク供給口形成基板
３８、リザーバ３４を形成するリザーバ形成基板３９、
及びノズル開口を形成するノズルプレート４０を積層し
て構成されている。なお、図中符号４１乃至４４は連通
路を示す。
【０００３】このような構成によれば、圧電振動子３２
のたわみ変位により圧力発生室３０の全体をほぼ均等に
変位させることが可能なため、インク滴を安定して発生
させることができるという特徴を備えている。
のたわみ変位により圧力発生室３０の全体をほぼ均等に
変位させることが可能なため、インク滴を安定して発生
させることができるという特徴を備えている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ノズル
開口が各基板３１、３６、３９の表面に対して垂直に配
置されているため、記録ヘッドを搭載するキャリッジ
が、これら基板と同等の面積を必要とする。特に高密度
印刷や、またカラー印刷のために上述した記録ヘッドを
記録ヘッドユニットとし、このユニットを複数用いて多
数ノズルの記録ヘッドを構成した場合には、その面積が
各記録ヘッドユニットの面積と記録ヘッドユニットの数
との積とになり、キャリッジが大型化し、振動や、記録
速度の低下、さらには函体も大型化する等の多くの問題
が生じる。本発明は、このような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは、キャリッジへ
の設置面積を可及的に小さくし、積層して使用するのに
適したインクジェット式記録ヘッドを提供することであ
る。
開口が各基板３１、３６、３９の表面に対して垂直に配
置されているため、記録ヘッドを搭載するキャリッジ
が、これら基板と同等の面積を必要とする。特に高密度
印刷や、またカラー印刷のために上述した記録ヘッドを
記録ヘッドユニットとし、このユニットを複数用いて多
数ノズルの記録ヘッドを構成した場合には、その面積が
各記録ヘッドユニットの面積と記録ヘッドユニットの数
との積とになり、キャリッジが大型化し、振動や、記録
速度の低下、さらには函体も大型化する等の多くの問題
が生じる。本発明は、このような問題に鑑みてなされた
ものであって、その目的とするところは、キャリッジへ
の設置面積を可及的に小さくし、積層して使用するのに
適したインクジェット式記録ヘッドを提供することであ
る。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような問題を解消す
るために本発明においては、表面に圧電振動子を有して
圧力発生室の容積を変化させる弾性板と、前記圧力発生
室を形成する複数の通孔を有する流路形成基板と、該流
路形成基板の他方を封止するとともに、リザーバと前記
圧力発生室とを接続するインク供給口及び前記圧力発生
室と連通して側端部に開口するノズル連通孔を有する連
通孔形成基板と、インクタンクに接続する前記リザーバ
を形成するリザーバ形成基板とを積層してなるアクチュ
エータユニットと、前記ノズル連通孔に連通するノズル
開口が形成されたフレーム形成板とを備え、前記ノズル
連通孔に前記ノズル開口が連通するように前記アクチュ
エータユニットの側面に前記フレーム形成板を固定して
構成されている。
るために本発明においては、表面に圧電振動子を有して
圧力発生室の容積を変化させる弾性板と、前記圧力発生
室を形成する複数の通孔を有する流路形成基板と、該流
路形成基板の他方を封止するとともに、リザーバと前記
圧力発生室とを接続するインク供給口及び前記圧力発生
室と連通して側端部に開口するノズル連通孔を有する連
通孔形成基板と、インクタンクに接続する前記リザーバ
を形成するリザーバ形成基板とを積層してなるアクチュ
エータユニットと、前記ノズル連通孔に連通するノズル
開口が形成されたフレーム形成板とを備え、前記ノズル
連通孔に前記ノズル開口が連通するように前記アクチュ
