JP6037099B2 - 偏光露光装置 - Google Patents
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Description
2:偏光照射部,2A:光出射口,20:光源,
21:偏光子,21U:偏光子ユニット,21a:偏光軸,23:筐体
3:回転駆動部,
4:偏光軸設定部,
40:検光子,41:受光量検出器
5:制御部,
a:露光走査方向,R:回転軸,W:被露光対象,W1:被露光面
Claims (1)
- 露光走査方向と交差する方向に延設される光源と、該光源の延設方向に沿って並列配置され、偏光軸の方向が全て一致するように固定された複数の偏光子とを備え、前記偏光子を通して前記光源から出射される光を被露光面に照射する偏光照射部と、
前記偏光子上を通って前記被露光面に交差する回転軸周りに前記偏光照射部を回転駆動して、前記露光走査方向に対する前記偏光子の偏光軸方向を変更する回転駆動部と、
前記被露光面の背面側で前記回転軸上に配置され、前記偏光子における偏光軸の方向を任意の方向に設定する偏光軸設定部と、
前記偏光軸設定部の設定に応じて前記回転駆動部を制御する制御部とを備え、
前記偏光軸設定部は、前記回転軸周りの任意の方向に回転調整自在な検光子と該検光子を通過した光の受光量を検出する受光量検出器とを備えて前記検光子の回転方向によって前記偏光軸の方向を設定し、
前記制御部は、前記受光量検出器の出力が極大になるように、前記回転駆動部の回転角度を制御することを特徴とする偏光露光装置。
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JP2012044698A JP6037099B2 (ja) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | 偏光露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012044698A JP6037099B2 (ja) | 2012-02-29 | 2012-02-29 | 偏光露光装置 |
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Family Applications (1)
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