CN207164464U - 曝光装置 - Google Patents

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Abstract

本实用新型提供一种曝光装置(1)，该曝光装置(1)的光照射部(10)设置于载置曝光对象物(W)的工作台(21)的上方，且设置为能够装卸棒状的光源(11)，关于该光照射部(10)，在曝光时将光照射部(10)配置为光源(11)的长边方向与曝光对象物(W)的扫描方向正交，且在更换光源(11)时使光照射部(10)从曝光时的位置旋转大致45度以上。由此，能够有效利用曝光装置(1)外的空间。

Description

曝光装置
技术领域
本实用新型涉及曝光装置。
背景技术
专利文献1公开了一种偏振光曝光装置，其具备光源和沿着光源延伸设置的偏振膜，且使从光源出射的光穿过偏振膜而照射至被曝光面。在该偏振光曝光装置中，根据检偏器的旋转方向来设定偏振轴的方向，以使接收通过检偏器后的光的受光量检测器的输出成为极大的方式使偏振光照射部旋转。
在先技术文献
专利文献
专利文献1：日本特开2013-182085号公报
实用新型内容
实用新型所要解决的课题
在专利文献1所记载的实用新型那样的使用偏振光来进行曝光的曝光装置中，在光源的被曝光面侧配置有偏振膜。图13是表示以往的使用偏振光进行曝光的曝光装置100的简要情况的图。
曝光装置100主要具有光源101、光源用框体102、偏振膜103、工作台104、相机105以及装置框106。光源101设置于光源用框体102的内部，在光源101的下侧(-z侧)设置有偏振膜103。具有被曝光面的被曝光对象物W载置于工作台104。相机105用于被曝光对象物W的定位。
从光源101向下方(-z方向)出射的光穿过偏振膜103而照射至被曝光对象物W的被曝光面。偏振膜103设置于光源101的下侧，因此在更换光源101时需要沿着长边方向(沿着y方向)拔出光源101。
在图13中例示出了沿+y方向拔出光源101的情况。在沿+y方向拔出光源101而更换光源101的情况下，在装置框106的外侧需要与光源101的长度L同等程度的更换空间A0。因此，无法在更换空间A0配置其他装置等，无法有效利用装置外的空间。
本实用新型是鉴于这样的情况而做出的，其目的在于提供能够有效利用装置外的空间的曝光装置。
用于解决课题的方案
为了解决上述问题，本实用新型的曝光装置例如特征在于，具备：工作台，其载置曝光对象物；光照射部，其设置为能够装卸棒状的光源，且设置于所述工作台的上方；以及光源保持部，其在曝光时将所述光照射部配置为所述光源的长边方向与所述曝光对象物的扫描方向正交，且在更换所述光源时使所述光照射部从所述曝光时的位置旋转大致45度以上。
根据本实用新型的曝光装置，棒状的光源以能够装卸的方式设置于光照射部，在曝光时将光照射部配置为长边方向与曝光对象物的扫描方向正交，在更换光源时使光照射部从曝光时的位置旋转大致45度以上。由此，能够有效利用装置外的空间。
在此，也可以是，所述工作台能够沿着所述扫描方向从第一位置向第二位置移动，所述曝光装置具备移动单元，该移动单元在所述工作台位于所述第一位置或所述第二位置的情况下，使所述曝光对象物向所述工作台移动或使所述曝光对象物从所述工作台移动，所述光照射部将所述光源保持为，在更换所述光源时能够向未设置有所述移动单元的一侧拔出所述光源。由此，即使在具有移动单元的情况下，也能够有效利用装置外的空间。
在此，也可以是，所述曝光装置具备：摄像部，其设置于所述工作台的上方；和导轨，其使所述摄像部移动，且能够使所述摄像部移动至在所述光照射部旋转时所述光照射部与所述摄像部不发生干涉的位置。由此，能够以使摄像部不与光照射部干涉的方式移动摄像部。其结果，能够提高与光照射部的旋转相关的设计自由度。
在此，也可以是，所述光源保持部的用于使所述光照射部旋转的旋转轴设置于所述光照射部的大致中央。由此，能够增大在使偏振光照射部旋转后将光源拔出时的光源的更换维护用的更换空间中的装置框内部的区域。
在此，也可以是，所述光源保持部的用于使所述光照射部旋转的旋转轴设置于所述光照射部的长边方向的端部附近。由此，能够提高与光照射部的旋转相关的设计自由度。另外，能够不需要可使摄像部移动的导轨。
