JP2001259410A - ガス分解処理装置 - Google Patents
ガス分解処理装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】低濃度成分や多成分の揮発性有機化合物（ＶＯ
Ｃ）を含有する気体に対しても、効率的に分解処理し、
分解後の生成物を正確に分析評価することで、ＶＯＣガ
スに対して最適な分解処理条件を決定することができる
装置を提供する。 【解決手段】揮発性有機化合物を含む気体１を供給する
ための気体供給部３と、気体に含まれる揮発性有機化合
物を分解するための分解リアクター６と、分解処理され
た気体を分析するための分析装置１０と、気体供給部３
と、分解リアクター６と、分析装置１０とを直結するた
めの気体流路２０と、気体流路２０に配置され、その気
体流路内での揮発性有機化合物の吸着を防止するための
ヒータ８とを具備する。
Ｃ）を含有する気体に対しても、効率的に分解処理し、
分解後の生成物を正確に分析評価することで、ＶＯＣガ
スに対して最適な分解処理条件を決定することができる
装置を提供する。 【解決手段】揮発性有機化合物を含む気体１を供給する
ための気体供給部３と、気体に含まれる揮発性有機化合
物を分解するための分解リアクター６と、分解処理され
た気体を分析するための分析装置１０と、気体供給部３
と、分解リアクター６と、分析装置１０とを直結するた
めの気体流路２０と、気体流路２０に配置され、その気
体流路内での揮発性有機化合物の吸着を防止するための
ヒータ８とを具備する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、工業工程などから
排出される揮発性有機化合物を含有する気体を分解及び
評価する装置に関するものであり、特に、低濃度成分の
揮発性有機化合物を含有する気体を処理する方法が非平
衡プラズマ放電で、それにより生成される低濃度ガスを
正確に分析することができる装置に関するものである。
排出される揮発性有機化合物を含有する気体を分解及び
評価する装置に関するものであり、特に、低濃度成分の
揮発性有機化合物を含有する気体を処理する方法が非平
衡プラズマ放電で、それにより生成される低濃度ガスを
正確に分析することができる装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】揮発性有機化合物(Volatile Organic Co
mpounds(VOC))を含有するガスを分解処理する技術に
は、（１）熱分解法、（２）媒体分割法、（３）吸着
法、などがある。しかし、これらの方法について開発さ
れた個々の技術には、いずれも、大規模化、メンテナン
ス性の悪さ、低濃度条件での効率の低下、等の問題が判
っている。これらの技術に対し、近年、非平衡プラズマ
を利用したＶＯＣ分解技術が、常温常圧で低い濃度範囲
のＶＯＣが短時間に分解でき、装置も簡単であるなどの
利点があることがわかってきている。
mpounds(VOC))を含有するガスを分解処理する技術に
は、（１）熱分解法、（２）媒体分割法、（３）吸着
法、などがある。しかし、これらの方法について開発さ
れた個々の技術には、いずれも、大規模化、メンテナン
ス性の悪さ、低濃度条件での効率の低下、等の問題が判
っている。これらの技術に対し、近年、非平衡プラズマ
を利用したＶＯＣ分解技術が、常温常圧で低い濃度範囲
のＶＯＣが短時間に分解でき、装置も簡単であるなどの
利点があることがわかってきている。
【０００３】非平衡プラズマによるＶＯＣ分解では、分
解生成物が分解条件やガス雰囲気などの諸条件により異
なってくる。そのため、その生成物の評価が分解効率や
安全性などの点で重要となってくる。すなわち、非平衡
プラズマによるＶＯＣガスの分解では、ガスの種類、濃
度、処理量により最適な処理条件が決定される。仮に、
ガス処理量に対し、投入電力が小さい場合には、分解反
応が十分に進まず、中間生成物として有害成分が生成さ
れる可能性があり、また９０％以上の高分解率で分解し
た場合には、中間生成物（有害成分）の生成は極微量で
