JP6083152B2 - 配線基板及び配線基板の製造方法 - Google Patents

配線基板及び配線基板の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP6083152B2
JP6083152B2 JP2012185689A JP2012185689A JP6083152B2 JP 6083152 B2 JP6083152 B2 JP 6083152B2 JP 2012185689 A JP2012185689 A JP 2012185689A JP 2012185689 A JP2012185689 A JP 2012185689A JP 6083152 B2 JP6083152 B2 JP 6083152B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
stiffener
wiring board
wiring
electronic component
hole
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2012185689A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2014045026A (ja
Inventor
佐藤 潤一
潤一 佐藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP2012185689A priority Critical patent/JP6083152B2/ja
Priority to US13/961,629 priority patent/US9565767B2/en
Priority to CN201310359720.2A priority patent/CN103632982A/zh
Publication of JP2014045026A publication Critical patent/JP2014045026A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6083152B2 publication Critical patent/JP6083152B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/182Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
    • H05K1/183Components mounted in and supported by recessed areas of the printed circuit board
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/182Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with components mounted in the printed circuit board, e.g. insert mounted components [IMC]
    • H05K1/184Components including terminals inserted in holes through the printed circuit board and connected to printed contacts on the walls of the holes or at the edges thereof or protruding over or into the holes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/12Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates
    • H01L23/13Mountings, e.g. non-detachable insulating substrates characterised by the shape
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5383Multilayer substrates
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5384Conductive vias through the substrate with or without pins, e.g. buried coaxial conductors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/52Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
    • H01L23/538Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates
    • H01L23/5389Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames the interconnection structure between a plurality of semiconductor chips being formed on, or in, insulating substrates the chips being integrally enclosed by the interconnect and support structures
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4602Manufacturing multilayer circuits characterized by a special circuit board as base or central core whereon additional circuit layers are built or additional circuit boards are laminated
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4697Manufacturing multilayer circuits having cavities, e.g. for mounting components
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/10Bump connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/15Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process
    • H01L2224/16Structure, shape, material or disposition of the bump connectors after the connecting process of an individual bump connector
    • H01L2224/161Disposition
    • H01L2224/16151Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/16221Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/16225Disposition the bump connector connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/26Layer connectors, e.g. plate connectors, solder or adhesive layers; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/31Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process
    • H01L2224/32Structure, shape, material or disposition of the layer connectors after the connecting process of an individual layer connector
    • H01L2224/321Disposition
    • H01L2224/32135Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip
    • H01L2224/32145Disposition the layer connector connecting between different semiconductor or solid-state bodies, i.e. chip-to-chip the bodies being stacked
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/481Disposition
    • H01L2224/48151Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive
    • H01L2224/48221Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked
    • H01L2224/48225Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation
    • H01L2224/48227Connecting between a semiconductor or solid-state body and an item not being a semiconductor or solid-state body, e.g. chip-to-substrate, chip-to-passive the body and the item being stacked the item being non-metallic, e.g. insulating substrate with or without metallisation connecting the wire to a bond pad of the item
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/49Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of a plurality of wire connectors
    • H01L2224/491Disposition
    • H01L2224/49105Connecting at different heights
    • H01L2224/49109Connecting at different heights outside the semiconductor or solid-state body
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73253Bump and layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73257Bump and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L2224/10, H01L2224/18, H01L2224/26, H01L2224/34, H01L2224/42, H01L2224/50, H01L2224/63, H01L2224/71
    • H01L2224/732Location after the connecting process
    • H01L2224/73251Location after the connecting process on different surfaces
    • H01L2224/73265Layer and wire connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L23/00Details of semiconductor or other solid state devices
    • H01L23/28Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection
    • H01L23/31Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape
    • H01L23/3107Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed
    • H01L23/3121Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation
    • H01L23/3128Encapsulations, e.g. encapsulating layers, coatings, e.g. for protection characterised by the arrangement or shape the device being completely enclosed a substrate forming part of the encapsulation the substrate having spherical bumps for external connection
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/73Means for bonding being of different types provided for in two or more of groups H01L24/10, H01L24/18, H01L24/26, H01L24/34, H01L24/42, H01L24/50, H01L24/63, H01L24/71
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/1515Shape
    • H01L2924/15153Shape the die mounting substrate comprising a recess for hosting the device
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/15Details of package parts other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/151Die mounting substrate
    • H01L2924/153Connection portion
    • H01L2924/1531Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface
    • H01L2924/15311Connection portion the connection portion being formed only on the surface of the substrate opposite to the die mounting surface being a ball array, e.g. BGA
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19105Disposition of discrete passive components in a side-by-side arrangement on a common die mounting substrate
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2924/00Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
    • H01L2924/19Details of hybrid assemblies other than the semiconductor or other solid state devices to be connected
    • H01L2924/191Disposition
    • H01L2924/19101Disposition of discrete passive components
    • H01L2924/19106Disposition of discrete passive components in a mirrored arrangement on two different side of a common die mounting substrate
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/0271Arrangements for reducing stress or warp in rigid printed circuit boards, e.g. caused by loads, vibrations or differences in thermal expansion
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/02Details
    • H05K1/14Structural association of two or more printed circuits
    • H05K1/141One or more single auxiliary printed circuits mounted on a main printed circuit, e.g. modules, adapters
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K1/00Printed circuits
    • H05K1/18Printed circuits structurally associated with non-printed electric components
    • H05K1/181Printed circuits structurally associated with non-printed electric components associated with surface mounted components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09009Substrate related
    • H05K2201/09127PCB or component having an integral separable or breakable part
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/09Shape and layout
    • H05K2201/09818Shape or layout details not covered by a single group of H05K2201/09009 - H05K2201/09809
    • H05K2201/09918Optically detected marks used for aligning tool relative to the PCB, e.g. for mounting of components
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2201/00Indexing scheme relating to printed circuits covered by H05K1/00
    • H05K2201/10Details of components or other objects attached to or integrated in a printed circuit board
    • H05K2201/10613Details of electrical connections of non-printed components, e.g. special leads
    • H05K2201/10621Components characterised by their electrical contacts
    • H05K2201/10674Flip chip
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K2203/00Indexing scheme relating to apparatus or processes for manufacturing printed circuits covered by H05K3/00
    • H05K2203/02Details related to mechanical or acoustic processing, e.g. drilling, punching, cutting, using ultrasound
    • H05K2203/0228Cutting, sawing, milling or shearing
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/007Manufacture or processing of a substrate for a printed circuit board supported by a temporary or sacrificial carrier
    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/0097Processing two or more printed circuits simultaneously, e.g. made from a common substrate, or temporarily stacked circuit boards