在此，也可以是，所述光源保持部具有：旋转轴，其用于使所述光照射部旋转；和旋转轴移动部，其使所述旋转轴沿着与所述扫描方向正交的方向移动。由此，能够提高与光照射部的旋转相关的设计自由度。另外，能够不需要可使摄像部移动的导轨。
实用新型效果
根据本实用新型，能够有效利用装置外的空间。
附图说明
图1是表示第一实施方式的曝光装置1的简要情况的主视图。
图2是表示曝光装置1的简要情况的俯视图。
图3是表示偏振光照射部的详细情况的立体图。
图4是表示使偏振光照射部旋转后的情况的一例的图。
图5是表示使偏振光照射部旋转后的情况的另一例的图。
图6是表示使偏振光照射部旋转后的情况的另一例的图。
图7是表示曝光装置2的简要情况的俯视图。
图8是表示使偏振光照射部旋转后的情况的一例的图。
图9是使偏振光照射部旋转后的情况的一例的图。
图10是使偏振光照射部旋转后的情况的一例的图。
图11是表示曝光装置3的简要情况的俯视图。
图12是表示曝光装置4的简要情况的俯视图。
图13是表示使用偏振光进行曝光的以往的曝光装置100的简要情况的图。
具体实施方式
以下，参照附图来详细说明本实用新型的实施方式。
<第一实施方式>
图1是表示第一实施方式的曝光装置1的简要情况的主视图。图2是表示曝光装置1的简要情况的俯视图。曝光装置1例如使来自光源的光穿过偏振膜而得到偏振光，将该偏振光向玻璃基板等被曝光面照射而生成液晶面板用的取向膜等。
以下，将被曝光对象物W的搬运方向设为x方向，将与搬运方向正交的方向设为y方向，将铅垂方向设为z方向。需要说明的是，在图1中，为了进行说明，对装置框60以及门型保持部31的近前侧(+y侧)的部分省略图示。另外，在图2(对于后面详细叙述的图4～12也同样)中，为了进行说明，对装置框60的顶面(+z侧的面)省略图示。
曝光装置1主要具备偏振光照射部10、驱动部20、保持部30、摄像部40、机器人50以及装置框60。
偏振光照射部10向被曝光对象物W照射偏振光。图3是表示偏振光照射部10的详细情况的立体图。偏振光照射部10主要具有光源11、光学构件12、反射镜13以及框体14。
光源11是棒状的构件，出射未偏振的光(例如紫外光)。光源11的长度为大致1m～大致2m的程度，直径为大致10mm的程度。
光学构件12是具有比光源11的发光长度稍长的长边的长方形构件。光学构件12以其长边方向与光源11的长边方向大致一致的方式设置于光源11的下侧(-z侧)。光学构件12例如是使从光源11出射的作为非偏振光的光偏振的偏振膜，但并不限定于偏振膜。另外，光学构件12可以由一个构件构成，也可以使用多个平行四边形(包括正方形、长方形)的小片而构成。例如，也可以设为将平行四边形的小片排列为列状而具有比光源11的发光长度稍长的长边的长方形的光学构件12。
反射镜13的截面为椭圆形，反射镜13使从光源11出射的光反射。反射镜13以其长边方向与光源11的长边方向一致的方式设置于光源11的上侧(+z侧)。由此，从光源11出射的光穿过光学构件12并作为细线状的光朝向下方(-z方向)照射(参照图3的双点划线)。
在框体14设置有光源11、光学构件12以及反射镜13。在框体14的上侧(+z侧)的面设置有旋转驱动部32(在后面详细叙述)。旋转驱动部32设置于框体14、即偏振光照射部10的大致中央。
返回到图1以及图2的说明。驱动部20主要具有工作台21和工作台导引轨22。
工作台21设置为能够通过未图示的驱动单元而沿着工作台导引轨22移动(参照图1、2的粗箭头)。在工作台21的上表面载置有被曝光对象物W。
在工作台21沿着工作台导引轨22在x方向上移动时，由未图示的位置检测部检测工作台21在工作台扫描轴23上的位置。由此，能够调整工作台21的x方向的位置。需要说明的是，工作台21的移动以及定位是已公知的技术，因此省略说明。
保持部30主要具有门型保持部31和旋转驱动部32。门型保持部31是具有顶面部31a和对顶面部31a进行支承的两根柱31b的门型构件。门型保持部31设置为从上方(+z侧)覆盖工作台21以及工作台导引轨22。
