JP6118653B2

JP6118653B2 - 切削装置

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Publication number: JP6118653B2
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Description

本発明は、被加工物を切削する際に生じる端材等を処理する端材処理機構を有する切削装置に関する。

ＣＳＰ(Chip Size Package)基板やＱＦＮ(Quad Flat Non-leaded Package)基板と呼ばれるパッケージ基板は、その表面に形成された格子状の切削ストリートによって区画されたそれぞれの領域に半導体パッケージデバイスが形成されている。このように構成されるパッケージ基板は、切削装置を使用して切削ストリートに沿って切削することによって個々の半導体デバイスに分割され、携帯電話機やパソコンなどの各種電気機器に組み込まれて利用される。

切削装置には、被加工物（パッケージ基板）を保持するチャックテーブルと、被加工物を切削する切削手段と、切削ブレードに切削水を噴射するための切削水噴射手段とを少なくとも備えているものがある（下記の特許文献１を参照）。かかる切削装置では、パッケージ基板がチャックテーブルの上にセットされると、チャックテーブルが往復移動し、切削ブレードによってパッケージ基板の切削が遂行される。パッケージ基板の切削中は、切削水噴射手段が切削水を噴射して切削ブレード及びパッケージ基板を冷却する。このとき、切削ブレードの回転方向に、端材などを含む切削屑及び切削水が飛散する。例えば、切削ブレードをチャックテーブルの往動方向と同じ方向に回転させて切削するダウンカットの場合には、チャックテーブルの往動方向に切削屑及び切削水が飛散する。

また、パッケージ基板の切削時には、端材が生じるため、特許文献１に記載の切削装置には、端材や切削水を処理する端材処理装置が設けられている。この端材処理装置は、飛散した切削屑や切削水をチャックテーブルの往動方向の両側に設けられた溝形の受止搬送部材によって受け止めて端部に流下させ、端材搬送手段である無端ベルト上に落下させる。次いで、無端ベルトの移動によって端材を搬送し、端材回収容器内に落下させる。また、無端ベルトによって端材を金属板からなる受け止め部材で受け止めた後、受け止め部材上の端材をブラシ部材等の押圧部材によって押し出して端材回収容器内に落下させる構成も提案されている。さらには、端材回収容器内に回収された切削屑を乾燥させる乾燥手段を設けた切削装置も提案されている（下記の特許文献２を参照）。

特開２００２−２３９８８８号公報特開２００７−７５９６３号公報

しかしながら、上記のとおり、切削時には切削ブレードの高速回転に起因して切削屑及び切削水がチャックテーブルの往動方向に飛散し、また、切削水の一部が噴霧となってチャックテーブル往動方向に拡散するため、その拡散方向に位置する無端ベルトの駆動機構等の故障が多発するという問題がある。

本発明は、上記の事情にかんがみなされたものであり、駆動機構を使用せずに、切削屑を良好に回収できるようにすること発明の解決すべき課題を有している。

本発明は、被加工物を保持する第１のチャックテーブルを含む第１の保持機構と、該第１のチャックテーブルに隣接して配設された第２のチャックテーブルを含む第２の保持機構と、被加工物を切削する切削ブレードが装着される切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該第１の保持機構をＸ軸方向に加工送りする第１の加工送り手段と、該第２の保持機構をＸ軸方向に加工送りする第２の加工送り手段と、該切削手段を該Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、を備え、該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転にともない飛散する側を加工送り方向の下流側、該下流側の反対側を上流側とする切削装置であって、該第１の加工送り手段の上方に位置づけられ該第１の保持機構の加工送り方向への移動を許容する第１の開口部及び該第２の加工送り手段の上方に位置づけられ該第２の保持機構の加工送り方向への移動を許容する第２の開口部を有するウォーターケースと、該第１の保持機構の加工送り方向の下流側における該第１の開口部を覆うとともに該第１の加工送り手段を覆う一端が該第１の保持機構に固定され他端が自由端であり切削水及び切削屑を自由端側から流出させる第１の板状カバーと、該第２の保持機構の加工送り方向の下流側における該第２の開口部を覆うとともに該第２の加工送り手段を覆う一端が該第２の保持機構に固定され他端が自由端であり切削水及び切削屑を自由端側から流出させる第２の板状カバーと、該ウォーターケースの下流側に隣接して配設されかつ該第１の板状カバー及び該第２の板状カバーの該自由端側から流れてくる切削水及び切削屑を受け入れ、該第１の保持機構側から該第２の保持機構側へ切削水及び切削屑を案内する切削屑案内板と、該切削屑案内板によって案内され流入する切削水及び切削屑を受け入れ、少なくとも底部が網目形状に形成され切削屑を回収する切削屑回収ボックスとを備え、該切削屑案内板は、該第１の保持機構側から該第２の保持機構側へ順次低くなるように傾斜し、該第１の保持機構側の傾斜は該第２の保持機構側の傾斜よりも大きく形成されており、該第１の板状カバー及び該第２の板状カバーは、加工送り方向の中心に向かって両側から順次低くなるように傾斜し、かつ上流側から下流側である自由端に向かって順次低くなるように傾斜しており、切削水及び切削屑が該自由端側で流速を減速させずに該切削屑案内板に流入することを特徴とする。