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)

Description

本技術は配線基板及び配線基板の製造方法についての技術分野に関する。詳しくは、電子部品が配置される部品配置孔と回路基板との接続用のスルーホールとが形成されたスティフナー上に積層体を形成して小型化及び製造コストの低減を図る技術分野に関する。
コンピュータ−のマイクロプロセッサ等として使用される電子部品(IC(Integrated Circuit)チップ)は、近年、益々高速化及び高機能化されており、これに付随して端子数が増え、端子間のピッチも狭くなる傾向にある。通常、ICチップの底面には多数の端子部がアレイ状に設けられている。
このようなICチップの端子部はマザーボードと称される回路基板に形成される接続端子に対してピッチに大きな差があるため、ICチップをマザーボードに実装することが困難である。
そこで、ICチップをマザーボードに接続するために、半導体パッケージと称される配線基板を形成し、この配線基板にICチップを実装(接続)し、配線基板をマザーボードに実装(接続)することにより、ICチップを配線基板を介してマザーボードに接続することが行われている。
上記のような配線基板には、例えば、コア基板の両面にビルドアップ法によって複数の絶縁層と複数の配線層とを積層して形成した本体部と、電子部品を配置する部品配置孔を有する枠状の枠部とが半田によって接合された所謂キャビティ基板と称される配線基板がある(例えば、特許文献1及び特許文献2参照)。
このようなキャビティ基板にあっては、部品配置孔に電子部品を配置して本体部に実装することが可能になり、本体部の両面に電子部品を実装することにより積層方向に直交する方向における小型化を図ることができる。
特開2011−176020号公報 特開2011−151348号公報
ところが、上記した従来のキャビティ基板においては、本体部と枠部が半田によって接合され、半田が塗布される本体部のパッドの周囲にソルダーレジストが形成され、半田が塗布される枠部のパッドの周囲にもソルダーレジストが形成される。
従って、本体部と枠部にそれぞれソルダーレジストを形成することにより、その分、厚みが厚くなり、配線基板の小型化が阻害される。
また、本体部と枠部にそれぞれソルダーレジストを形成する工程が必要となる他、本体部と枠部を半田により接合する工程も必要であり、その分、製造コストが高くなってしまうと言う問題がある。
そこで、本技術配線基板及び配線基板の製造方法は、上記した問題点を克服し、小型化及び製造コストの低減を図ることを課題とする。
第1に、配線基板は、上記した課題を解決するために、回路基板に接合されるスティフナーと、前記スティフナーの前記回路基板に接合される面と反対の面上に、導電材料が充填されたビアホールを有する複数の絶縁層と前記導電材料により接続された複数の配線層とが積層されて形成された積層体とを備え、前記積層体の積層方向における両面に前記配線層に前記導電材料により接続され電子部品の端子部が接続される端子接続部がそれぞれ形成され、前記スティフナーに、その一部が切断されて形成されると共に前記積層体の一方の面に形成された前記端子接続部が位置され前記電子部品が配置される部品配置孔と、前記回路基板との接続用のスルーホールとが形成されたものである。
従って、配線基板にあっては、部品配置孔とスルーホールを有するスティフナー上に絶縁層と配線層が積層された積層体が形成される。
第2に、上記した配線基板においては、前記スティフナーが枠状に形成されることが望ましい。
スティフナーが枠状に形成されることにより、部品配置孔に配置される電子部品がスティフナーによって外周側から保護される。
第1に、配線基板の製造方法は、上記した課題を解決するために、回路基板との接続用のスルーホールがそれぞれ形成された二つのスティフナーを接合材を挟んで接合するスティフナー接合工程と、前記各スティフナーの接合された面と反対側の面にそれぞれ導電材料が充填されたビアホールを有する複数の絶縁層と複数の配線層とを積層し積層方向における両面に前記配線層に接続され電子部品の端子部が接続される端子接続部をそれぞれ有する積層体を形成する積層体形成工程と、二つの前記スティフナーを分離し前記接合材を除去する分離工程と、前記スティフナーを切断して一部を積層体から剥離し前記電子部品が配置される部品配置孔を形成する配置孔形成工程とを備えたものである。
従って、配線基板の製造方法にあっては、部品配置孔とスルーホールを有するスティフナー上に絶縁層と配線層が積層された積層体が形成される。
第2に、上記した配線基板の製造方法においては、前記スティフナーが枠状に形成されることが望ましい。
スティフナーが枠状に形成されることにより、部品配置孔に配置される電子部品がスティフナーによって外周側から保護される。
第3に、上記した配線基板の製造方法においては、前記スティフナーにおける前記部品配置孔の形成時に切断される切断箇所の一部に切り込みが形成されることが望ましい。
スティフナーにおける部品配置孔の形成時に切断される切断箇所の一部に切り込みが形成されることにより、切り込みがスティフナーの切断位置に繋がる位置に形成される。
本技術配線基板は、回路基板に接合されるスティフナーと、前記スティフナーの前記回路基板に接合される面と反対の面上に導電材料が充填されたビアホールを有する複数の絶縁層と前記導電材料により接続された複数の配線層とが積層されて形成された積層体とを備え、前記積層体の積層方向における両面に前記配線層に前記導電材料により接続され電子部品の端子部が接続される端子接続部がそれぞれ形成され、前記スティフナーに、その一部が切断されて形成されると共に前記積層体の一方の面に形成された前記端子接続部が位置され前記電子部品が配置される部品配置孔と、前記回路基板との接続用のスルーホールとが形成されている。