エータユニットの側面に前記フレーム形成板を固定して
構成されている。
【０００６】
【作用】弾性板、流路形成基板、連通孔形成基板、及び
リザーバ形成基板の積層体の側面が、キャリッジとの当
接領域となるから、設置面積が小さくなる。
リザーバ形成基板の積層体の側面が、キャリッジとの当
接領域となるから、設置面積が小さくなる。
【０００７】
【発明の実施の形態】そこで以下に本発明の詳細を図示
した実施例に基づいて説明する。図１、及び図２は本発
明の一実施例を示す分解斜視図と、１つの圧力発生室に
ついての断面構造を示す図であって、図中符号１は、流
路形成基板で、圧力発生室２を形成するのに適した厚
さ、例えば１５０μｍのジルコニア（ＺｒＯ2）などの
セラミックス板に一端がリザーバの領域に重なり、また
他端がノズル連通孔３１、３１、３１‥‥、３２、３
２、３２‥‥の領域に重なる圧力発生室２、２、２‥‥
を一定ピッチで穿設して構成されている。
した実施例に基づいて説明する。図１、及び図２は本発
明の一実施例を示す分解斜視図と、１つの圧力発生室に
ついての断面構造を示す図であって、図中符号１は、流
路形成基板で、圧力発生室２を形成するのに適した厚
さ、例えば１５０μｍのジルコニア（ＺｒＯ2）などの
セラミックス板に一端がリザーバの領域に重なり、また
他端がノズル連通孔３１、３１、３１‥‥、３２、３
２、３２‥‥の領域に重なる圧力発生室２、２、２‥‥
を一定ピッチで穿設して構成されている。
【０００８】３は、流路形成基板１の一方の面に固定さ
れる弾性板で、流路形成基板１と一体に焼成したとき両
者の接合力が強く、しかも弾性率の高い材料、この実施
例では流路形成基板と同様に厚さ１０μｍのジルコニア
の薄板で構成され、これの表面には共通電極４と、圧力
発生室２に対向する位置に圧電振動子５が形成されてい
る。
れる弾性板で、流路形成基板１と一体に焼成したとき両
者の接合力が強く、しかも弾性率の高い材料、この実施
例では流路形成基板と同様に厚さ１０μｍのジルコニア
の薄板で構成され、これの表面には共通電極４と、圧力
発生室２に対向する位置に圧電振動子５が形成されてい
る。
【０００９】７は、流路形成基板の他方の面を封止する
連通路形成基板で、各圧力発生室２とリザーバとが重な
る領域にインク供給口８を、また圧力発生室２の他側に
重なる位置から端部には端部側が開口するノズル連通孔
９となる凹部が形成されている。
連通路形成基板で、各圧力発生室２とリザーバとが重な
る領域にインク供給口８を、また圧力発生室２の他側に
重なる位置から端部には端部側が開口するノズル連通孔
９となる凹部が形成されている。
【００１０】連通路形成基板７は、図３に示したように
窓として細長い通孔９’を形成するとともに、若干幅広
ΔＬに形成した連通孔形成基板７’を用意し、所定の位
置Ｃ−Ｃで切断することにより、ノズル連通孔９の開口
部９ａを一定で、正確な寸法で形成することができる。
窓として細長い通孔９’を形成するとともに、若干幅広
ΔＬに形成した連通孔形成基板７’を用意し、所定の位
置Ｃ−Ｃで切断することにより、ノズル連通孔９の開口
部９ａを一定で、正確な寸法で形成することができる。
【００１１】再び図１、図２に戻って、圧電振動子５
は、ＰＺＴ等の圧電振動材料の薄板を貼付したり、圧電
材料をスパッタリング等の膜形成手段により作り付け、
長手方向を軸とするように幅方向に湾曲するたわみ変位
を生じるように構成され、表面には駆動信号を印加する
セグメント電極６が形成されている。
は、ＰＺＴ等の圧電振動材料の薄板を貼付したり、圧電
材料をスパッタリング等の膜形成手段により作り付け、
長手方向を軸とするように幅方向に湾曲するたわみ変位
を生じるように構成され、表面には駆動信号を印加する
セグメント電極６が形成されている。
【００１２】１０は、リザーバ形成基板で、１列に並ぶ
圧力発生室２の両端をカバーする長さを備えた窓からな
るリザーバ１１を形成して構成されている。
