JP6082103B2 - ガス混合物を提供するための方法および装置 - Google Patents
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Description
工程550において、筺体202内のガスの分子量の測定が初期化される。これは、例えば、筺体202の外側にあるボタンをユーザーが押すことによって起動されてよい。別の選択肢として、測定は、リモート接続によって開始されてもよく、例えば、ワイヤレスネットワークを通してシグナルが送信され、アンテナを通して分子量メーター200、300、400、500によって受信される。
初期化されると、駆動回路212を用いて石英水晶発振器210が駆動される。初期化の過程で、駆動回路212は、水晶210全体にランダムノイズAC電圧を印加する。そのランダム電圧の少なくとも一部は、水晶210に発振を引き起こすのに適する周波数である。水晶210は、次に、そのシグナルと同期して発振を開始する。
共振周波数fは、筺体202内の環境条件に依存する。本実施形態では、共振周波数の変化Δfは、良好な近似として、筺体202の内部206におけるガスの密度の変化に対してその大きさが比例し、密度の増加と共に減少する。
工程556では、温度センサー214が、筺体202内のガスの温度を測定する。この測定は、工程554で測定された周波数変化からの分子量の計算の精度を高めるために行われる。
工程554において石英水晶発振器210の周波数が満足の行く形で測定され、工程556で温度が測定されると、次にプロセッサー230は、筺体202の内部206内のガスの圧力を特定する。
これは、ガスの密度ρ、圧力P、および温度Tが既知である場合に、上記の方程式8)を用いて行われる。従って、工程554で測定される共振周波数が既知であり、工程556で測定される筺体202中のガスの温度Tが既知であり、および工程558で特定されるガスの圧力が既知であれば、分子量(または、ガスの均質混合物の場合は平均分子量)の正確な測定を行うことができる。次に、方法は、工程562へ進む。
ガスの分子量は、いくつかの方法で表示させることができる。例えば、筺体202またはレギュレーター150、250に取り付けられたスクリーン(図示せず)に、ガスの分子量(または平均分子量)が表示されてよい。別の選択肢として、圧力測定は、以降で記載するように、ベースステーションへ、または隣接する付属備品上に配置されるメーターへ、リモート通信されてもよい。
分子量メーター200、300、400、500を常時作動状態に保持しておく必要はない。逆に、非使用時に分子量メーター200、300、400、500のスイッチを切ることによって電力消費を低減することは有益である。これにより、電池216の寿命が長くなる。
Claims (16)
- 第一のガスを供給するための第一のガス源、
前記第一のガスとは異なる第二のガスを供給するための第二のガス源、
前記第一および第二のガス源からの前記第一のガスおよび第二のガスの対応する流量を調節するための第一および第二の電子バルブ、
ミキサー、ならびに
出口部
を含み、前記ミキサーは、前記第一および第二の電子バルブの下流に配置され、使用時に、前記第一および第二のガスを混合して混合ガスを前記出口部へ提供するように構成されるガスミキサー設備であって、ここで、前記ガスミキサー設備は、メーターをさらに含み、前記メーターは、
前記混合ガスの平均分子量を特定するように作動可能であり、前記混合ガスと接触する高周波平面型圧電水晶発振器を含む第一のセンサーアセンブリー、
前記第一または第二の電子バルブのうちの一方の下流でかつ前記ミキサーの上流の対応する第一または第二のガスの圧力を特定するように作動可能である第二のセンサーアセンブリー、および
前記混合ガスの前記平均分子量および前記ガス圧力に応答して前記第一および第二の電子バルブを自動制御し、前記混合ガス中の前記第一および第二のガスの相対的比率、ならびに前記出口部からの前記混合ガスの圧力または質量流速を制御するように作動可能であるコントローラー
を含む、ガスミキサー設備。 - 前記第二のセンサーアセンブリーが、前記ミキサーの上流の前記第一または第二のガスと接触する第二の高周波平面型圧電水晶発振器を含む、請求項1に記載のガスミキサー設備。
- 前記第一または第二の電子バルブのうちの他方の下流のガスの圧力を特定するように作動可能である第三のセンサーアセンブリーをさらに含む、請求項1または2に記載のガスミキサー設備。
- 前記第三のセンサーアセンブリーが、前記ミキサーの上流の前記第一または第二のガスの他方と接触する第三の高周波平面型圧電水晶発振器を含む、請求項3に記載のガスミキサー設備。
- 前記第一のセンサーアセンブリーが、使用時に前記混合ガスが流れる導管をさらに含み、前記導管は、使用時にチョーク流を発生させる流量制限オリフィスを前記出口部の上流に有し、前記流量制限オリフィスは、前記オリフィスの上流の上流部分と前記出口部に連結された下流部分とに前記導管を分割し、ここで、前記圧電水晶発振器は、前記上流部分に配置され、前記第一のセンサーアセンブリーは、さらに、前記オリフィスを通る混合ガスの質量流速を測定するように作動可能である、請求項1〜4のいずれか一項に記載のガスミキサー設備。
- ガスミキサー設備を用いてある相対的比率のガスの混合物を提供する方法であって、前記ガスミキサー設備は、第一のガスを供給するための第一のガス源、前記第一のガスとは異なる第二のガスを供給するための第二のガス源、前記第一および第二のガス源からの前記第一のガスおよび第二のガスの対応する流量を調節するための第一および第二の電子バルブ、前記第一および第二の電子バルブの下流に配置されるミキサー、出口部、ならびに第一および第二のセンサーアセンブリーを含み、前記第一のセンサーアセンブリーは、前記混合ガスと接触する高周波平面型圧電水晶発振器を含み、前記方法は、
a)前記第一のガス源から前記第一のガスを受けること、
b)前記第二のガス源から前記第二のガスを受けること、
c)前記第一および第二のガスを混合して混合ガスを形成すること、
d)前記混合ガスと接触する前記高周波平面型圧電水晶発振器の共振周波数を測定すること、