従って、積層体とスティフナーを各別に形成して両者を接合する必要がなく、その分、両者の間に半田やソルダーレジストが存在しないため、配線基板の小型化を図ることができる。
また、積層体とスティフナーの間にソルダーレジストを形成する工程が不要になり、積層体とスティフナーを半田により接合する工程も必要なく、その分、製造コストの低減を図ることができる。
請求項2に記載した技術にあっては、前記スティフナーが枠状に形成されている。
従って、部品配置孔に配置される電子部品がスティフナーによって外周側から保護され、配線基板の動作の信頼性の向上を図ることができる。
本技術配線基板の製造方法は、回路基板との接続用のスルーホールがそれぞれ形成された二つのスティフナーを接合材を挟んで接合するスティフナー接合工程と、前記各スティフナーの接合された面と反対側の面にそれぞれ導電材料が充填されたビアホールを有する複数の絶縁層と複数の配線層とを積層し積層方向における両面に前記配線層に接続され電子部品の端子部が接続される端子接続部をそれぞれ有する積層体を形成する積層体形成工程と、二つの前記スティフナーを分離し前記接合材を除去する分離工程と、前記スティフナーを切断して一部を積層体から剥離し前記電子部品が配置される部品配置孔を形成する配置孔形成工程とを備えている。
従って、積層体とスティフナーを各別に形成して両者を接合する必要がなく、その分、両者の間に半田やソルダーレジストが存在しないため、配線基板の小型化を図ることができる。
また、積層体とスティフナーの間にソルダーレジストを形成する工程が不要になり、積層体とスティフナーを半田により接合する工程も必要なく、その分、製造コストの低減を図ることができる。
請求項4に記載した技術にあっては、前記スティフナーが枠状に形成されている。
従って、部品配置孔に配置される電子部品がスティフナーによって外周側から保護され、配線基板の動作の信頼性の向上を図ることができる。
請求項5に記載した技術にあっては、前記スティフナーにおける前記部品配置孔の形成時に切断される切断箇所の一部に切り込みが形成されている。
従って、切り込みがスティフナーの切断位置に繋がる位置に形成され、スティフナーの切断を容易かつ確実に行うことができる。
以下に、本技術配線基板及び配線基板の製造方法を実施するための最良の形態を添付図面に従って説明する。
配線基板は積層された複数の層構造を有する所謂半導体パッケージと称される配線基板である。
以下の説明にあっては、配線基板における各部の積層方向を上下方向として前後上下左右の方向を示すものとする。
尚、以下に示す前後上下左右の方向は説明の便宜上のものであり、本技術の実施に関しては、これらの方向に限定されることはない。
[配線基板の構成]
以下に、配線基板1の構成について説明する(図1参照)。
配線基板1は積層体2と積層体2の下面が接合されたスティフナー3とを有している。
積層体2は、複数の絶縁層4、4、・・・と複数の配線層5、5、・・・とが積層されて形成されている。絶縁層4の材料としては、例えば、エポキシ樹脂が用いられ、配線層5の材料としては、例えば、銅が用いられている。配線層5、5、・・・は上層から下層まで所定の経路で接続されている。
最上層の絶縁層4の上面には第1の端子接続部(端子パッド)6、6、・・・が形成され、最下層の絶縁層4の下面には第2の端子接続部(端子パッド)7、7、・・・が形成されている。第1の端子接続部6、6、・・・と第2の端子接続部7、7、・・・はそれぞれ配線層5、5、・・・に接続され、それぞれ後述する電子部品の接続端子と接続される。第2の端子接続部7、7、・・・は最下層の絶縁層4の中央側の部分に形成されている。
絶縁層4にはビアホール4aが形成され、ビアホール4aに導電材料(銅)が充填されて配線層5、5等が接続されている。ビアホール4aは、例えば、絶縁層4にYAG(Yttrium Aluminum Garnet)レーザーや炭酸ガスレーザー等が照射されることにより形成されている。
スティフナー3は最下層の絶縁層4の下面に接した状態とされ、例えば、銅等の剛性の高い金属材料によって形成され、絶縁層4より厚くされている。尚、スティフナー3の材料としては、例えば、セラミックス材料の他、ガラス繊維や炭素繊維等が含有された樹脂材料を用いることも可能である。
積層体2の上面には第1の端子接続部6、6、・・・の外周部を覆うようにソルダーレジスト8が形成されている。
スティフナー3は矩形の枠状に形成され、中央部に上下に貫通された部品配置孔3aを有している。部品配置孔3aには第2の端子接続部7、7、・・・が位置されている。
スティフナー3には回路基板(マザーボード)100との接続用のスルーホール9、9、・・・が形成されている。スルーホール9には銅等により円筒状の導電部9aが形成されている。導電部9a、9a、・・・は最下層の絶縁層4に形成された配線層5、5、・・・に接続されている。
スルーホール9には導電部9aの内側に充填用樹脂10が充填されている。
スティフナー3の下面には接続パッド11、11、・・・が形成されている。接続パッド11、11、・・・はそれぞれスルーホール9、9、・・・に形成された導電部9a、9a、・・・に導通されている。
スティフナー3の下面には接続パッド11、11、・・・の外周部を覆うようにソルダーレジスト12が形成されている。
