JP6020855B2 - 磁性体組成物、及びコイル部品 - Google Patents
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Description
本発明は、磁性体組成物、及びコイル部品に関し、より詳しくは磁性合金材料を主成分とする磁性体組成物、及び該磁性体組成物を使用した各種コイル部品に関する。
従来より、高周波で用いられるチョークコイルや大電流が流れる電源回路やDC/DCコンバータ回路用のパワーインダクタ等に使用されるコイル部品では、磁性合金粒子を主成分とする直流重畳特性に優れた磁性体組成物が広く使用されている。
この種の磁性合金材料は、フェライト材料に比べて、飽和磁束密度が高く、磁気飽和し難いものの、絶縁性が低いことから絶縁処理を施す必要がある。
そこで、例えば、特許文献1には、素体が、Fe、SiおよびFeより酸化しやすいCr、Al等の元素を含有する軟磁性合金の粒子群から構成され、各軟磁性合金粒子の表面には当該粒子を酸化して形成した酸化層が生成され、当該酸化層は当該合金粒子に比較して鉄より酸化しやすい元素を多く含み、粒子同士は当該酸化層を介して結合されたコイル型電子部品が提案されている。
この特許文献1では、軟磁性体粒子の絶縁層として、該軟磁性体粒子の酸化により形成されたCr酸化物やAl酸化物等の酸化層を使用しているので、軟磁性体粒子に樹脂材料やガラス材料を含有させて絶縁処理を行う必要がなく、透磁率が高く飽和磁束密度の高い磁性体材料を低コストで得ることが可能である。
また、特許文献2では、Cr、Si、及びFeを含有した磁性合金材料に、SiO2、B2O3、ZnOを主成分とし、かつ、軟化温度が600±50℃のガラスをその体積が該磁性合金材料の体積の10%未満になる様に添加して、該磁性合金材料の表面を該ガラスで被覆した金属磁性体を用いてコイルを内蔵した成形体を形成し、該成形体が、真空、又は無酸素あるいは低酸素分圧の非酸化雰囲気中で700℃以上、該コイルの導体材料の融点未満の温度で焼成した電子部品の製造方法が提案されている。
この特許文献2では、上記製造方法を使用することによって、コイルの抵抗を高めることなく、絶縁抵抗を高くすることができ、これにより直流重畳特性が良好で磁気損失の少ないパワーインダクタを得ることが可能である。
しかしながら、特許文献1では、軟磁性粒子の酸化によって形成された酸化層で絶縁性を確保しようとしているものの、十分に絶縁性を確保するのは困難である。
すなわち、特許文献1では、軟磁性粒子同士が酸化層を介して接合されるものの、不定形な軟磁性粒子と軟磁性粒子との間には隙間が生じることから、斯かる隙間には水分が浸入したり、後工程のめっき処理でめっき液が浸入し、その結果、酸化層がめっき液に溶出し、絶縁性低下を招くおそれがある。さらに、上述したように軟磁性粒子間に隙間が生じることから、部品素体の強度低下を招くおそれがあり、十分な信頼性を確保するのが困難である。
一方、特許文献2では、磁性合金材料の表面全体にガラス皮膜を形成することができることから、ガラス皮膜間に隙間が生じるのを抑制することができ、絶縁抵抗を高めることができると考えられる。
しかしながら、特許文献2で使用しているSiO2、B2O3、ZnOを主成分としたガラス材料は、めっき液に溶出し易く、このため後工程のめっき処理時にガラス材料がめっき液に溶出し、絶縁抵抗の低下を招くおそれがある。
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、磁性合金粒子間に水分やめっき液が浸入するのを抑制することができ、磁気特性を損なうことなく良好な絶縁性を確保できる磁性体組成物、及びこの磁性体組成物を使用した各種のコイル部品を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記目的を達成するために磁性合金粒子とガラス成分とを種々組み合わせて鋭意研究を行ったところ、磁性合金粒子とガラス成分との合計に対するガラス成分の含有量が12〜32wt%となるように、不動態皮膜が表面に形成可能な磁性合金粒子と、軟化点が650〜800℃のSi、B、及びアルカリ金属を含有したガラス成分とを混合し、熱処理することで磁性合金粒子間には耐めっき液性が良好で緻密なガラス相を形成することができ、これにより磁気特性を損なうことなく良好な絶縁性を確保できる磁性体組成物を得ることができるという知見を得た。
