JP6118130B2 - 磁気記録媒体の製造方法及び装置 - Google Patents
磁気記録媒体の製造方法及び装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6118130B2 JP6118130B2 JP2013034928A JP2013034928A JP6118130B2 JP 6118130 B2 JP6118130 B2 JP 6118130B2 JP 2013034928 A JP2013034928 A JP 2013034928A JP 2013034928 A JP2013034928 A JP 2013034928A JP 6118130 B2 JP6118130 B2 JP 6118130B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- protective layer
- magnetic recording
- recording medium
- forming
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 80
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 31
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 235
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 110
- 230000001050 lubricating effect Effects 0.000 claims description 80
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 51
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 35
- 238000002347 injection Methods 0.000 claims description 21
- 239000007924 injection Substances 0.000 claims description 21
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 claims description 18
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 claims description 18
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 11
- MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N Dioxygen Chemical compound O=O MYMOFIZGZYHOMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 229910001882 dioxygen Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims description 7
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 claims description 5
- 230000001590 oxidative effect Effects 0.000 claims description 4
- 239000012808 vapor phase Substances 0.000 claims description 3
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims description 2
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 81
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 74
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 18
- 238000011068 loading method Methods 0.000 description 16
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 14
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 14
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 14
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 11
- 238000010884 ion-beam technique Methods 0.000 description 11
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 10
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 9
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 8
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 7
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 7
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 7
- 238000002835 absorbance Methods 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 6
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 6
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 6
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 6
- VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)-N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)C(=O)NCCC(N1CC2=C(CC1)NN=N2)=O VZSRBBMJRBPUNF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 5
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 5
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 5
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 238000002513 implantation Methods 0.000 description 4
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 4
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 4
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 4
- 125000006850 spacer group Chemical group 0.000 description 4
- HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 1-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)C(CN1CC2=C(CC1)NN=N2)=O HMUNWXXNJPVALC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 2-[4-[2-(2,3-dihydro-1H-inden-2-ylamino)pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethanone Chemical compound C1C(CC2=CC=CC=C12)NC1=NC=C(C=N1)N1CCN(CC1)CC(=O)N1CC2=C(CC1)NN=N2 WZFUQSJFWNHZHM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 3
