JP6072522B2 - 液晶表示パネルおよびその製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る実施形態1として、FFS(Fringe Field Switching)モードの液晶表示パネルに本発明を適用した例を説明する。
図1は、本発明に係る実施の形態の液晶表示パネル100の平面構成を示す平面図である。なお、図1は模式的なものであり、示された構成要素の正確な大きさなどを反映するものではない。また、煩雑さを避けるため、発明に関連する部分以外は省略し、また一部簡略化などを行っている。
次に、本発明に係る本実施の形態の液晶表示パネル100の製造方法について、図1および図2を参照しつつ、図5〜図9を用いて説明する。なお、液晶表示パネルの製造方法においては表示領域、額縁領域を同時に形成しているが、以下の説明では表示領域における製造方法を説明する。
なお、以上においては液晶表示パネルの表示領域101のコンタクトホールへの適用例について説明したが、本発明は額縁領域102に形成されるコンタクトホールについても適用可能である。
また、引き出し配線110および111の終端には実装端子107が形成され、実装端子107には外部接続端子1071が接続されるが、これらの実装端子107や外部接続端子1071に達するコンタクトホールに対しても適用可能である。
Claims (9)
- 透明絶縁性基板と、
前記透明絶縁性基板上の表示領域に配設され、互いに交差してマトリクス状をなす信号線および走査線と、
前記信号線または前記走査線と並行するように配設された共通配線と、
少なくとも前記信号線および前記走査線の上方を覆うように配設された保護絶縁膜と、
前記保護絶縁膜上を覆う第1の絶縁膜と、
前記第1の絶縁膜上に上下の位置関係となるように対向配置された下部電極および上部電極と、
少なくとも前記第1の絶縁膜および前記保護絶縁膜を貫通して前記共通配線の表面に達する第1のコンタクトホールと、を備え、
前記第1のコンタクトホールは、その底部およびその内壁側面が、前記下部電極と同じ材質の第1の透明導電膜と、前記上部電極と同じ材質の第2の透明導電膜との第1の積層膜で被覆され、
前記第1の積層膜の前記第1の透明導電膜は、前記下部電極から延在する膜であって、
前記第1の積層膜の前記第2の透明導電膜は、前記上部電極とは電気的に独立した膜であることを特徴とする、液晶表示パネル。 - 前記液晶表示パネルは、
前記信号線と前記走査線との交差部に配設された薄膜トランジスタを備え、
前記薄膜トランジスタは、
前記透明絶縁性基板上に配設されたゲート電極と、
前記ゲート電極を含む前記透明絶縁性基板上を覆うように配設されたゲート絶縁膜と、
前記ゲート絶縁膜上の前記ゲート電極と対向する位置に配設された半導体膜と、
前記半導体膜のソース領域上およびドレイン領域上にそれぞれ接するように配設されたソース電極およびドレイン電極と、を有し、
前記保護絶縁膜は、前記薄膜トランジスタ上を覆い、
前記液晶表示パネルは、
前記第1の絶縁膜および前記保護絶縁膜を貫通して前記ドレイン電極の表面に達する第2のコンタクトホールを備え、
前記第2のコンタクトホールは、その底部およびその内壁側面が、前記第1の透明導電膜と、前記第2の透明導電膜との第2の積層膜で被覆される、請求項1記載の液晶表示パネル。 - 前記第2の積層膜の前記第1の透明導電膜は、前記下部電極とは電気的に独立した膜であって、
前記第2の積層膜の前記第2の透明導電膜は、前記上部電極から延在する膜である、請求項2記載の液晶表示パネル。 - 前記上部電極と前記下部電極の間に配設された層間絶縁膜を備え、
前記層間絶縁膜は、
前記第1のコンタクトホールの上部に対応する部分に、前記層間絶縁膜を貫通して前記第1のコンタクトホールと連通する第3のコンタクトホールと、
前記第2のコンタクトホールの上部に対応する部分に、前記層間絶縁膜を貫通して前記第2のコンタクトホールと連通する第4のコンタクトホールと、を有し、
前記第1の積層膜の前記第2の透明導電膜は、前記第3のコンタクトホールを介して前記第1のコンタクトホール内に延在し、