積層体2の上面には電子部品13が実装される。電子部品13としては、例えば、ICチップ、DDR(double data rate)モードを有するSDRAM(Synchronous Dynamic Random Access Memory)、メモリー、コンデンサー等が用いられる。
電子部品13は下面に設けられた端子部13a、13a、・・・が半田14、14、・・・によって第1の端子接続部6、6、・・・に接合され、フリップチップ接続により積層体2に接続される。
スティフナー3の部品配置孔3aには電子部品15が配置される。電子部品15としては、例えば、ICチップが用いられる。
電子部品15は上面に設けられた端子部15a、15a、・・・が半田16、16、・・・によって第2の端子接続部7、7、・・・に接合され、フリップチップ接続により積層体2に接続される。
上記のように電子部品13と電子部品15が実装された配線基板1は、スティフナー3に形成された接続パッド11、11、・・・が回路基板100の接続端子100a、100a、・・・に半田17、17、・・・によって接合される。
電子部品13は第1の端子接続部6、6、・・・、配線層5、5、・・・、導電層9a、9a、・・・及び接続パッド11、11、・・・を介して回路基板100に形成された所定の各回路に電気的に接続される。また、電子部品15は第2の端子接続部7、7、・・・、配線層5、5、・・・、導電層9a、9a、・・・及び接続パッド11、11、・・・を介して回路基板100に形成された所定の各回路に電気的に接続される。
尚、配線基板1においては、電子部品13の下面と積層体2の上面との間及び電子部品15の上面と積層体2の下面との間にそれぞれ第1の端子接続部6、6、・・・と第2の端子接続部7、7、・・・を覆う図示しないアンダーフィル材が充填されている。また、電子部品13の上面には、例えば、TIM(Thermal Interface Material)等の熱伝達物質層を介して図示しない放熱板が配置され、電子部品13において発生する熱が放熱板から放出される。
[配線基板の製造方法]
次に、上記した配線基板1の製造方法について説明する(図2乃至図11参照)。
尚、配線基板1、1、・・・は、図2に示すように、複数の製品部20、20、・・・からそれぞれルーティングによって切り離されて形成される。一つの製品部20からは、例えば、48個の配線基板1、1、・・・が形成され、複数の製品部20、20、・・・は成形体30から切り出されて形成される。成形体30は外周部と製品部20、20、・・・間の部分とが接着部30a、30a、・・・(図に梨子地で示す部分)として形成されている。
このように、大型のサイズの成形体30を形成して配線基板1、1、・・・を形成することにより、接着部30a、30a、・・・の十分なスペースを確保することが可能になり、配線基板1、1、・・・の製造コストの低減を図ることができる。
上記のように配線基板1は、各部(各層)が積層されて形成された成形体30から切り出された製品部20から切り離されて形成されるが、以下には、成形体30の全体の製造を省略し、配線基板1として形成される部分のみの製造について説明する。
先ず、スティフナー3、3が用意される(図3参照)。スティフナー3にはスルーホール9、9、・・・が形成され、スルーホール9、9、・・・にはそれぞれ導電部9a、9a、・・・が形成されている。また、スティフナー3の一方の面には、例えば、低融点半田18に接合された第2の端子接続部7、7、・・・が形成されている。
スティフナー3には低融点半田18の外周が位置する部分に切り込み3bが形成されている。
尚、スルーホール9、9、・・・は、例えば、ドリルによって掘削されてスティフナー3に形成される。
スティフナー3、3は第2の端子接続部7、7、・・・が形成された面と反対側の面が向き合うように配置される。
次に、熱可塑性のフィルム等の接合材19を挟んでスティフナー3、3が接合される(スティフナー接合工程)(図4参照)。スティフナー3、3の接合材19を挟んでの接合は、プレス成形(熱圧着)によって行われる。
接合材19として熱可塑性のフィルムを用いることにより、スティフナー3、3の損傷や傷付きを防止した上で両者の良好な接合性を確保することができると共に加熱した状態におけるプレス成形によってスティフナー3、3を容易に接合することができる。
次いで、スティフナー3、3の接合された面と反対側の面にそれぞれビルドアップ法によって複数の絶縁層4、4、・・・と複数の配線層5、5、・・・とを順次積層して積層体2、2を形成する(積層体形成工程)(図5及び図6参照)。
このときスティフナー3、3と積層体2、2の線膨張差によって反りが発生する可能性があるが、上側の積層体2と下側の積層体2の反りの発生方向が反対方向であるため、全体として反りの発生が抑制される。
上記のように、積層体2、2の形成は接合されたスティフナー3、3上に各層が積層されて行われるため、スティフナー3、3を有する分、剛性が高く、常温時における初期の反りを抑制することができる。
次いで、スティフナー3、3を引き剥がして分離し接合材19を除去する(分離工程)(図7参照)。
続いて、スティフナー3、3にソルダーレジスト8、8をそれぞれ第1の端子接続部6、6、・・・の外周部を覆うように形成すると共にスティフナー3、3にソルダーレジスト12、12をそれぞれ第2の端子接続部7、7、・・・の外周部を覆うように形成する(図8参照)。