e)前記第二のセンサーアセンブリーを用いて、前記第一または第二の電子バルブのうちの一方の下流でかつ前記ミキサーの上流の対応する第一または第二のガスの圧力を特定すること、
f)前記共振周波数および前記圧力測定から、前記混合ガスの平均分子量を特定すること、ならびに
g)前記特定された平均分子量および前記圧力測定に応答して前記第一および第二の電子バルブを自動制御して、前記混合ガス中の前記第一および第二のガスの前記相対的比率、ならびに前記出口部からの前記混合ガスの圧力または質量流速を制御すること
を含む、ガスミキサー設備を用いてある相対的比率のガスの混合物を提供する方法。 - 前記第二のセンサーアセンブリーが、第二の高周波平面型圧電水晶発振器を含み、および工程e)が、前記ミキサーの上流の前記第一または第二のガスのうちの対応する一方と接触する前記第二の高周波平面型圧電水晶発振器の共振周波数を測定することを含む、請求項6に記載の方法。
- 前記ガスミキサー設備が第三のセンサーアセンブリーをさらに含み、前記方法が、工程e)に続いて、
h)前記第三のセンサーアセンブリーを用いて、前記第一または第二の電子バルブの他方の下流のガスの圧力を特定すること
をさらに含む、請求項6または7に記載の方法。 - 前記第三のセンサーアセンブリーが前記ミキサーの上流の前記第一または第二のガスの他方と接触する第三の高周波平面型圧電水晶発振器を含み、工程h)が、前記ミキサーの上流の前記第一または第二のガスと接触する前記第三の高周波平面型圧電水晶発振器の共振周波数を測定することを含む、請求項8に記載の方法。
- 前記第一のセンサーアセンブリーが、使用時に前記混合ガスが流れる導管をさらに含み、前記導管は、使用時にチョーク流を発生させる流量制限オリフィスを前記出口部の上流に有し、前記流量制限オリフィスは、前記オリフィスの上流の上流部分と前記出口部に連結された下流部分とに前記導管を分割し、前記方法は、
i)前記共振周波数から、前記オリフィスを通るガスの質量流速を特定すること
をさらに含む、請求項6〜9のいずれか一項に記載の方法。 - 第一のガスを供給するための第一のガス源、前記第一のガスとは異なる第二のガスを供給するための第二のガス源、前記第一および第二のガス源からの前記第一のガスおよび第二のガスの対応する流量を調節するための第一および第二の電子バルブ、前記第一および第二の電子バルブの下流に配置されるミキサー、出口部、混合ガスと接触する高周波平面型圧電水晶発振器を含む第一のセンサーアセンブリー、第二のセンサーアセンブリー、ならびにプロセッサーを含むガスミキサー設備において、前記プロセッサーに
a)前記第一の電子バルブを制御して前記第一のガス源から前記第一のガスを供給する工程、
b)前記第二の電子バルブを制御して前記第二のガス源から前記第二のガスを供給する工程、
c)前記ミキサーを用いて前記第一および第二のガスを混合して混合ガスを形成させる工程、
d)前記混合ガスと接触する前記高周波平面型圧電水晶発振器の共振周波数を測定する工程、
e)前記第二のセンサーアセンブリーを用いて、前記第一または第二の電子バルブのうちの一方の下流でかつ前記ミキサーの上流の対応する第一または第二のガスの圧力を特定する工程、
f)前記共振周波数および前記圧力測定から、前記混合ガスの平均分子量を特定する工程、ならびに
g)前記特定された平均分子量および前記圧力測定に応答して前記第一および第二の電子バルブを自動制御して、前記混合ガス中の前記第一および第二のガスの相対的比率、ならびに前記出口部からの前記混合ガスの圧力または質量流速を制御する工程
を実行させる、コンピュータープログラム。 - 前記第二のセンサーアセンブリーが、第二の高周波平面型圧電水晶発振器を含み、および工程e)が、前記ミキサーの上流の前記第一または第二のガスのうちの対応する一方と接触する前記第二の高周波平面型圧電水晶発振器の共振周波数を測定することを含む、請求項11に記載のコンピュータープログラム。
- 前記ガスミキサー設備が第三のセンサーアセンブリーをさらに含み、工程e)に続いて、
h)前記第三のセンサーアセンブリーを用いて、前記第一または第二の電子バルブの他方の下流のガスの圧力を特定する工程
を前記プロセッサーにさらに実行させる、請求項11または12に記載のコンピュータープログラム。 - 前記第三のセンサーアセンブリーが前記ミキサーの上流の前記第一または第二のガスの他方と接触する第三の高周波平面型圧電水晶発振器を含み、工程h)が、前記ミキサーの上流の前記第一または第二のガスと接触する前記第三の高周波平面型圧電水晶発振器の共振周波数を測定することを含む、請求項13に記載のコンピュータープログラム。
- 前記第一のセンサーアセンブリーが、使用時に前記混合ガスが流れる導管をさらに含み、前記導管は、使用時にチョーク流を発生させる流量制限オリフィスを前記出口部の上流に有し、前記流量制限オリフィスは、前記オリフィスの上流の上流部分と前記出口部に連結された下流部分とに前記導管を分割し、
i)前記共振周波数から、前記オリフィスを通るガスの質量流速を特定する工程
を前記プロセッサーにさらに実行させる、請求項11〜14のいずれか一項に記載のコンピュータープログラム。 - 請求項11〜15のいずれか一項に記載のコンピュータープログラムが記録された、コンピューターで読み取り可能である記憶媒体。
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---|---|---|---|---|
US8517990B2 (en) | 2007-12-18 | 2013-08-27 | Hospira, Inc. | User interface improvements for medical devices |
US9240002B2 (en) | 2011-08-19 | 2016-01-19 | Hospira, Inc. | Systems and methods for a graphical interface including a graphical representation of medical data |