圧力発生室２の両端をカバーする長さを備えた窓からな
るリザーバ１１を形成して構成されている。
【００１３】これら弾性板３、流路形成基板１、連通路
形成基板７、及びリザーバ形成基板１０は、それぞれセ
ラミックのグリーンシートに所要の通孔を穿設した上
で、重ね合わせて乾燥させ、一定の圧力を加えて一体に
焼成されてアクチュエータユニットとして構成される。
形成基板７、及びリザーバ形成基板１０は、それぞれセ
ラミックのグリーンシートに所要の通孔を穿設した上
で、重ね合わせて乾燥させ、一定の圧力を加えて一体に
焼成されてアクチュエータユニットとして構成される。
【００１４】このようにセラミックスにより構成した場
合には接着剤を必要とすることなく一体に接合すること
が可能となるから、組立作業の簡素化と、接着剤の流れ
込みを防止することができる。
合には接着剤を必要とすることなく一体に接合すること
が可能となるから、組立作業の簡素化と、接着剤の流れ
込みを防止することができる。
【００１５】１２は、フレーム形成板で、不錆鋼等比較
的加工が容易な板材を断面Ｌ字状に形成したり、また熱
硬化性エポキシ樹脂、またはフェーノール樹脂の焼成に
より製造されるアモルファフカーボン（ユニヘックス）
等を加工してノズル連通孔９に対向する位置にノズル開
口１３を、またリザーバ１１に対向する位置には薄肉部
１４と、外部のインクタンクに連通するインク導入口と
なる凹部１５を形成して構成されている。
的加工が容易な板材を断面Ｌ字状に形成したり、また熱
硬化性エポキシ樹脂、またはフェーノール樹脂の焼成に
より製造されるアモルファフカーボン（ユニヘックス）
等を加工してノズル連通孔９に対向する位置にノズル開
口１３を、またリザーバ１１に対向する位置には薄肉部
１４と、外部のインクタンクに連通するインク導入口と
なる凹部１５を形成して構成されている。
【００１６】このように構成されたフレーム形成板１２
は、アクチュエータユニットの端面と底面に例えば熱溶
着フィルム等の接着剤層１６、１７を介して接着されて
いる。
は、アクチュエータユニットの端面と底面に例えば熱溶
着フィルム等の接着剤層１６、１７を介して接着されて
いる。
【００１７】この実施例において、圧電振動子５の１つ
に駆動信号を印加すると、圧電振動子５がに長手方向を
軸とするように幅方向に湾曲し、弾性板３を圧力発生室
２を収縮させる。これにより圧力発生室２の容積が縮小
してここに存在するインクが加圧され、連通路形成基板
７のノズル連通孔９に流入してフレーム形成板１２のノ
ズル開口１３からインク滴として吐出する。
に駆動信号を印加すると、圧電振動子５がに長手方向を
軸とするように幅方向に湾曲し、弾性板３を圧力発生室
２を収縮させる。これにより圧力発生室２の容積が縮小
してここに存在するインクが加圧され、連通路形成基板
７のノズル連通孔９に流入してフレーム形成板１２のノ
ズル開口１３からインク滴として吐出する。
【００１８】また、圧力発生室２で加圧されたインクの
一部はインク供給口８からリザーバ１１に逆流して、リ
ザーバ１１の圧力を高めようとするが、フレーム形成板
１２の薄肉部１４が弾性変形して圧力の上昇分を吸収
し、インク滴を吐出しない圧力発生室の圧力が上昇する
のを防止する。
一部はインク供給口８からリザーバ１１に逆流して、リ
ザーバ１１の圧力を高めようとするが、フレーム形成板
１２の薄肉部１４が弾性変形して圧力の上昇分を吸収
し、インク滴を吐出しない圧力発生室の圧力が上昇する
のを防止する。
【００１９】インク滴の吐出が終了して圧電振動子５が
元の状態に復帰すると、リザーバ１１のインクがインク
供給口８を経由して圧力発生室２に流れ込み、次のイン
ク滴吐出に備える。
元の状態に復帰すると、リザーバ１１のインクがインク
供給口８を経由して圧力発生室２に流れ込み、次のイン
ク滴吐出に備える。
【００２０】この実施例によればアクチュエータユニッ