本発明はこのような知見に基づきなされたものであって、本発明に係る磁性体組成物は、表面に不動態皮膜が形成された磁性合金粒子と、軟化点が650〜800℃であってSi、B及びアルカリ金属を含有したガラス成分とを有し、前記磁性体合金粒子と前記ガラス成分との合計に対する前記ガラス成分の含有量が、12〜32wt%であり、前記ガラス成分で形成されたガラス相が、前記磁性合金粒子間に形成されていることを特徴としている。
これにより表面に不動態皮膜が形成された磁性合金粒子間には耐めっき液性が良好で緻密なガラス相が形成されることから、磁性合金粒子間に隙間が生じるのを抑制でき、水分やめっき液の浸入を極力回避できると共に、ガラス成分がめっき液に溶出するのを抑制できる。その結果、初透磁率等の磁気特性を損なうこともなく所望の良好な絶縁性を確保できる磁性体組成物を得ることができる。
また、本発明の磁性体組成物は、熱処理されてなるのが好ましい。
これにより磁性合金粒子の表面には確実に不動態皮膜が形成されると共に、溶融したガラス成分が磁性合金粒子間に濡れ拡がって所望の緻密なガラス相を形成することができ、所望の絶縁性を確保することができる。
さらに、本発明の磁性体組成物は、前記磁性合金粒子が、少なくともFe、Si及びCrを含有したFe−Si−Cr系材料、及び少なくともFe、Si及びAlを含有したFe−Si−Al系材料のうちのいずれかを含むのが好ましい。
このように磁性合金粒子が、Feよりも酸化しやすいCrやAlを含むことにより、磁性合金粒子の表面にはCr酸化物やAl酸化物からなる不動態皮膜を容易に形成することができる。
また、本発明の磁性体組成物は、前記アルカリ金属が、K、Na、及びLiから選択された少なくとも一種を含んでいるのが好ましい。
これにより、ガラス成分がめっき液に溶出することもなく、所望の緻密なガラス相を磁性合金粒子間に形成することができる。
さらに、本発明の磁性体組成物は、前記ガラス成分が、Znを含まないのが好ましい。
この場合は、めっき液に溶出し易いZnがガラス成分に含まれないことから、後工程でめっき処理を行ってもガラス成分のめっき液への溶出に起因した絶縁性の低下を回避することができる。
本発明に係るコイル部品は、磁性コアが、上記いずれかに記載の磁性体組成物で形成されていることを特徴としている。
本発明に係るコイル部品は、コイル導体が部品素体に埋設されたコイル部品であって、前記部品素体が、上記いずれかに記載の磁性体組成物で形成されていることを特徴としている。
本発明の磁性体組成物によれば、表面に不動態皮膜が形成された磁性合金粒子と、軟化点が650〜800℃であってSi、B及びアルカリ金属を含有したガラス成分とを有し、前記磁性体合金粒子と前記ガラス成分との合計に対する前記ガラス成分の含有量が、12〜32wt%であり、前記ガラス成分で形成されたガラス相が、前記磁性合金粒子間に形成されているので、磁性合金粒子間に隙間が生じるのを抑制でき、水分やめっき液の浸入を極力回避できると共に、ガラス成分がめっき液に溶出するのを抑制できる。そしてこれにより初透磁率等の磁気特性を損なうこともなく所望の良好な絶縁性を確保できる磁性体組成物を得ることができる。
本発明のコイル部品によれば、磁性コアが、上記いずれかに記載の磁性体組成物で形成されているので、初透磁率等の磁気特性を損なうこともなく耐吸湿性や耐めっき液性が良好で、所望の絶縁性を確保できる高周波用チョークコイル等に好適なコイル部品を得ることができる。
さらに、本発明のコイル部品によれば、コイル導体が部品素体に埋設されたコイル部品であって、前記部品素体が、上記いずれかに記載の磁性体組成物で形成されているので、初透磁率等の磁気特性を損なうこともなく耐吸湿性や耐めっき液性が良好で、所望の絶縁性を確保できる積層インダクタ等に好適なコイル部品を得ることができる。
次に、本発明の実施の形態を詳説する。