US10022498B2 (en) | 2011-12-16 | 2018-07-17 | Icu Medical, Inc. | System for monitoring and delivering medication to a patient and method of using the same to minimize the risks associated with automated therapy |
ES2741725T3 (es) | 2012-03-30 | 2020-02-12 | Icu Medical Inc | Sistema de detección de aire y método para detectar aire en una bomba de un sistema de infusión |
EP2667159B1 (en) * | 2012-05-24 | 2021-12-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and Apparatus for, Measuring the Mass Flow Rate of a Gas |
WO2014022513A1 (en) | 2012-07-31 | 2014-02-06 | Hospira, Inc. | Patient care system for critical medications |
AU2014268355B2 (en) | 2013-05-24 | 2018-06-14 | Icu Medical, Inc. | Multi-sensor infusion system for detecting air or an occlusion in the infusion system |
WO2014194065A1 (en) | 2013-05-29 | 2014-12-04 | Hospira, Inc. | Infusion system and method of use which prevents over-saturation of an analog-to-digital converter |
AU2014274146B2 (en) | 2013-05-29 | 2019-01-24 | Icu Medical, Inc. | Infusion system which utilizes one or more sensors and additional information to make an air determination regarding the infusion system |
ES2776363T3 (es) | 2014-02-28 | 2020-07-30 | Icu Medical Inc | Sistema de infusión y método que utiliza detección óptica de aire en línea de doble longitud de onda |
AU2015266706B2 (en) | 2014-05-29 | 2020-01-30 | Icu Medical, Inc. | Infusion system and pump with configurable closed loop delivery rate catch-up |
US11344668B2 (en) * | 2014-12-19 | 2022-05-31 | Icu Medical, Inc. | Infusion system with concurrent TPN/insulin infusion |
CN104587888B (zh) * | 2015-01-23 | 2017-05-17 | 核工业理化工程研究院 | 气体混合物料的配料装置 |
US10850024B2 (en) | 2015-03-02 | 2020-12-01 | Icu Medical, Inc. | Infusion system, device, and method having advanced infusion features |
CN104959049B (zh) * | 2015-06-11 | 2017-03-22 | 中国船舶重工集团公司第七一八研究所 | 超纯混合气制备系统和方法 |
EP3121444B1 (en) | 2015-07-24 | 2019-10-23 | Artemis Intelligent Power Limited | Fluid working machine and method of operating a fluid working machine |
EP3371672B1 (en) * | 2015-11-03 | 2021-05-26 | Norgren Limited | Electropneumatic gas mixing valve and pressure controller |
ITUB20160509A1 (it) * | 2016-01-21 | 2017-07-21 | Cryotek Eng S R L | Sistema di miscelazione elettronico di fluidi gassosi |
CN105964183A (zh) * | 2016-03-28 | 2016-09-28 | 中国科学院等离子体物理研究所 | 等离子体破裂防护专用的高压混合气体精确自动配置系统 |
US11246985B2 (en) | 2016-05-13 | 2022-02-15 | Icu Medical, Inc. | Infusion pump system and method with common line auto flush |
CA3027176A1 (en) | 2016-06-10 | 2017-12-14 | Icu Medical, Inc. | Acoustic flow sensor for continuous medication flow measurements and feedback control of infusion |
JP6600854B2 (ja) * | 2016-08-24 | 2019-11-06 | 株式会社フジキン | 圧力式流量制御装置、その流量算出方法および流量制御方法 |