次に、スティフナー3、3をそれぞれルーター200、200によって切断する(図9参照)。このとき、予めスティフナー3、3に形成された切り込み3b、3bがルーター200、200によるスティフナー3、3の切断位置に繋がる位置に形成されているため、スティフナー3、3のルーター200、200による切断を容易かつ確実に行うことができる。
ルーター200、200によるスティフナー3、3の切断時には、高温にして低融点半田18、18を溶融しスティフナー3、3の一部を積層体2から剥離して部品配置孔3a、3aを形成する(配置孔形成工程)(図10参照)。部品配置孔3a、3aが形成されることにより、端子接続部7、7、・・・が露出される。
このように低融点半田18、18を溶融しスティフナー3、3の一部を積層体2から剥離して部品配置孔3a、3aを形成して端子接続部7、7、・・・が露出されることにより配線基板1、1が製造される。
尚、上記には、低融点半田18を溶融してスティフナー3の一部を積層体2から剥離して部品配置孔3aを形成する例を示したが、例えば、スティフナー3の表面にSnBiやAuSn等の脆い合金層を形成し、ルーター200によるスティフナー3の切断時にこの合金層を破壊することによりスティフナー3の一部を積層体2から剥離することも可能である。
また、スティフナー3の表面にフッ素やシリコン等の元素による部分的な処理面を形成し、ルーター200によるスティフナー3の切断時にこの処理面においてスティフナー3の一部を積層体2から剥離することも可能である。
次に、スティフナー3の第1の端子接続部6、6、・・・に電子部品13の端子部13a、13a、・・・を半田14、14、・・・によって接続し、スティフナー3の部品配置孔3aに電子部品15を配置し端子部15a、15a、・・・をそれぞれ半田16、16、・・・によって第2の端子接続部7、7、・・・に接続する(図11参照)。
配線基板1、1はスティフナー3、3に形成された接続パッド11、11、・・・がそれぞれ回路基板100の接続端子100a、100a、・・・に半田17、17、・・・によって接合される。
尚、配線基板1においては、電子部品13の下面と積層体2の上面との間及び電子部品15の上面と積層体2の下面との間にそれぞれ第1の端子接続部6、6、・・・と第2の端子接続部7、7、・・・を覆う図示しないアンダーフィル材が充填される。また、電子部品13の上面には、例えば、TIM等の熱伝達物質層を介して図示しない放熱板が配置され、電子部品13において発生する熱が放熱板から放出される。
配線基板1は、上記したように、二つのスティフナー3、3が接合され接合されたスティフナー3、3上に積層体2、2が形成される方法によって製造される。従って、製造工程において反りの発生を抑制することができると共に一度の製造において複数の配線基板1、1、・・・を製造することが可能になり製造コストの低減を図ることができる。
[他の例]
上記には、電子部品13、15が積層体2の第1の端子接続部6、6、・・・と第2の端子接続部7、7、・・・に接続された例を示したが、配線基板1は、以下のような構成にされていてもよい。
例えば、積層体2の第1の端子接続部6、6、・・・と第2の端子接続部7、7、・・・にそれぞれ複数の電子部品13、13、・・・、15、15、・・・が接続されていてもよい(図12参照)。また、電子部品13、13、・・・、15、15、・・・がケース等に収納されて一体化されたパッケージ部品50が、第1の端子接続部6、6、・・・や第2の端子接続部7、7、・・・に接続されていてもよい。
また、例えば、積層体2の第1の端子接続部6、6、・・・と第2の端子接続部7、7、・・・にそれぞれ単一又は複数の電子部品13、13、・・・、15、15、・・・がワイヤーボンディングによって接続されていてもよい(図13参照)。この場合に、電子部品13、13、・・・、15、15、・・・は複数がチップオンチップやTSV(シリコン貫通電極:Through Silicon Via)によって接続されていてもよい。さらに、これらの電子部品13、13、・・・、15、15、・・・が封止樹脂51、51によって封止されていてもよい。
[まとめ]
以上に記載した通り、配線基板1にあっては、スティフナー3上に複数の絶縁層4、4、・・・と複数の配線層5、5、・・・とが積層された積層体2が形成されている。
従って、積層体2とスティフナー3を各別に形成して両者を接合する必要がなく、その分、両者の間に半田やソルダーレジストが存在しないため、配線基板1の小型化(薄型化)を図ることができる。
また、積層体2とスティフナー3の間にソルダーレジストを形成する工程が不要になり、積層体2とスティフナー3を半田により接合する工程も必要なく、その分、製造コストの低減を図ることができる。
さらに、電子部品13と電子部品15がコアを有さないコアレスタイプの積層体2の上下両面に接続されているため、電子部品13と電子部品15の間の高速伝送化を図ることができる。
さらにまた、積層体2とスティフナー3において半田を介さず配線層5と導電層9aが接続されているため、低抵抗化及び電圧損失の低減を図ることができる。
