JPH0368828A - 圧力測定装置 - Google Patents
圧力測定装置Info
- Publication number
- JPH0368828A JPH0368828A JP20427489A JP20427489A JPH0368828A JP H0368828 A JPH0368828 A JP H0368828A JP 20427489 A JP20427489 A JP 20427489A JP 20427489 A JP20427489 A JP 20427489A JP H0368828 A JPH0368828 A JP H0368828A
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Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〈産業上の利用分野〉
本発明は、水晶振動子等の圧電振動子の共振周波数が周
囲の圧力と相関関係にあることを利用した圧力測定装置
に関する。
囲の圧力と相関関係にあることを利用した圧力測定装置
に関する。
〈従来の技術〉
圧電振動子の共振周波数が周囲の圧力に応して直線的に
変化することが知られている（特開昭５７−１３６１３
０号公報）。しかし、周囲の気体または液体の種類が異
なると比例定数が異なり、また、圧電振動子を直接外界
へ曝すことは塵埃等が付着して好ましくない。そのため
、例えば第４図に示すように、ベローズ、ダイヤプラム
等の弾性変形体で振動子を密閉構造として外部圧力を測
定していた。
変化することが知られている（特開昭５７−１３６１３
０号公報）。しかし、周囲の気体または液体の種類が異
なると比例定数が異なり、また、圧電振動子を直接外界
へ曝すことは塵埃等が付着して好ましくない。そのため
、例えば第４図に示すように、ベローズ、ダイヤプラム
等の弾性変形体で振動子を密閉構造として外部圧力を測
定していた。
〈発明が解決しようとする課題〉
このように、ベローズ、ダイヤフラム等を用いて密閉構
造とした従来例においては、ベローズあるいはダイヤフ
ラムの弾性定数が振動子周囲の内部圧力に大きく影響し
、また、温度変化によりベローズあるいはダイヤフラム
の容積が変化することも、内部圧力に影響を与えていた
。さらに、ベローズやダイヤフラムが金属製であってバ
ネ係数が大きいため、微小圧力変化を測定することか困
難であった。
造とした従来例においては、ベローズあるいはダイヤフ
ラムの弾性定数が振動子周囲の内部圧力に大きく影響し
、また、温度変化によりベローズあるいはダイヤフラム
の容積が変化することも、内部圧力に影響を与えていた
。さらに、ベローズやダイヤフラムが金属製であってバ
ネ係数が大きいため、微小圧力変化を測定することか困
難であった。
〈課題を解決するための手段〉
本発明の圧力測定装置は、振動子が設けられ所定のガス
が封入されたセンサ室と、内端がそのセンサ室に連通し
外端が開口した毛細管と、その毛細管内を変位自在の不
揮発性液体より成る変動子を有し、上記振動子の共振周
波数より上記外端の圧力を測定することを特徴としてい
る。
が封入されたセンサ室と、内端がそのセンサ室に連通し
外端が開口した毛細管と、その毛細管内を変位自在の不
揮発性液体より成る変動子を有し、上記振動子の共振周
波数より上記外端の圧力を測定することを特徴としてい
る。
く作用〉
毛細管内の変動子は、内圧と外圧が均衡する位置で静止
する。すなわち、センサ室内の圧力は毛細管外端の外圧
と等しくなる。従って、振動子は外界と遮断されており
ながら外界の圧力に応じた周波数で振動する。
する。すなわち、センサ室内の圧力は毛細管外端の外圧
と等しくなる。従って、振動子は外界と遮断されており
ながら外界の圧力に応じた周波数で振動する。
内圧と外圧を仕切る変動子は、毛４ｍ管中に閉じ込めら
れた液体であるため、その接触面積が小さくて接触抵抗
が小さくなり、また、軽量ですむため応答性がよい。
れた液体であるため、その接触面積が小さくて接触抵抗
が小さくなり、また、軽量ですむため応答性がよい。
〈実施例〉
第１図に本発明の原理的実施例を示す。センサ室１内に
は屈曲振動を行う音叉形水晶振動子２が配設され、その
電極リード線３が室外に導出され、発振回路４に接続さ
れている。毛細管５はその内端５へがセンサ室１と連通
し、外端５Ｂが外界へ開口している。毛細管５内に不揮
発性液体より成る変動子６が閉し込められて、センサ室
内と外界を遮断している。センサ室１内には、不活性で
あって密度が大きい気体、例えば高圧トランス用絶縁ガ
スＳＦ６が封入されている。変動子６としては、水銀、
シリコン油等の不揮発性であって表面張力の大きい液体
を用いることが好ましく、例えば水銀の内外両側にシリ
コン油等の他の液体を接合させて用いることもできる。
は屈曲振動を行う音叉形水晶振動子２が配設され、その
電極リード線３が室外に導出され、発振回路４に接続さ
れている。毛細管５はその内端５へがセンサ室１と連通
し、外端５Ｂが外界へ開口している。毛細管５内に不揮
発性液体より成る変動子６が閉し込められて、センサ室
内と外界を遮断している。センサ室１内には、不活性で
あって密度が大きい気体、例えば高圧トランス用絶縁ガ
スＳＦ６が封入されている。変動子６としては、水銀、
シリコン油等の不揮発性であって表面張力の大きい液体
を用いることが好ましく、例えば水銀の内外両側にシリ
コン油等の他の液体を接合させて用いることもできる。
変動子６は常に内圧と外圧どが均ｆ２ｉする位置で静止
する。外圧が増大すれば内方へ変位してセンサ室内のガ
スを加圧する。反対に外圧が減少すれば外方へ変位して
センサ室内のガスを膨張さセ゛る。
する。外圧が増大すれば内方へ変位してセンサ室内のガ
スを加圧する。反対に外圧が減少すれば外方へ変位して
センサ室内のガスを膨張さセ゛る。
第２図に本発明の最も好ましい実施例を示す。
全体として円柱形をなし先端に圧力導入口７をもつケー
ス８の基部に、基台９がねし嵌合され、この基台９の中
央部にセンサ室１０が形成され、その中に音叉形水晶振
動子１）が封止され、リード線１２が外部に導出されて
いる。このセンサ室１０と連通ずるらせん状毛細管１３
がケース８内に設けられ、その毛細管１３の外部は圧力
導入口７の近傍に開口している。毛細管１３内には水銀
よりなる変動子１４が閉じ込められている。
ス８の基部に、基台９がねし嵌合され、この基台９の中
央部にセンサ室１０が形成され、その中に音叉形水晶振
動子１）が封止され、リード線１２が外部に導出されて
いる。このセンサ室１０と連通ずるらせん状毛細管１３
がケース８内に設けられ、その毛細管１３の外部は圧力
導入口７の近傍に開口している。毛細管１３内には水銀
よりなる変動子１４が閉じ込められている。
この実施例によれば、全体形状寸法が小型ながら、毛細
管長を実質的に長大化することができ、圧力測定レンジ
を拡大することができる。
管長を実質的に長大化することができ、圧力測定レンジ
を拡大することができる。
〈発明の効果〉
本発明によれば、センサ室と外界の間に毛Ｉｌｌ管を設
け、その毛細管内に不揮発性液体よりなる変動子を変動
自在に設けて、内圧と外圧とが直接均衡する構成とした
ので、弾性体のバネ定数の影響が全くなく、従って、極
めて高感度であって、しかも測定レンジをきわめて広く
採ることが可能となり、また、変動子が液体であって軽
量のため、６速性にすぐれており、急速かつ複雑な圧力
変動などを正確に記録することが可能となった。
け、その毛細管内に不揮発性液体よりなる変動子を変動
自在に設けて、内圧と外圧とが直接均衡する構成とした
ので、弾性体のバネ定数の影響が全くなく、従って、極
めて高感度であって、しかも測定レンジをきわめて広く
採ることが可能となり、また、変動子が液体であって軽
量のため、６速性にすぐれており、急速かつ複雑な圧力
変動などを正確に記録することが可能となった。
第３図に従来のベローズタイプの圧力測定装置による感
度特性（ａ図）と、本発明によるものの感度特性（ｂ図
）を対比して示す。
度特性（ａ図）と、本発明によるものの感度特性（ｂ図
）を対比して示す。