在顶面部31a的下侧(-z侧)设置有旋转驱动部32。旋转驱动部32具有：旋转轴33；未图示的支承部，其以框体14能够以旋转轴33为中心旋转的方式将框体14支承为转动自如；以及未图示的驱动部，其使框体14旋转。由此，偏振光照射部10以能够旋转的方式悬吊于门型保持部31。
旋转轴33与z方向大致平行。驱动部具有致动器等驱动源和对驱动源进行控制的控制部。支承部的机构、驱动源、控制部所进行的控制等可以使用已公知的各种方法，因此省略详细的说明。
摄像部40主要具有对准相机41和导轨42。对准相机41用于载置于工作台21上的被曝光对象物W的对准。对准相机41在曝光时使用，在更换光源11时不使用。导轨42在使对准相机41沿着x方向移动时使用。
机器人50是使被曝光对象物W向工作台21移动、或使被曝光对象物W从工作台21移动的移动单元。在本实施方式中，例示了机器人50与装置框60的+x侧的端部相邻地设置的情况。机器人50的位置不限定于图2等所示的位置。另外，使被曝光对象物W向工作台21移动、或使被曝光对象物W从工作台21移动的移动单元不限定于机器人50。
机器人50能够在能向工作台21载置被曝光对象物W的位置(参照图2虚线)和将被曝光对象物W从曝光装置1取出的位置(参照图2实线)之间旋转。机器人50已经公知，因此省略说明。
装置框60是覆盖偏振光照射部10、驱动部20、保持部30以及摄像部40的框。在装置框60设置有未图示的第一开口部，作业者能够经由第一开口部出入装置框60的内部、或取出放入光源11等。另外，在装置框60设置有第二开口部(未图示)，该第二开口部用于供机器人50将被曝光对象物W向工作台21移动(载置)、或将被曝光对象物W从工作台21移动(取出)。
说明这样构成的曝光装置1的作用。曝光装置1一边使被曝光对象物W沿着扫描方向即X方向移动，一边将从偏振光照射部10照射出的光照射于被曝光对象物W的被曝光面而生成液晶面板用的取向膜等。该曝光装置1的作用已经公知，因此省略详细的说明。需要说明的是，对于扫描而言，可以使偏振光照射部10移动，也可以使被曝光对象物W(工作台21)移动，还可以使它们双方相对移动。
在进行这样的曝光动作时，光源11为消耗品，因此需要每隔一定期间更换光源11。光源11是细长的构件，因此若用手接触则容易破裂。因此，通过将与光源11的长度大致相同的长度(未图示)的夹具插入至光源11的下方，在夹具上放置光源11后将夹具拔出，从而来更换光源11。
在更换光源11时，由旋转驱动部32使框体14即偏振光照射部10以旋转轴33为中心旋转。图4是表示使偏振光照射部10旋转后的情况的一例的图。在图4中，示出使偏振光照射部10从曝光时的位置起以z轴为中心绕顺时针旋转了45度的状态。在装置框60的内部，作业者能够进入到配置有工作台导引轨22的地方。因此，在向未设置有机器人50的一侧(在此为-x侧)拔出光源11而更换光源11的情况下，能够将装置框60内部的区域的一部分用作光源11的更换维护用的更换空间A1，能够减小更换空间A1的装置框60外部的宽广度。因此，与在光源11的更换时不使光源11旋转的情况相比，能够减少无法配置装置框60外部的其他装置等的区域。其结果，能够有效利用曝光装置1的附近的空间。
图5是表示使偏振光照射部10旋转后的情况的另一例的图。在图5中，示出使偏振光照射部10从曝光时的位置起以z轴为中心绕逆时针旋转了45度的状态。在图5中，以虚线表示图4的偏振光照射部10的位置。
与图4所示的情况同样，在图5所示的情况下，在向未设置有机器人50的一侧拔出光源11而更换光源11时，也将装置框60内部的区域的一部分用作光源11的更换维护用的更换空间A2，能够有效利用曝光装置1的附近的空间。
不过，在使偏振光照射部10绕逆时针旋转了45度的情况下，框体14与两个对准相机41中的设置于框体14侧(-x侧)的对准相机41抵接。因此，使两个对准相机41中的与框体14干涉的对准相机41沿着导轨42移动。由此，能够使框体14与对准相机41不干涉地使偏振光照射部10旋转。如图1所示，导轨42的高度(z方向的位置)与框体14的高度不同，因此导轨42与框体14不会干涉。
需要说明的是，在本实施方式中，将导轨42沿着扫描方向(x方向)设置，但若能够使对准相机41向框体14与对准相机41不干涉的位置移动，则无需沿着x方向设置导轨42。