- 230000008859 change Effects 0.000 description 3
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 3
- NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N fluoromethane Chemical compound FC NBVXSUQYWXRMNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 3
- 229910052755 nonmetal Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- OHVLMTFVQDZYHP-UHFFFAOYSA-N 1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-2-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)C(CN1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)=O OHVLMTFVQDZYHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]ethanone Chemical compound C1CN(CC2=NNN=C21)CC(=O)N3CCN(CC3)C4=CN=C(N=C4)NCC5=CC(=CC=C5)OC(F)(F)F LDXJRKWFNNFDSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)-1-[4-[2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidin-5-yl]piperazin-1-yl]propan-1-one Chemical compound N1N=NC=2CN(CCC=21)CCC(=O)N1CCN(CC1)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F YLZOPXRUQYQQID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MKYBYDHXWVHEJW-UHFFFAOYSA-N N-[1-oxo-1-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propan-2-yl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(C(C)NC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 MKYBYDHXWVHEJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N N-[2-oxo-2-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)ethyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 NIPNSKYNPDTRPC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N N-[3-oxo-3-(2,4,6,7-tetrahydrotriazolo[4,5-c]pyridin-5-yl)propyl]-2-[[3-(trifluoromethoxy)phenyl]methylamino]pyrimidine-5-carboxamide Chemical compound O=C(CCNC(=O)C=1C=NC(=NC=1)NCC1=CC(=CC=C1)OC(F)(F)F)N1CC2=C(CC1)NN=N2 AFCARXCZXQIEQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 2
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 2
- VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N methane Chemical compound C VNWKTOKETHGBQD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052754 neon Inorganic materials 0.000 description 2
- GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N neon atom Chemical compound [Ne] GKAOGPIIYCISHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 2
- 229910052707 ruthenium Inorganic materials 0.000 description 2
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 2
- RIQRGMUSBYGDBL-UHFFFAOYSA-N 1,1,1,2,2,3,4,5,5,5-decafluoropentane Chemical compound FC(F)(F)C(F)C(F)C(F)(F)C(F)(F)F RIQRGMUSBYGDBL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- -1 For example Substances 0.000 description 1
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N Lithium Chemical compound [Li] WHXSMMKQMYFTQS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001069 Ti alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005354 aluminosilicate glass Substances 0.000 description 1
- 150000001412 amines Chemical group 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N chloro(fluoro)methane Chemical compound F[C]Cl KYKAJFCTULSVSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 238000005137 deposition process Methods 0.000 description 1
- 238000003795 desorption Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 1
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical class [H]* 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- 229910052744 lithium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052702 rhenium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 230000009466 transformation Effects 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B5/00—Recording by magnetisation or demagnetisation of a record carrier; Reproducing by magnetic means; Record carriers therefor
- G11B5/84—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers
- G11B5/8408—Processes or apparatus specially adapted for manufacturing record carriers protecting the magnetic layer
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01F—MAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
- H01F41/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties
- H01F41/14—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates
- H01F41/30—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE]
- H01F41/302—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE] for applying spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices
- H01F41/308—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing or assembling magnets, inductances or transformers; Apparatus or processes specially adapted for manufacturing materials characterised by their magnetic properties for applying magnetic films to substrates for applying nanostructures, e.g. by molecular beam epitaxy [MBE] for applying spin-exchange-coupled multilayers, e.g. nanostructured superlattices lift-off processes, e.g. ion milling, for trimming or patterning
Description
成膜装置101への基板の搬入は、以下のステップs1〜s9を含む処理で実現できる。
成膜装置101からの被積層体の搬出とベーパールブ成膜装置102への被積層体の搬入は、以下のステップs11〜s18を含む処理で実現できる。
図1の製造装置を用いて磁気記録媒体を製造した。先ず、洗浄済みのガラス基板(コニカミノルタ社製、外形2.5インチ)を、図1に示す製造装置のエアロックチャンバ12に収容し、その後、真空ロボット111を用いてキャリア925に載置し、この基板表面に積層膜を形成した。なお、成膜チャンバ内の到達真空度(ベースプレッシャ)は1×10−5Paであった。
実施例1−1では、図2に示す注入装置を用いて潤滑層形成前の保護層への窒素原子を注入した。イオンビームは、窒素ガス40sccm、ネオンガス20sccmの混合ガスを用いて発生させた。イオンの量は、5.5×1015原子/cm2、正電極の電圧を+1500V、負電極の電圧を−1500Vとし、窒素原子(イオン)の照射時間を10秒、保護層への注入深さを1.5nmとした。
実施例1−2では、上記実施例1−1と同様の条件下で、窒素原子の照射時間を8秒とした。
実施例1−3では、上記実施例1−1と同様の条件下で、窒素原子の照射時間を6秒とした。
実施例1−4では、上記実施例1−1と同様の条件下で、窒素原子の照射時間を4秒とした。
実施例2−1では、図2に示す注入装置を用いて潤滑層形成前の保護層への酸素原子を注入した。イオンビームは、酸素ガス40sccm、ネオンガス20sccmの混合ガスを用いて発生させた。イオンの量は、5.5×1015原子/cm2、正電極の電圧を+1500V、負電極の電圧を−1500Vとし、酸素原子(イオン)の照射時間を10秒、保護層への注入深さを1.5nmとした。
実施例2−2では、上記実施例2−1と同様の条件下で、酸素原子の照射時間を8秒とした。
実施例2−3では、上記実施例2−1と同様の条件下で、酸素原子の照射時間を6秒とした。
実施例2−4では、上記実施例2−1と同様の条件下で、酸素原子の照射時間を4秒とした。
実施例3−1では、保護層の成膜後期に保護層を窒化した。具体的には、イオンビーム法により、処理チャンバ918,919内で炭素保護層を2.5nmの膜厚で成膜し、処理チャンバ919における3秒間の成膜時間のうち終わりの1秒間に、窒素ガスを2sccmのガス流量で流した。
実施例3−2では、上記実施例3−1と同様の条件下で、窒素ガスを1sccmのガス流量流した。
実施例4−1では、保護層の成膜後期に保護層を酸化した。具体的には、イオンビーム法により、処理チャンバ918,919内で炭素保護層を2.5nmの膜厚で成膜し、処理チャンバ919の3秒間の成膜時間のうち終わりの1秒間に、酸素ガスを2sccmmpガス流量で流した。
実施例4−2では、上記実施例4−1と同様の条件下で、酸素ガスを1sccmのガス流量流した。
比較例1では、実施例1―1〜1−4の如き窒素の注入、或いは、実施例2−1〜2−4の如き酸素の注入を行わずに、保護層の形成後に大気に暴露することなく潤滑層を形成した。
比較例2では、保護層の形成後に大気に暴露し、その後、潤滑層を形成した。
100 基板
101 成膜装置
110 密着層
111,112,940,942,946 ロボット
120 軟磁性下地層
130 配向制御層
140 非磁性下地層
150 垂直記録層
160 保護層
170 潤滑層
903 基板装脱着用チャンバ
904,907,914,917 コーナーチャンバ
905,906,908〜913,915,916,918〜920 処理チャンバ
921 予備チャンバ
G,G1〜G10 ゲートバルブ
Claims (8)
- 被積層体上に、磁気記録層、保護層、潤滑層をこの順で形成する磁気記録媒体の製造方法であって、
前記保護層を形成した後の前記被積層体を大気に触れさせることなく前記潤滑層をベーパールブ成膜方法で形成し、
前記保護層の形成後で前記潤滑層を形成前の前記保護層の表面に窒素原子または酸素原子を注入することで、前記保護層と前記潤滑層とのボンデッド率を注入前より低下させ、注入後のボンデッド率を60%〜99%の範囲内で制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 被積層体上に、磁気記録層、保護層、潤滑層をこの順で形成する磁気記録媒体の製造方法であって、
前記保護層を形成した後の前記被積層体を大気に触れさせることなく前記潤滑層をベーパールブ成膜方法で形成し、
前記保護層の形成後で前記潤滑層を形成前の前記保護層の表面を窒化または酸化することで、前記保護層と前記潤滑層とのボンデッド率を注入前より低下させ、注入後のボンデッド率を60%〜99%の範囲内に制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 前記注入後のボンデッド率を87%〜97%の範囲内に制御することを特徴とする、請求項1又は2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 前記保護層の表面の窒化または酸化を、前記保護層の成膜プロセスの後期に反応容器内に窒素ガスまたは酸素ガスを導入することで行うことを特徴とする請求項2に記載の磁気記録媒体の製造方法。
- 被積層体上に、磁気記録層及び保護層をこの順で形成する成膜装置と、
前記保護層を形成した後の前記被積層体を大気に触れさせることなく潤滑層をベーパールブ成膜方法で形成するベーパールブ成膜装置と、
前記保護層の形成後で前記潤滑層を形成前の前記保護層の表面に窒素原子または酸素原子を注入する注入装置
を備え、
前記注入装置は、前記保護層の表面への窒素原子または酸素原子の注入によって、前記保護層と前記潤滑層とのボンデッド率を注入前より低下させ、注入後のボンデッド率を60%〜99%の範囲内に制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 被積層体上に、磁気記録層及び保護層をこの順で形成する成膜装置と、
前記保護層を形成した後の前記被積層体を大気に触れさせることなく潤滑層をベーパールブ成膜方法で形成するベーパールブ成膜装置
を備え、
前記成膜装置は、反応容器内で、前記保護層の形成後で前記潤滑層を形成前の前記保護層の表面を窒化または酸化し、前記保護層の表面の窒化または酸化によって、前記保護層と前記潤滑層とのボンデッド率を注入前より低下させ、注入後のボンデッド率を60%〜99%の範囲内に制御することを特徴とする磁気記録媒体の製造装置。 - 前記成膜装置は、前記注入後のボンデッド率を87%〜97%の範囲内に制御することを特徴とする、請求項5又は6に記載の磁気記録媒体の製造装置。