トの底面及び側面を、剛性の高いフレーム形成板１２に
より補強することが可能であるから、インク滴吐出時の
圧電振動子５の変位に起因する記録ヘッド全体の変形を
可及的に防止して、インク滴の着弾位置の精度を高める
ことができる。
トの底面及び側面を、剛性の高いフレーム形成板１２に
より補強することが可能であるから、インク滴吐出時の
圧電振動子５の変位に起因する記録ヘッド全体の変形を
可及的に防止して、インク滴の着弾位置の精度を高める
ことができる。
【００２１】また、このように構成されたインクジェッ
ト式記録ヘッド２０は、その厚みが高々数ｍｍ程度であ
るから、図４（イ）に示したようにフレーム形成板１２
を連結部材として複数個、この実施例では４個を積層し
て多数ノズルの記録ヘッドを構成しても、その設置面積
は極めて小さく、キャリッジを小型化することができ
る。
ト式記録ヘッド２０は、その厚みが高々数ｍｍ程度であ
るから、図４（イ）に示したようにフレーム形成板１２
を連結部材として複数個、この実施例では４個を積層し
て多数ノズルの記録ヘッドを構成しても、その設置面積
は極めて小さく、キャリッジを小型化することができ
る。
【００２２】そして図４（ロ）に示したように各記録ヘ
ッド２０、２０、２０、２０のノズル開口１３を主走査
方向、つまりキャリッジの移動方向に同一線上に並ぶよ
うに配列し、各記録ヘッド２０、２０、２０、２０にブ
ラック、イエロ、シアン、マゼンタのインクを供給する
とカラー印刷用のインクジェット式記録ヘッドを構成す
ることができる。
ッド２０、２０、２０、２０のノズル開口１３を主走査
方向、つまりキャリッジの移動方向に同一線上に並ぶよ
うに配列し、各記録ヘッド２０、２０、２０、２０にブ
ラック、イエロ、シアン、マゼンタのインクを供給する
とカラー印刷用のインクジェット式記録ヘッドを構成す
ることができる。
【００２３】また図４（ハ）に示したようにノズル開口
１３、１３、１３、‥‥、ノズル開口１３’、１３’、
１３’、‥‥が相互で若干ずれた、例えば半ピッチずれ
た記録ヘッド２０、２０’、もしくは同一の記録ヘッド
を構成するフレームの形状を若干違えて積層したとき半
ピッチずれるようキャリッジに組み付けると、記録密度
の高い記録ヘッドを構成することができる。
１３、１３、１３、‥‥、ノズル開口１３’、１３’、
１３’、‥‥が相互で若干ずれた、例えば半ピッチずれ
た記録ヘッド２０、２０’、もしくは同一の記録ヘッド
を構成するフレームの形状を若干違えて積層したとき半
ピッチずれるようキャリッジに組み付けると、記録密度
の高い記録ヘッドを構成することができる。
【００２４】なお、上述の実施例では、連通孔形成基板
７’を所定位置で切断してノズル連通孔９にノズル開口
を形成してから、流路形成基板１、弾性板３、リザーバ
形成基板１０とともに積層してアクチュエータユニット
を構成しているが、図５（イ）に示したように連通孔形
成基板７’を切断位置よりも外側まで覆うように流路形
成基板１’、弾性板３’、リザーバ形成基板１０’に切
り代分ΔＬを見込んで大きめにグリーンシートで形成
し、これらを全て積層した段階で、ノズル開口との接続
に適した位置（Ａ−Ａ線の位置）で切断すると、図５
（ロ）に示したように先端部９ａのつぶれを防止して、
フレーム形成板１２のノズル開口１３と液密に接続しや
すくなる。
７’を所定位置で切断してノズル連通孔９にノズル開口
を形成してから、流路形成基板１、弾性板３、リザーバ
形成基板１０とともに積層してアクチュエータユニット
を構成しているが、図５（イ）に示したように連通孔形
成基板７’を切断位置よりも外側まで覆うように流路形
成基板１’、弾性板３’、リザーバ形成基板１０’に切
り代分ΔＬを見込んで大きめにグリーンシートで形成
し、これらを全て積層した段階で、ノズル開口との接続
に適した位置（Ａ−Ａ線の位置）で切断すると、図５