本発明にかかる切削装置は、ウォーターケースの第１の保持機構及び第２の保持機構の加工送り方向下流側に第１の保持機構側から第２の保持機構側へ切削水及び切削屑を案内する切削屑案内板を備えるとともに、切削屑案内板によって案内され流入する切削水及び切削屑を受け入れ少なくとも底部が網目形状に形成され切削屑を回収する切削屑回収ボックスとを備えているため、ベルト等を利用した駆動機構が不要となり、切削屑や切削水の影響により駆動機構等が故障するという問題がない。
また、切削屑案内板は、第１の保持機構側の傾斜が第２の保持機構側の傾斜よりも大きく形成されているため、第１の板状カバーの自由端から流量の少ない切削水や切削屑が第１の保持機構側の切削屑案内板に流出されても、円滑に下方に流れる。
さらに、第２の保持機構側の切削屑案内板に流出した切削屑や切削水は、第１の保持機構側から流れてきた切削屑や切削水が加わって流量が多くなるため、切削屑や切削水が切削屑案内板の途中でとどまることがなく切削屑回収ボックスに流入される。したがって、駆動機構等を使用しなくても切削屑を良好に回収することができる。

本発明にかかる切削装置に備える第１の板状カバー及び第２の板状カバーは、第１の保持機構及び第２の保持機構の加工送り方向の中心に向かって両側が順次低くなるように傾斜しかつ上流側から下流側にかけて順次低く傾斜しているため、切削屑や切削水が第１の板状カバー及び第２の板状カバーのいずれの傾斜部分に落下しても第１の板状カバー及び第２の板状カバーの自由端側で減速させることなく、切削屑及び切削水を切削屑案内板に流出させることができる。

切削装置の構成を示す斜視図である。ウォーターケース及び第１の板状カバーの構造を示す分解斜視図である。ウォーターケース、第１の加工送り手段及び第１の板状カバーの構造を正面側から見た断面図である。第１の板状カバーが第１の保持機構４ａに固定され第２の板状カバーが第２の保持機構４ｂに固定された状態を示す斜視図である。ウォーターケースに隣接して配設された切削屑案内板と切削屑回収ボックスの構成を側面側から見た断面図である。

図１に示す切削装置１は、基台２を有しており、基台２の上部において門型のコラム３が立設されている。基台２の上部には、被加工物を保持する第１の保持機構４ａと、第１の保持機構４ａをＸ軸方向に加工送りする第１の加工送り手段１０ａとを備えている。また、第１の保持機構４ａに隣接して第２の保持機構４ｂと、第２の保持機構４ｂをＸ軸方向に加工送りする第２の加工送り手段１０ｂとを備えている。

第１の保持機構４ａは、被加工物を保持する第１のチャックテーブル５と、被加工物の個々のデバイスに応じた吸引口を複数備える治具６とを少なくとも有し、治具６が第１のチャックテーブル５の上面に固定された構成となっている。なお、第２の保持機構４ｂも第１の保持機構４ａと同様に、第２のチャックテーブル７と、治具８とを少なくとも有し、治具８が第２のチャックテーブル７の上面に載置された構成となっている。