あることから、特にこの微量の成分を検出するための低
濃度分析は重要である。
解生成物が分解条件やガス雰囲気などの諸条件により異
なってくる。そのため、その生成物の評価が分解効率や
安全性などの点で重要となってくる。すなわち、非平衡
プラズマによるＶＯＣガスの分解では、ガスの種類、濃
度、処理量により最適な処理条件が決定される。仮に、
ガス処理量に対し、投入電力が小さい場合には、分解反
応が十分に進まず、中間生成物として有害成分が生成さ
れる可能性があり、また９０％以上の高分解率で分解し
た場合には、中間生成物（有害成分）の生成は極微量で
あることから、特にこの微量の成分を検出するための低
濃度分析は重要である。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかし従来の低濃度の
ガス分析方法では、低濃度成分を分解後正確に評価する
ことが困難であった。例えば市販のガスボンベに入った
標準ガスをそのままの状態で測定した場合においても、
ガスボンベから分析位置までの流路が長い場合には誤差
が生じ易く、再現性のあるデータを取ることが容易でな
かった。また分解反応により発生したガスをガスタイト
シリンジで採取し分析する場合には、更に誤差が生じ易
く、処理前の気体中の有機物成分がｐｐｍレベルである
ガスを分解した場合には、数十％程度の測定誤差が生じ
ることも考えられ、十分な測定精度が得られていなかっ
た。そのため、処理条件や処理技術そのものが適当であ
るかどうかを評価することができなかった。
ガス分析方法では、低濃度成分を分解後正確に評価する
ことが困難であった。例えば市販のガスボンベに入った
標準ガスをそのままの状態で測定した場合においても、
ガスボンベから分析位置までの流路が長い場合には誤差
が生じ易く、再現性のあるデータを取ることが容易でな
かった。また分解反応により発生したガスをガスタイト
シリンジで採取し分析する場合には、更に誤差が生じ易
く、処理前の気体中の有機物成分がｐｐｍレベルである
ガスを分解した場合には、数十％程度の測定誤差が生じ
ることも考えられ、十分な測定精度が得られていなかっ
た。そのため、処理条件や処理技術そのものが適当であ
るかどうかを評価することができなかった。
【０００５】従って、本発明は上述した課題に鑑みてな
されたものであり、その目的は、低濃度成分や多成分の
揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する気体に対して
も、効率的に分解処理し、分解後の生成物を正確に分析
評価することで、ＶＯＣガスに対して最適な分解処理条
件を決定することができる装置を提供することである。
されたものであり、その目的は、低濃度成分や多成分の
揮発性有機化合物（ＶＯＣ）を含有する気体に対して
も、効率的に分解処理し、分解後の生成物を正確に分析
評価することで、ＶＯＣガスに対して最適な分解処理条
件を決定することができる装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上述した課題を解決し、
目的を達成するために、本発明に係わるガス分解処理装
置は、揮発性有機化合物を含む気体を分解処理するため
のガス分解処理装置であって、前記気体を供給するため
の気体供給部と、前記気体に含まれる前記揮発性有機化
合物を分解するための分解リアクターと、分解処理され
た気体を分析するための分析装置と、前記気体供給部
と、前記分解リアクターと、前記分析装置とを直結する
ための気体流路と、前記気体流路に配置され、該気体流
路内での前記揮発性有機化合物の吸着を防止するための
吸着防止手段とを具備することを特徴としている。
目的を達成するために、本発明に係わるガス分解処理装
置は、揮発性有機化合物を含む気体を分解処理するため
のガス分解処理装置であって、前記気体を供給するため
の気体供給部と、前記気体に含まれる前記揮発性有機化
合物を分解するための分解リアクターと、分解処理され
た気体を分析するための分析装置と、前記気体供給部
と、前記分解リアクターと、前記分析装置とを直結する
ための気体流路と、前記気体流路に配置され、該気体流
