JP6119035B2 - 露光装置 - Google Patents

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Description

本発明は、偏光光により被露光体を露光する露光装置に関するものである。
液晶パネル用配向膜、位相差フィルムなどの光学フィルム、タッチパネルの画面に用いられる反射防止膜フィルムなどの生産に、直線偏光や楕円偏光(円偏光を含む)を使った露光を行う偏光露光装置が知られている。
また、照射対象の基板(ワーク)などの幅よりも長い棒状の光源から出射した光を偏光素子により偏光し、その偏光光を照射対象に照射する偏光光照射装置が知られている(例えば、特許文献1参照)。
特開2006−133498号公報
しかしながら、照射対象の基板の幅よりも長い棒状の光源、例えば、ロングアーク水銀ランプなどの長寸のランプは、自重でランプ管の中央部がたわみ、照度ムラが生じる場合がある。このため、長寸のランプを用いた一般的な露光装置では、そのランプ管の中央部を支持する構造を要する。
また、ランプを長時間使用すると、ガラス管内の両端部付近に設けられた電極近傍が黒ずみ、有効照射部分が小さくなる場合がある。このため、一般的な露光装置は、長時間使用時であっても、露光に必要な照射領域を確保するために、予め比較的長いランプを用いていた。
また、ランプハウス内に収容された長寸のランプを交換する場合、比較的広い交換用スペースを要する。
また、露光装置の光源として長寸のランプを用いた場合、長寸のランプが高価であるので、ランプ交換に高い費用を要する。
本発明は、このような問題に対処することを課題の一例とするものである。すなわち、光源として複数の短寸のランプを用い、簡単な構造で、照度ムラの低い露光を行うことができる露光装置を提供すること、ランプ交換が容易な露光装置を提供すること、等が本発明の目的である。
このような目的を達成するために、本発明による露光装置は、以下の構成を少なくとも具備するものである。
偏光光を被露光体に照射する露光装置であって、被露光体を搬送方向に搬送する搬送部と、前記被露光体に向けて光を出射し、前記被露光体よりも長手方向の長さが短い棒状の光源、前記光源毎に設けられ前記光源からの光を前記被露光体に向けて反射するリフレクタ、および、前記光源と前記被露光体との間に配置される偏光子を備えた複数の光照射ユニットを、水平面内で規定間隔に並べて配置した光照射部と、を有し、前記光照射ユニットは、前記光源および前記偏光子が前記被露光体の被露光面に対して平行に配置され、且つ、各偏光子の偏光軸の方向が前記搬送方向に対して規定方向に設定され、前記光照射ユニットの各光源は、該光源の長手方向が前記搬送方向に対して平行となるように配置されている、または、斜め方向となるように配置されており、前記光照射ユニットのリフレクタは、前記搬送方向に交差する断面形状が前記搬送方向に沿って一定となることを特徴とする露光装置。
このような構成を有する本発明によると、露光装置の光源として複数の短寸のランプを用い、簡単な構造で、照度ムラの低い露光を行うことができる。また、本発明によると、光源としての短寸のランプの交換が容易である。
本発明の実施形態に係る露光装置の一例を示す図であり、(a)は露光装置の平面図であり、(b)は露光装置の側面図である。 本発明の実施形態に係る露光装置の光照射部の光照射ユニットの一例を示す図であり、(a)は光照射ユニットの平面図、(b)は光照射ユニットの正面図である。 本発明の実施形態に係る露光装置の光照射ユニットの一例を示す図であり、(a)は光源と偏光子の斜視図、(b)は棒状の光源と偏光子の側面図である。 本発明の実施形態に係る露光装置の光照射部の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る露光装置の偏光子の一例を示す平面図である。 本発明の実施形態に係る露光装置の構成の一例を示す図である。 本発明の実施形態に係る露光装置の短寸の棒状光源の交換の一例を示す図である。 比較例に係る露光装置の長寸の棒状光源の交換を示す図である。 本発明の実施形態に係る露光装置の制御装置の電気的な構成の一例を示す図である。 光照射部の各光照射ユニットの輝度ムラの一例を示す図である。 被露光体を搬送方向に搬送し、且つ、搬送方向に直交する方向に揺動させながら露光した場合の照度分布の一例を示す図である。 