JP6106743B2 - パターン測定装置、及び半導体計測システム - Google Patents
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Description
まず、回路パターンの撮影画像とその回路パターンの製造に用いた設計パターンのパターンマッチングを行い、設計パターンと画像の対応関係を求める(ステップ701)。なお、画像撮影の際に設計パターンをテンプレートとしてパターンマッチングを行っている場合は、そこで求めた設計パターンの画像の対応関係を利用する。次に形状スコアの算出に利用した計測値を求めた基準パターンの部位を特定する(ステップ702)。基準パターンの部位の座標を中心とし、HSLのパターンサイズと同サイズの設計レイアウトをパターンマッチングによって求めた画像と設計パターンの対応関係に基づき特定し、切り出し、HSLのデータベースと比較する(ステップ703)。
Claims (5)
- 電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行う演算装置を備えたパターン測定装置において、
当該演算装置は、前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、少なくとも2つの閾値との比較に基づいて、当該回路パターンを、当該回路パターンのレイアウトデータ、或いはマスクを修正する対象とするか、測定装置によるモニタの対象とするかの分類を行うことを特徴とするパターン測定装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、測定対象となるレイヤの測定対象パターンについて、当該測定対象パターンに接続される他のレイヤが存在するか否かの判定に応じて、前記分類を実行することを特徴とするパターン測定装置。 - 請求項1において、
前記演算装置は、前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、前記回路パターンの計測部分の他の層との関係情報に基づいて、前記計測部位を分類することを特徴とするパターン測定装置。 - コンピューターに、電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行わせることによって前記回路パターンの測定を行わせるコンピュータープログラムにおいて、
当該プログラムは、前記コンピューターに、前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、少なくとも2つの閾値との比較を行わせ、当該比較に基づいて、当該回路パターンを、当該回路パターンのレイアウトデータ、或いはマスクを修正する対象とするか、測定装置によるモニタの対象とするかの分類を行わせることを特徴とするコンピュータープログラム。 - 電子デバイスの回路パターンと基準パターンの比較を行うことによって前記パターンを測定するパターン測定方法において、
前記回路パターンと基準パターンとの間の計測結果と、少なくとも2つの閾値との比較に基づいて、当該回路パターンを、当該回路パターンのレイアウトデータ、或いはマスクを修正する対象とするか、測定装置によるモニタの対象とするかの分類を行うことを特徴とするパターン測定方法。
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US10679909B2 (en) * | 2016-11-21 | 2020-06-09 | Kla-Tencor Corporation | System, method and non-transitory computer readable medium for tuning sensitivies of, and determining a process window for, a modulated wafer |
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KR102538024B1 (ko) * | 2018-01-19 | 2023-05-30 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 측정 설비, 웨이퍼 측정 시스템 및 이를 이용한 반도체 장치의 제조 방법 |
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JP7119688B2 (ja) * | 2018-07-18 | 2022-08-17 | 株式会社ニューフレアテクノロジー | 描画データ生成方法、プログラム、及びマルチ荷電粒子ビーム描画装置 |
US10762618B1 (en) * | 2019-02-14 | 2020-09-01 | United Microelectronics Corp. | Mask weak pattern recognition apparatus and mask weak pattern recognition method |
US11101153B2 (en) | 2019-03-21 | 2021-08-24 | Kla Corporation | Parameter-stable misregistration measurement amelioration in semiconductor devices |
WO2021038649A1 (ja) * | 2019-08-23 | 2021-03-04 | 株式会社日立ハイテク | オーバーレイ計測システム及びオーバーレイ計測装置 |
JP7194837B2 (ja) * | 2019-09-04 | 2022-12-22 | 株式会社日立ハイテク | 荷電粒子線装置 |
DE102019214444A1 (de) * | 2019-09-23 | 2021-03-25 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zur Beurteilung der Kontaktierfähigkeit einer mit einer Metallisierung versehenen Oberfläche |
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Family Cites Families (18)
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US7796801B2 (en) | 1999-08-26 | 2010-09-14 | Nanogeometry Research Inc. | Pattern inspection apparatus and method |
US6873720B2 (en) * | 2001-03-20 | 2005-03-29 | Synopsys, Inc. | System and method of providing mask defect printability analysis |
JP2003031477A (ja) * | 2001-07-17 | 2003-01-31 | Hitachi Ltd | 半導体装置の製造方法およびシステム |
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JP4078280B2 (ja) * | 2003-10-08 | 2008-04-23 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 回路パターンの検査方法および検査装置 |
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JP5075646B2 (ja) * | 2008-01-09 | 2012-11-21 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 半導体欠陥検査装置ならびにその方法 |
JP5021503B2 (ja) * | 2008-01-15 | 2012-09-12 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | パターン欠陥解析装置、パターン欠陥解析方法およびパターン欠陥解析プログラム |
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