第１の加工送り手段１０ａは、Ｘ軸方向にのびるボールネジ１１と、ボールネジの一端に接続されたモータ１２と、ボールネジ１１と平行にのびる一対のガイドレール１３と、第１のチャックテーブル５を下方から支持する移動台１４とにより少なくとも構成されている。移動台１４の下部には一対のガイドレール１３が摺接し、移動台１４の中央部に形成されたナットにボールネジ１１が螺合している。そして、モータ１２によって駆動されてボールネジ１１が回動すると、移動台１４とともに第１の保持機構４ａをＸ軸方向に移動させることができる。なお、第２の加工送り手段１０ｂも、第１の加工送り手段１０ａと同様の構成となっている。

切削装置１には、第１のチャックテーブル５に保持された被加工物に対して切削を行う第１の切削手段２０ａと、第２のチャックテーブル７に保持された被加工物に対して切削を行う第２の切削手段２０ｂとが配設されている。第１の切削手段２０ａは、Ｙ軸方向の軸心を有するスピンドル２１と、スピンドル２１の先端に装着され被加工物を切削する切削ブレード２２と、切削ブレード２２に切削水を供給する切削水供給手段２３とを少なくとも備えている。なお、第２の切削手段２０ｂについても第１の切削手段２０ａと同様の構成となっており、第１の切削手段２０ａを構成する切削ブレード２２と第２の切削手段２０ｂを構成する切削ブレード２２とがＹ軸方向に対面している。

門型のコラム３には、第１の切削手段２０ａをＸ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りする第１の割り出し送り手段３０ａと、第２の切削手段２０ｂをＸ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りする第２の割り出し送り手段３０ｂとを備えている。第１の割り出し送り手段３０ａ及び第２の割り出し送り手段３０ｂは、それぞれＹ軸方向にのびるボールネジ３１と、それぞれのボールネジ３１に接続されたモータ３２と、ボールネジ３１と平行にのびるガイドレール３３と、第１の切削手段２０ａ及び第２の切削手段２０ｂをそれぞれＹ軸方向に移動させる移動板３４と、を備えている。移動台３４の側部には一対のガイドレール３３が摺接し、移動台３４の中央部に形成されたナットにボールネジ３１が螺合しており、モータ３２によって駆動されてボールネジ３１が回動すると、移動台３４とともに第１の切削手段２０ａ及び第２の切削手段２０ｂをＹ軸方向に移動させることができる。また、第１の割り出し送り手段３０ａを構成する移動台３４には、第１の切削手段２０ａをＺ軸方向に昇降させる第１の昇降手段４０ａが連結され、第２の割り出し送り手段３０ｂを構成する移動台３４には、第２の切削手段２０ｂをＺ軸方向に昇降させる第２の昇降手段４０ｂが連結されている。

切削装置１は、図２及び図３に示すように、被加工物の切削時に使用される切削水や切削時に発生する切削屑を受け止めるウォーターケース５０を備えている。ウォーターケース５０は、図１においては図示を省略しているが、第１の加工送り手段１０ａ及び第２の加工送り手段１０ｂの全体を覆うように第１の加工送り手段１０ａ及び第２の加工送り手段１０ｂの上方に配設されている。ウォーターケース５０の上面は、図１に示した切削水供給手段２３から噴出され落下してきた切削水が流れる第１の底部５１となっている。また、ウォーターケース５０は、第１の加工送り手段１０ａによる第１の保持機構４ａの加工送り方向（Ｘ軸方向）の移動を許容する第１の開口部５２ａ及び第２の加工送り手段１０ｂによる第２の保持機構４ｂの加工送り方向（Ｘ軸方向）の移動を許容する第２の開口部５２ｂを有している。

図２に示すように、第１の底部５１には、第１の開口部５２ａ及び第２の開口部５２ｂに水が浸入することを防止するための立ち上がり部５４を有する枠体５３が配設されている。また、第１の底部５１には、Ｘ軸方向にのびる一対のレール５５が枠体５３の側部を挟むようにして敷設されている。このレール５５より外側の底部は、第２の底部５６となっている。この第２の底部５６に落下してきた切削水や切削屑などは、例えば噴出水９を流すことによって押し流すことができる。