US11215586B2 (en) * | 2017-01-30 | 2022-01-04 | Aromatix, Inc. | Ultrasound gas sensor system using machine learning |
JP6822285B2 (ja) * | 2017-03-31 | 2021-01-27 | 三菱マテリアル株式会社 | 水素混合ガスの製造方法 |
CN107064012B (zh) * | 2017-04-11 | 2019-06-25 | 山西大学 | 基于拍频效应的石英增强光声光谱气体检测装置及方法 |
TWI648528B (zh) | 2017-11-23 | 2019-01-21 | 財團法人工業技術研究院 | 電阻式氣體感測器與其氣體感測方法 |
US10089055B1 (en) | 2017-12-27 | 2018-10-02 | Icu Medical, Inc. | Synchronized display of screen content on networked devices |
US10928287B2 (en) | 2018-08-09 | 2021-02-23 | Air Products And Chemicals, Inc | Method and apparatus for using a gas density sensor to measure and control gas mixture composition |
DE102018217844A1 (de) * | 2018-10-18 | 2020-04-23 | Intega Gmbh | Gefahrgasmischer |
US11278671B2 (en) | 2019-12-04 | 2022-03-22 | Icu Medical, Inc. | Infusion pump with safety sequence keypad |
GB201918890D0 (en) * | 2019-12-19 | 2020-02-05 | Ge Healthcare Bio Sciences Ab | A bioprocess fluid mixing system |
CN111258345B (zh) * | 2020-02-25 | 2021-01-15 | 北京首钢朗泽新能源科技有限公司 | 一种气体浓度稳定装置及其控制方法 |
CN111408289B (zh) * | 2020-03-30 | 2021-11-30 | 山东重山光电材料股份有限公司 | 一种工业化连续高精度混合气体的方法及系统 |
WO2022020184A1 (en) | 2020-07-21 | 2022-01-27 | Icu Medical, Inc. | Fluid transfer devices and methods of use |
CN112050074A (zh) * | 2020-09-03 | 2020-12-08 | 河南省日立信股份有限公司 | 基于称重与分压组合法的c5-pfk混气配制装置及方法 |
US11135360B1 (en) | 2020-12-07 | 2021-10-05 | Icu Medical, Inc. | Concurrent infusion with common line auto flush |
NO20220105A1 (no) * | 2022-01-21 | 2023-07-24 | Obs Tech As | Strømningsstabiliserende gassregulator |
US20240044738A1 (en) | 2022-08-04 | 2024-02-08 | Air Products And Chemicals, Inc. | Compressed fluid vessel monitoring apparatus and method |
Family Cites Families (103)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US2739478A (en) * | 1950-04-14 | 1956-03-27 | Franklin F Offner | Apparatus for measuring mass gas flow and application thereof to gas-liquid ratio control system |
US3443576A (en) * | 1966-11-29 | 1969-05-13 | Willis D Kervin | Flow regulating system |
US3532102A (en) * | 1968-04-01 | 1970-10-06 | Exactel Ind Co | Blending control system |
US3612966A (en) | 1969-11-03 | 1971-10-12 | Dybel Frank Richard | Piezoelectric transducer with improved sensing circuit |
US3561832A (en) | 1969-12-05 | 1971-02-09 | Hewlett Packard Co | Quartz resonator pressure transducer |
GB1349257A (en) | 1970-04-24 | 1974-04-03 | Rotron Inc | Mass flow and mass flow rate indication |
US3902355A (en) | 1972-07-31 | 1975-09-02 | Gauting Gmbh Apparatebau | Apparatus for the electronic-digital measurement of gas pressure |
US4126049A (en) | 1977-02-14 | 1978-11-21 | Cotter Mitchell A | System and method of measuring fluid pressure force |
