JP2016122120A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】装置外のスペースを有効活用することができる。
【解決手段】露光対象物が載置されるステージの上方には、棒状の光源が着脱可能に設けられた光照射部が設けられる。露光時には、光源の長手方向が露光対象物の走査方向と直交するように光照射部を配置し、光源を交換するときには、光照射部を露光時の位置から略45度以上回転させる。
【選択図】 図6
【解決手段】露光対象物が載置されるステージの上方には、棒状の光源が着脱可能に設けられた光照射部が設けられる。露光時には、光源の長手方向が露光対象物の走査方向と直交するように光照射部を配置し、光源を交換するときには、光照射部を露光時の位置から略45度以上回転させる。
【選択図】 図6
Description
本発明は、露光装置に関する。
特許文献1には、光源と、光源に沿って延設される偏光膜とを備え、偏光膜を通して光源から出射される光を被露光面に照射する偏光露光装置が開示されている。この偏光露光装置においては、検光子の回転方向によって偏光軸の方向を設定し、検光子を通過した光を受光する受光量検出器の出力が極大となるように偏光照射部を回転させる。
特許文献1に記載の発明のような偏光を用いて露光を行う露光装置においては、光源の被露光面側には偏光膜が配置されている。図13は、偏光を用いて露光を行う従来の露光装置100の概略を示す図である。
露光装置100は、主として、光源101と、光源用筐体102と、偏光膜103と、ステージ104と、カメラ105と、装置枠106を有する。光源101は、光源用筐体102の内部に設けられており、光源101の下側(−z側)には偏光膜103が設けられる。被露光面を有する被露光対象物Wは、ステージ104に載置されている。カメラ105は、被露光対象物Wの位置決めに用いられる。
光源101から下方(−z方向)へ出射される光は、偏光膜103を通して被露光対象物Wの被露光面に照射される。偏光膜103は光源101の下側に設けられているため、光源101を交換する際には、光源101を長手方向に沿って(y方向に沿って)引き抜く必要がある。
図13では、+y方向に光源101を引き抜く場合を例示している。+y方向に光源101を引き抜いて光源101を交換する場合には、装置枠106の外側に光源101の長さLと同等の交換スペースA0が必要となる。そのため、交換スペースA0に他の装置等を配置することができず、装置外のスペースを有効活用することができない。
本発明はこのような事情に鑑みてなされたもので、装置外のスペースを有効活用することができる露光装置を提供することを目的とする。
上記課題を解決するために、本発明に係る露光装置は、例えば、露光対象物が載置されるステージと、棒状の光源が着脱可能に設けられた光照射部であって、前記ステージの上方に設けられた光照射部と、露光時には、前記光源の長手方向が前記露光対象物の走査方向と直交するように前記光照射部を配置し、前記光源を交換するときには、前記光照射部を前記露光時の位置から略45度以上回転させる光源保持部と、を備えたことを特徴とする。
本発明に係る露光装置によれば、光照射部には棒状の光源が着脱可能に設けられており、露光時には、長手方向が露光対象物の走査方向と直交するように光照射部を配置し、光源を交換するときには、光照射部を露光時の位置から略45度以上回転させる。これにより、装置外のスペースを有効活用することができる。
ここで、前記ステージは、前記走査方向に沿って第1の位置から第2の位置へ移動可能であり、前記ステージが前記第1の位置又は前記第2の位置に位置する場合において、前記露光対象物を前記ステージへ又は前記ステージから移動させる移動手段を備え、前記光照射部は、前記光源を交換するときに、前記光源を前記移動手段が設けられていない側に引き抜くことができるように、前記光源を保持してもよい。これにより、移動手段を有する場合にも、装置外のスペースを有効活用することができる。
ここで、前記ステージの上方に設けられた撮像部と、前記撮像部を移動させるレールであって、前記光照射部が回転するときに前記光照射部と前記撮像部とが干渉しない位置まで前記撮像部を移動可能なレールと、を備えてもよい。これにより、撮像部を光照射部と干渉しないように移動させることができる。その結果、光照射部の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
ここで、前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸が、前記光照射部の略中央に設けられてもよい。これにより、偏光照射部を回転させた後で光源を引き抜くときの光源の交換メンテナンス用の交換スペースのうちの装置枠内部の領域を広くすることができる。