切削装置１は、図２及び図３に示すように、切削水や切削屑などを第１の保持機構４ａの加工送り方向（Ｘ軸方向）の下流側に流出させる第１の板状カバー６０ａを備えている。ここで、下流側とは、切削時に切削ブレード２２に供給された切削水が切削ブレード２２の回転にともない飛散する側を指す。また、下流側と反対側に向く方向が上流側となっている。

図２に示すように、第１の板状カバー６０ａは、加工送り方向（Ｘ軸方向）の中心に向かって順次低く傾斜した第１の面６３及び第２の面６４と、第１の面６３と第２の面６４との間に形成された中央傾斜面６５とを有する。中央傾斜面６５は、上流側から下流側にかけて順次低く傾斜している。

第１の板状カバー６０ａの内側には、ウォーターケース５０に敷設された一対のレール５５と対面し、Ｘ軸方向にのびる一対のレール６６が形成されている。このレール６６は、レール５５と摺動可能となっている。

図２に示すように、第１の板状カバー６０ａは、自由端６２においてブラシ６７を有する構成としてもよい。このブラシ６７は、ウォーターケース５０の第１の底部５１に落下した切削屑等を下流側に掃き出すことができる。

第１の板状カバー６０ａは、図３に示すように、その一端６１を第１の保持機構４ａに固定することできる。また、下流側における第１の板状カバー６０ａの他端は、機構等に固定されない自由端６２となっている。このように構成される第１の板状カバー６０ａで下流側における第１の開口部５２ａを覆うとともに、第１の加工送り手段１０ａを覆うようにして配設して使用することができる。第１の板状カバー６０ａは、第１の板状カバー６０ａにおいて上流側から下流側にむけて流れてきた切削水及び切削屑を自由端６２側から流出させる。

図４に示すように、切削水や切削屑などを第２の保持機構４ｂの加工送り方向（Ｘ軸方向）の下流側に流出させる第２の板状カバー６０ｂが第１の板状カバー６０ａと平行に配設されている。なお、第２の板状カバー６０ｂは、第１の板状カバー６０ａと同様の構成となっている。

図３及び図４に示すように、第１の保持機構４ａの加工送り方向（Ｘ軸方向）の上流側における第１の開口部５２ａを覆うとともに、第１の加工送り手段１０ａの上方を覆うようにして第１の蛇腹カバー７０ａが配設されている。また、第２の保持機構４ｂの加工送り方向（Ｘ軸方向）の上流側における第２の開口部５２ｂを覆うとともに、第２の加工送り手段１０ｂの上方を覆うようにして第２の蛇腹カバー７０ｂが第１の蛇腹カバー７０ａと平行に配設されている。

図４に示すように、切削水や切削屑などを受け止める第１の端材受け部８０ａが第１の保持機構４ａの第１のチャックテーブル５を囲繞するように配設されている。第１の端材受け部８０ａは、加工送り方向下流側に向けて開口する開口部８１を有し、開口部８１を介して第１の板状カバー６０ａの中央傾斜面６５に連通した構成となっている。また、第２の保持機構４の第２のチャックテーブル７を囲繞するように第２の端材受け部８０ｂが配設されており、同様に、第２の端材受け部８０ｂは、加工送り方向下流側に向けて開口する開口部８１を有し、開口部８１を介して第２の板状カバー６０ｂの中央傾斜面６５に連通した構成となっている。

第１の板状カバー６０ａ及び第２の板状カバー６０ｂの自由端６２よりもさらに加工送り方向下流側には、ウォーターケース５０の下流側に隣接して切削屑案内板９０を備えている。図５に示すように、切削屑案内板９０は、第１の保持機構４ａ側から第２の保持機構４ｂ側にかけて順次低くなるように傾斜しており、第１の板状カバー６０ａの前部に位置する第１の傾斜面９１と、第２の板状カバー６０ｂの前部に位置する第２の傾斜面９２とにより構成されている。第１の傾斜面９１の傾斜は、第２の傾斜面９２の傾斜よりも大きくなっている。