被露光体を搬送方向に搬送させながら露光した場合の照度分布の一例を示す図である。 本発明の他の実施形態に係る露光装置の一例を示す平面図である。 図13に示した露光装置の偏光子の一例を示す平面図である。 本発明の他の実施形態に係る露光装置の複数の棒状光源の配置の一例を示す図であり、(a)は多段配置された各段の棒状光源の搬送方向への重なりが大きい場合の一例を示す図、(b)は多段配置された各段の棒状光源の搬送方向への重なりが小さい場合の一例を示す図である。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る露光装置100の一例を示す図であり、図1(a)は露光装置100の平面図であり、図1(b)は露光装置100の側面図である。
図2は露光装置100の光照射部3の光照射ユニット31の一例を示す図であり、図2(a)は光照射ユニット31の平面図、図2(b)は光照射ユニット31の正面図である。
図3は、本発明の実施形態に係る露光装置100の光照射ユニット31の一例を示す図であり、図3(a)は棒状の光源32と偏光子34の斜視図であり、図3(b)は棒状の光源32と偏光子34の側面図である。尚、図3(a)、図3(b)において、フィルタ33は図示していない。
図4は露光装置100の光照射部3の一例を示す図である。図5は露光装置100の偏光子34の一例を示す平面図である。図6は本発明の実施形態に係る露光装置100の構成の一例を示す図である。
尚、本実施形態においては、一例として、基板に露光を行う露光装置100について説明するが、この形態に限らず、あらゆる露光装置に適用することができる。
本発明の実施形態に係る露光装置100は、露光用の光源32として複数の短寸のライトを用いている。
露光装置100は、詳細には、搬送部2と、光照射部3と、制御部51と、などを有する。
搬送部2は、例えば、ガラス製の基板1やフィルムなどを搬送方向に搬送する。この基板1やフィルム上には配向膜などの被露光体11が形成されている。本実施形態では、基板1は、縦1800mm、横1500mm程度の矩形状に形成されている。
搬送部2は、XY可動ステージなどであってもよいし、基板1をエアで浮上させながら基板1を搬送する、いわゆるエアフロー搬送装置であってもよい。尚、以下の図示においては、搬送方向をY軸方向、水平面内でY軸方向に直交する方向をX軸方向、X軸およびY軸に垂直な方向をZ軸方向として示している。
光照射部3は、短寸の棒状の光源32と、偏光子34とを備える複数の光照射ユニット31を有し、光照射ユニット31が水平面内で規定間隔に並べて配置されている。
光源32は、基板1上に形成された被露光体11よりも、長手方向の長さが短い棒状に形成されている。本実施形態では、光源32は、長手方向の長さが100mm程度に規定されている。光源32としては、例えば、水銀ランプ、LED、LDなどを採用することができる。光源32としては、水銀ランプを採用する。本実施形態では、光源32は、被露光体11の被露光面に対して平行に配置され、光源32の長手方向が搬送方向(Y軸)に平行となるように配置されている。
また、本実施形態では、図1、図2、図3に示したように、光源32は、下方に開口部が形成されたランプハウス35内に配置されている。
また、ランプハウス35内で光源32の上部付近には、棒状の光源32から出射された光を下方へ出射するするリフレクタ(光反射部36)が設けられている。
偏光子34は、光源32と被露光体11との間に配置されている。この偏光子34は被露光体11の被露光面に対して平行に配置されている。偏光子34は、光源32から無偏光の光が入射されると、規定された偏光軸を有する直線偏光を出射する。図3、図5に示したように、偏光子34は、Y軸と平行に偏光軸が設定されている。この偏光子34は、ワイヤーグリッド、偏光ビームスプリッタ(PBS)などで構成することができる。本実施形態では、偏光子34として、ワイヤーグリッドを採用し、グリッドの方向がX軸と平行となるように構成されている。偏光子34は、例えば、一辺の長さが100mm程度の矩形状に規定されている。
本実施形態では、図1(b)、図2(b)に示したように、光源32と偏光子34との間に光学フィルタ33が配置されている。光学フィルタ33は、所定の波長の光のみを透過させる。詳細には、光学フィルタ33は、光源32から出射した所定の波長の光より長い波長の光を加熱防止のためにカットし、所定の波長よりも短い波長の光を被露光体11へのダメージ防止のためにカットする。