图6是表示使偏振光照射部10旋转后的情况的另一例的图。在图5中，示出了使偏振光照射部10从曝光时的位置起以z轴为中心旋转了90度的状态。在图6中，以虚线表示图4以及图5的偏振光照射部10的位置。
与图4、5所示的情况同样，在图6所示的情况下，也将装置框60内部的区域的一部分用作光源11的更换维护用的更换空间A3，能够有效利用曝光装置1的附近的空间。
不过，与图5所示的情况同样，在使偏振光照射部10旋转了90度的情况下，框体14与两个对准相机41中的设置于框体14侧的对准相机41也抵接。因此，使两个对准相机41中的与框体14干涉的对准相机41沿着导轨42移动。
需要说明的是，偏振光照射部10的旋转角度不限定于图4～6所示的情况。若能够向未设置有机器人50的一侧拔出光源11、且能够减小光源11的更换维护用的区域中的装置框60外部的宽广度，则可以采用各种旋转角度。在本实施方式中，若如图6所示那样使偏振光照射部10的旋转角度θ1处于45度～135度(无论绕顺时针还是绕逆时针)的范围内，则能够向未设置有机器人50的一侧拔出光源11，且能够减小光源11的更换维护用的区域中的装置框60外部的宽广度。
根据本实施方式，通过在光源11的更换时使偏振光照射部10旋转，能够缩小光源11的更换所需的装置外的空间。另外，通过使对准相机41移动，能够提高与偏振光照射部10的旋转相关的设计自由度。
<第二实施方式>
在第一实施方式中，与装置框的x方向的一端相邻地设置有机器人，但设置机器人的位置等不限定于此。
第二实施方式是与装置框的y方向的一端相邻地设置机器人的方式。以下，说明第二实施方式的曝光装置2。需要说明的是，对与第一实施方式的曝光装置1相同的部分标注相同的附图标记并省略说明。
图7是表示曝光装置2的简要情况的俯视图。曝光装置2具有两台机器人50。机器人50与装置框60的+y侧的端部相邻地设置。机器人50设置于如下两个位置，即，在工作台21位于+x方向的端部时能够使被曝光对象物W向工作台21移动或使被曝光对象物W从工作台21移动的位置、以及在工作台21位于-x方向的端部时能够使被曝光对象物W向工作台21移动或使被曝光对象物W从工作台21移动的位置。
曝光装置2具有两组摄像部40。摄像部40设置于在工作台21位于+x方向的端部时能够对被曝光对象物W进行对准的位置、以及在工作台21位于-x方向的端部时能够对被曝光对象物W进行对准的位置这两个位置。
图8、9是表示使偏振光照射部10旋转后的情况的一例的图。在图8中，示出了使偏振光照射部10从曝光时的位置起以z轴为中心绕逆时针旋转了45度的状态。在图9中，示出了使偏振光照射部10从曝光时的位置起以z轴为中心绕顺时针旋转了45度的状态。在图9中，以虚线表示图8的偏振光照射部10的位置。
在向未设置有机器人50的一侧(在此为-y侧)拔出光源11而更换光源11的情况下，将装置框60内部的区域的一部分用作光源11的更换维护用的更换空间A4、A5，能够有效利用曝光装置2的附近的空间。
此时，通过使在偏振光照射部10旋转时与框体14干涉的对准相机41沿着导轨42移动，能够使偏振光照射部10旋转。
图10是表示使偏振光照射部10旋转后的情况的另一例的图。在图10中，示出了使偏振光照射部10从曝光时的位置起以z轴为中心旋转了90度的状态。在图10中，以虚线表示图8、9的偏振光照射部10的位置。
在使偏振光照射部10旋转了90度的情况下，偏振光照射部10与机器人50平行。即，±x方向的任一方均是未设置有机器人50的一侧，能够将光源11从+x方向、-x方向中的任一方拔出。将沿着-x方向拔出光源11时的更换维护用的区域设为更换空间A6，将沿着+x方向拔出光源11时的更换维护用的区域设为更换空间A7。需要说明的是，在图10中更换空间A6、A7双方以实线示出，但更换空间A6、A7可以是任一方。
在该情况下，也将装置框60内部的区域的一部分用作更换空间A6、A7，能够有效利用曝光装置2的附近的空间。
不过，与图8、9所示的情况同样，在使偏振光照射部10旋转了90度的情况下，框体14与对准相机41也抵接。因此，通过使与框体14干涉的对准相机41沿着导轨42移动，框体14能够与对准相机41不干涉地旋转。