切削屑案内板９０の下端には、上下動可能な切削屑回収ボックス１００を備えており、切削屑回収ボックス１００は、ボックス載置部１１０の内部に載置されている。切削屑回収ボックス１００は、少なくとも底部が網目状に形成された網目部１０１を有し、切削屑が網目部１０１に引っかかるようにしている。ボックス載置部１１０の内部には、スロープ１１１が形成されており、切削屑回収ボックス１００がスロープ１１１に接触することによって切削屑回収ボックス１００をボックス載置部１１０に入れやすくしている。ボックス載置部１１０の下部には、排出口１１２が形成されており、網目部１０１を通過してきた切削水を外部に排出できる。

次に、切削装置１の動作例について説明する。切削装置１において、２つの切削ブレード２２は常に回転しており、２つの切削水供給手段２３からは常に切削水が噴出している。図１に示すパッケージ基板Ｐは、被加工物の一例であって、例えばＣＳＰ基板やＱＦＮ基板である。パッケージ基板Ｐは、その表面において格子状に設けられた切削予定ラインＳによって区画されて複数の領域が形成され、個々の領域にデバイスＤが形成されている。パッケージ基板Ｐには、複数のデバイスＤが形成されたデバイス部Ｆが２つ形成され、デバイス部Ｆの外側に余剰連結部材Ｃが形成されており、デバイス部Ｆを個々のデバイスＤに分割する前にあらかじめ余剰連結部材Ｃが切り離される。このパッケージ基板Ｐは第１の保持機構４ａ及び第２の保持機構４ｂにそれぞれ搬送される。なお、第１の保持機構４ａと第２の保持機構４ｂとが同様に動作する場合については第１の保持機構４ａ側の説明をするものとする。

図１に示すように、第１のチャックテーブル５に載置された治具６においてパッケージ基板Ｐを吸引保持した後、第１の加工送り手段１０ａの移動台１４をＸ軸方向に移動させるとともに、第１の切削手段２０ａを構成するスピンドル２１が回転して切削ブレード２２を回転させながら、第１の昇降手段４０ａにより切削ブレード２２をパッケージ基板Ｐに接触するまで下降させる。そして、回転する２つの切削ブレード２２によって最初にデバイス部Ｆと余剰連結部材Ｃとの境界が２本切削される。その後、第１の割り出し送り手段３０ａがボールネジ３１を回動することにより、ガイド板３４とともに切削ブレード２２をＹ軸方向に割り出し送りし、同じようにしてデバイス部Ｆと余剰連結部材Ｃとの境界の他の２本を切削する。また、第１のチャックテーブル５を９０度回転させた後、同様に、デバイスＤと余剰連結部材Ｃとの２本の境界が切削され、余剰連結部材Ｃが除去される。その後、Ｘ軸方向に向くすべての切削予定ラインＳに沿って切削を行う。次いで、第１のチャックテーブル５を９０度回転することにより、Ｙ軸方向に向いていた切削予定ラインＳをＸ軸方向に向かせ、上記同様の動作を繰り返し行い、切削ブレード２２によってＸ軸方向に向くすべての切削予定ラインＳに沿って切削し、デバイス部Ｆを個々のデバイスＤに分割する。第１の切削手段２ａが第１の保持機構４ａに搬送され保持されたパッケージ基板Ｐを加工するのと並行して、同様に、第２の切削手段２ｂが第２の保持機構４ｂに搬送され保持されたパッケージ基板Ｐの加工も行う。

パッケージ基板Ｐの切削中は、第１の切削手段２０ａ及び第２の切削手段２０ｂでは、常に切削水供給手段２３によって切削ブレード２２に向けて切削水を供給する。図３に示すように、第１の切削手段２０ａ及び第２の切削手段２０ｂを構成する切削ブレード２２が例えば、矢印Ａ方向に回転しながら、パッケージ基板Ｐを切削すると、切削水とともに切削屑が切削ブレード２２の回転にともない下流側に飛散し、ウォーターケース５０や図４に示した端材受け部８０ａに落下する。なお、切削屑には、例えばパッケージ基板の切り屑、余剰連結部材Ｃの端材、ボンド材などの結合材料及び砥石から脱落した砥粒などが含まれる。