本発明の実施形態に係る露光装置100は、図3(b)に示したように、光源32から偏光子34に入射する光の角度θbが(偏光子34に垂直に光が入射するとき0°)、45°程度、または、45°±10°程度の範囲内であることが好ましい。
例えば、偏光子34への入射角度θbが略45°より大きいと、偏光子34から出射される光の強度が低減し、偏光子34から射出される偏光の偏光軸の角度が基準(入射角度が0°の場合の偏光軸の角度を0°とする)と比べて、ずれ量(回転量)が大きい。偏光子34への入射角度が略45°より大きいと、被露光体11の被露光面での偏光の偏光軸のずれ量のばらつきが大きくなる。
このため、本実施形態では、図3(b)に示したように、光源32の長手方向の長さが、偏光子34の長さと略同じであり、光源32と偏光子34との間の距離Lzが、光源32の長手方向の長さ32Lと略同じ長さ、または、その長さを基準として所定幅Lzcの範囲内となるように設定されることが好ましい。詳細には、偏光子34は、例えば、光源32と偏光子34との間の距離Lzが、光源側へ距離Lza、または、被露光体11側へ距離Lzb内であることが好ましい。この距離Lza、Lzbは、距離Lzcの1/2程度である。
光源32と偏光子34との間の距離Lzが長いほど、偏光子34へ入射する光は平行光の成分が大きくなるが、偏光子34への光の強度は小さくなり、装置が大型となる。
本実施形態では、上述したように、棒状の光源32から偏光子34への入射角度θbが略45°より大きい光が偏光子34に入射されず、棒状の光源32から偏光子34へ略平行光が入射する。
棒状の光源32から出射される光は出射角度θaが0°±45°となっている。偏光子34への入射角度θbが略45°より大きい光が偏光子34に入射されず、棒状の光源32から偏光子34へ略平行光が入射する。
すなわち、偏光子34から出射される光強度が大きく、且つ、被露光面での偏光の偏光軸の基準からのばらつきを低減することができる。
また、図1、図4に示したように、光照射部3は、搬送方向に直交する方向に規定間隔で配置された複数の光照射ユニット31が、搬送方向(Y軸方向)に沿って多段に配置されている。
本実施形態では、複数の光照射ユニット31が、搬送方向(Y軸方向)に沿って2段、または3段に配置されている。第1段目DA、第2段目DB、第3段目DCそれぞれでは、各光源32の長手方向が搬送方向に平行に配置され、各段の光照射ユニット31の光源32は、搬送方向に対して互いに重ならないように設置されている。
このように、各段の複数の光照射ユニット31による被露光体11への照射で、照度ムラがある場合でも、被露光体11を搬送方向に移動させながら露光を行うことで、各段DA、DB、DCの光照射ユニット31による照射強度の重ね合わせにより、照度ムラを低減することができる。
また、図4に示したように、各光照射ユニット31の各光源32が、細長形状の放電容器内の両端部32a、32b付近に一対の電極を対向配置されたランプである。この棒状の光源32(ランプ)は、中央部32cで高い輝度、両端部32a,32bで低い輝度となっている。各光源32の長手方向は搬送方向に平行に配置されており、基板1上の被露光体11が搬送方向(Y軸方向)に沿って搬送されるので、上記各棒状の光源32(ランプ)による被露光体11への照度ムラが低減する。
図7は、本発明の実施形態に係る露光装置100の短寸の棒状光源の交換の一例を示す図である。図8は、比較例に係る露光装置の長寸の棒状光源の交換を示す図である。
図7に示したように、上記短寸の棒状の光源32を用いることにより、光源32としての短寸のランプを、ランプハウス35からランプ長手方向に容易に取り外して交換することができる。
図8に示したように、比較例に係る露光装置では、長寸の棒状の光源32pをランプハウス35pからランプ長手方向に取り外して交換する場合、比較的大きなランプ交換用のスペースが必要となる。
図6に示した露光装置100の搬送部2は、固定ステージ21と、固定ステージ21上に水平方向に移動自在とする移動手段としての可動ステージ22と、を有する。
可動ステージ22上には、被露光体11が載置されている。また、可動ステージ22には、光照射部3の各光照射ユニット31から出射される光の強度を検出する検出部53が形成されている。
