JP5469704B2 - 欠陥解析装置、欠陥解析方法および欠陥解析プログラム - Google Patents
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Description
2 パターン欠陥検査装置
3 設計データサーバ
4 通信ネットワーク
10 データ処理部
11 データ通信部
12 欠陥レビュー部
13 データ入出力部
101 欠陥検査データ取得部
102 設計データ取得部
103 レビュー制御部
104 レビュー画像取得部
105 画像位置合わせ部
106 致命度判定部
107 判定結果データ表示部
108 欠陥検査データ記憶部
109 設計データ記憶部
110 レビュー画像データ記憶部
111 致命度判定基準データ記憶部
112 判定結果データ記憶部
Claims (9)
- 複数レイヤのパターンが形成される基板の一部の領域のレビュー画像を取得するレビュー画像取得部と、前記基板の各レイヤに形成されるパターンの形状に係る設計データを保持し、前記レビュー画像取得部により取得した前記基板のレビュー画像に含まれる欠陥の致命度を判定するデータ処理部と、を含んで構成された欠陥解析装置であって、
前記データ処理部が、
前記レビュー画像取得部を介して、前記欠陥を含む領域のレビュー画像を取得し、
前記取得したレビュー画像を、所定の参照画像と比較することによって、前記レビュー画像から前記欠陥部分の画像を欠陥画像として抽出し、
前記レビュー画像に対応する領域に対して前記欠陥を含むレイヤと同じレイヤの前記設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像と前記レビュー画像との画像マッチングにより、前記自レイヤ設計パターン画像と前記レビュー画像との位置合わせを行い、
前記位置合わせの結果と、前記欠陥画像と、前記レビュー画像に対応する領域に対して前記欠陥を含むレイヤと異なるレイヤの前記設計データから生成した他レイヤ設計パターン画像と、に基づいて、前記欠陥と当該欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンとの第1の相対位置関係を表すデータを求め、
前記求めた第1の相対位置関係を表すデータに基づき、前記欠陥が当該欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定すること
を特徴とする欠陥解析装置。 - 前記データ処理部は、さらに、
前記欠陥と当該欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンとの第2の相対位置関係を表すデータを求め、
前記求めた第2の相対位置関係を表すデータに基づき、前記欠陥が当該欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定すること
を特徴とする請求項1に記載の欠陥解析装置。 - 前記データ処理部は、さらに、
前記欠陥画像と前記他レイヤ設計パターン画像とを合成した前記第1の合成画像を表示装置に表示すること
を特徴とする請求項1に記載の欠陥解析装置。 - 複数レイヤのパターンが形成される基板の一部の領域のレビュー画像を取得するレビュー画像取得ステップと、前記基板の各レイヤに形成されるパターンの形状に係る設計データを保持し、前記基板のレビュー画像に含まれる欠陥の致命度を判定するデータ処理ステップと、を含んで構成された欠陥解析装置で用いられる欠陥解析方法であって、
前記データ処理ステップは、
前記レビュー画像取得ステップで取得された前記欠陥を含む領域のレビュー画像を、所定の参照画像と比較することによって、前記レビュー画像から前記欠陥部分の画像を欠陥画像として抽出し、
前記レビュー画像に対応する領域に対して前記欠陥を含むレイヤと同じレイヤの前記設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像と前記レビュー画像との画像マッチングにより、前記自レイヤ設計パターン画像と前記レビュー画像との位置合わせを行い、
前記位置合わせの結果と、前記欠陥画像と、前記レビュー画像に対応する領域に対して前記欠陥を含むレイヤと異なるレイヤの前記設計データから生成した他レイヤ設計パターン画像と、に基づいて、前記欠陥と当該欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンとの第1の相対位置関係を表すデータを求め、
前記求めた第1の相対位置関係を表すデータに基づき、前記欠陥が当該欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定すること
を特徴とする欠陥解析方法。 - 前記データ処理ステップは、さらに、
前記欠陥と当該欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンとの第2の相対位置関係を表すデータを求め、
前記求めた第2の相対位置関係を表すデータに基づき、前記欠陥が当該欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定すること
を特徴とする請求項4に記載の欠陥解析方法。 - 前記データ処理ステップは、さらに、
前記欠陥画像と前記他レイヤ設計パターン画像とを合成した前記第1の合成画像を表示装置に表示すること
を特徴とする請求項4に記載の欠陥解析方法。 - 複数レイヤのパターンが形成される基板の一部の領域のレビュー画像を取得するレビュー画像取得部と、前記基板の各レイヤに形成されるパターンの形状に係る設計データを保持し、前記レビュー画像取得部により取得した前記基板のレビュー画像に含まれる欠陥の致命度を判定するデータ処理部と、を含んで構成された欠陥解析装置において実行される欠陥解析プログラムであって、
前記データ処理部に、
前記レビュー画像取得部を介して、前記欠陥を含む領域のレビュー画像を取得する処理と、
前記取得したレビュー画像を、所定の参照画像と比較することによって、前記レビュー画像から前記欠陥部分の画像を欠陥画像として抽出する処理と、
前記レビュー画像に対応する領域に対して前記欠陥を含むレイヤと同じレイヤの前記設計データから生成した自レイヤ設計パターン画像と前記レビュー画像との画像マッチングにより、前記自レイヤ設計パターン画像と前記レビュー画像との位置合わせを行う処理と、
前記位置合わせの結果と、前記欠陥画像と、前記レビュー画像に対応する領域に対して前記欠陥を含むレイヤと異なるレイヤの前記設計データから生成した他レイヤ設計パターン画像と、に基づいて、前記欠陥と当該欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンとの第1の相対位置関係を表すデータを求める処理と、
前記求めた第1の相対位置関係を表すデータに基づき、前記欠陥が当該欠陥を含むレイヤと異なるレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定する処理と、
を実行させるための欠陥解析プログラム。 - 前記データ処理部に、さらに、
前記欠陥と当該欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンとの第2の相対位置関係を表すデータを求める処理と、
前記求めた第2の相対位置関係を表すデータに基づき、前記欠陥が当該欠陥を含むレイヤと同じレイヤのパターンに及ぼす致命度を判定する処理と、
を実行させるための請求項7に記載の欠陥解析プログラム。 - 前記データ処理部に、さらに、
前記欠陥画像と前記他レイヤ設計パターン画像とを合成した前記第1の合成画像を表示装置に表示する処理
を実行させるための請求項7に記載の欠陥解析プログラム。
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