ここで、前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸が、前記光照射部の長手方向の端部近傍に設けられてもよい。これにより、光照射部の回転に関する設計自由度を高くすることができる。また、撮像部を移動可能なレールを不要にできる。
ここで、前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸と、前記回転軸を前記走査方向と直交する方向へ移動させる回転軸移動部と、を有してもよい。これにより、光照射部の回転に関する設計自由度を高くすることができる。また、撮像部を移動可能なレールを不要にできる。
本発明によれば、装置外のスペースを有効活用することができる。
以下、本発明の実施形態を、図面を参照して詳細に説明する。
<第1の実施の形態>
図1は、第1の実施の形態に係る露光装置1の概略を示す正面図である。図2は、露光装置1の概略を示す平面図である。露光装置1は、例えば、光源からの光を偏光膜を通過させて偏光を得、この偏光をガラス基板等の被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成するものである。
図1は、第1の実施の形態に係る露光装置1の概略を示す正面図である。図2は、露光装置1の概略を示す平面図である。露光装置1は、例えば、光源からの光を偏光膜を通過させて偏光を得、この偏光をガラス基板等の被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成するものである。
以下、被露光対象物Wの搬送方向をx方向とし、搬送方向に直交する方向をy方向とし、鉛直方向をz方向とする。なお、図1においては、説明のため、装置枠60及び門型保持部31の手前側(+y側)の部分については図示を省略している。また、図2(後に詳述する図4〜12についても同様)においては、説明のため、装置枠60の天面(+z側の面)については図示を省略している。
露光装置1は、主として、偏光照射部10と、駆動部20と、保持部30と、撮像部40と、ロボット50と、装置枠60と、を備える。
偏光照射部10は、被露光対象物Wに偏光を照射する。図3は、偏光照射部10の詳細を示す斜視図である。偏光照射部10は、主として、光源11と、光学部材12と、ミラー13と、筐体14と、を有する。
光源11は、棒状の部材であり、偏光していない光(例えば、紫外光)を出射する。光源11は、長さが略1m〜略2m程度であり、直径が略10mm程度である。
光学部材12は、光源11の発光長よりやや長い長辺を持つ長方形の部材である。光学部材12は、その長手方向が光源11の長手方向に略一致するように、光源11の下側(−z側)に設けられる。光学部材12は、例えば、光源11から出射された無偏光の光を偏光する偏光膜であるが、偏光膜に限定されるものではない。また、光学部材12は、一個の部材で構成してもよいし、平行四辺形(正方形、長方形を含む)の小片を複数用いて構成してもよい。例えば、平行四辺形の小片を列状に並べて、光源11の発光長よりやや長い長辺を持つ長方形の光学部材12としてもよい。
ミラー13は、断面が楕円形であり、光源11から出射された光を反射する。ミラー13は、その長手方向が光源11の長手方向と一致するように、光源11の上側(+z側)に設けられる。これにより、光源11から出射された光は、光学部材12を通って、細い線状の光として下方(−z方向)に向けて照射される(図3の2点鎖線参照)。
筐体14には、光源11、光学部材12、及びミラー13が設けられる。筐体14の上側(+z側)の面には、回転駆動部32(後に詳述)が設けられる。回転駆動部32は、筐体14、すなわち偏光照射部10の略中央に設けられる。
図1及び図2の説明に戻る。駆動部20は、主として、ステージ21と、ステージガイドレール22と、を有する。
ステージ21は、図示しない駆動手段により、ステージガイドレール22に沿って移動可能に設けられる(図1、2の太矢印参照)。ステージ21の上面には、被露光対象物Wが載置される。
ステージ21がステージガイドレール22に沿ってx方向に移動する際には、図示しない位置検出部によりステージスキャン軸23におけるステージ21の位置が検出される。これにより、ステージ21のx方向の位置が調整できる。なお、ステージ21の移動及び位置決めは、すでに公知の技術であるため、説明を省略する。
保持部30は、主として、門型保持部31と、回転駆動部32と、を有する。門型保持部31は、天面部31aと、天面部31aを支える2本の柱31bとを有する門型の部材である。門型保持部31は、ステージ21及びステージガイドレール22を上(+z側)から覆うように設けられる。