検出部53は、例えば、フォトダイオードなどの光検出素子が、可動ステージ22の下流側端部付近などに、X軸方向に規定間隔で並べて配置されている。
また、可動ステージ22には、この可動ステージ22を搬送方向(Y軸方向)に駆動するY軸方向駆動部56aと、可動ステージ22を搬送方向と直交する方向(X軸方向)に駆動するX軸方向駆動部(揺動手段)56bとが設けられている。
図9は、本発明の実施形態に係る露光装置100の制御装置の電気的な構成の一例を示す図である。
図9に示したように、露光装置100の制御装置は、制御部51と、記憶部52と、検出部53と、入力部54と、表示部55と、ステージ駆動部56と、などを有する。
制御部51は、制御用のプログラムを実行することにより、各構成要素を統括的に制御し、露光装置100に本発明に係る機能を実現する。制御部51は、詳細には、光照射部3の制御や、ステージ駆動部56による搬送部2の制御などを行う。
記憶部52は、RAMやROMなどの記憶装置で構成され、制御用のプログラムや、各種データなどを記憶する。
検出部53は、可動ステージ22などに設けられ、光照射部3の各光照射ユニット31から出射される光の強度を検出し、検出信号を制御部51に出力する。
入力部54は、キーボードやタッチパネルなどの入力操作装置であり、ユーザーの操作に応じた信号を制御部51に出力する。
表示部55は、制御部51の制御により、露光装置100に関する各種情報を表示する。
ステージ駆動部56は、この可動ステージ22を搬送方向(Y軸方向)に駆動するY軸方向駆動部56aと、可動ステージ22を搬送方向と直交する方向(X軸方向)に駆動するX軸方向駆動部(揺動手段)56bとを有する。
制御部51は、検出部53により検出された光の強度に基づいて、複数の光照射ユニット31から被露光体11に照射される光の照度ムラを低減するように、移動手段としての可動ステージ22を駆動するY軸方向駆動部56aやX軸方向駆動部(揺動手段)56bにより、光照射部3に対して被露光体11を移動制御を行う。
また、制御部51は、検出部53により検出された光の強度に基づいて、X軸方向駆動部(揺動手段)56bによるX軸方向に沿った揺動の幅、速度などを適宜制御する。
具体的には、制御部51は、検出部53により検出された光の強度分布に比較的大きいムラがある場合、X軸方向駆動部(揺動手段)56bによるX軸方向に沿った揺動の幅を大きくする、速度を大きくするなどの制御を行う。
図10は、光照射部3の各光照射ユニット31の輝度ムラの一例を示す図である。図11は、被露光体11を搬送方向に搬送し、且つ、搬送方向に直交する方向に揺動させながら露光した場合の照度分布の一例を示す図である。図12は、被露光体を搬送方向に搬送させながら露光した場合の照度分布の一例を示す図である。図11、図12において、横軸はX軸方向の距離を示し、縦軸は照度を示す。
図11において、搬送方向(Y軸方向)への搬送速度と、搬送方向に直交する方向(X軸方向)へ揺動させる速度(往復速度)が同じ場合を示している。図11において、搬送方向に直交する方向(X軸方向)への揺動の幅は、X軸方向へ隣接する各光照射ユニット31間の間隔と同じに規定している。
本願発明者は、例えば、図10に示したように、複数の光照射ユニット31のうち、一部の光源32の光の強度が、他の光源32と比べて+10%、−10%である光照射部3を有する露光装置100について、照射光の測定を行った。
図12に示したように、被露光体11を搬送方向(Y軸方向)にのみ搬送させながら露光した場合、各段の光照射ユニット31の照度はそれぞれX軸方向に照度ムラがあるが、各段の光照射ユニット31からの照度を重ね合わせると、光照射部3から被露光体11への照度ムラが低減される。
図11に示したように、さらに、被露光体11を搬送方向(Y軸方向)に搬送し、且つ、搬送方向に直交する方向(X軸方向)に揺動させながら露光した場合、各段の光照射ユニット31からの照度の重ね合わせにより、光照射部3から被露光体11への照度ムラがさらに低減される。
これは、各光照射ユニット31から出射される光の強度にばらつきがある場合でも、本発明に係る露光装置100では、光照射部3から被露光体11への照度ムラを非常に低減することを示す。