（ロ）に示したように先端部９ａのつぶれを防止して、
フレーム形成板１２のノズル開口１３と液密に接続しや
すくなる。
【００２５】また、図５（ハ）に示したように流路形成
基板１”、弾性板３”、連通孔形成基板７”、及びリザ
ーバ形成基板１０”に複数分の圧力発生室２やインク供
給口、リザーバが中心線Ｂ−Ｂに対して対称となるよう
に、またノズル連通孔９”を中心線Ｂ−Ｂを挟む２つの
圧力発生室２を接続することができるサイズにグリーン
シートに形成し、これらを積層した後、中心線Ｂ−Ｂか
ら切断すると、２つの記録ヘッドのノズル連通孔９の開
口部９ａを一度の切断で形成することができる。
基板１”、弾性板３”、連通孔形成基板７”、及びリザ
ーバ形成基板１０”に複数分の圧力発生室２やインク供
給口、リザーバが中心線Ｂ−Ｂに対して対称となるよう
に、またノズル連通孔９”を中心線Ｂ−Ｂを挟む２つの
圧力発生室２を接続することができるサイズにグリーン
シートに形成し、これらを積層した後、中心線Ｂ−Ｂか
ら切断すると、２つの記録ヘッドのノズル連通孔９の開
口部９ａを一度の切断で形成することができる。
【００２６】また、上述の実施例においては、フレーム
形成板を断面Ｌ字状に形成して、アクチュエータユニッ
トの側面と、リザーバとを同一の部材で覆うようにして
いるが、アクチュエータユニットの側面に接する部材
と、リザーバ形成基板に接する部材とに分けて構成して
も同様の作用を奏することは明らかである。
形成板を断面Ｌ字状に形成して、アクチュエータユニッ
トの側面と、リザーバとを同一の部材で覆うようにして
いるが、アクチュエータユニットの側面に接する部材
と、リザーバ形成基板に接する部材とに分けて構成して
も同様の作用を奏することは明らかである。
【００２７】さらに上述の実施例においてはリザーバを
フレーム形成板により封止しているが、リザーバ形成基
板を厚めの板材により構成し、ここに凹部を形成してリ
ザーバを構成すると、フレーム形成板のリザーバを覆う
面を不要とすることができる。
フレーム形成板により封止しているが、リザーバ形成基
板を厚めの板材により構成し、ここに凹部を形成してリ
ザーバを構成すると、フレーム形成板のリザーバを覆う
面を不要とすることができる。
【００２８】
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、弾
性板、流路形成基板、連通孔形成基板、及びリザーバ形
成基板の積層体の側面が、キャリッジとの当接領域とな
り、記録ヘッドの載置面積を小さくすることができる。
性板、流路形成基板、連通孔形成基板、及びリザーバ形
成基板の積層体の側面が、キャリッジとの当接領域とな
り、記録ヘッドの載置面積を小さくすることができる。
【図１】本発明の一実施例を示す組立斜視図である。
【図２】同上記録ヘッドの１つの圧力発生室の断面での
構造を示す図である。
構造を示す図である。
【図３】連通路形成基板の製造方法の一実施例を示す図
である。
である。
【図４】図（イ）乃至（ハ）は、それぞれ同上記録ヘッ
ドを複数積層して構成した記録ヘッドの実施例と、これ
に適したノズル開口の配列を示す図である。
ドを複数積層して構成した記録ヘッドの実施例と、これ
に適したノズル開口の配列を示す図である。
【図５】図（イ）乃至（ハ）は、それぞれ同上記録ヘッ
ドを構成するアクチュエータユニットの製造方法の他の
実施例を示す図である。
ドを構成するアクチュエータユニットの製造方法の他の
実施例を示す図である。
【図６】従来の積層型インクジェット式記録ヘッドの一
例を示す断面図である。
例を示す断面図である。
１ 流路形成基板 ２ 圧力発生室 ３ 弾性板 ５ 圧電振動子 ７ 連通孔形成基板 ８ インク供給口 ９ ノズル連通孔 １０ リザーバ形成基板 １１ リザーバ １２ フレーム基板 １３ ノズル開口
Claims (4)
- 【請求項１】 表面に圧電振動子を有して圧力発生室の