路内での前記揮発性有機化合物の吸着を防止するための
吸着防止手段とを具備することを特徴としている。
【０００７】また、この発明に係わるガス分解処理装置
において、前記吸着防止手段は、前記気体流路を加温す
るためのヒータを有することを特徴としている。
において、前記吸着防止手段は、前記気体流路を加温す
るためのヒータを有することを特徴としている。
【０００８】また、この発明に係わるガス分解処理装置
において、前記分解リアクターは、非平衡プラズマを利
用して前記揮発性有機化合物を分解することを特徴とし
ている。
において、前記分解リアクターは、非平衡プラズマを利
用して前記揮発性有機化合物を分解することを特徴とし
ている。
【０００９】また、この発明に係わるガス分解処理装置
において、前記分析装置として、ガスクロマトグラフま
たはガスクロマトグラフ質量分析装置を用いることを特
徴としている。
において、前記分析装置として、ガスクロマトグラフま
たはガスクロマトグラフ質量分析装置を用いることを特
徴としている。
【００１０】また、この発明に係わるガス分解処理装置
において、前記分解リアクターには、その内部を減圧す
るための減圧装置が接続されていることを特徴としてい
る。
において、前記分解リアクターには、その内部を減圧す
るための減圧装置が接続されていることを特徴としてい
る。
【発明の実施の形態】以下、本発明の好適な一実施形態
について説明する。
について説明する。
【００１１】まず、一実施形態の概要について説明す
る。
る。
【００１２】ＶＯＣ分解処理では、分解処理とともに、
その生成物を正確に評価することが重要である。そのた
めには、リアクター内の残留物が分解反応を阻害した
り、またＶＯＣガスの吸着が分解効率に影響しないよう
にすることが必要である。
その生成物を正確に評価することが重要である。そのた
めには、リアクター内の残留物が分解反応を阻害した
り、またＶＯＣガスの吸着が分解効率に影響しないよう
にすることが必要である。
【００１３】本実施形態では、ガス供給部、分解リアク
ター部および生成物の分析評価装置部が直結しており、
更にその流路において、吸着を防止する機構を設けるこ
とで低濃度多成分の生成物が発生した場合においても、
正確に評価できる装置を提供するものである。
ター部および生成物の分析評価装置部が直結しており、
更にその流路において、吸着を防止する機構を設けるこ
とで低濃度多成分の生成物が発生した場合においても、
正確に評価できる装置を提供するものである。
【００１４】本実施形態の構成要素について以下に説明
を行う。
を行う。
【００１５】本実施形態では、ガス流路である配管部分
には加温装置を配置し、ガス成分の吸着を防止する。加
温装置としては、例えばリボンヒーターのような熱源装
置を用いて配管部分を加温することによりガス成分の配
管内部への吸着を防止する。加温条件には特に制限はな
いが、一般的な揮発性有機化合物の場合、常温〜１５０
℃程度の範囲内で温度制御が可能なものであることが望
ましく、この温度はガスの種類（沸点）に応じて適宜調
整するものとする。このように加温された配管により、
ガス供給部と分解リアクター部と分析評価装置部は連結
されており、分解リアクターから排出されたガスを直接
分析装置内に導入することにより正確な生成物の分析評
価が可能である。
には加温装置を配置し、ガス成分の吸着を防止する。加
温装置としては、例えばリボンヒーターのような熱源装
置を用いて配管部分を加温することによりガス成分の配
管内部への吸着を防止する。加温条件には特に制限はな
いが、一般的な揮発性有機化合物の場合、常温〜１５０
℃程度の範囲内で温度制御が可能なものであることが望
ましく、この温度はガスの種類（沸点）に応じて適宜調
整するものとする。このように加温された配管により、
ガス供給部と分解リアクター部と分析評価装置部は連結
されており、分解リアクターから排出されたガスを直接
分析装置内に導入することにより正確な生成物の分析評
価が可能である。
【００１６】また、分解処理前にはリアクター内を減圧
することで、正確な分析評価ができるものである。減圧