第１図は本発明の原理的実施例を示す図、第２図は本発
明の最も好ましい実施例を示す図、第３図は従来例と本
発明の特性を対比して示す図、 第４図は従来例を示す図である。 １、１０ ２、１） ３、１２ １４ ３
明の最も好ましい実施例を示す図、第３図は従来例と本
発明の特性を対比して示す図、 第４図は従来例を示す図である。 １、１０ ２、１） ３、１２ １４ ３
Claims (2)
- （１）振動子が設けられ所定のガスが封入されたセンサ
室と、内端がそのセンサ室に連通し外端が開口した毛細
管と、その毛細管内を変位自在の不揮発性液体より成る
変動子を有し、上記振動子の共振周波数より上記外端の
圧力を測定する圧力測定装置。 - （２）上記毛細管がらせん状に形成されている第１項記
載の圧力測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20427489A JPH0368828A (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | 圧力測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20427489A JPH0368828A (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | 圧力測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0368828A true JPH0368828A (ja) | 1991-03-25 |
Family
ID=16487765
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20427489A Pending JPH0368828A (ja) | 1989-08-07 | 1989-08-07 | 圧力測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0368828A (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9239271B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-01-19 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the pressure of a gas |
| US9441997B2 (en) | 2012-05-24 | 2016-09-13 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the physical properties of two-phase fluids |
| US9448094B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the mass flow rate of a gas |
| US9448090B2 (en) | 2012-05-24 | 2016-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the mass flow rate of a gas |
| US9459191B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-10-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the molecular weight of a gas |
| US9581297B2 (en) | 2012-05-24 | 2017-02-28 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the true contents of a cylinder of gas under pressure |
| US9690304B2 (en) | 2012-05-24 | 2017-06-27 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, providing a gas mixture |
| US9804010B2 (en) | 2012-05-24 | 2017-10-31 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, regulating the mass flow rate of a gas |
| US9870007B2 (en) | 2012-05-24 | 2018-01-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, providing a gas mixture |
-
1989
- 1989-08-07 JP JP20427489A patent/JPH0368828A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US9239271B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-01-19 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the pressure of a gas |
| US9448094B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the mass flow rate of a gas |
| US9459191B2 (en) | 2010-11-29 | 2016-10-04 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of and apparatus for measuring the molecular weight of a gas |
| US9441997B2 (en) | 2012-05-24 | 2016-09-13 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the physical properties of two-phase fluids |
| US9448090B2 (en) | 2012-05-24 | 2016-09-20 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the mass flow rate of a gas |
| US9581297B2 (en) | 2012-05-24 | 2017-02-28 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, measuring the true contents of a cylinder of gas under pressure |
| US9690304B2 (en) | 2012-05-24 | 2017-06-27 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, providing a gas mixture |
| US9804010B2 (en) | 2012-05-24 | 2017-10-31 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, regulating the mass flow rate of a gas |
| US9870007B2 (en) | 2012-05-24 | 2018-01-16 | Air Products And Chemicals, Inc. | Method of, and apparatus for, providing a gas mixture |
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