図13は、本発明の他の実施形態に係る露光装置100の一例を示す平面図である。図14は、図13に示した露光装置100の偏光子の一例を示す平面図である。図15は露光装置100の複数の棒状の光源32の配置の一例を示す図であり、図15(a)は多段配置された各段の棒状光源の搬送方向への重なりが大きい場合の一例を示す図、図15(b)は多段配置された各段の棒状光源の搬送方向への重なりが小さい場合の一例を示す図である。図1から図6などに示した実施形態と同じ構成などについては、説明を省略する。
上述した実施形態では、光照射ユニット31の各光源32は、光源32の長手方向が搬送方向(Y軸方向)に対して平行となるように配置されていたが、図13に示した露光装置100は、光照射ユニット31の各光源32の長手方向が搬送方向(Y軸方向)に対して斜め方向となるように配置されていてもよい。
この場合、偏光子34の偏光方向は、図14に示したように、Y軸方向などの規定方向となるように設定されている。
図13、図15に示したように、各段の光照射ユニット31の光源32は、隣接する段の最も近い光照射ユニット31の光源に対して、搬送方向(Y軸方向)に沿って一部分が重なるように設置されている。
こうすることで、各段の複数の光照射ユニット31による被露光体11への照射で、照度ムラがある場合でも、被露光体11を搬送方向に移動させながら露光を行うことで、各段の光照射ユニット31による照射強度の重ね合わせにより、照度ムラを低減することができる。
光照射ユニット31の搬送方向(Y軸方向)に沿って一部分が重なるように各段の光照射ユニット31を配置した場合、この重なりの程度は、照度ムラを低減するように、適宜設定してもよい。
上述したように、棒状の光源32(ランプ)は、中央部32cで高い輝度、両端部32a,32bで低い輝度となっている。
このため、例えば、図15(a)に示すように、搬送方向下流側の段DBの棒状の光源32の中央部32cを通る搬送方向(Y軸)に沿った中心線上に、搬送方向上流側の段DAの棒状の光源32の端部32aが位置し、搬送方向下流側の段DBの棒状の光源32の端部32bを通る搬送方向(Y軸)に沿った線上に、搬送方向上流側の段DAの棒状の光源32の中央部32cが位置するように配置してもよい。
このように、図15(a)に示した光源32の配置では、露光時、被露光体11を搬送方向(Y軸方向)に搬送すると、搬送方向下流側の段DBの棒状の光源32と、搬送方向上流側の段DAの棒状の光源32それぞれの照度ムラが重ね合わせとなり、全体として照度ムラが低減される。
また、図15(b)に示したように、搬送方向下流側の段DBの棒状の光源32に対して、搬送方向上流側の段DAの光源32をX軸方向(図15の右方向)にずらして配置してもよい。詳細には、搬送方向下流側の段DBの棒状の光源32の端部32bを通る搬送方向(Y軸)に沿った線上に、搬送方向上流側の段DAの棒状の光源32の端部32aが位置するように配置してもよい。
また、搬送方向下流側の段DBの棒状の光源32の中央部32cを通る搬送方向(Y軸)に沿った線と、段DBの棒状の光源32の端部32bを通る搬送方向(Y軸)に沿った線との間の範囲内に、搬送方向上流側の段DAの棒状の光源32の端部32aが位置するように配置してもよい。
上述したように、図13、図14、図15に示したように、光源32の長手方向が搬送方向に対して斜め方向となるように配置された露光装置100は、被露光体11を搬送方向にのみ搬送してもよいし、被露光体11を搬送方向に搬送しつつ、揺動手段56bにより、被露光体11を搬送方向に対して交差する方向に揺動させながら、露光を行ってもよい。
以上、説明したように、本発明の実施形態に係る露光装置100は、被露光体11を搬送方向に搬送する搬送部2と、板状の基板上やフィルム上に設けられた被露光体11よりも、長手方向の長さが短い棒状の光源32、および、光源32と被露光体との間に配置される偏光子を備えた複数の光照射ユニット31を、水平面内で規定間隔に並べて配置した光照射部3とを有し、光照射ユニット31は、光源32および偏光子34が被露光体11の被露光面に対して平行に配置され、且つ、各偏光子34の偏光軸の方向が搬送方向に対して規定方向に設定されている。
この光照射ユニット31の各光源は、光源32の長手方向が搬送方向に対して平行となるように配置されている、または、光源32の長手方向が搬送方向に対して斜め方向となるように配置されている。
このため、光源32として複数の短寸のランプを用い、簡単な構造で、照度ムラの低い露光を行うことができる露光装置100を提供することができる。また、ランプ交換が容易な露光装置100を提供することができる。