条件は、リアクターの条件にもよるが例えば１０００ｃ
ｃ以下の場合、１０torr以下の圧力で、好ましくは５ｍ
ｉｎ以上減圧状態にし、その後、空気を通気する。以上
の操作を２回以上繰り返しリアクター内の残留成分を完
全に除去することで精度の高い評価が可能となる。
することで、正確な分析評価ができるものである。減圧
条件は、リアクターの条件にもよるが例えば１０００ｃ
ｃ以下の場合、１０torr以下の圧力で、好ましくは５ｍ
ｉｎ以上減圧状態にし、その後、空気を通気する。以上
の操作を２回以上繰り返しリアクター内の残留成分を完
全に除去することで精度の高い評価が可能となる。
【００１７】本実施形態における分解方法は特に制限は
なく、目的に応じた分解方法で構わないが、低濃度のＶ
ＯＣガスの場合、非平衡プラズマ法が、分解効率の面か
ら適している。非平衡プラズマ法の場合、分解リアクタ
ーは（１）パックトベッド、（２）パルスコロナ、
（３）無声放電、（４）沿面放電のいずれでもよく、常
温常圧で放電処理できるものならば形状は問わない。
なく、目的に応じた分解方法で構わないが、低濃度のＶ
ＯＣガスの場合、非平衡プラズマ法が、分解効率の面か
ら適している。非平衡プラズマ法の場合、分解リアクタ
ーは（１）パックトベッド、（２）パルスコロナ、
（３）無声放電、（４）沿面放電のいずれでもよく、常
温常圧で放電処理できるものならば形状は問わない。
【００１８】またＶＯＣガスは、複数の成分を含む混合
ガスでもよく、ＶＯＣガスには分解効率を向上させるた
め、必要に応じて水分、その他Ｎ2ガスやアルゴンガス
等を添加してもよい。分解生成物はスクラバーなどによ
る湿式吸収、もしくは吸着剤による乾式吸収により２次
処理される。また、分解リアクターと分析装置の連結部
分には圧力損失を防止し、安定に分解ガスが分析装置内
に送り込まれるような機構を配置することが望ましい。
ガスでもよく、ＶＯＣガスには分解効率を向上させるた
め、必要に応じて水分、その他Ｎ2ガスやアルゴンガス
等を添加してもよい。分解生成物はスクラバーなどによ
る湿式吸収、もしくは吸着剤による乾式吸収により２次
処理される。また、分解リアクターと分析装置の連結部
分には圧力損失を防止し、安定に分解ガスが分析装置内
に送り込まれるような機構を配置することが望ましい。
【００１９】本実施形態により、非平衡プラズマにより
分解処理されたＶＯＣガスの分析において、複雑な装置
を用いることなく、成分の吸着、残留成分を除去し、低
濃度のガスにおいても正確な分析が可能となる。
分解処理されたＶＯＣガスの分析において、複雑な装置
を用いることなく、成分の吸着、残留成分を除去し、低
濃度のガスにおいても正確な分析が可能となる。
【００２０】以下に、本発明の一実施形態について、ガ
ス分解処理装置の構成を示す図１を参照して説明する。
ス分解処理装置の構成を示す図１を参照して説明する。
【００２１】本実施形態で使用するサンプルガス１は、
テドラーバッグ２に空気を１０ｌ採取し、マイクロシリ
ンジで揮発性有機溶剤を注入し、標準濃度で１００ｐｐ
ｍとなるように調整したものである。
テドラーバッグ２に空気を１０ｌ採取し、マイクロシリ
ンジで揮発性有機溶剤を注入し、標準濃度で１００ｐｐ
ｍとなるように調整したものである。
【００２２】このＶＯＣガスを注入したテドラーバッグ
２を試料ケース３に入れ密閉状態にし、外部よりこの試
料ケース３内のテドラーバッグ２の外側に、ガス（空
気、Ｎ 2等）を流量調節器４によって等速で送り込む。
送り込まれたガス量と等量のサンプルガスがテドラーバ
ッグ２の出口５より流出し、配管２０及びバルブ７を介
して、リアクター６内に導入される。なお、配管２０の
まわりには、配管２０を加温するためのヒーター８が配
置されている。ヒーター８は、配管２０を加温すること
により、揮発性有機化合物が配管２０に吸着されること
を防止するためのものである。
２を試料ケース３に入れ密閉状態にし、外部よりこの試
料ケース３内のテドラーバッグ２の外側に、ガス（空
気、Ｎ 2等）を流量調節器４によって等速で送り込む。
送り込まれたガス量と等量のサンプルガスがテドラーバ