GB2027886B (en) | 1978-08-14 | 1983-02-02 | Solartron Electronic Group | Transducer for sensing a parameter of a fluid |
US4252139A (en) * | 1979-04-23 | 1981-02-24 | Milliken Research Corporation | Method and apparatus for automatically mixing a solution having a specified concentration |
US4275393A (en) | 1979-07-03 | 1981-06-23 | Polyvend Inc. | Method and apparatus for sensing pressure |
JPS58151517A (ja) | 1982-03-05 | 1983-09-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 粉粒体の流量測定方法及び装置 |
FR2530338A1 (fr) | 1982-07-13 | 1984-01-20 | Asulab Sa | Element sensible a la pression et capteur de pression en faisant application |
FR2532047A1 (fr) | 1982-08-19 | 1984-02-24 | Asulab Sa | Capteur de mesure muni d'un resonateur piezo-electrique compense en temperature |
DE3476266D1 (en) * | 1983-05-13 | 1989-02-23 | Krauss Maffei Ag | Method and apparatus for measuring the gas content of a liquid synthetic component |
US4644796A (en) * | 1983-06-21 | 1987-02-24 | Quartztronics, Inc. | Pressure measurement apparatus and method |
US4526480A (en) | 1983-06-21 | 1985-07-02 | Quartztronics, Inc. | Fluid density temperature measurement apparatus and method |
US4574639A (en) | 1983-06-21 | 1986-03-11 | Quartztronics, Inc. | Pressure force measurement apparatus and method |
DE3345750A1 (de) | 1983-12-17 | 1985-06-27 | Robert Bosch Gmbh, 7000 Stuttgart | Druckaufnehmer mit sensorquarz |
US4644804A (en) | 1984-07-17 | 1987-02-24 | Franz Rittmeyer Ag | Quartz resonating force and pressure transducer |
DE3529948A1 (de) | 1985-08-22 | 1987-03-05 | Nord Micro Elektronik Feinmech | Messanordnung zum messen des luftdrucks, insbesondere zur luftdatenerfassung im flugzeug |
US4680970A (en) | 1986-01-31 | 1987-07-21 | Yokogawa Hokushin Electric Corporation | Apparatus for measuring pressure |
JPS62184325A (ja) | 1986-02-07 | 1987-08-12 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 水晶式気体圧力計 |
US4713774A (en) | 1986-03-13 | 1987-12-15 | Phillips Petroleum Company | Alkylation reactor quality control |
JPS62218834A (ja) | 1986-03-20 | 1987-09-26 | Seiko Instr & Electronics Ltd | 気体圧力計 |
US4734609A (en) | 1986-07-25 | 1988-03-29 | Calogic Corporation | Gas density transducer |
DE3641842A1 (de) | 1986-12-08 | 1988-06-16 | Paul Prof Dr Leiderer | Verfahren und vorrichtung zur druckmessung in einem gasfoermigen medium |
GB2200211B (en) * | 1986-12-08 | 1991-01-16 | Fuji Electric Co Ltd | Vibration-type transducer |
US4802370A (en) | 1986-12-29 | 1989-02-07 | Halliburton Company | Transducer and sensor apparatus and method |
JPH06102253B2 (ja) | 1987-07-31 | 1994-12-14 | 三菱重工業株式会社 | 薄板連続鋳造装置のサイド堰 |
US4938068A (en) | 1988-09-28 | 1990-07-03 | The Slope Indicator Co. | Pressure transducer |
JP3068828B2 (ja) | 1988-12-29 | 2000-07-24 | 株式会社テクノール | 緩減速機能を有する液圧アクチュエータ回路 |
