JP5093685B2 - プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置 - Google Patents
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Description
(1)ガスを媒体とするプラズマにおいて、プラズマが存在する容器内を水晶振動子センサと絶対圧力計のみを用いて導入したガスの分解率を求めることができる。この測定では測定時に測定される気体を消費することなく、高速な測定が可能で、混合気体の圧力が大気圧以外の時でも、また圧力が変化しても常に測定することができる。
なお、水晶振動子の振動周波数には温度依存があるため、この振動周波数の温度依存性から水晶振動子センサ出力の温度係数を求めることも可能である。
2 隔膜圧力計
3 プラズマ装置の反応装置
4 圧力補正手段
5 プラズマ電極
6 温度補正手段
7 気体流量制御装置(マスフローコントローラー:MFC)
8 ヒータ
9 圧力制御弁
10 高周波電源
12 ワーク
15 ワーク支持台
17 コンピュータ
18 温度計
Claims (1)
- プラズマ発生前後のそれぞれについて、プラズマ装置の反応装置内に存在するガスを測定するプラズマ装置の供給ガス分解率測定装置において、
ガスの粘性及び分子量に依存する計測データが得られる水晶振動子センサと、前記反応装置内の圧力を測定する隔膜圧力計を設け、気体の種類毎の絶対圧力依存性に基づいて、前記水晶振動センサの計測データを前記隔膜圧力計の計測データにより補正する圧力補正手段と、前記水晶振動センサの測定場所の雰囲気温度に基づいて、前記圧力補正手段により補正された前記水晶振動子センサの計測データをさらに補正する温度補正手段とを具備し、前記圧力補正手段及び前記温度補正手段により補正された前記水晶振動子センサの計測データを、前記プラズマ装置の反応装置内に存在するガスの物性依存出力として、その変化量に基づいて、前記反応装置に供給された供給ガスの分解率を求める手段とを備えたことを特徴とするプラズマ装置の供給ガス分解率測定装置。
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