ッグ２の出口５より流出し、配管２０及びバルブ７を介
して、リアクター６内に導入される。なお、配管２０の
まわりには、配管２０を加温するためのヒーター８が配
置されている。ヒーター８は、配管２０を加温すること
により、揮発性有機化合物が配管２０に吸着されること
を防止するためのものである。
【００２３】また、リアクター６は、図２に示すような
パックトベッド式非平衡プラズマリアクターを使用して
いる。これは、リアクター入り口１３より気体が入り、
無機誘電体１４の隙間を通過してリアクター出口１５よ
り気体が出る構造となっており、気体が通過する際に、
外電極１６および内電極１７に高圧電源９から交流電圧
を印加し、非平衡プラズマを発生させ、ＶＯＣガスを分
解処理するものである。処理されたガスは、配管２０を
通ってＧＣＭＳ１０に導入され、分解ガスの分析が行わ
れる。なお、ＧＣＭＳとは、ガスクロマトグラフ質量分
析装置である。また、リアクター６には、このリアクタ
ー６内を減圧するための真空装置１１が接続されてい
る。また、１２は反応間電極、１８は接地電極である。
パックトベッド式非平衡プラズマリアクターを使用して
いる。これは、リアクター入り口１３より気体が入り、
無機誘電体１４の隙間を通過してリアクター出口１５よ
り気体が出る構造となっており、気体が通過する際に、
外電極１６および内電極１７に高圧電源９から交流電圧
を印加し、非平衡プラズマを発生させ、ＶＯＣガスを分
解処理するものである。処理されたガスは、配管２０を
通ってＧＣＭＳ１０に導入され、分解ガスの分析が行わ
れる。なお、ＧＣＭＳとは、ガスクロマトグラフ質量分
析装置である。また、リアクター６には、このリアクタ
ー６内を減圧するための真空装置１１が接続されてい
る。また、１２は反応間電極、１８は接地電極である。
【００２４】次に実験条件を以下に示す。
【００２５】実験装置 放電分解装置：粒系１〜５ｍｍのチタン酸バリウム（Ｂ
ａＴｉＯ3）ペレット（高純度化学社製）を充填した同
軸円筒状パックトベッド式放電装置 リアクター寸法：外径Φ＝４０ｍｍ、内径Φ＝１５ｍ
ｍ、長さ３００ｍｍ 処理条件 ガス流量 ： ３００ｓｃｃｍ 印加電圧 ： ３ｋＶ 消費電力 ： ６３Ｗ 分析装置 ： ＧＣＭＳ （５９７３／６８９５ ＨＰ
社製） ［実施例１］図１に示す分解装置にてジクロロメタンを
１００ｍｇ／ｌ含有した空気を処理した。
ａＴｉＯ3）ペレット（高純度化学社製）を充填した同
軸円筒状パックトベッド式放電装置 リアクター寸法：外径Φ＝４０ｍｍ、内径Φ＝１５ｍ
ｍ、長さ３００ｍｍ 処理条件 ガス流量 ： ３００ｓｃｃｍ 印加電圧 ： ３ｋＶ 消費電力 ： ６３Ｗ 分析装置 ： ＧＣＭＳ （５９７３／６８９５ ＨＰ
社製） ［実施例１］図１に示す分解装置にてジクロロメタンを
１００ｍｇ／ｌ含有した空気を処理した。
【００２６】この時、配管２０はリボンヒーター８で７
０℃に加温している。
０℃に加温している。
【００２７】分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０にて分析
したところ、ジクロロメタン濃度は５ｍｇ／ｌであり、
その他に窒素、酸素、二酸化炭素、塩化水素が検出され
た。
したところ、ジクロロメタン濃度は５ｍｇ／ｌであり、
その他に窒素、酸素、二酸化炭素、塩化水素が検出され
た。
【００２８】［実施例２］図１に示す非平衡プラズマ装
置にてメタノールを１００ｍｇ／ｌ含有した空気を処理
した。この時、配管２０はリボンヒーター８で５０℃に
加温している。
置にてメタノールを１００ｍｇ／ｌ含有した空気を処理
した。この時、配管２０はリボンヒーター８で５０℃に
加温している。
【００２９】分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０にて分析
したところ、メタノールは検出されず、二酸化炭素、窒
素、酸素がそれぞれ検出された。
したところ、メタノールは検出されず、二酸化炭素、窒
素、酸素がそれぞれ検出された。
【００３０】［実施例３］図１に示す非平衡プラズマ装
置にてヘキサンを１００ｍｇ／ｌ含有した空気を処理し
た。