容積を変化させる弾性板と、前記圧力発生室を形成する
複数の通孔を有する流路形成基板と、該流路形成基板の
他方を封止するとともに、リザーバと前記圧力発生室と
を接続するインク供給口及び前記圧力発生室と連通して
側端部に開口するノズル連通孔を有する連通孔形成基板
と、インクタンクに接続する前記リザーバを形成するリ
ザーバ形成基板とを積層してなるアクチュエータユニッ
トと、 前記ノズル連通孔に連通するノズル開口が形成されたフ
レーム形成板とを備え、 前記ノズル連通孔に前記ノズル開口が連通するように 前
記アクチュエータユニットの側面に前記フレーム形成板
を固定して構成されたインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項２】 前記弾性板、連通孔形成基板、リザーバ
形成基板がセラミックにより構成されている請求項１に
記載のインクジェット式記録ヘッド。 - 【請求項３】 表面に圧電振動子を有して圧力発生室の
容積を変化させる弾性板と、前記圧力発生室を形成する
複数の通孔を有する流路形成基板と、該流路形成基板の
他方を封止するとともに、リザーバと前記圧力発生室と
を接続するインク供給口及び前記圧力発生室と連通して
側端部に開口するノズル連通孔を有する連通孔形成基板
と、インクタンクに接続する前記リザーバを形成するリ
ザーバ形成基板とを積層してなるアクチュエータユニッ
トと、 前記ノズル連通孔に連通するノズル開口が形成されたフ
レーム形成板とを備え、 前記ノズル連通孔に前記ノズル開口が連通するように 前
記アクチュエータユニットの側面に前記フレーム形成板
を固定するとともに、前記フレーム形成板を連結材とす
るように前記アクチュエータユニット及びフレーム形成
板を複数積層して構成されたインクジェット式記録ヘッ
ド。 - 【請求項４】 前記弾性板、連通孔形成基板、リザーバ
形成基板がセラミックにより構成されている請求項３に
記載のインクジェット式記録ヘッド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35571996A JP3248562B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | インクジェット式記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP35571996A JP3248562B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | インクジェット式記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10181009A JPH10181009A (ja) | 1998-07-07 |
| JP3248562B2 true JP3248562B2 (ja) | 2002-01-21 |
Family
ID=18445419
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP35571996A Expired - Fee Related JP3248562B2 (ja) | 1996-12-24 | 1996-12-24 | インクジェット式記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3248562B2 (ja) |
-
1996
- 1996-12-24 JP JP35571996A patent/JP3248562B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH10181009A (ja) | 1998-07-07 |
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