天面部31aの下側(−z側)には、回転駆動部32が設けられる。回転駆動部32は、回転軸33と、回転軸33を中心として筐体14が回転できるように筐体14を回動自在に支持する図示しない支持部と、筐体14を回転させる図示しない駆動部と、を有する。これにより、門型保持部31に偏光照射部10が回転可能に吊り下げられる。
回転軸33は、z方向と略平行である。駆動部は、アクチュエータ等の駆動源と、駆動源を制御する制御部と、を有する。支持部の機構、駆動源、制御部が行う制御等は、すでに公知の様々な方法を用いることができるため、詳細な説明を省略する。
撮像部40は、主として、アライメントカメラ41と、レール42と、を有する。アライメントカメラ41は、ステージ21上に載置された被露光対象物Wのアライメントに使用するものである。アライメントカメラ41は、露光時に使用するものであり、光源11を交換する際には使用しない。レール42は、アライメントカメラ41をx方向に移動させるときに用いられる。
ロボット50は、被露光対象物Wをステージ21へ移動させたり、被露光対象物Wをステージ21から移動させたりする移動手段である。本実施の形態では、ロボット50は、装置枠60の+x側の端に隣接して設けられる場合を例示している。ロボット50の位置は、図2等に示す位置には限られない。また、被露光対象物Wをステージ21へ移動させたり、被露光対象物Wをステージ21から移動させたりする移動手段は、ロボット50に限定されない。
ロボット50は、ステージ21へ被露光対象物Wを載置可能な位置(図2点線参照)と、被露光対象物Wを露光装置1から取り出す位置(図2実線参照)との間で、回転可能である。ロボット50は、すでに公知であるため、説明を省略する。
装置枠60は、偏光照射部10と、駆動部20と、保持部30と、撮像部40とを覆う枠である。装置枠60には図示しない第1の開口部が設けられており、第1の開口部を介して作業者が装置枠60の内部に出入りしたり、光源11等を出し入れしたりすることができる。また、装置枠60には、ロボット50が被露光対象物Wをステージ21へ移動(載置)させたり、被露光対象物Wをステージ21から移動(取り出し)させたりするための、第2の開口部(図示せず)が設けられる。
このように構成された露光装置1の作用について説明する。露光装置1は、被露光対象物Wを走査方向であるX方向に移動させながら、偏光照射部10から照射された光を被露光対象物Wの被露光面に照射して、液晶パネル用の配向膜等を生成する。この露光装置1の作用は、すでに公知であるため、詳細な説明を省略する。なお、走査は、偏光照射部10を移動させてもよいし、被露光対象物W(ステージ21)を移動させてもよいし、それらの両方を相対的に移動させてもよい。
このような露光動作を行うと、光源11は消耗品であるため、一定期間毎に光源11を交換する必要がある。光源11は細くて長いため、手で触ると割れ易い。したがって、光源11の長さと略同一の長さの(図示しない)治具を光源11の下に挿入し、治具の上に光源11を載せてから治具を引き抜くことにより、光源11を交換する。
光源11を交換する際には、回転駆動部32により、回転軸33を中心として筐体14、すなわち偏光照射部10を回転させる。図4は、偏光照射部10を回転させた場合の一例を示す図である。図4では、偏光照射部10を、露光時の位置から、z軸を中心として時計回りに45度回転させた状態を示す。装置枠60の内部は、ステージガイドレール22が配置されているところまで作業者が入ることができる。そのため、ロボット50が設けられていない側(ここでは、−x側)に光源11を引き抜いて光源11を交換する場合において、装置枠60内部の領域の一部を、光源11の交換メンテナンス用の交換スペースA1として使用し、交換スペースA1の装置枠60外部の広さを狭くすることができる。したがって、光源11の交換時に光源11を回転させない場合と比べて、装置枠60外部の他の装置等を配置することができない領域を狭くすることができる。その結果、露光装置1の近傍のスペースを有効活用することができる。
図5は、偏光照射部10を回転させた場合の他の例を示す図である。図5では、偏光照射部10を、露光時の位置から、z軸を中心として反時計回りに45度回転させた状態を示す。図5においては、図4における偏光照射部10の位置を点線で表示している。
図4に示す場合と同様に、図5に示す場合においても、ロボット50が設けられていない側に光源11を引き抜いて光源11を交換する場合において、装置枠60内部の領域の一部を、光源11の交換メンテナンス用の交換スペースA2として使用し、露光装置1の近傍のスペースを有効活用することができる。
ただし、偏光照射部10を反時計回りに45度回転させた場合には、筐体14と、2つのアライメントカメラ41のうちの筐体14側(−x側)に設けられたアライメントカメラ41とが当接してしまう。したがって、2つのアライメントカメラ41のうちの筐体14と干渉するアライメントカメラ41を、レール42に沿って移動させる。これにより、筐体14とアライメントカメラ41とが干渉せず、偏光照射部10を回転させることができる。図1に示すように、レール42の高さ(z方向の位置)と、筐体14の高さとは異なるため、レール42と筐体14とが干渉することはない。