置にてヘキサンを１００ｍｇ／ｌ含有した空気を処理し
た。
【００３１】この時、配管２０はリボンヒーター８で７
０℃に加温している。
０℃に加温している。
【００３２】分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０にて分析
したところ、ヘキサンは検出されず、二酸化炭素、窒
素、酸素がそれぞれ検出された。
したところ、ヘキサンは検出されず、二酸化炭素、窒
素、酸素がそれぞれ検出された。
【００３３】［実施例４］図１に示す非平衡プラズマ装
置にてジクロロメタンを１００ｍｇ／ｌ、メタノールを
１００ｍｇ／ｌ、ヘキサンを１００ｍｇ／ｌ含有した混
合ガスを処理した。混合ガスは空気ベースであり、処理
量は３００ｓｃｃｍである。この時、配管２０はリボン
ヒーター８で７０℃に加温している。
置にてジクロロメタンを１００ｍｇ／ｌ、メタノールを
１００ｍｇ／ｌ、ヘキサンを１００ｍｇ／ｌ含有した混
合ガスを処理した。混合ガスは空気ベースであり、処理
量は３００ｓｃｃｍである。この時、配管２０はリボン
ヒーター８で７０℃に加温している。
【００３４】分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０にて分析
したところ、ジクロロメタン濃度は５ｍｇ／ｌであり、
メタノール、ヘキサンは検出されなかった。また、窒
素、酸素、二酸化炭素、塩化水素も検出された。
したところ、ジクロロメタン濃度は５ｍｇ／ｌであり、
メタノール、ヘキサンは検出されなかった。また、窒
素、酸素、二酸化炭素、塩化水素も検出された。
【００３５】ＶＯＣガスの混合による分解反応への影響
は見られず、混合ガスについても効果は変わらない。
は見られず、混合ガスについても効果は変わらない。
【００３６】［実施例５］実施例２と同様のテストを行
った後、１０torrで５分間リアクター内を減圧し、通気
した後、さらにもう一度１０torrで５分間リアクター内
を減圧し、通気した。
った後、１０torrで５分間リアクター内を減圧し、通気
した後、さらにもう一度１０torrで５分間リアクター内
を減圧し、通気した。
【００３７】続いて実施例１と同様のテストを行った。
分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０にて分析したところ実
施例１と同じくジクロロメタン濃度は５ｍｇ／ｌであ
り、その他の成分として窒素、酸素、二酸化炭素、塩化
水素が検出された。メタノールの検出もないことから残
留成分はない。
分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０にて分析したところ実
施例１と同じくジクロロメタン濃度は５ｍｇ／ｌであ
り、その他の成分として窒素、酸素、二酸化炭素、塩化
水素が検出された。メタノールの検出もないことから残
留成分はない。
【００３８】［比較例１］リボンヒーターのスイッチを
ＯＦＦにしたことを除けば、実施例２と同様のテストを
行った。
ＯＦＦにしたことを除けば、実施例２と同様のテストを
行った。
【００３９】分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０で分解し
たところ、メタノールは検出されず、二酸化炭素、窒
素、酸素がそれぞれ検出された。その後、分解リアクタ
ーをＯＦＦの状態で、配管部分をリボンヒーターで５０
℃に加温しながら３００ｓｃｃｍで空気を流通させＧＣ
ＭＳ１０にて分析した。窒素、酸素およびメタノール５
ｍｇ／ｌと二酸化炭素が微量検出された。すなわち、こ
の比較例では、配管部分を加温していなかったので、実
際には残留しているメタノールを検出することができな
かった。
たところ、メタノールは検出されず、二酸化炭素、窒
素、酸素がそれぞれ検出された。その後、分解リアクタ
ーをＯＦＦの状態で、配管部分をリボンヒーターで５０
℃に加温しながら３００ｓｃｃｍで空気を流通させＧＣ
ＭＳ１０にて分析した。窒素、酸素およびメタノール５
ｍｇ／ｌと二酸化炭素が微量検出された。すなわち、こ
の比較例では、配管部分を加温していなかったので、実