加えて、積層体2がスティフナー3上に積層されて形成され半田を介さずに結合されているため、強度の向上及び信頼性の向上を図ることができる。
また、スティフナー3が枠状に形成されているため、部品配置孔3aに配置される電子部品15がスティフナー3によって外周側から保護され、配線基板1の動作の信頼性の向上を図ることができる。
さらに、スティフナー3に回路基板100との接続用のスルーホール9、9、・・・が形成されているため、積層体2と回路基板100との接続を簡単かつ確実に行うことができる。
尚、回路基板100の接続端子100a、100a、・・・は電子部品13側の端子部(第1の端子接続部6)に比して数が少なく、スルーホール9、9、・・・の大きさも大きくすることが可能であり数も少なくて済むため、ドリルによるスルーホール9、9、・・・の形成を低コストで行うことができる。
また、スルーホール9、9、・・・の数が少なくて済むため、その分、配線基板1の小型化を図ることも可能である。
さらに、スルーホール9、9、・・・の大きさが大きいため、その分、導電部9a、9a、・・・の大きさも大きくすることが可能になり、電子部品13、15と回路基板100の間の伝送速度の遅延を避けることが可能になり、電気的特性の低減を抑制することができる。
また、コアレス基板は剛性の高い支持体上に絶縁層と配線層が積層され製造後に支持体を廃棄する方法によって形成されるが、配線基板1においては、製品として製造された状態においても支持体として機能するスティフナー3を有しているため、廃棄による資源ロス及び工程ロスを削減することができる。
[本技術]
本技術は、以下のような構成にすることもできる。
(1)回路基板に接合されるスティフナーと、前記スティフナーの前記回路基板に接合される面と反対の面上に、導電材料が充填されたビアホールを有する複数の絶縁層と前記導電材料により接続された複数の配線層とが積層されて形成された積層体とを備え、前記積層体の積層方向における両面に前記配線層に前記導電材料により接続され電子部品の端子部が接続される端子接続部がそれぞれ形成され、前記スティフナーに、その一部が切断されて形成されると共に前記積層体の一方の面に形成された前記端子接続部が位置され前記電子部品が配置される部品配置孔と、前記回路基板との接続用のスルーホールとが形成された配線基板。
(2)前記スティフナーが枠状に形成された前記(1)に記載の配線基板。
(3)回路基板との接続用のスルーホールがそれぞれ形成された二つのスティフナーを接合材を挟んで接合するスティフナー接合工程と、前記各スティフナーの接合された面と反対側の面にそれぞれ導電材料が充填されたビアホールを有する複数の絶縁層と複数の配線層とを積層し積層方向における両面に前記配線層に接続され電子部品の端子部が接続される端子接続部をそれぞれ有する積層体を形成する積層体形成工程と、二つの前記スティフナーを分離し前記接合材を除去する分離工程と、前記スティフナーを切断して一部を積層体から剥離し前記電子部品が配置される部品配置孔を形成する配置孔形成工程とを備えた配線基板の製造方法。
(4)前記スティフナーが枠状に形成された前記(3)に記載の配線基板の製造方法。
(5)前記スティフナーにおける前記部品配置孔の形成時に切断される切断箇所の一部に切り込みが形成された前記(3)又は前記(4)に記載の配線基板の製造方法。
(6)前記接合材として熱可塑性のフィルムが用いられた前記(3)から前記(5)の何れかに記載の配線基板の製造方法。
上記した技術を実施するための最良の形態において示した各部の具体的な形状及び構造は、何れも本技術を実施する際の具体化のほんの一例を示したものにすぎず、これらによって本技術の技術的範囲が限定的に解釈されることがあってはならないものである。
図2乃至図13と共に本技術配線基板及び配線基板の製造方法の最良の形態を示すものであり、本図は、マザーボードに接続された状態で示す配線基板の拡大断面図である。 図3乃至図11と共に配線基板の製造方法を示すものであり、本図は、成形体を示す概念図である。 二つのスティフナーが用意された状態を示す拡大断面図である。 接合材を挟んでスティフナーが接合された状態を示す拡大断面図である。 各スティフナー上にそれぞれ積層体の一部が形成された状態を示す拡大断面図である。 各スティフナー上にそれぞれ積層体が形成された状態を示す拡大断面図である。 スティフナーを引き剥がして分離し接合材を除去した状態を示す拡大断面図である。 スティフナーにソルダーレジストが形成された状態を示す拡大断面図である。 スティフナーが切断されている状態を示す拡大断面図である。 スティフナーの一部が積層体から剥離され配置孔が形成されて配線基板が形成された状態を示す拡大断面図である。 電子部品が配線基板に実装された状態を示す拡大断面図である。 第1の端子接続部と第2の端子接続部にそれぞれ複数の電子部品が接続された例を示す拡大断面図である。 第1の端子接続部と第2の端子接続部にそれぞれワイヤーボンディングによって電子部品が接続された例を示す拡大断面図である。
1…配線基板、2…積層体、3…スティフナー、3a…部品配置孔、4…絶縁層、5…配線層、6…第1の端子接続部、7…第2の端子接続部、9…スルーホール、11…接続パッド、13…電子部品、13a…端子部、15…電子部品、15a…端子部、3b…切り込み、19…接合材、100…回路基板