また、本発明の実施形態の露光装置100は、搬送部2により搬送される被露光体11、または、光照射部3を搬送方向に対して交差する方向に揺動させる揺動手段56bを有する。
本実施形態では、揺動手段56bは、被露光体11が光照射部3に対して搬送方向に移動させるとともに、搬送方向に直交する方向に規定幅で揺動しながら移動させる。具体的には、被露光体11が光照射部3に対して、水平面内で三角波、正弦波、ノコギリ波などを描く形態であってもよい。
すなわち、露光装置100は、上記揺動手段56bを有するので、光照射ユニット31の各光源32に輝度むらがある場合であっても、照射むらの低い露光を行うことができる。
また、本発明の実施形態によれば、搬送部2は、被露光体11を光照射部3に対して水平方向に移動自在とする移動手段としての可動ステージ22と、光照射部3の各光照射ユニット31から出射される光の強度を検出する検出部53と、検出部53により検出された光の強度に基づいて、複数の光照射ユニットから被露光体に照射される光の照度ムラを低減するように、移動手段である可動ステージ22により、光照射部3に対して被露光体11を移動制御を行う制御部51と、を有する。
このため、制御部51が、各光源32から照射される光の強度を検出部53により常時検出し、可動ステージ22に載置された被露光体11を逐次移動制御することで、被露光体11に照射される光の照度ムラを低減することができる。
また、複数の被露光体11を順次露光する場合、制御部51は、検出部53により検出した光の強度を記憶部52に記憶しておき、記憶部52から読み出した光の強度の履歴に基づいて、被露光体11に照射される光の照度ムラを低減するように光照射部3に対して移動制御してもよい。
また、本発明の実施形態に係る露光装置100は、光照射部3が、搬送方向に直交する方向に規定間隔で配置された複数の光照射ユニットが、搬送方向に沿って多段に配置されている。このため、搬送方向に直交する方向に、1段だけ光照射ユニットを設けた露光装置と比較して、被露光体11への輝度むらを低減することができる。
また、露光装置100は、光照射部3が、搬送方向に直交する方向に規定間隔で配置された複数の光照射ユニットが、搬送方向に沿って多段に配置されている。
このため、被露光体11の搬送方向に沿って多段に、複数の光照射ユニットを配置することで、1段だけ光照射ユニットを設けた露光装置と比較して、被露光体11への照度ムラを低減することができる。
また、図1に示した露光装置100では、複数の光照射ユニット31の各光源32の長手方向が搬送方向に平行に配置され、各段の光照射ユニット31の光源32は、搬送方向に対して互いに重ならないように設置されている。
このように、各段の複数の光照射ユニット31による被露光体11への照射で、照度ムラがある場合でも、被露光体11を搬送方向に移動させながら露光を行うことで、各段の光照射ユニット31による照射強度の重ね合わせにより、照度ムラを低減することができる。
また、図13に示した露光装置100では、光照射部3が、搬送方向に直交する方向に規定間隔で配置された複数の光照射ユニット31が、搬送方向に沿って多段に配置され、光照射ユニット31の各光源32の長手方向が搬送方向に対して斜め方向に配置されている。
各段の光照射ユニット31の光源32は、隣接する段の最も近い光照射ユニットの光源に対して、搬送方向に沿って一部分が重なるように設置されている。
こうすることで、各段の複数の光照射ユニット31による被露光体11への照射で、照度ムラがある場合でも、被露光体11を搬送方向に移動させながら露光を行うことで、各段の光照射ユニット31による照射強度の重ね合わせにより、照度ムラを低減することができる。
また、本発明の実施形態に係る露光装置100は、光源32から偏光子34に入射する光の角度が(偏光子34に垂直に光が入射するとき0°)、45°程度、または、45°±10°程度の範囲内であることが好ましい。
具体的には、露光装置100は、光源32の長手方向の長さが、偏光子34の長さと略同じであり、光源32と偏光子34との間の距離が、光源32の長手方向の長さと略同じ長さ、または、その長さよりも所定幅の範囲内となるように設定されることが好ましい。