際には残留しているメタノールを検出することができな
かった。
【００４０】［比較例２］実施例２と同様のテストを行
った後、引き続いて実施例１と同様のテストを行った。
分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０にて分析したところジ
クロロメタン濃度は５ｍｇ／ｌであり、窒素、酸素、二
酸化炭素、塩化水素が検出された。またメタノールも３
ｍｇ／ｌの濃度で検出された。すなわち、この比較例で
は、メタノールを分解処理した後、分解リアクターの減
圧処理を行なわなかったため、分解リアクターに最初の
分解処理で残ったメタノールが残留して、検出結果に誤
差を生じさせることとなった。
った後、引き続いて実施例１と同様のテストを行った。
分解処理後のガスをＧＣＭＳ１０にて分析したところジ
クロロメタン濃度は５ｍｇ／ｌであり、窒素、酸素、二
酸化炭素、塩化水素が検出された。またメタノールも３
ｍｇ／ｌの濃度で検出された。すなわち、この比較例で
は、メタノールを分解処理した後、分解リアクターの減
圧処理を行なわなかったため、分解リアクターに最初の
分解処理で残ったメタノールが残留して、検出結果に誤
差を生じさせることとなった。
【００４１】［比較例３］投入電力２０ｗにしたことを
除けば実施例１と同様のテストを行った。分解処理後の
ガスをＧＣＭＳ１０にて分析したところジクロロメタン
濃度は６０ｍｇ／ｌであり、窒素、酸素、二酸化炭素、
塩化水素の他、中間生成物として塩化シアン、ホスゲン
が検出された。すなわち、この比較例では、投入電力が
小さかったために、ＶＯＣの分解が十分に行なわれなか
った。
除けば実施例１と同様のテストを行った。分解処理後の
ガスをＧＣＭＳ１０にて分析したところジクロロメタン
濃度は６０ｍｇ／ｌであり、窒素、酸素、二酸化炭素、
塩化水素の他、中間生成物として塩化シアン、ホスゲン
が検出された。すなわち、この比較例では、投入電力が
小さかったために、ＶＯＣの分解が十分に行なわれなか
った。
【００４２】以上説明したように、上記の実施形態によ
れば、以下のような効果を得ることができる。 （１）非平衡プラズマなどのガス処理方法により分解処
理されたＶＯＣガスを、正確に分析することができる。
ＶＯＣガスは単一ガスでも複数の成分を含む混合ガスで
もよく、混合しても分解効率への影響はない。 （２）分解ガスを正確に分析することにより、適正な反
応条件が決定され、最適制御が可能となる。
れば、以下のような効果を得ることができる。 （１）非平衡プラズマなどのガス処理方法により分解処
理されたＶＯＣガスを、正確に分析することができる。
ＶＯＣガスは単一ガスでも複数の成分を含む混合ガスで
もよく、混合しても分解効率への影響はない。 （２）分解ガスを正確に分析することにより、適正な反
応条件が決定され、最適制御が可能となる。
【００４３】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ＶＯＣガスの処理および生成ガスの評価方法において、
低濃度成分や多成分を含有する気体に対しても、効率的
に分解処理し、分解後の生成物を正確に分析評価するこ
とで、ＶＯＣガスに対して最適な分解処理条件を決定す
ることができる。
ＶＯＣガスの処理および生成ガスの評価方法において、
低濃度成分や多成分を含有する気体に対しても、効率的
に分解処理し、分解後の生成物を正確に分析評価するこ
とで、ＶＯＣガスに対して最適な分解処理条件を決定す
ることができる。
【図１】本発明の一実施形態に係わる揮発性有機化合物
ガス分解の評価システムの構成を示す図である。
ガス分解の評価システムの構成を示す図である。
【図２】図１におけるリアクターの拡大断面図である。
１ サンプルガス ２ テドラーバッグ ３ 試料ケース ４ 流量調節器 ５ テドラーバッグ出口 ６ リアクター ７ バルブ ８ 加温装置（リボンヒーター） ９ 高圧電源 １０ ＧＣＭＳ １１ 真空装置 １２ 反応管電極 １３ リアクター入口 １４ 無機誘導体 １５ リアクター出口 １６ 外電極 １７ 内電極 １８ 接地電極
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中嶋 生朗 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 Ｆターム(参考） 4G075 AA03 AA52 BA01 BA05 CA02 CA13 CA47 EB21 EB41 EC21 FC15
Claims (5)
- 【請求項１】 揮発性有機化合物を含む気体を分解処理
するためのガス分解処理装置であって、 前記気体を供給するための気体供給部と、 前記気体に含まれる前記揮発性有機化合物を分解するた
めの分解リアクターと、 分解処理された気体を分析するための分析装置と、 前記気体供給部と、前記分解リアクターと、前記分析装
置とを直結するための気体流路と、 前記気体流路に配置され、該気体流路内での前記揮発性
有機化合物の吸着を防止するための吸着防止手段とを具
備することを特徴とするガス分解処理装置。 - 【請求項２】 前記吸着防止手段は、前記気体流路を加
温するためのヒータを有することを特徴とする請求項１
に記載のガス分解処理装置。 - 【請求項３】 前記分解リアクターは、非平衡プラズマ
を利用して前記揮発性有機化合物を分解することを特徴
とする請求項１に記載のガス分解処理装置。 - 【請求項４】 前記分析装置として、ガスクロマトグラ
フまたはガスクロマトグラフ質量分析装置を用いること
を特徴とする請求項１に記載のガス分解処理装置。 - 【請求項５】 前記分解リアクターには、その内部を減
圧するための減圧装置が接続されていることを特徴とす
る請求項１に記載のガス分解処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082560A JP2001259410A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | ガス分解処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000082560A JP2001259410A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | ガス分解処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001259410A true JP2001259410A (ja) | 2001-09-25 |
Family
ID=18599349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000082560A Withdrawn JP2001259410A (ja) | 2000-03-23 | 2000-03-23 | ガス分解処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001259410A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038867A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置及び測定方法 |
-
2000
- 2000-03-23 JP JP2000082560A patent/JP2001259410A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010038867A (ja) * | 2008-08-08 | 2010-02-18 | National Institute Of Advanced Industrial & Technology | プラズマ装置の供給ガス分解率測定装置及び測定方法 |
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| Date | Code | Title | Description |
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