CH687276A5 (de) | 1989-01-23 | 1996-10-31 | Balzers Hochvakuum | Stimmgabelquarz-Manometer. |
AT393416B (de) | 1989-04-27 | 1991-10-25 | Avl Verbrennungskraft Messtech | Messverfahren zur bestimmung bzw. ueberwachung von mechanischen und/oder physikalischen groessen |
JPH0368828A (ja) | 1989-08-07 | 1991-03-25 | Daishinku Co | 圧力測定装置 |
EP0484569A1 (de) | 1990-11-06 | 1992-05-13 | Asea Brown Boveri Ag | Vorrichtung zur Messung von Schwefelhexafluorid-Zersetzungsprodukten |
US5136885A (en) | 1991-04-05 | 1992-08-11 | Tif Instruments, Inc. | Quartz crystal pressure sensor |
JPH0543044A (ja) | 1991-08-07 | 1993-02-23 | Murata Mach Ltd | 無人搬送車の物品ガイド装置 |
US5235844A (en) | 1991-10-23 | 1993-08-17 | Niagara Mohawk Power Corporation | Multiple gas property sensor |
DE4218926A1 (de) | 1992-06-10 | 1993-12-16 | Asea Brown Boveri | Vorrichtung zur Messung einer Gasdichte |
RU2061218C1 (ru) | 1992-07-22 | 1996-05-27 | Всероссийский научно-исследовательский институт природных газов и газовых технологий | Устройство для определения свойств текучих сред |
US5307683A (en) | 1992-08-05 | 1994-05-03 | Marathon Oil Company | Transient temperature compensation for pressure gauges |
US5307668A (en) | 1992-10-05 | 1994-05-03 | Badger Meter, Inc. | Gas density meter and method |
FR2698288B1 (fr) * | 1992-11-20 | 1994-12-23 | Lair Liquide | Procédé d'alimentation gazeuse notamment en diborane et silane. |
US5471882A (en) | 1993-08-31 | 1995-12-05 | Quartzdyne, Inc. | Quartz thickness-shear mode resonator temperature-compensated pressure transducer with matching thermal time constants of pressure and temperature sensors |
US5476115A (en) * | 1994-03-10 | 1995-12-19 | Praxair Technology, Inc. | Automatic gas blending system |
US5481968A (en) * | 1994-06-30 | 1996-01-09 | Accurate Metering Systems, Inc. | Apparatus for continuous multiple stream density or ratio control |
JP3865813B2 (ja) * | 1995-12-01 | 2007-01-10 | 有限会社エーディ | 流体混合装置 |
GB2316773B (en) | 1996-06-12 | 1999-09-29 | Gas Technology Canada | Electronic gas regulator |
JPH1010031A (ja) | 1996-06-20 | 1998-01-16 | Tokico Ltd | 密度計 |
US5868159A (en) | 1996-07-12 | 1999-02-09 | Mks Instruments, Inc. | Pressure-based mass flow controller |
DE69631669T2 (de) * | 1996-07-16 | 2004-12-02 | Fire-Trol Holdings, L.L.C., Phoenix | Dosierventil und steuerungseinrichtung dafür |
US5900534A (en) | 1996-10-07 | 1999-05-04 | Natural Fuels Corporation | Densitometer |
US6062256A (en) | 1997-02-11 | 2000-05-16 | Engineering Measurements Company | Micro mass flow control apparatus and method |
DE19718520C1 (de) | 1997-05-02 | 1998-10-01 | Daimler Benz Ag | Jalousierahmenanordnung |