- 前記成膜装置は、前記保護層の表面の窒化または酸化を、前記保護層の成膜プロセスの後期に前記反応容器内に窒素ガスまたは酸素ガスを導入することで行うことを特徴とする請求項6に記載の磁気記録媒体の製造装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013034928A JP6118130B2 (ja) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 |
US14/171,937 US9646643B2 (en) | 2013-02-25 | 2014-02-04 | Magnetic recording medium fabrication method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013034928A JP6118130B2 (ja) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014164782A JP2014164782A (ja) | 2014-09-08 |
JP6118130B2 true JP6118130B2 (ja) | 2017-04-19 |
Family
ID=51388421
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013034928A Active JP6118130B2 (ja) | 2013-02-25 | 2013-02-25 | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9646643B2 (ja) |
JP (1) | JP6118130B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5578215B2 (ja) * | 2012-09-14 | 2014-08-27 | 富士電機株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
Family Cites Families (41)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4671999A (en) | 1983-09-19 | 1987-06-09 | Minnesota Mining And Manufacturing Company | Magnetic recording media having perfluoropolyether coating |
JP2781656B2 (ja) * | 1990-11-21 | 1998-07-30 | 株式会社日立製作所 | 記録媒体 |
JP3486821B2 (ja) | 1994-01-21 | 2004-01-13 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理装置及び処理装置内の被処理体の搬送方法 |
JP3732250B2 (ja) | 1995-03-30 | 2006-01-05 | キヤノンアネルバ株式会社 | インライン式成膜装置 |
JPH1011734A (ja) | 1996-06-27 | 1998-01-16 | Fuji Photo Film Co Ltd | 磁気記録媒体 |
JPH10270527A (ja) | 1997-03-21 | 1998-10-09 | Ulvac Japan Ltd | 複合型真空処理装置 |
KR100283425B1 (ko) * | 1998-09-24 | 2001-04-02 | 윤종용 | 반도체소자의금속배선형성공정및그시스템 |
JP2000222719A (ja) | 1999-01-29 | 2000-08-11 | Fuji Electric Co Ltd | 磁気記録媒体およびその製造方法 |
US6680112B1 (en) * | 1999-06-29 | 2004-01-20 | Showa Denko Kabushiki Kaisha | Magnetic recording medium and production process thereof |
JP4268303B2 (ja) * | 2000-02-01 | 2009-05-27 | キヤノンアネルバ株式会社 | インライン型基板処理装置 |
WO2002011130A1 (en) | 2000-07-31 | 2002-02-07 | Showa Denko K.K. | Magnetic recording medium, and method for producing and inspecting the same |
US6716303B1 (en) | 2000-10-13 | 2004-04-06 | Lam Research Corporation | Vacuum plasma processor having a chamber with electrodes and a coil for plasma excitation and method of operating same |
US6627302B1 (en) * | 2001-03-27 | 2003-09-30 | Seagate Technology Llc | Lubricant overcoat for recording media and a process for making the same |
JP2003059999A (ja) | 2001-08-14 | 2003-02-28 | Tokyo Electron Ltd | 処理システム |
US6808741B1 (en) * | 2001-10-26 | 2004-10-26 | Seagate Technology Llc | In-line, pass-by method for vapor lubrication |
JP3904143B2 (ja) * | 2002-01-25 | 2007-04-11 | 富士通株式会社 | 磁気記録媒体及び磁気記録装置 |
JP3912497B2 (ja) * | 2002-02-25 | 2007-05-09 | Hoya株式会社 | 磁気記録媒体 |
DE10211573A1 (de) | 2002-03-15 | 2003-10-16 | Unaxis Balzers Ag | Vakuumverdampfungseinrichtung |
EP1506570A1 (en) | 2002-05-21 | 2005-02-16 | ASM America, Inc. | Reduced cross-contamination between chambers in a semiconductor processing tool |
JP4041353B2 (ja) | 2002-06-13 | 2008-01-30 | 株式会社日立グローバルストレージテクノロジーズ | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP3651681B2 (ja) * | 2003-01-29 | 2005-05-25 | Hoya株式会社 | 磁気ディスクおよびその製造方法 |
US20040161578A1 (en) * | 2003-02-19 | 2004-08-19 | Seagate Technology Llc | Dual-layer protective overcoat system for disk recording media |
JP2004319058A (ja) | 2003-03-31 | 2004-11-11 | Hoya Corp | 磁気ディスクの製造方法及び磁気ディスク |
US7146710B2 (en) | 2003-08-29 | 2006-12-12 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Two stage lubrication process for disk drive |
US20070269297A1 (en) | 2003-11-10 | 2007-11-22 | Meulen Peter V D | Semiconductor wafer handling and transport |
KR100621804B1 (ko) | 2004-09-22 | 2006-09-19 | 삼성전자주식회사 | 디퓨저 및 그를 구비한 반도체 제조설비 |