なお、本実施の形態では、レール42を走査方向(x方向)に沿って設けているが、筐体14とアライメントカメラ41とが干渉しない位置へアライメントカメラ41を移動させることができるのであれば、レール42をx方向に沿って設ける必要は無い。
図6は、偏光照射部10を回転させた場合の他の例を示す図である。図5では、偏光照射部10を、露光時の位置から、z軸を中心と90度回転させた状態を示す。図6においては、図4及び図5における偏光照射部10の位置を点線で表示している。
図4、5に示す場合と同様に、図6に示す場合においても、装置枠60内部の領域の一部を、光源11の交換メンテナンス用の交換スペースA3として使用し、露光装置1の近傍のスペースを有効活用することができる。
ただし、図5に示す場合と同様に、偏光照射部10を90度回転させた場合にも、筐体14と、2つのアライメントカメラ41のうちの筐体14側に設けられたアライメントカメラ41とが当接してしまう。したがって、2つのアライメントカメラ41のうちの筐体14と干渉するアライメントカメラ41を、レール42に沿って移動させる。
なお、偏光照射部10の回転角度は図4〜6に示す場合に限定されない。ロボット50が設けられていない側に光源11を引く抜くことができ、かつ光源11の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠60外部の広さを狭くできるのであれば、様々な回転角度を採用することができる。本実施の形態では、図6に示すように、偏光照射部10の回転角度θ1が45度〜135度(時計回り、反時計回り共に)の範囲内であれば、ロボット50が設けられていない側に光源11を引く抜くことができ、かつ光源11の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠60外部の広さを狭くすることができる。
本実施の形態によれば、光源11の交換時に偏光照射部10を回転させることで、光源11の交換に必要な装置外のスペースを狭くすることができる。また、アライメントカメラ41を移動させることで、偏光照射部10の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
<第2の実施の形態>
第1の実施の形態では、装置枠のx方向の一端に隣接してロボットが設けられていたが、ロボットが設けられる位置等はこれに限られない。
第1の実施の形態では、装置枠のx方向の一端に隣接してロボットが設けられていたが、ロボットが設けられる位置等はこれに限られない。
第2の実施の形態は、装置枠のy方向の一端に隣接してロボットを設ける形態である。以下、第2の実施の形態に係る露光装置2について説明する。なお、第1の実施の形態に係る露光装置1と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
図7は、露光装置2の概略を示す平面図である。露光装置2は、2台のロボット50を有する。ロボット50は、装置枠60の+y側の端に隣接して設けられる。ロボット50は、ステージ21が+x方向の端に位置する時に被露光対象物Wをステージ21へ移動させたり、被露光対象物Wをステージ21へ移動させたりできる位置、及びステージ21が−x方向の端に位置する時に被露光対象物Wをステージ21へ移動させたり、被露光対象物Wをステージ21から移動させたりできる位置の2箇所に設けられる。
露光装置2は、2組の撮像部40を有する。撮像部40は、ステージ21が+x方向の端に位置する時に被露光対象物Wをアライメント可能な位置、及びステージ21が−x方向の端に位置する時に被露光対象物Wをアライメント可能な位置の2箇所に設けられる。
図8、9は、偏光照射部10を回転させた場合の一例を示す図である。図8では、偏光照射部10を、露光時の位置から、z軸を中心として反時計回りに45度回転させた状態を示す。図9では、偏光照射部10を、露光時の位置から、z軸を中心として時計回りに45度回転させた状態を示す。図9においては、図8における偏光照射部10の位置を点線で表示している。
ロボット50が設けられていない側(ここでは、−y側)に光源11を引き抜いて光源11を交換する場合において、装置枠60内部の領域の一部を、光源11の交換メンテナンス用の交換スペースA4、A5として使用し、露光装置2の近傍のスペースを有効活用することができる。
このとき、偏光照射部10の回転時に筐体14と干渉してしまうアライメントカメラ41を、レール42に沿って移動させることで、偏光照射部10を回転させることができる。