需要说明的是，偏振光照射部10的旋转角度不限定于图8～10所示的情况。与第一实施方式同样，若能够向未设置有机器人50的一侧拔出光源11、且能够减小光源11的更换维护用的区域中的装置框60外部的宽广度，则可以采用各种旋转角度。在本实施方式中，若如图10所示那样使偏振光照射部10的旋转角度θ2绕逆时针处于45度～90度的范围内、或偏振光照射部10的旋转角度θ3绕顺时针处于45度～90度的范围内，则能够向未设置有机器人50的一侧拔出光源11，且能够缩小光源11的更换维护用的区域中的装置框60外部的宽广度。
根据本实施方式，通过在光源11的更换时使偏振光照射部10旋转，能够减小光源11的更换所需的装置外的空间。另外，通过使对准相机41移动，能够提高与偏振光照射部10的旋转相关的设计自由度。
<第三实施方式>
在第一实施方式以及第二实施方式中，偏振光照射部10的旋转轴33设置于门型保持部31的顶面部31a的大致中央，但旋转轴33的位置不限定于此。
第二实施方式是将旋转轴33设置于顶面部31a的长边方向上的端部附近的方式。以下，说明第三实施方式的曝光装置3。曝光装置3与曝光装置1的差异仅在于旋转轴的位置，因此对与第一实施方式的曝光装置1相同的部分标注相同的附图标记并省略说明。
图11是表示曝光装置3的简要情况的俯视图。在曝光装置3的保持部30A中，旋转轴33设置于顶面部31a的长边方向的两端(在图11中，-y方向以及+y方向的端部)附近。
图11示出了使偏振光照射部10从曝光时的位置起绕逆时针旋转了90度的情况。在旋转轴33设置于-y方向的端部附近的情况下，使偏振光照射部10绕顺时针旋转90度，在旋转轴33设置+y方向的端部附近的情况下，使偏振光照射部10绕逆时针旋转90度。由此，能够以框体14与对准相机41不抵接的方式使偏振光照射部10旋转。
在曝光装置3中，机器人50与装置框60的+x侧的端部相邻地设置，因此在使偏振光照射部10旋转90度后，沿着-x方向拔出光源11。在该情况下，也将装置框60内部的区域的一部分用作更换空间，能够有效利用曝光装置3的附近的空间。
根据本实施方式，通过使旋转驱动部32(旋转轴33)的位置不限定于偏振光照射部10的大致中央，能够提高与偏振光照射部10的旋转相关的设计自由度。
需要说明的是，在图11中，旋转轴33设置于顶面部31a的-y方向的端部附近、以及+y方向的端部附近这两个位置，但旋转轴33可以设置于-y方向的端部附近以及+y方向的端部附近中的任一方。另外，图11图示出了导轨42，但导轨42不是必需的。
另外，偏振光照射部10的旋转角度不限定于90度。与第一、二实施方式同样，若能够向未设置有机器人50的一侧拔出光源11、且能够减小光源11的更换维护用的区域中的装置框60外部的宽广度，则能够采用各种旋转角度。在本实施方式中，若偏振光照射部10的旋转角度处于0～90度的范围内，则能够向未设置有机器人50的一侧拔出光源11，且能够减小光源11的更换维护用的区域中的装置框60外部的宽广度。
<第四实施方式>
在第一实施方式以及第二实施方式中，偏振光照射部10的旋转轴33设置于门型保持部31的顶面部31a的大致中央，但旋转轴33的位置不限定于此。
第二实施方式是将旋转轴33设为能够移动的实施方式。以下，说明第四实施方式的曝光装置4。曝光装置4与曝光装置1的差异仅在于旋转轴是否能够移动，因此对与第一实施方式的曝光装置1相同的部分标注相同的附图标记而省略说明。
图12是表示曝光装置4的简要情况的俯视图。保持部30B除了具有门型保持部31和旋转驱动部32之外主要还具有使旋转驱动部32沿着顶面部31a的长边方向(y方向)移动的轴移动部。
轴移动部具有：导轨34，其在顶面部31a的下侧(-z侧)沿着顶面部31a的长边方向(y方向)设置；和未图示的驱动部，其使旋转驱动部32沿着导轨34移动。驱动部具有致动器等驱动源和对驱动源进行控制的控制部。驱动部的控制等可以采用已公知的各种方法，因此省略详细的说明。
图12示出了使偏振光照射部10从曝光时的位置起旋转90度且使旋转驱动部32沿着导轨34向-y方向移动了的情况。偏振光照射部10的旋转与旋转驱动部32的移动的顺序是任意的。另外，导轨42不是必需的。