図２に示したウォーターケース５０の第１の底部５１に切削屑や切削水が落下した場合には、第１の保持機構４ａが加工送り方向下流側に移動するのにともない、ブラシ部６７によって、切削屑案内板９０に向けて切削屑や切削水を掃き出すことができる。また、ウォーターケース５０の第２の底部５６に切削屑や切削水が落下した場合には、例えば、噴出水９を第２の底部５６に流すことによって、切削屑案内板９０に向けて切削屑や切削水を押し流すことができる。

一方、図４に示した端材受け部８０ａに切削屑や切削水が落下すると、切削屑や切削水は端材受け部８０ａの開口部８１から第１の板状カバー６０ａの中央傾斜面６５に流れていき、自由端６２側で減速することなく切削屑案内板９０に流出される。

また、図５に示した第１の板状カバー６０ａの第１の面６３もしくは第２の面６４に切削屑や切削水が落下したとしても、第１の面６３と第２の面６４とは互いに第１の保持機構４ａの加工送り方向（Ｘ軸方向）の中心に向かって（中央傾斜面６５に向かって）傾斜しており、中央傾斜面６５は上流側から下流側である自由端に向かって順次低くなるように傾斜しているため、切削屑や切削水が自由端６２側で減速することなく切削屑案内板９０に流出される。

次に、切削屑案内板９０の第１の傾斜面９１に切削屑や切削水が落下すると、その切削屑等は、第２の傾斜面９２を通って切削屑回収ボックス１００に向けて流れていく。また、切削屑案内板９０の第２の傾斜面９２に切削屑や切削水が落下すると、第１の傾斜面９１は第２の傾斜面９２よりも傾斜が大きいため、第１の傾斜面９１から流れてきた切削屑や切削水が加わって流量が多くなり、切削屑や切削水の流速が減速することなく下方にむけて流れていき切削屑回収ボックス１００に流れ込む。

切削屑回収ボックス１００に切削屑及び切削水が流れ込むと、網目部１０１で切削屑が引っかかって切削水のみが排出口１１２から排出される。このようにして切削屑のみを切削屑回収ボックス１００で回収し、切削屑回収ボックス１００に切削屑が所定量溜まった時点で、作業者が切削屑回収ボックス１００をボックス載置部１１０から引き上げて切削屑を廃棄処理する。このようにして切削装置１による一連の加工動作が終了する。

以上のとおり、切削装置１は、第１の保持機構４ａ及び第２の保持機構４ｂの加工送り方向（Ｘ軸方向）の下流側におけるウォーターケース５０に隣接した位置に駆動機構等ではなく、切削屑案内板９０を備え、切削屑案内板９０によって切削屑を回収するため、従来のようなベルト等を利用した駆動機構が不要となり、切削屑や切削水の影響により駆動機構等が故障するという問題がない。
また、切削屑案内板９０は、第１の保持機構４ａ側の第１の傾斜面９１が第２の保持機構４ｂ側の第２の傾斜面９２よりも傾斜が大きく形成されているため、第１の板状カバー６０ａの自由端６２から流量の少ない切削水や切削屑が流出されても、円滑に下方に流れる。さらに、第２の傾斜面９２に落下した切削屑や切削水は、第１の傾斜面９１から流れてきた切削屑や切削水が加わって流量が多くなるため、切削屑や切削水が切削屑案内板９０の途中でとどまることがなく、切削屑回収ボックス１００に流入される。したがって、駆動機構等を使用しなくても、切削屑を確実に回収することができる。

また、切削装置１に備える第１の板状カバー６０ａ及び第２の板状カバー６０ｂは、第１の保持機構４ａ及び第２の保持機構４ｂの加工送り方向（Ｘ軸方向）の中心に向かって両側の面である第１の面６３と第２の面６４とが順次低くなるように傾斜しており、第１の面６３と第２の面６４との間の中央傾斜面６５が上流側から下流側にかけて順次低く傾斜しているため、切削屑や切削水が第１の板状カバー６０ａ及び第２の板状カバー６０ｂのいずれの面に落下しても自由端６２側で減速させることなく、切削屑及び切削水を切削屑案内板９０に流出させることができる。

