JP6112117B2 - 磁気記録媒体 - Google Patents
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Description
本実施例においては、化学強化ガラス製非磁性基体10、CoZrNb軟磁性裏打ち層20、NiCrMo密着層、TiN第1下地層32aと複数の島状領域からなるMgO第2下地層34aとからなる下地層30、FePt規則合金の磁性結晶粒42とC非磁性部44とからなるグラニュラー構造を有するFePt−C磁気記録層40、C保護層50、および液体潤滑剤層60をこの順に有する、本発明の第1の実施形態の垂直磁気記録媒体を作製した。
本実施例においては、化学強化ガラス製非磁性基体10、CoZrNb軟磁性裏打ち層20、NiCrMo密着層、MgO第1下地層32bとネット状領域からなるTiN第2下地層34bとからなる下地層30、FePt規則合金の磁性結晶粒42とC非磁性部44とからなるグラニュラー構造を有するFePt−C磁気記録層40、C保護層50、および液体潤滑剤層60をこの順に有する、本発明の第2の実施形態の垂直磁気記録媒体を作製した。
本比較例においては、下地層が単一のTiN層で構成される、本発明の範囲外の垂直磁気記録媒体を作製した。本比較例の垂直磁気記録媒体の下地層以外の構成層は、実施例1の垂直磁気記録媒体と同様である。
本比較例においては、下地層が単一のMgO層で構成される、本発明の範囲外の垂直磁気記録媒体を作製した。本比較例の垂直磁気記録媒体の下地層以外の構成層は、実施例1の垂直磁気記録媒体と同様である。
(A) 下地層の組成分析
実施例1および2において、下地層を形成し、磁気記録層を形成せずに、C保護層の形成を終了したサンプルを抜き取り、下地層の組成分析を行った。組成分析は、イオンミリング法によって、10nm以下の厚さの部分を含むまでガラス基板からサンプルを削り取った薄板を切り出し、切り出した薄板を、電界放出型透過電子顕微鏡(FE−TEM)に付属するエネルギー分散型X線分析装置(EDX)により、100万倍の倍率において、Mg、O、TiおよびNの元素マッピングを得ることによって行った。実施例1のサンプルのMgの元素マッピングを図3に示した。また、実施例2のサンプルのTiの元素マッピングを図4に示した。
実施例1および2、ならびに比較例1および2において、C保護層の形成を終了したサンプルを抜き取り、磁気記録層の微細構造分析を行った。微細構造分析は、イオンミリング法によって、10nm以下の厚さの部分を含むまでガラス基板からサンプルを削り取った薄板を切り出し、切り出した薄板を電界放出型透過電子顕微鏡(FE−TEM)によって分析することにより行った。
上記(B)に記載と同様の手順により、70万倍の倍率のFE−TEM暗視野像を測定した。得られた暗視野像を画像解析装置(ニレコ製、Luzex−FS)によって解析して、FePt磁性結晶粒の粒径および粒界幅を測定した。結果を第1表に示す。
実施例1および2、ならびに比較例1および2において、C保護層の形成まで終了したサンプルを抜き取り、磁気記録層の結晶構造解析を行った。結晶構造解析は、X線解析装置を用いて行い、この結果に基づいてL10規則度Sを分析した。L10規則度Sは、FePt結晶の(001)面および(002)面の理論回折強度を[I(001)/I(002)]Tとし、上記サンプルのX線解析装置により実測した回折強度を[I(001)/I(002)]Mとした時に、次式の比から求めた。
S2=[I(001)/I(002)]M/[I(001)/I(002)]T
その結果、実施例1および2の垂直磁気記録媒体は、磁気記録層形成時の温度を200〜400℃の範囲内で変化させても、70%以上の規則度Sを持っていた。これから、実施例1および2の垂直磁気記録媒体の磁性結晶粒は、規則度の高いL10形規則合金であることを確認した。
市販のスピンスタンドを用いて、記録再生信号の信号雑音比(SNR、Signal Noise Ratio)を測定した。得られた垂直磁気記録媒体を5400rpmの回転数で回転させ、半径R=19mmの部分にTMRヘッドを用いて周波数360MHzの信号を記録し、その信号を再生することによって、SNRを測定した。得られた信号出力およびノイズ出力から、以下の式を用いてSNR(dB)を求めた。
SNR(dB)=10×log(信号出力/ノイズ出力)
結果を第1表に示す。
20 軟磁性裏打ち層
30 下地層
32a、32b 第1下地層
34a、34b 第2下地層
40 磁気記録層
42 磁性結晶粒
44 粒界部
50 保護膜
60 液体潤滑剤層
Claims (10)
- 非磁性基体と、下地層と、前記下地層上の磁気記録層とを少なくとも備え、
前記下地層は:
Cr、V、Ti、Sc、Mo、Nb、Zr、Y、AlおよびBからなる群から選択された少なくとも1つの元素の窒化物を含み、(001)配向したNaCl構造を有する第1下地層と、
Mg、Ca、CoおよびNiからなる群から選択された少なくとも1つの元素を含み、第1下地層の上に形成された複数の島状領域からなる第2下地層と
からなり、
前記磁気記録層は、磁性結晶粒および粒界部からなるグラニュラー構造の層を含む
ことを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記磁性結晶粒が、L10系規則合金を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性結晶粒がFePt合金またはCoPt合金を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記粒界部が、カーボンおよび炭化物からなる群から選択される材料を含むことを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性結晶粒が、前記非磁性基体の主平面に垂直な磁化容易軸を有することを特徴とする請求項1に記載の垂直磁気記録媒体。
- 非磁性基体と、下地層と、前記下地層上の磁気記録層とを少なくとも備え、
前記下地層は:
Mg、Ca、CoおよびNiからなる群から選択された少なくとも1つの元素の酸化物を含み、(001)配向したNaCl構造を有する第1下地層と、
Cr、V、Ti、Sc、Mo、Nb、Zr、Y、Al、BおよびCからなる群から選択された少なくとも1つの元素を含み、第1下地層の上に形成されたネット状領域からなる第2下地層と
からなり、
前記磁気記録層は、磁性結晶粒および粒界部からなるグラニュラー構造の層を含む
ことを特徴とする垂直磁気記録媒体。 - 前記磁性結晶粒が、L10系規則合金を含むことを特徴とする請求項6に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性結晶粒がFePt合金またはCoPt合金を含むことを特徴とする請求項6に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記粒界部が、カーボンおよび炭化物からなる群から選択される材料を含むことを特徴とする請求項6に記載の垂直磁気記録媒体。
- 前記磁性結晶粒が、前記非磁性基体の主平面に垂直な磁化容易軸を有することを特徴とする請求項6に記載の垂直磁気記録媒体。
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