在曝光装置4中，旋转轴33位于框体14的长边方向大致中央，因此相对于旋转轴33位于框体14的端部附近的曝光装置3而言，能够扩大在使偏振光照射部10旋转后将光源11拔出时的光源11的更换维护用的更换空间A10中的装置框60内部的区域。
需要说明的是，偏振光照射部10的旋转角度不限定于90度。与第一～三实施方式同样，若能够向未设置有机器人50的一侧拔出光源11、且能够减小光源11的更换维护用的区域中的装置框60外部的宽广度，则能够采用各种旋转角度。在本实施方式中，能够根据旋转驱动部32的位置而设为0～90度的范围内的各种角度。
根据本实施方式，通过将旋转驱动部32(旋转轴33)设为能够移动，能够提高与偏振光照射部10的旋转相关的设计自由度。
以上，参照附图详细叙述了本实用新型的实施方式，但具体结构并不限定于该实施方式，也包括在不脱离本实用新型的主旨的范围内的设计变更等。
另外，在本实用新型中，“大致”不仅包括严格意义上相同的情况，也包括不失去相同性的程度的误差、变形的概念。例如，大致中央不限定于严格意义上中央的情况。另外，例如在仅表述为平行、正交等的情况下，不仅包括严格意义上平行、正交等的情况，也包括大致平行、大致正交等的情况。另外，在本实用新型中，“附近”是表示如下情况的概念：例如处于A的附近时，是指A的附近且可以包括A也可以不包括A。
附图标记说明：
1、2、3、4：曝光装置；
10：偏振光照射部；
11：光源；
12：光学构件；
13：反射镜；
14：框体；
20：驱动部；
21：工作台；
22：工作台导引轨；
23：工作台扫描轴；
30、30A、30B：保持部；
31：门型保持部；
31a：顶面部；
31b：柱；
32：旋转驱动部；
33：旋转轴；
34：导轨；
40：摄像部；
41：对准相机；
42：导轨；
50：机器人；
60：装置框；
100：曝光装置；
101：光源；
102：光源用框体；
103：偏振膜；
104：工作台；
105：相机；
106：装置框；
W：被曝光对象物。

Claims (7)

1.一种曝光装置，其特征在于，具备：
工作台，其载置曝光对象物；
光照射部，其设置为能够装卸棒状的光源，且设置于所述工作台的上方；以及
光源保持部，其在曝光时将所述光照射部配置为所述光源的长边方向与所述曝光对象物的扫描方向正交，且在更换所述光源时使所述光照射部从所述曝光时的位置旋转大致45度以上。
2.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，
所述工作台能够沿着所述扫描方向从第一位置向第二位置移动，
所述曝光装置具备移动单元，该移动单元在所述工作台位于所述第一位置或所述第二位置的情况下，使所述曝光对象物向所述工作台移动或使所述曝光对象物从所述工作台移动，
所述光照射部将所述光源保持为，在更换所述光源时能够向未设置有所述移动单元的一侧拔出所述光源。
3.根据权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，具备：
摄像部，其设置于所述工作台的上方；和
导轨，其使所述摄像部移动，且能够使所述摄像部移动至在所述光照射部旋转时所述光照射部与所述摄像部不发生干涉的位置。
4.根据权利要求2所述的曝光装置，其特征在于，具备：
摄像部，其设置于所述工作台的上方；和
导轨，其使所述摄像部移动，且能够使所述摄像部移动至在所述光照射部旋转时所述光照射部与所述摄像部不发生干涉的位置。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，
所述光源保持部的用于使所述光照射部旋转的旋转轴设置于所述光照射部的大致中央。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，
所述光源保持部的用于使所述光照射部旋转的旋转轴设置于所述光 照射部的长边方向的端部附近。
7.根据权利要求1至4中任一项所述的曝光装置，其特征在于，
所述光源保持部具有：
旋转轴，其用于使所述光照射部旋转；和
旋转轴移动部，其使所述旋转轴沿着与所述扫描方向正交的方向移动。
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