Claims (5)

  1. 回路基板に接合されるスティフナーと、
    前記スティフナーの前記回路基板に接合される面と反対の面上に導電材料が充填されたビアホールを有する複数の絶縁層と前記導電材料により接続された複数の配線層とが積層されて形成された積層体とを備え、
    前記積層体の積層方向における両面に前記配線層に前記導電材料により接続され電子部品の端子部が接続される端子接続部がそれぞれ形成され、
    前記スティフナーに、その一部が切断されて形成されると共に前記積層体の一方の面に形成された前記端子接続部が位置され前記電子部品が配置される部品配置孔と、前記回路基板との接続用のスルーホールとが形成された
    配線基板。
  2. 前記スティフナーが枠状に形成された
    請求項1に記載の配線基板。
  3. 回路基板との接続用のスルーホールがそれぞれ形成された二つのスティフナーを接合材を挟んで接合するスティフナー接合工程と、
    前記各スティフナーの接合された面と反対側の面にそれぞれ導電材料が充填されたビアホールを有する複数の絶縁層と複数の配線層とを積層し積層方向における両面に前記配線層に接続され電子部品の端子部が接続される端子接続部をそれぞれ有する積層体を形成する積層体形成工程と、
    二つの前記スティフナーを分離し前記接合材を除去する分離工程と、
    前記スティフナーを切断して一部を積層体から剥離し前記電子部品が配置される部品配置孔を形成する配置孔形成工程とを備えた
    配線基板の製造方法。
  4. 前記スティフナーが枠状に形成された
    請求項3に記載の配線基板の製造方法。
  5. 前記スティフナーにおける前記部品配置孔の形成時に切断される切断箇所の一部に切り込みが形成された
    請求項3に記載の配線基板の製造方法。
JP2012185689A 2012-08-24 2012-08-24 配線基板及び配線基板の製造方法 Active JP6083152B2 (ja)