図10は、偏光照射部10を回転させた場合の他の例を示す図である。図10では、偏光照射部10を、露光時の位置から、z軸を中心として90度回転させた状態を示す。図10においては、図8、9における偏光照射部10の位置を点線で表示している。
偏光照射部10を90度回転させた場合には、偏光照射部10とロボット50とは平行である。すなわち、±x方向のどちらもロボット50が設けられていない側であり、光源11は+x方向、−x方向のどちらからも引き抜くことができる。光源11を−x方向に引き抜くときの交換メンテナンス用の領域は交換スペースA6とし、光源11を+x方向に引き抜くときの交換メンテナンス用の領域は交換スペースA7とする。なお、図10には交換スペースA6、A7の両方が実線で示されているが、交換スペースA6、A7はどちらか一方でよい。
この場合においても、装置枠60内部の領域の一部を、交換スペースA6、A7として使用し、露光装置2の近傍のスペースを有効活用することができる。
ただし、図8、9に示す場合と同様に、偏光照射部10を90度回転させた場合にも、筐体14と、アライメントカメラ41とが当接してしまう。したがって、筐体14と干渉するアライメントカメラ41を、レール42に沿って移動させて、筐体14がアライメントカメラ41と干渉せずに回転できるようにする。
なお、偏光照射部10の回転角度は図8〜10に示す場合に限定されない。第1の実施の形態と同様に、ロボット50が設けられていない側に光源11を引く抜くことができ、かつ光源11の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠60外部の広さを狭くできるのであれば、様々な回転角度を採用することができる。本実施の形態では、図10に示すように、偏光照射部10の回転角度θ2が反時計回りに45度〜90度の範囲内、又は偏光照射部10の回転角度θ3が時計回りに45度〜90度の範囲内であれば、ロボット50が設けられていない側に光源11を引く抜くことができ、かつ光源11の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠60外部の広さを狭くすることができる。
本実施の形態によれば、光源11の交換時に偏光照射部10を回転させることで、光源11の交換に必要な装置外のスペースを狭くすることができる。また、アライメントカメラ41を移動させることで、偏光照射部10の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
<第3の実施の形態>
第1の実施の形態及び第2の実施の形態では、偏光照射部10の回転軸33は、門型保持部31の天面部31aの略中央に設けられていたが、回転軸33の位置はこれに限られない。
第1の実施の形態及び第2の実施の形態では、偏光照射部10の回転軸33は、門型保持部31の天面部31aの略中央に設けられていたが、回転軸33の位置はこれに限られない。
第2の実施の形態は、回転軸33を天面部31aの長手方向の端近傍に設ける形態である。以下、第3の実施の形態に係る露光装置3について説明する。露光装置3と露光装置1との差異は、回転軸の位置のみであるため、第1の実施の形態に係る露光装置1と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
図11は、露光装置3の概略を示す平面図である。露光装置3の保持部30Aにおいては、回転軸33は、天面部31aの長手方向の両端(図11においては、−y方向及び+y方向の端)近傍に設けられる。
図11は、偏光照射部10を、露光時の位置から反時計回りに90度回転させた場合を示す。回転軸33が−y方向の端近傍に設けられている場合には、偏光照射部10を時計回りに90度回転させ、回転軸33が+y方向の端近傍に設けられている場合には、偏光照射部10を反時計回りに90度回転させる。これにより、筐体14と、アライメントカメラ41とが当接することなく、偏光照射部10を回転させることができる。
露光装置3では、ロボット50が装置枠60の+x側の端に隣接して設けられているため、偏光照射部10を90度回転させてから、光源11を−x方向に引き抜く。この場合にも、装置枠60内部の領域の一部を、露光装置3の近傍のスペースを有効活用することができる。
本実施の形態によれば、回転駆動部32(回転軸33)の位置を偏光照射部10の略中央に限定しないことで、偏光照射部10の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
なお、図11においては、回転軸33が天面部31aの−y方向の端近傍、及び+y方向の端近傍の2箇所に設けられたが、回転軸33は−y方向の端近傍、及び+y方向の端近傍のいずれか一方でよい。また、図11には、レール42が図示されているが、レール42は必須ではない。
また、偏光照射部10の回転角度は90度に限定されない。第1、2の実施の形態と同様に、ロボット50が設けられていない側に光源11を引く抜くことができ、かつ光源11の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠60外部の広さを狭くできるのであれば、様々な回転角度を採用することができる。本実施の形態では、偏光照射部10の回転角度が0〜90度の範囲内であれば、ロボット50が設けられていない側に光源11を引く抜くことができ、かつ光源11の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠60外部の広さを狭くすることができる。
<第4の実施の形態>
第1の実施の形態及び第2の実施の形態では、偏光照射部10の回転軸33は、門型保持部31の天面部31aの略中央に設けられていたが、回転軸33の位置はこれに限られない。
第1の実施の形態及び第2の実施の形態では、偏光照射部10の回転軸33は、門型保持部31の天面部31aの略中央に設けられていたが、回転軸33の位置はこれに限られない。
第2の実施の形態は、回転軸33を移動可能に設ける形態である。以下、第4の実施の形態に係る露光装置4について説明する。露光装置4と露光装置1との差異は、回転軸が移動できるか否かのみであるため、第1の実施の形態に係る露光装置1と同一の部分については、同一の符号を付し、説明を省略する。
図12は、露光装置4の概略を示す平面図である。保持部30Bは、主として、門型保持部31と、回転駆動部32とに加えて、回転駆動部32を天面部31aの長手方向(y方向)に沿って移動させる軸移動部を有する。
軸移動部は、天面部31aの下側(−z側)に天面部31aの長手方向(y方向)に沿って設けられたレール34と、レール34に沿って回転駆動部32を移動させる図示しない駆動部と、を有する。駆動部は、アクチュエータ等の駆動源と、駆動源を制御する制御部と、を有する。駆動部の制御等は、すでに公知の様々な方法を用いることができるため、詳細な説明を省略する。
図12は、偏光照射部10を露光時の位置から90度回転させ、回転駆動部32をレール34に沿って−y方向に移動させた場合を示す。偏光照射部10の回転と、回転駆動部32の移動との順序は任意である。また、レール42は必須ではない。
露光装置4においては、回転軸33が筐体14の長手方向略中央に位置するため、回転軸33が筐体14の端部近傍に位置する露光装置3に対して、偏光照射部10を回転させた後で光源11を引き抜くときの光源11の交換メンテナンス用の交換スペースA10のうちの装置枠60内部の領域を広くすることができる。
なお、偏光照射部10の回転角度は90度に限定されない。第1〜3の実施の形態と同様に、ロボット50が設けられていない側に光源11を引く抜くことができ、かつ光源11の交換メンテナンス用の領域のうちの装置枠60外部の広さを狭くできるのであれば、様々な回転角度を採用することができる。本実施の形態では、回転駆動部32の位置に応じて、0〜90度の範囲内の様々な角度とすることができる。
本実施の形態によれば、回転駆動部32(回転軸33)を移動可能とすることで、偏光照射部10の回転に関する設計自由度を高くすることができる。
以上、この発明の実施形態を、図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこの実施形態に限られるものではなく、この発明の要旨を逸脱しない範囲の設計変更等も含まれる。
また、本発明において、「略」とは、厳密に同一である場合のみでなく、同一性を失わない程度の誤差や変形を含む概念である。例えば、略中央とは、厳密に中央の場合には限られない。また、例えば、単に平行、直交等と表現する場合において、厳密に平行、直交等の場合のみでなく、略平行、略直交等の場合を含むものとする。また、本発明において「近傍」とは、例えばAの近傍であるときに、Aの近くであって、Aを含んでもいても含んでいなくてもよいことを示す概念である。
1、2、3、4 :露光装置
10 :偏光照射部
11 :光源
12 :光学部材
13 :ミラー
14 :筐体
20 :駆動部
21 :ステージ
22 :ステージガイドレール
23 :ステージスキャン軸
30、30A、30B:保持部
31 :門型保持部
31a :天面部
31b :柱
32 :回転駆動部
33 :回転軸
34 :レール
40 :撮像部
41 :アライメントカメラ
42 :レール
50 :ロボット
60 :装置枠
100 :露光装置
101 :光源
102 :光源用筐体
103 :偏光膜
104 :ステージ
105 :カメラ
106 :装置枠
W :被露光対象物
10 :偏光照射部
11 :光源
12 :光学部材
13 :ミラー
14 :筐体
20 :駆動部
21 :ステージ