なお、上記実施形態の切削装置１では、切削手段を２つ備えた構成としたが、切削手段は１つでもよいし、３つ以上備えていてもよい。

１：切削装置２：基台３：コラム４ａ：第１の保持機構
４ｂ：第２の保持機構５：第１のチャックテーブル６：治具
７：第２のチャックテーブル８：治具９：噴出水
１０ａ：第１の加工送り手段１０ｂ：第２の加工送り手段１１：ボールネジ
１２：モータ１３：ガイドレール１４：移動台
２０ａ：第１の切削手段２０ｂ：第２の切削手段２１：スピンドル
２２：切削ブレード２３：切削水供給手段
３０ａ：第１の割り出し送り手段３０ｂ：第２の割り出し送り手段
３１：ボールネジ３２：モータ３３：ガイドレール３４：ガイド板
４０ａ：第１の昇降手段４０ｂ：第２の昇降手段
５０：ウォーターケース５１：第１の底部５２ａ：第１の開口部
５２ｂ：第２の開口部５３：枠体５４：立ち上がり部５５：レール
５６：第２の底部
６０ａ：第１の板状カバー６０ｂ：第２の板状カバー６１：一端６２：自由端
６３：第１の面６４：第２の面６５：中央傾斜面６６：レール
６７：ブラシ７０ａ：第１の蛇腹カバー７０ｂ：第２の蛇腹カバー
８０ａ，８０ｂ：端材受け部
９０：切削屑案内板９１：第１の傾斜面９２：第２の傾斜面
１００：切削屑回収ボックス１０１：網目部
１１０：ボックス載置部１１１：スロープ１１２：排出口

Claims

被加工物を保持する第１のチャックテーブルを含む第１の保持機構と、該第１のチャックテーブルに隣接して配設された第２のチャックテーブルを含む第２の保持機構と、被加工物を切削する切削ブレードが装着される切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該第１の保持機構をＸ軸方向に加工送りする第１の加工送り手段と、該第２の保持機構をＸ軸方向に加工送りする第２の加工送り手段と、該切削手段を該Ｘ軸方向と直交するＹ軸方向に割り出し送りする割り出し送り手段と、を備え、該切削ブレードに供給された切削水が該切削ブレードの回転にともない飛散する側を加工送り方向の下流側、該下流側の反対側を上流側とする切削装置であって、
該第１の加工送り手段の上方に位置づけられ該第１の保持機構の加工送り方向への移動を許容する第１の開口部及び該第２の加工送り手段の上方に位置づけられ該第２の保持機構の加工送り方向への移動を許容する第２の開口部を有するウォーターケースと、
該第１の保持機構の加工送り方向の下流側における該第１の開口部を覆うとともに該第１の加工送り手段を覆う一端が該第１の保持機構に固定され他端が自由端であり切削水及び切削屑を自由端側から流出させる第１の板状カバーと、
該第２の保持機構の加工送り方向の下流側における該第２の開口部を覆うとともに該第２の加工送り手段を覆う一端が該第２の保持機構に固定され他端が自由端であり切削水及び切削屑を自由端側から流出させる第２の板状カバーと、
該ウォーターケースの下流側に隣接して配設されかつ該第１の板状カバー及び該第２の板状カバーの該自由端側から流れてくる切削水及び切削屑を受け入れ、該第１の保持機構側から該第２の保持機構側へ切削水及び切削屑を案内する切削屑案内板と、
該切削屑案内板によって案内され流入する切削水及び切削屑を受け入れ、少なくとも底部が網目形状に形成され切削屑を回収する切削屑回収ボックスとを備え、
該切削屑案内板は、該第１の保持機構側から該第２の保持機構側へ順次低くなるように傾斜し、該第１の保持機構側の傾斜は該第２の保持機構側の傾斜よりも大きく形成されており、
該第１の板状カバー及び該第２の板状カバーは、加工送り方向の中心に向かって両側から順次低くなるように傾斜しかつ上流側から下流側である自由端に向かって順次低くなるように傾斜しており、切削水及び切削屑が該自由端側で流速を減速させずに該切削屑案内板に流入することを特徴とする切削装置。