Priority Applications (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012185689A JP6083152B2 (ja) 2012-08-24 2012-08-24 配線基板及び配線基板の製造方法
US13/961,629 US9565767B2 (en) 2012-08-24 2013-08-07 Wiring board formed by a laminate on a stiffener
CN201310359720.2A CN103632982A (zh) 2012-08-24 2013-08-16 配线板及配线板的制造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2012185689A JP6083152B2 (ja) 2012-08-24 2012-08-24 配線基板及び配線基板の製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2014045026A JP2014045026A (ja) 2014-03-13
JP6083152B2 true JP6083152B2 (ja) 2017-02-22

Family

ID=50147011

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2012185689A Active JP6083152B2 (ja) 2012-08-24 2012-08-24 配線基板及び配線基板の製造方法

Country Status (3)

Country Link
US (1) US9565767B2 (ja)
JP (1) JP6083152B2 (ja)
CN (1) CN103632982A (ja)

Families Citing this family (24)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014027020A (ja) * 2012-07-24 2014-02-06 Toshiba Corp 回路基板、電子機器、および回路基板の製造方法
JP6245249B2 (ja) * 2013-02-22 2017-12-13 パナソニック株式会社 電子部品パッケージ
KR101462770B1 (ko) * 2013-04-09 2014-11-20 삼성전기주식회사 인쇄회로기판과 그의 제조방법 및 그 인쇄회로기판을 포함하는 반도체 패키지
US9392695B2 (en) * 2014-01-03 2016-07-12 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Electric component module
JP2016066699A (ja) * 2014-09-25 2016-04-28 京セラサーキットソリューションズ株式会社 複合配線基板およびその実装構造体
JP2016082089A (ja) * 2014-10-17 2016-05-16 イビデン株式会社 プリント配線板
JP2016082143A (ja) * 2014-10-21 2016-05-16 イビデン株式会社 プリント配線板
JP6503687B2 (ja) * 2014-10-23 2019-04-24 イビデン株式会社 プリント配線板
JP2016201424A (ja) * 2015-04-08 2016-12-01 イビデン株式会社 プリント配線板およびその製造方法
WO2018004686A1 (en) * 2016-07-01 2018-01-04 Intel Corporation Device, method and system for providing recessed interconnect structures of a substrate
US10332843B2 (en) * 2016-08-19 2019-06-25 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Fan-out semiconductor package
US9953931B1 (en) * 2016-10-25 2018-04-24 Advanced Semiconductor Engineering, Inc Semiconductor device package and a method of manufacturing the same
US11357111B2 (en) * 2018-08-27 2022-06-07 Tactotek Oy Method for manufacturing a multilayer structure with embedded functionalities and related multilayer structure
CN113261092A (zh) * 2019-03-07 2021-08-13 Skc株式会社 封装基板及包括其的半导体装置
US11981501B2 (en) 2019-03-12 2024-05-14 Absolics Inc. Loading cassette for substrate including glass and substrate loading method to which same is applied
KR102528166B1 (ko) 2019-03-12 2023-05-02 앱솔릭스 인코포레이티드 패키징 기판 및 이를 포함하는 반도체 장치
CN115440697A (zh) 2019-03-12 2022-12-06 爱玻索立克公司 封装基板及包括其的半导体装置
WO2020204473A1 (ko) 2019-03-29 2020-10-08 에스케이씨 주식회사 반도체용 패키징 유리기판, 반도체용 패키징 기판 및 반도체 장치
EP3905323A4 (en) 2019-08-23 2022-10-19 Absolics Inc. PACKAGING SUBSTRATE AND SEMICONDUCTOR DEVICE WITH IT
CN110636701B (zh) * 2019-10-29 2021-01-08 维沃移动通信有限公司 电路板装置及电子设备
CN113747685A (zh) * 2020-05-27 2021-12-03 宏启胜精密电子(秦皇岛)有限公司 电路板组件及其制作方法
KR102515303B1 (ko) * 2021-04-30 2023-03-29 앱솔릭스 인코포레이티드 패키징 기판 및 이를 포함하는 반도체 장치
CN113840478A (zh) * 2021-09-08 2021-12-24 景旺电子科技(珠海)有限公司 印刷线路板的制作方法及印刷线路板
KR102613002B1 (ko) * 2021-09-30 2023-12-13 한국전자기술연구원 반도체 패키지 및 그 제조방법

Family Cites Families (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002151847A (ja) * 2000-08-29 2002-05-24 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板およびその製造方法
JP2002290032A (ja) * 2001-03-24 2002-10-04 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板の製造方法
JP2002319760A (ja) * 2001-04-20 2002-10-31 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板の製造方法
JP2003229510A (ja) * 2001-11-30 2003-08-15 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板
JP2004241583A (ja) * 2003-02-05 2004-08-26 Ngk Spark Plug Co Ltd 配線基板
JP2007080976A (ja) * 2005-09-12 2007-03-29 Shinko Electric Ind Co Ltd 多層回路基板及びその製造方法ならびに電子部品パッケージ
CN101541145B (zh) * 2009-03-17 2012-05-30 上海美维科技有限公司 印制电路板或集成电路封装基板制作中超薄芯板加工方法
JP5491991B2 (ja) 2009-07-06 2014-05-14 株式会社フジクラ 積層配線基板及びその製造方法
JP2011176020A (ja) 2010-02-23 2011-09-08 Kyocera Corp 多数個取り配線基板およびその製造方法
US8865525B2 (en) * 2010-11-22 2014-10-21 Bridge Semiconductor Corporation Method of making cavity substrate with built-in stiffener and cavity substrate manufactured thereby

Also Published As

Publication number Publication date
CN103632982A (zh) 2014-03-12
JP2014045026A (ja) 2014-03-13
US20140054080A1 (en) 2014-02-27
US9565767B2 (en) 2017-02-07

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6083152B2 (ja) 配線基板及び配線基板の製造方法
JP6325605B2 (ja) 電子部品内蔵基板
JP5100081B2 (ja) 電子部品搭載多層配線基板及びその製造方法
JP5607086B2 (ja) 半導体パッケージの製造方法
JP5367523B2 (ja) 配線基板及び配線基板の製造方法
JP2006019368A (ja) インターポーザ及びその製造方法並びに半導体装置
JP2006222164A (ja) 半導体装置及びその製造方法
JP2008218979A (ja) 電子パッケージ及びその製造方法
JP4982779B2 (ja) パッケージ用基板の製造方法
US8797755B2 (en) Wiring board and manufacturing method of wiring board
JP2017050310A (ja) 電子部品装置及びその製造方法
KR20160086181A (ko) 인쇄회로기판, 패키지 및 그 제조방법
TWI506758B (zh) 層疊封裝結構及其製作方法
JP6378616B2 (ja) 電子部品内蔵プリント配線板
KR101167429B1 (ko) 반도체 패키지의 제조방법
TWI585919B (zh) 晶片封裝基板、晶片封裝結構及二者之製作方法
JP5539453B2 (ja) 電子部品搭載多層配線基板及びその製造方法
JP2001230515A (ja) 電子部品の実装体、電子部品の実装体の製造方法、および実装体の二次実装構造。
US9485863B2 (en) Carrier and method for fabricating coreless packaging substrate
JP6587795B2 (ja) 回路モジュール
JP2005340355A (ja) 配線基板
KR101067063B1 (ko) 인쇄회로기판 제조용 캐리어와 그 제조방법 및 이를 이용한 인쇄회로기판의 제조방법
JP3834305B2 (ja) 多層配線基板の製造方法
JP2017011156A (ja) 半導体装置、プリント配線板およびプリント配線板の製造方法
KR101432488B1 (ko) 적층형 반도체 패키지 및 그 제조방법

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20150120

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20151015

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20151027

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20151221

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20160531

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20160725

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161227

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20170109

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 6083152

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250