前記第2の積層膜の前記第2の透明導電膜は、前記第4のコンタクトホールを介して前記第2のコンタクトホール内に延在し、
前記第3および第4のコンタクトホールの平面での開口サイズは、それぞれ前記第1および第2のコンタクトホールの平面での開口サイズよりも大きい、請求項2記載の液晶表示パネル。 - 前記第1の絶縁膜は、有機樹脂膜を含み、
前記保護絶縁膜は、SiN膜を含む、請求項1記載の液晶表示パネル。 - 前記ゲート電極および前記共通配線は、同じ材質で同じ層に配設され、
前記ゲート絶縁膜は前記共通配線を覆い、
前記第1のコンタクトホールは、
前記ゲート絶縁膜を貫通して前記共通配線の表面に達する、請求項2記載の液晶表示パネル。 - 前記信号線は、前記ソース電極と同じ材質で同じ層に配設されて前記ソース電極に接続され、
前記走査線は、前記ゲート電極と同じ材質で同じ層に配設されて前記ゲート電極に接続され、
前記表示領域の外周領域に配設され、前記信号線および前記走査線からそれぞれ延在する第1の引き出し配線および第2の引き出し配線と、
前記第1および第2の引き出し配線にそれぞれ接続される第1および第2の端子電極と、
前記第1の絶縁膜、前記保護絶縁膜および前記ゲート絶縁膜を貫通して前記第2の端子電極の表面に達する第5のコンタクトホール、前記第1の絶縁膜および前記保護絶縁膜を貫通して前記第1の端子電極の表面に達する第6のコンタクトホールの少なくとも一方と、をさらに備え、
前記第5のコンタクトホールは、その底部およびその内壁側面が、前記第1の透明導電膜と、前記第2の透明導電膜との前記第1の積層膜で被覆され、
前記第6のコンタクトホールは、その底部およびその内壁側面が、前記第1の透明導電膜と、前記第2の透明導電膜との前記第2の積層膜で被覆される、請求項6記載の液晶表示パネル。 - 請求項2記載の液晶表示パネルの製造方法であって、
(a)少なくとも前記第1の絶縁膜および前記保護絶縁膜を貫通して前記共通配線の表面に達する前記第1のコンタクトホールと、前記第1の絶縁膜および前記保護絶縁膜を貫通して前記ドレイン電極の表面に達する前記第2のコンタクトホールとを同時に形成する工程と、
(b)前記第1のコンタクトホールの前記底部および前記内壁側面を前記下部電極と同じ材質の前記第1の透明導電膜で覆うと同時に、前記第2のコンタクトホールの前記底部および前記内壁側面を前記第1の透明導電膜で覆う工程と、
(c)前記第1の透明導電膜で覆われた前記第1のコンタクトホールの内面を前記上部電極と同じ材質の前記第2の透明導電膜で覆うと同時に、前記第1の透明導電膜で覆われた前記第2のコンタクトホールの内面を前記第2の透明導電膜で覆う工程と、を備える液晶表示パネルの製造方法。 - (d)前記工程(a)の後、前記第1の絶縁膜上に前記下部電極を形成する工程と、
(e)前記工程(d)の後、前記下部電極上を覆うように層間絶縁膜を形成する工程と、
(f)前記第1のコンタクトホールの上部に対応する部分に、前記層間絶縁膜を貫通して前記第1のコンタクトホールと連通する第3のコンタクトホールを形成すると同時に、前記第2のコンタクトホールの上部に対応する部分に、前記層間絶縁膜を貫通して前記第2のコンタクトホールと連通する第4のコンタクトホールを形成する工程と、
(g)前記工程(f)の後、前記層間絶縁膜上に上部電極を形成する工程と、を備え、
前記工程(d)は、前記(b)を同時に実行し、
前記工程(g)は、前記(c)を同時に実行することで、前記第2の透明導電膜を、前記第3のコンタクトホールを介して前記第1のコンタクトホール内に延在させると共に、前記第4のコンタクトホールを介して前記第2のコンタクトホール内に延在させ、
前記工程(f)は、
前記第3および第4のコンタクトホールの平面での開口サイズが、それぞれ前記第1および第2のコンタクトホールの平面での開口サイズよりも大きくする工程を含む、請求項8記載の液晶表示パネルの製造方法。
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