JP6440309B2 - 切削装置 - Google Patents
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Description
13a:第一の搬送手段 13b:第二の搬送手段 15:洗浄手段
17:アライメント手段 170:撮像手段 18:表示手段
2:切削水供給手段 20:切削水ノズル
30:チャックテーブル
30a:保持面 30b:底面 300:逃げ溝 301:吸引孔 33:回転手段
4:カバー
40:ウォータカバー 40a:上盤 40b:側板
42:蛇腹カバー
43a:蛇腹カバー 43b:蛇腹カバー
44a:取り付けプレート 44b:取り付けプレート
45a:固定プレート 45b:固定プレート 46a:表面部 46b:表面部
47a:垂下部 47b:垂下部 48a:ローラー 48b:ローラー
49a:ガイドプレート 49b:ガイドプレート
5:切削送り手段
50:ボールネジ 51:ガイドレール 52:モータ 53:可動板
6:切削手段 61:スピンドル 62:切削ブレード
7:ウォータケース 70:底板 71:開口部 72:内側壁 73:外側壁
74:桶部 75:排水口 76:排水管 76a:管端 76b:管端
8:流動ノズル 80:噴射口 81:流入口
9:循環システム
90:タンク 90a:タンク上面 90b:タンク側面
91:循環ポンプ 91a:循環ポンプ上面 91b:循環ポンプ側面
92:送水管 92a:管端 92b:管端
93:配管 93a:管端 93b:管端
94:切削屑排出ポンプ
94a:切削屑排出ポンプ上面 94b:切削屑排出ポンプ側面
95:配管 95a:管端 95b:管端
96:配管 96a:管端 96b:管端
97:端材受け止め部 97a:ざる部 97b:引っ掛け部
98:配管 98a:管端 98b:管端
W:パッケージ基板 Wa:パッケージ基板上面 W1:矩形領域 W2:外周部分
S:ストリート
A:着脱領域 B:切削領域
C:切削屑 M:端材 F:使用済切削水 L:沈殿層
Claims (2)
- パッケージ基板を保持する保持面を有するチャックテーブルと、該チャックテーブルが保持するパッケージ基板を切削ブレードで切削加工する切削手段と、該切削ブレードに切削水を供給する切削水供給手段と、該チャックテーブルの該保持面以外を囲繞し該切削水を流下させるカバーと、該カバーから流下する該切削水と該切削手段によるパッケージ基板の切削で生成され該切削水に混入される切削屑とパッケージ基板の外周部分が切削されて形成された端材とを受け止めて排水する排水口を有するウォータケースと、を備える切削装置であって、
該排水口に向って水を噴射させ該ウォータケースで受け止めた少なくとも該端材を該排水口に流動させる流動ノズルと、該流動ノズルから噴射する水を循環させる循環システムとを含み、
該循環システムは、
該切削屑と該端材とを含み該排水口から排水される使用済切削水を貯水するタンクと、少なくとも該端材を取り除いた該使用済切削水を汲み上げ該流動ノズルに供給する循環ポンプと、該循環ポンプで汲み上げられた該使用済切削水を該流動ノズルに送水する送水管とを備える切削装置。 - 前記タンクには、前記端材を受け止める端材受け止め部を備えた請求項1記載の切削装置。
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