JP2006147012A (ja) | 2004-11-17 | 2006-06-08 | Fujitsu Ltd | 磁気記録媒体および情報再生装置 |
TW200715448A (en) | 2005-07-25 | 2007-04-16 | Canon Anelva Corp | Vacuum processing apparatus, semiconductor device manufacturing method and semiconductor device manufacturing system |
US8097084B2 (en) | 2006-01-24 | 2012-01-17 | Vat Holding Ag | Vacuum chamber system for semiconductor processing |
JP2007265586A (ja) * | 2006-03-30 | 2007-10-11 | Hoya Corp | 磁気ディスク及びその製造方法 |
US20070248749A1 (en) | 2006-04-19 | 2007-10-25 | Hitachi Global Storge Technologies Netherlands, B.V. | Reducing pad burnish damages on magnetic recording media with mixed low molecular weight free lubricant |
US20080001237A1 (en) | 2006-06-29 | 2008-01-03 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Semiconductor device having nitrided high-k gate dielectric and metal gate electrode and methods of forming same |
JP2009211765A (ja) * | 2008-03-04 | 2009-09-17 | Hoya Corp | 磁気ディスク |
JP2010086585A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | Hoya Corp | 磁気記録媒体の製造方法および磁気記録媒体 |
US9685186B2 (en) | 2009-02-27 | 2017-06-20 | Applied Materials, Inc. | HDD pattern implant system |
TWI719331B (zh) | 2011-10-26 | 2021-02-21 | 美商布魯克斯自動機械公司 | 基板處理系統 |
JP2014075166A (ja) * | 2012-10-04 | 2014-04-24 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 |
JP6118114B2 (ja) * | 2013-01-15 | 2017-04-19 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 |
JP2014146401A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 |
JP2014146400A (ja) * | 2013-01-29 | 2014-08-14 | Showa Denko Kk | 磁気記録媒体の製造方法 |
JP6175265B2 (ja) * | 2013-04-02 | 2017-08-02 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法 |
-
2013
- 2013-02-25 JP JP2013034928A patent/JP6118130B2/ja active Active
-
2014
- 2014-02-04 US US14/171,937 patent/US9646643B2/en active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9646643B2 (en) | 2017-05-09 |
JP2014164782A (ja) | 2014-09-08 |
US20140242268A1 (en) | 2014-08-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2006313584A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
US8043734B2 (en) | Oxidized conformal capping layer | |
JP5192993B2 (ja) | 磁性層の形成方法 | |
JP6175265B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
US7354630B2 (en) | Use of oxygen-containing gases in fabrication of granular perpendicular magnetic recording media | |
JP6118130B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
JP2014146401A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
US20050098426A1 (en) | Heat-assisted post-deposition oxidation treatment for improved perpendicular magnetic recording media | |
JP2010106290A (ja) | 成膜装置および成膜方法、磁気記録媒体、磁気記録再生装置 | |
JP6118114B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
US7354618B2 (en) | Oxygen plasma post-deposition treatment of magnetic recording media | |
TWI549124B (zh) | 磁性記錄媒體及其製造方法 | |
JP6040074B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2011192320A (ja) | 垂直磁気記録媒体 | |
US9196285B2 (en) | Magnetic recording medium fabrication method and apparatus | |
JP2006107652A (ja) | 磁気記録媒体及びその製造方法 | |
WO2016108257A1 (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法、ならびに成膜装置 | |
JP2014146400A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2014059924A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び装置 | |
JP6060484B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
JP2010027102A (ja) | 磁気記録媒体およびその製造方法、磁気記録再生装置 | |
JP2010157307A (ja) | 磁気ディスク及びその製造方法 | |
JP2010092564A (ja) | 磁気ディスクの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160812 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160920 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161026 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170321 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170324 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6118130 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |