DE3641842A1 - Verfahren und vorrichtung zur druckmessung in einem gasfoermigen medium - Google Patents
Verfahren und vorrichtung zur druckmessung in einem gasfoermigen mediumInfo
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Description
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Messung des Druckes in einem
gasförmigen Medium und eine Vorrichtung zu dessen Durchführung.
Unter den zahlreichen bisher bekannten Verfahren zur Druckmessung in
gasförmigen Medien gibt es einige, bei denen als Sensorelement ein
Schwingquarz dient, wie es beispielsweise aus der DE-OS 33 45 750 bekannt
ist. Typischerweise ist bei derartigen Wandlern der Sensorquarz
von dem äußeren Druckmedium isoliert; der zu messende Druck wirkt auf
eine Membran und wird über ein geeignetes Lager auf den Schwingquarz
übertragen. Die dadurch hervorgerufene Änderung der Resonanzfrequenz des
Quarzes ist dann ein Maß für den wirkenden Druck. Wegen der hervorragenden
mechanischen Eigenschaften von Quarzkristallen verfügen derartige
Anordnungen über gute Stabilität und zeigen nur geringe Hystereseeffekte.
Allerdings sind sie im Bereich niedriger Drucke (≦ etwa 10 Pa) wegen
zu geringer Empfindlichkeit in der Regel nicht einsetzbar.
Für den Meßbereich von etwa 10-2 bis 10 Pa ist das Quarzfaden-Vakuummeter
von Klumb und Heilingbrunner einsetzbar, wie es in
H. Klumb und O. Heilingbrunner, Glas- und Hochvakuumtechnik 2, 269
(1953) bzw. in
F. X. Eder, Moderne Meßmethoden der Physik, VEB Dt. Verlag der Wissenschaften, Berlin 1968, S. 218
beschrieben ist. Dieses Gerät beruht auf der Dämpfung eines schwingenden
Quarzglasfadens. Auch hier dient die Resonanzamplitude als Maß für den
Gasdruck. Wegen des Fadens ist das Gerät aber gegen Erschütterungen sehr
empfindlich und nur bei niedrigem Druck einzusetzen.
Es ist das Ziel der Erfindung, ein Verfahren zur Messung des Druckes in
einem gasförmigen Medium und eine Vorrichtung zu dessen Durchführung zu
schaffen, die vom Bereich niedriger Drucke bis zum normalen Atmosphärendruck
funktionsfähig ist und sich durch einfachen und robusten Aufbau
auszeichnet.
Diese Aufgabe wird durch ein Verfahren mit den Merkmalen des kennzeichnenden
Teils von Anspruch 1 bzw. eine Vorrichtung nach Anspruch 2 gelöst.
Damit läßt sich mit ein- und demselben Meßkopf ein sehr weiter
Druckbereich von normalem Atmosphärendruck (∼10⁵ Pa) bis zum Hochvakuum
(∼10-3 Pa) erfassen. Der Einsatz des Schwingquarzes anstelle
des Glasfadens erlaubt nicht nur eine deutliche Vereinfachung bei der
Rückkopplung des Systems, sondern führt auch zu einer sehr geringen Erschütterungsempfindlichkeit.
Zudem erlaubt die höhere Betriebsfrequenz
eine wesentliche Erweiterung des Meßbereiches zu höheren Drucken hin.
Vorteilhaft wird als Schwingquarz ein Stimmgabel-Quarz verwendet. Es hat
sich gezeigt - wie weiter unten erläutert wird - daß ein solcher auch
noch über den Bereich des Atmosphärendrucks hinaus noch verwertbare Signale
liefert.
Einzelheiten und weitere Vorteile der Erfindung ergeben sich aus der Beschreibung,
in der im folgenden die Grundlagen und ein Ausführungsbeispiel
anhand der Zeichnung erörtert werden. Es zeigen
Fig. 1 ein Blockschaltbild des erfindungsgemäßen Druckmeßgerätes
Fig. 2a-c den Anzeigeverlauf in verschiedenen Meßbereichen.
Das Kernstück des erfindungsgemäßen Druckaufnehmers ist ein Schwingquarz
in Form einer Stimmgabel, wie er ähnlich als frequenzbestimmendes Element
in Quarzuhren Verwendung findet. Der Quarzkristall ist von einem
gasförmigen Medium umgeben, dessen Druck gemessen werden soll. Wird der
Quarz zu Schwingungen angeregt, so führen die beiden Arme der Stimmgabel
oszillierende Bewegungen aus und übertragen kinetische Energie auf die
umgebenden Gasmoleküle. Dieser Energieentzug führt zu einer Dämpfung der
Quarzschwingung, die um so ausgeprägter ist, je höher die Dichte und damit
der Druck des Gases ist. Bei der Beschreibung der Energieübertragung
kann man zwei Bereiche unterscheiden, je nachdem, ob die mittlere freie
Weglänge l eines Gasmoleküls zwischen zwei Stößen mit anderen Molekülen
größer oder kleiner als die charakteristische Gefäß- bzw. Quarzabmessung
a ist.
Im Falle des niedrigen Gasdruckes, also wenn die mittlere freie Weglänge
größer ist als die Quarzabmessung von ca. 1 mm, kann man die Wechselwirkung
des Gases mit der Stimmgabel als Summe von Einteilchenprozessen
auffassen. Einzelne Gasmoleküle treffen unabhängig voneinander auf die
Stimmgabeloberfläche mit thermischer Energie auf und nehmen im Mittelwegen
der Relativbewegung der Stimmgabelarme bezüglich der umgebenden
Behälterwand - bei der Reflexion kinetische Energie auf. Die dem Quarzoszillator
pro Zeiteinheit entzogene Energie und damit dessen Dämpfung
ist proportional zur Anzahl der pro Zeiteinheit auftreffenden Moleküle
und deshalb auch direkt proportional zum Druck.
Eine gedämpfte erzwungene Schwingung läßt sich nämlich darstellen durch
die Differentialgleichung:
wobei m die Masse des Oszillators, k die Dämpfungskonstante, D die Federkonstante
und F ext die periodisch wirkende äußere Kraft bedeuten.
Die Dämpfungskonstante k ist umgekehrt proportional zur Amplitude A:
A∝1/k.
Die Dämpfungskonstante k setzt sich zusammen aus der Dämpfung durch das
Gas k G sowie aus Beiträgen k R , die auch bei verschwindendem Druck
vorhanden sind, wie Verluste durch die Halterung, Reibungsverluste im
Quarz u. dgl.:
k = k G +k R
d. h.
Gesucht ist nun das Verhalten bei kleinen Gasdrucken (k G → 0):
d. h.
Da bei niedrigen Drucken die Dämpfung durch das Gas proportional zum
Druck ist und die Amplitude proportional zur gemessenen Spannung ist,
gilt
U-U(p = 0) = -C · p.
Dabei ist p der Druck, U die angezeigte Spannung, U(p = 0) die angezeigte
Spannung bei Druck 0, und C der Proportionalitätsfaktor.
Die Wirkungsweise des Sensors ist in diesem Bereich ähnlich der des beispielsweise
in DE-OS 30 19 315 A1 beschriebenen Gasreibungsvakuummeters,
das auf der Abbremsung einer rotierenden Kugel beruht und das sehr
empfindlich ist. Anstelle der rotierenden Kugel liegt bei der Erfindung jedoch
eine oszillierende Bewegung vor; für den Dämpfungsmechanismus ist dies
jedoch ohne Auswirkung. Die Geschwindigkeit der Stimmgabelarme ist nämlich,
ähnlich wie die Oberflächengeschwindigkeit der rotierenden Kugel,
klein gegen die Geschwindigkeit der auftreffenden Gasmoleküle. Die
Dämpfung wird durch die Viskosität des Gases bestimmt, die in diesem
Druckbereich proportional zum Druck ist. Dazu kommt die Abhängigkeit von
der Gasart (Molekül der Masse M) und von der Temperatur T in der Form
(M/T) ½. Der gleiche Faktor tritt bei Gasreibungsvakuummetern sowie
bei Manometern auf, in denen die Wärmeleitfähigkeit von Gasen für die
Druckmessung ausgenützt wird, z. B. bei der Pirani-Meßröhre.
Im Falle des hohen Gasdruckes, also wenn die mittlere freie Weglänge
l kleiner ist als die Quarzabmessung, bricht das Bild von der Energieübertragung
als Summe voneinander unabhängiger Einteilchenprozesse
zusammen. Stattdessen kann von einer gedämpften Schwingung in einem viskosen
fluiden Medium ausgegangen werden, in dem durch die Bewegung der
Stimmgabelarme mehr oder weniger komplexe Strömungen angefacht werden.
Die einfache Proportionalität zwischen Dämpfung und Druck gilt dann
nicht mehr. Die Aussage "Höherer Druck bedeutet höhere Dämpfung" trifft
jedoch weiterhin zu, da zusätzliche Gasmoleküle die Quarzschwingung
immer behindern - wenn auch nicht mehr proportional zu ihrer Anzahl.
Im Bereich relativ hoher Drucke (l«a) weist das beschriebene Verfahren
einen entscheidenden Vorteil gegenüber den Methoden auf, die allein
auf einer Messung der Viskosität η bzw. der Wärmeleitfähigkeit basieren:
Da für l«a sowohl η als auch unabhängig vom Gasdruck
sind, geht die Empfindlichkeit von Reibungs- und Wärmeleitungsmanometern
in diesem Bereich gegen Null. Der erfindungsgemäße Schwingquarz-Druckaufnehmer
liefert dagegen selbst im Bereich des Atmosphärendrucks und
darüber hinaus noch verwertbare Signale. Ursache dafür ist die Beschleunigung
des umgebenden Gasvolumens durch die oszillierende Bewegung der
Stimmgabelarme. Die vom Schwingquarz in das Gas abgestrahlte Leistung
wird deshalb nicht nur von der Viskosität, sondern auch von der Masse
des beschleunigten Gasvolumens bestimmt und ändert sich damit auch bei
sehr kurzer mittlerer freier Weglänge noch mit dem Gasdruck.
Fig. 1 zeigt ein Blockschaltbild mit den wesentlichen Komponenten für
ein Druckmeßgerät gemäß der Erfindung. Der Stimmgabelquarz mit einer
Frequenz von beispielsweise 28 kHz ist das Rückkoppelelement in einer
temperaturstabilisierten Oszillatorschaltung. Über eine Bohrung in der
Gehäusekapsel steht der Quarz mit dem Gas, dessen Druck bestimmt werden
soll, in Verbindung. Die Amplitude der über den Schwingquarz rückgekoppelten
elektrischen Schwingung ist umso größer, je geringer die Dämpfung
durch das Gas ist. Über einen Verstärker und einen Gleichrichter wird
das Signal weiterverarbeitet und schließlich zur Anzeige gebracht. Die
angezeigte Ausgangsspannung ist proportional zur Amplitude des Schwingquarzes.
Fig. 2 zeigt die Anzeige (in Millivolt) als Funktion des Druckes in
verschiedenen Bereichen. Das untersuchte Gas ist in diesem Fall Luft bei
20°C.
In Fig. 2a ist der Bereich niederen Druckes (l < a) dargestellt, in dem
- wie oben abgeleitet - in guter Näherung ein linearer Zusammenhang der
Form
U-U(0) = -C · p
zwischen Druck p und angezeigter Spannung U besteht. U(0) ist die angezeigte
Spannung bei Druck 0, der Proportionalitätsfaktor C beträgt hier
22 mV/Pa. Bei einer Genauigkeit der Anzeige von 10-5 wird damit ein
Druck von 10-3 Pa noch aufgelöst.
Fig. 2b zeigt den Bereich hoher Drucke (l«a).
Einen Überblick über den Verlauf des Signals von 1 bis 10⁵ Pa gibt
Fig. 2c.
Bei Einspeicherung der gesamten Kennlinie in einen Rechner läßt sich
auch eine Umrechnung des Meßsignals in Absolutwerte des Drucks und damit
direkt eine Anzeige in Pa erreichen.
Die Vorteile des Gegenstandes der Erfindung gegenüber anderen Druckaufnehmern
lassen sich somit folgendermaßen zusammenfassen:
Gegenüber Quarzsensoren, bei denen die Frequenzänderung gemessen wird,
ergibt sich eine höhere Empfindlichkeit bei niederen Drucken. Gegenüber
Wärmeleitungsmanometern ergibt sich ein wesentlich erweiterter Meßbereich
sowohl zu höheren als auch zu niedrigeren Drucken hin. Gegenüber
dem Gasreibungsvakuummeter schließlich wird der Druckbereich zu hohen
Drucken hin erweitert und die Ausführung vereinfacht.
Claims (3)
1. Verfahren zur Messung des Drucks in einem gasförmigen Medium,
dadurch gekennzeichnet, daß mittels eines
temperaturstabilen Oszillators mit einem im Medium befindlichen, als
Rückkoppelelement dienenden Schwingquarz aus der vom Druck abhängigen
Dämpfung des Schwingquarzes und der daraus resultierenden Veränderung
des Gütefaktors des Resonatorsystems der Gasdruck ermittelt
wird.
2. Vorrichtung zur Messung des Druckes in einem gasförmigen Medium,
dadurch gekennzeichnet, daß sie aus einem
temperaturstabilen Oszillator mit einem im Medium befindlichen
Schwingquarz sowie einer Meßeinrichtung zur Ermittlung der vom Druck
abhängigen Dämpfung des Schwingquarzes und der daraus resultierenden
Veränderung des Gütefaktors des Resonatorsystems besteht.
3. Vorrichtung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet,
daß der Schwingquarz ein Stimmgabel-Quarz ist.
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1986
- 1986-12-08 DE DE19863641842 patent/DE3641842A1/de not_active Withdrawn
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