US6286361B1 (en) | 1998-01-05 | 2001-09-11 | Rolls-Royce Plc | Method and apparatus for remotely detecting pressure, force, temperature, density, vibration, viscosity and speed of sound in a fluid |
US6058761A (en) | 1998-01-30 | 2000-05-09 | Badger Meter, Inc. | Measurement of relative density of combustible gases |
WO1999040553A1 (en) | 1998-02-05 | 1999-08-12 | Wan Tae Kim | Alarm device for sensing gas quantity within pressure vessel |
US5954089A (en) | 1998-04-17 | 1999-09-21 | Trw Inc. | Electromagnetic regulator utilizing alternate valve operating modes for gas pressure regulation |
US6266996B1 (en) * | 1998-10-06 | 2001-07-31 | Trw Inc. | Simple and inexpensive method and device for measuring concentration and rate of change of a crystal etchant gas, such as HF or DF gas |
DE19901119B4 (de) | 1999-01-14 | 2006-02-23 | Abb Patent Gmbh | Überwachungssystem für eine gasisolierte Hochspannungsschaltanlage |
US6772781B2 (en) * | 2000-02-04 | 2004-08-10 | Air Liquide America, L.P. | Apparatus and method for mixing gases |
US6532822B1 (en) | 2000-09-26 | 2003-03-18 | Clark Davis Boyd | Resonant torsion pendulum pressure sensor |
JP2002122498A (ja) | 2000-10-12 | 2002-04-26 | Anelva Corp | 含有ガスの圧力測定方法及び測定装置 |
GB2379983B (en) | 2001-09-19 | 2004-11-17 | Eric Atherton | Transducer assembly |
US7254983B2 (en) | 2001-10-16 | 2007-08-14 | Hera Usa Inc. | Fuel gauge for hydrogen storage media |
DE10232823B4 (de) | 2002-04-29 | 2004-08-12 | Hydrotechnik Gmbh | Dichtewächter für SF6-isolierte Hoch- oder Mittelspannungsanlagen |
JP2004219386A (ja) | 2003-01-17 | 2004-08-05 | Vacuum Products Kk | 2種混合気体の濃度測定装置 |
JP3744913B2 (ja) | 2003-03-20 | 2006-02-15 | 株式会社オーバル | 渦流量計センサ及び渦流量計 |
US7063097B2 (en) * | 2003-03-28 | 2006-06-20 | Advanced Technology Materials, Inc. | In-situ gas blending and dilution system for delivery of dilute gas at a predetermined concentration |
JP4266850B2 (ja) * | 2004-02-25 | 2009-05-20 | バキュームプロダクツ株式会社 | 2成分混合気体の濃度測定装置 |
FR2888930B1 (fr) | 2004-12-27 | 2007-08-31 | Thales Sa | Dispositfi de mesure a resonateur et procede mettant en oeuvre le dispositif |
JP2006241516A (ja) | 2005-03-03 | 2006-09-14 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | 混合ガスによる薄膜作製方法とその装置 |
US7454952B2 (en) | 2005-05-02 | 2008-11-25 | Thermo Fisher Scientific Inc. | Method and apparatus for monitoring mercury in a gas sample |
TWI402098B (zh) * | 2005-06-22 | 2013-07-21 | Advanced Tech Materials | 整合式氣體混合用之裝置及方法 |
CA2622383A1 (en) | 2005-09-22 | 2007-04-05 | Nano-Proprietary, Inc. | Hydrogen sensor |
US20100107735A1 (en) | 2005-09-22 | 2010-05-06 | Igor Pavlovsky | Gas Sensor |
JP3969442B2 (ja) | 2005-09-26 | 2007-09-05 | エプソントヨコム株式会社 | 圧力センサ |
US20070089796A1 (en) * | 2005-10-26 | 2007-04-26 | Tamara Electra Brown | Medical air production systems |