本発明の実施形態では、上述したように、棒状の光源32から偏光子34への入射角度が略45°より大きい光が偏光子34に入射されず、棒状の光源32から偏光子34へ略平行光が入射する。すなわち、偏光子34から出射される光強度が大きく、且つ、被露光面での偏光の偏光軸の基準からのばらつきを低減することができる。
尚、上述した実施形態では、露光装置100は、基板1上の被露光体11に偏光光を照射したが、この形態に限られるものではない。例えば、ロールトゥロール方式のフィルム製造ラインに本発明の露光装置を適用してもよい。
以上、本発明の実施形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。
また、上述の各図で示した実施形態は、その目的及び構成等に特に矛盾や問題がない限り、互いの記載内容を組み合わせることが可能である。
また、各図の記載内容はそれぞれ独立した実施形態になり得るものであり、本発明の実施形態は各図を組み合わせた一つの実施形態に限定されるものではない。
1:基板(フィルムなど)、2:搬送部,3:光照射部,5:制御装置,11:被露光体(配向膜など),21:固定ステージ,22:可動ステージ,31:光照射ユニット,32:光源(ランプ),33:フィルタ,34:偏光子,35:ランプハウス,36:リフレクタ(光反射部),51:制御部,52:記憶部,53:検出部,54:入力部,55:表示部,56:ステージ駆動部,56a:Y軸方向駆動部,56b:X軸方向駆動部(揺動手段),100:露光装置

Claims (5)

  1. 偏光光を被露光体に照射する露光装置であって、
    被露光体を搬送方向に搬送する搬送部と、
    前記被露光体に向けて光を出射し、前記被露光体よりも長手方向の長さが短い棒状の光源、前記光源毎に設けられ前記光源からの光を前記被露光体に向けて反射するリフレクタ、および、前記光源と前記被露光体との間に配置される偏光子を備えた複数の光照射ユニットを、水平面内で規定間隔に並べて配置した光照射部と、を有し、
    前記光照射ユニットは、前記光源および前記偏光子が前記被露光体の被露光面に対して平行に配置され、且つ、各偏光子の偏光軸の方向が前記搬送方向に対して規定方向に設定され、
    前記光照射ユニットの各光源は、該光源の長手方向が前記搬送方向に対して平行となるように配置されている、または、斜め方向となるように配置されており、
    前記光照射ユニットのリフレクタは、前記搬送方向に交差する断面形状が前記搬送方向に沿って一定となることを特徴とする露光装置。
  2. 前記搬送部により搬送される前記被露光体、または、前記光照射部を前記搬送方向に対して交差する方向に揺動させる揺動手段を有することを特徴とする請求項1に記載の露光装置。
  3. 前記搬送部は、前記被露光体を前記光照射部に対して水平方向に移動自在とする移動手段と、
    前記光照射部の各光照射ユニットから出射される光の強度を検出する検出部と、
    前記検出部により検出された光の強度に基づいて、前記複数の光照射ユニットから前記被露光体に照射される光の照度ムラを低減するように、前記移動手段により、前記光照射部に対して前記被露光体を移動制御を行う制御部と、
    を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の露光装置。
  4. 前記光照射部は、搬送方向に直交する方向に規定間隔で配置された複数の光照射ユニットが、前記搬送方向に沿って多段に配置されていることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載の露光装置。
  5. 偏光光を被露光体に照射する露光装置であって、
    被露光体を搬送方向に搬送する搬送部と、
    前記被露光体よりも、長手方向の長さが短い棒状の光源、および、前記光源と前記被露光体との間に配置される偏光子を備えた複数の光照射ユニットを、規定間隔に並べて配置した光照射部と、を有し、
    前記光照射ユニットは、前記光源および前記偏光子が前記被露光体の被露光面に対して平行に配置され、且つ、各偏光子の偏光軸の方向が前記搬送方向に対して規定方向に設定され、
    前記光源の長手方向の長さが、前記偏光子の長さと略同じであり、
    前記光源と前記偏光子との間の距離が、前記光源の長手方向の長さと略同じとなるように設定されていることを特徴とする露光装置。
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