22 :ステージガイドレール
23 :ステージスキャン軸
30、30A、30B:保持部
31 :門型保持部
31a :天面部
31b :柱
32 :回転駆動部
33 :回転軸
34 :レール
40 :撮像部
41 :アライメントカメラ
42 :レール
50 :ロボット
60 :装置枠
100 :露光装置
101 :光源
102 :光源用筐体
103 :偏光膜
104 :ステージ
105 :カメラ
106 :装置枠
W :被露光対象物
Claims (6)
- 露光対象物が載置されるステージと、
棒状の光源が着脱可能に設けられた光照射部であって、前記ステージの上方に設けられた光照射部と、
露光時には、前記光源の長手方向が前記露光対象物の走査方向と直交するように前記光照射部を配置し、前記光源を交換するときには、前記光照射部を前記露光時の位置から略45度以上回転させる光源保持部と、
を備えたことを特徴とする露光装置。 - 前記ステージは、前記走査方向に沿って第1の位置から第2の位置へ移動可能であり、
前記ステージが前記第1の位置又は前記第2の位置に位置する場合において、前記露光対象物を前記ステージへ又は前記ステージから移動させる移動手段を備え、
前記光照射部は、前記光源を交換するときに、前記光源を前記移動手段が設けられていない側に引き抜くことができるように、前記光源を保持する
ことを特徴とする請求項1に記載の露光装置。 - 前記ステージの上方に設けられた撮像部と、
前記撮像部を移動させるレールであって、前記光照射部が回転するときに前記光照射部と前記撮像部とが干渉しない位置まで前記撮像部を移動可能なレールと、
を備えたことを特徴とする請求項1又は2に記載の露光装置。 - 前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸が、前記光照射部の略中央に設けられる
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸が、前記光照射部の長手方向の端部近傍に設けられる
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の露光装置。 - 前記光源保持部は、前記光照射部を回転させるための回転軸と、前記回転軸を前記走査方向と直交する方向へ移動させる回転軸移動部と、を有する
ことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の露光装置。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014262220A JP2016122120A (ja) | 2014-12-25 | 2014-12-25 | 露光装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2016122120A true JP2016122120A (ja) | 2016-07-07 |
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Family Applications (1)
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2018146797A (ja) * | 2017-03-06 | 2018-09-20 | ウシオ電機株式会社 | 光照射装置 |
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JP4604661B2 (ja) * | 2004-11-05 | 2011-01-05 | ウシオ電機株式会社 | 光配向用偏光光照射装置 |
JP6037099B2 (ja) * | 2012-02-29 | 2016-11-30 | 株式会社ブイ・テクノロジー | 偏光露光装置 |
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2014
- 2014-12-25 JP JP2014262220A patent/JP2016122120A/ja active Pending
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2015
- 2015-12-16 CN CN201590001086.8U patent/CN207164464U/zh not_active Expired - Fee Related
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WO2016104271A1 (ja) | 2016-06-30 |
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