US20070186982A1 (en) | 2006-02-10 | 2007-08-16 | Cohen Joseph P | Method for dispensing compressed gas |
JP4798774B2 (ja) | 2006-03-14 | 2011-10-19 | 株式会社山武 | 混合ガス供給システム |
US7444878B1 (en) | 2006-10-30 | 2008-11-04 | Northrop Grumman Systems Corporation | Resonant frequency pressure sensor |
TWM334632U (en) | 2007-11-02 | 2008-06-21 | su-hua Dai | Unitary gas pressure adjusting device |
JP2009198472A (ja) | 2008-02-25 | 2009-09-03 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 高圧ガス流量計測装置及び流量計測方法 |
US20100269365A1 (en) | 2008-05-16 | 2010-10-28 | Miller Kenneth C | System and Method for Alternating Fluid Flow |
JP5093685B2 (ja) | 2008-08-08 | 2012-12-12 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置 |
US7870791B2 (en) | 2008-12-03 | 2011-01-18 | Rosemount Inc. | Method and apparatus for pressure measurement using quartz crystal |
JP5457021B2 (ja) * | 2008-12-22 | 2014-04-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 混合ガスの供給方法及び混合ガスの供給装置 |
FR2940624A1 (fr) * | 2008-12-30 | 2010-07-02 | Akhea | Dispositif melangeur d'au moins deux constituants gazeux |
JP5717624B2 (ja) | 2009-03-19 | 2015-05-13 | 中外製薬株式会社 | 抗体定常領域改変体 |
DE102009028006A1 (de) | 2009-07-24 | 2011-01-27 | Endress + Hauser Flowtec Ag | Meßwandler vom Vibrationstyp sowie Meßgerät mit einem solchen Meßwandler |
GB0917216D0 (en) | 2009-10-01 | 2009-11-18 | Johnson Matthey Plc | Method and apparatus for determining a fluid density |
DE102010043865A1 (de) | 2009-11-30 | 2011-07-14 | Horiba Stec Co., Ltd. | Fluid device |
CN101708437B (zh) | 2009-12-31 | 2012-07-25 | 中煤科工集团重庆研究院 | 煤矿用复合混气装置 |
DE102010028475A1 (de) | 2010-05-03 | 2011-11-03 | Endress + Hauser Gmbh + Co. Kg | Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung von Strömungseigenschaften eines Mediums in einer Rohrleitung |
CN101881640A (zh) | 2010-06-30 | 2010-11-10 | 重庆耐德正奇流量仪表有限公司 | 涡街质量流量计 |
CN202061563U (zh) | 2011-03-15 | 2011-12-07 | 天津力冠能源科技有限公司 | 多气掺混混气机 |
CN202212112U (zh) | 2011-08-12 | 2012-05-09 | 苏州苏净保护气氛有限公司 | 氮氢自动配比混合装置 |
EP2667276B1 (en) | 2012-05-24 | 2017-11-08 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, providing a gas mixture |
PL2667160T3 (pl) | 2012-05-24 | 2021-05-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Sposób i urządzenie do regulowania masowego natężenia przepływu gazu |
EP2667159B1 (en) | 2012-05-24 | 2021-12-01 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and Apparatus for, Measuring the Mass Flow Rate of a Gas |
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ES2536091T3 (es) | 2012-05-24 | 2015-05-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Aparato para la medición del contenido verdadero de un cilindro de gas bajo presión |
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