JP5021503B2 - パターン欠陥解析装置、パターン欠陥解析方法およびパターン欠陥解析プログラム - Google Patents
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Description
2 パターン欠陥検査装置
3 設計データサーバ
4 通信ネットワーク
10 データ処理部
11 データ通信部
12 欠陥レビュー部
13 データ入出力部
101 欠陥検査データ取得部
102 設計データ取得部
103 レビュー制御部
104 レビュー画像取得部
105 画像位置合わせ部
106 致命度判定部
107 判定結果データ表示部
108 欠陥検査データ記憶部
109 設計データ記憶部
110 レビュー画像データ記憶部
111 致命度判定基準データ記憶部
112 判定結果データ記憶部
Claims (9)
- 複数レイヤのパターンが形成される基板装置の表面の一部の領域の表面観察画像を取得する表面観察画像取得部と、前記基板装置の各レイヤに形成されるパターンの形状に係る設計データを保持し、前記表面観察画像取得部により取得した前記基板装置の表面観察画像に含まれるパターン欠陥の致命度を判定するデータ処理部と、を含んで構成されたパターン欠陥解析装置であって、
前記データ処理部が、
前記表面観察画像取得部を介して、前記パターン欠陥を含むレイヤの前記パターン欠陥を含む領域の表面観察画像を取得し、
前記取得した表面観察画像を、パターン欠陥のない所定の参照画像と比較することによって、前記表面観察画像から前記パターン欠陥部分の画像を欠陥画像として抽出し、
前記表面観察画像に対応する領域に対して前記パターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤの前記設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像と前記表面観察画像との画像マッチングにより、前記自レイヤ設計パターン画像と前記表面観察画像との位置合わせを行い、
前記位置合わせの結果に基づき、前記欠陥画像と、前記表面観察画像に対応する領域に対して前記パターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤの前記設計データから生成した他レイヤ設計パターン画像と、を合成した第1の合成画像を生成し、
前記第1の合成画像に基づき、前記パターン欠陥とそのパターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンとの第1の相対位置関係を表すデータを求め、
前記求めた第1の相対位置関係を表すデータに基づき、前記パターン欠陥がそのパターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定すること
を特徴とするパターン欠陥解析装置。 - 前記データ処理部は、さらに、
前記位置合わせの結果に基づき、前記欠陥画像と、前記自レイヤ設計パターン画像と、を合成した第2の合成画像を生成し、
前記第2の合成画像に基づき、前記パターン欠陥とそのパターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンとの第2の相対位置関係を表すデータを求め、
前記求めた第2の相対位置関係を表すデータに基づき、前記パターン欠陥がそのパターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定すること
を特徴とする請求項1に記載のパターン欠陥解析装置。 - 前記データ処理部は、さらに、
前記欠陥画像と前記他レイヤ設計パターン画像とを合成した前記第1の合成画像を表示装置に表示すること
を特徴とする請求項1に記載のパターン欠陥解析装置。 - 複数レイヤのパターンが形成される基板装置の表面の一部の領域の表面観察画像を取得する表面観察画像取得部と、前記基板装置の各レイヤに形成されるパターンの形状に係る設計データを保持し、前記表面観察画像取得部により取得した前記基板装置の表面観察画像に含まれるパターン欠陥の致命度を判定するデータ処理部と、を含んで構成されたパターン欠陥解析装置で用いられるパターン欠陥解析方法であって、
前記データ処理部が、
前記表面観察画像取得部を介して、前記パターン欠陥を含むレイヤの前記パターン欠陥を含む領域の表面観察画像を取得し、
前記取得した表面観察画像を、パターン欠陥のない所定の参照画像と比較することによって、前記表面観察画像から前記パターン欠陥部分の画像を欠陥画像として抽出し、
前記表面観察画像に対応する領域に対して前記パターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤの前記設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像と前記表面観察画像との画像マッチングにより、前記自レイヤ設計パターン画像と前記表面観察画像との位置合わせを行い、
前記位置合わせの結果に基づき、前記欠陥画像と、前記表面観察画像に対応する領域に対して前記パターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤの前記設計データから生成した他レイヤ設計パターン画像と、を合成した第1の合成画像を生成し、
前記第1の合成画像に基づき、前記パターン欠陥とそのパターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンとの第1の相対位置関係を表すデータを求め、
前記求めた第1の相対位置関係を表すデータに基づき、前記パターン欠陥がそのパターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定すること
を特徴とするパターン欠陥解析方法。 - 前記データ処理部は、さらに、
前記位置合わせの結果に基づき、前記欠陥画像と、前記自レイヤ設計パターン画像と、を合成した第2の合成画像を生成し、
前記第2の合成画像に基づき、前記パターン欠陥とそのパターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンとの第2の相対位置関係を表すデータを求め、
前記求めた第2の相対位置関係を表すデータに基づき、前記パターン欠陥がそのパターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定すること
を特徴とする請求項4に記載のパターン欠陥解析方法。 - 前記データ処理部は、さらに、
前記欠陥画像と前記他レイヤ設計パターン画像とを合成した前記第1の合成画像を表示装置に表示すること
を特徴とする請求項4に記載のパターン欠陥解析方法。 - 複数レイヤのパターンが形成される基板装置の表面の一部の領域の表面観察画像を取得する表面観察画像取得部と、前記基板装置の各レイヤに形成されるパターンの形状に係る設計データを保持し、前記表面観察画像取得部により取得した前記基板装置の表面観察画像に含まれるパターン欠陥の致命度を判定するデータ処理部と、を含んで構成されたパターン欠陥解析装置のパターン欠陥解析プログラムであって、
前記データ処理部に、
前記表面観察画像取得部を介して、前記パターン欠陥を含むレイヤの前記パターン欠陥を含む領域の表面観察画像を取得する処理と、
前記取得した表面観察画像を、パターン欠陥のない所定の参照画像と比較することによって、前記表面観察画像から前記パターン欠陥部分の画像を欠陥画像として抽出する処理と、
前記表面観察画像に対応する領域に対して前記パターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤの前記設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像と前記表面観察画像との画像マッチングにより、前記自レイヤ設計パターン画像と前記表面観察画像との位置合わせを行う処理と、
前記位置合わせの結果に基づき、前記欠陥画像と、前記表面観察画像に対応する領域に対して前記パターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤの前記設計データから生成した他レイヤ設計パターン画像と、を合成した第1の合成画像を生成する処理と、
前記第1の合成画像に基づき、前記パターン欠陥とそのパターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンとの第1の相対位置関係を表すデータを求める処理と、
前記求めた第1の相対位置関係を表すデータに基づき、前記パターン欠陥がそのパターン欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定する処理と、
を実行させるためのパターン欠陥解析プログラム。 - 前記データ処理部に、さらに、
前記位置合わせの結果に基づき、前記欠陥画像と、前記自レイヤ設計パターン画像と、を合成した第2の合成画像を生成する処理と、
前記第2の合成画像に基づき、前記パターン欠陥とそのパターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンとの第2の相対位置関係を表すデータを求める処理と、
前記求めた第2の相対位置関係を表すデータに基づき、前記パターン欠陥がそのパターン欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定する処理と、
を実行させるための請求項7に記載のパターン欠陥解析プログラム。 - 前記データ処理部に、さらに、
前記欠陥画像と前記他レイヤ設計パターン画像とを合成した前記第1の合成画像を表示装置に表示する処理
を実行させるための請求項7に記載のパターン欠陥解析プログラム。
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