本発明に係る磁性体組成物は、表面に不動態皮膜が形成された磁性合金粒子と、軟化点が650〜800℃であってSi、B及びアルカリ金属を含有したガラス成分とを有し、前記磁性体合金粒子と前記ガラス成分との合計に対するガラス成分の含有量が、12〜32wt%(体積百分率で、29〜61vol%に相当)であり、前記ガラス成分で形成されたガラス相が、前記磁性合金粒子間に形成されている。
これにより表面に不動態皮膜が形成された磁性合金粒子間には耐めっき液性が良好で緻密なガラス相が形成されることから、磁性合金粒子間に隙間が生じるのを抑制でき、水分やめっき液の浸入を極力回避できると共に、ガラス成分がめっき液に溶出するのを抑制できる。その結果、初透磁率等の磁気特性を損なうこともなく所望の良好な絶縁性を確保できる磁性体組成物を得ることができる。
以下、この磁性体組成物について詳述する。
(1)磁性合金粒子
磁性合金粒子は本磁性体組成物の主成分を形成するが、磁性合金粒子同士が電気的に接続されて導通状態になると、絶縁性を確保できなくなることから、不動態皮膜が表面に形成可能な磁性合金粒子を使用する必要がある。
磁性合金粒子は本磁性体組成物の主成分を形成するが、磁性合金粒子同士が電気的に接続されて導通状態になると、絶縁性を確保できなくなることから、不動態皮膜が表面に形成可能な磁性合金粒子を使用する必要がある。
すなわち、磁性合金粒子としては、不動態皮膜の形成が可能な金属種を含有したものであれば、特に限定されるものではなく、例えば、Feよりも酸化しやすいCrやAl等の金属を含有した磁性合金粒子を使用することができる。具体的には、少なくともFe、Si、Crを含有したFe−Si−Cr系材料や、少なくともFe、Si、Alを含有したFe−Si−Al系材料を好んで使用することができる。
(2)ガラス成分の種類
ガラスは、それ自体で非晶質化して網目状のネットワーク構造を形成する網目状酸化物と、それ自体では非晶質化しないが網目状酸化物を修飾して非晶質化する修飾酸化物と、両者の中間的な中間酸化物等で構成される。このうちSiO2及びB2O3はいずれも網目状酸化物として作用し、必須の構成成分を形成する。
ガラスは、それ自体で非晶質化して網目状のネットワーク構造を形成する網目状酸化物と、それ自体では非晶質化しないが網目状酸化物を修飾して非晶質化する修飾酸化物と、両者の中間的な中間酸化物等で構成される。このうちSiO2及びB2O3はいずれも網目状酸化物として作用し、必須の構成成分を形成する。
また、修飾酸化物としてはNa2O、K2O、Li2O等のアルカリ金属酸化物、中間酸化物としてはZnO等が知られている。
しかしながら、ZnOは、めっき液に溶出しやすいことから含有させるのは好ましくない。
一方、アルカリ金属酸化物は、めっき液に溶出し難く、SiO2及びB2O3と共に含有させることにより、耐めっき液性に優れた緻密なガラス相を形成することが可能である。
したがって、本実施の形態では、Si、B、及びK、Na、Li等のアルカリ金属を含有したほうケイ酸アルカリ系のガラス成分を使用している。
(3)ガラス成分の軟化点
上記磁性合金粒子と上記ガラス成分との混合物を熱処理することにより、磁性合金粒子間には緻密なガラス相を形成することができる。
上記磁性合金粒子と上記ガラス成分との混合物を熱処理することにより、磁性合金粒子間には緻密なガラス相を形成することができる。
しかしながら、ガラス成分の軟化点が650℃未満になると、ガラス成分中のSi成分の含有量が過度に少なくなり、このためめっき処理時にガラス成分がめっき液に溶出し易くなり、好ましくない。
一方、ガラス成分の軟化点が800℃を超えると、ガラス成分中のSi成分の含有量が過度に多くなってガラス成分の流動性が低下し、熱処理してもガラス成分は磁性合金粒子間に十分に濡れ拡がらず、ガラス相の緻密化が阻害されたり、磁性合金粒子間に隙間が残存するおそれがある。そしてその結果、磁性合金粒子間に水分やめっき液が浸入し易くなり、耐吸湿性や耐めっき液性の低下を招くおそれがある。
そこで、本実施の形態では、ガラス成分の軟化点が650℃〜800℃となるように調整している。
(4)ガラス成分の含有量
上述したように磁性合金粒子の表面にガラス相を形成することにより、絶縁性と磁気特性の向上を図ることが可能である。
上述したように磁性合金粒子の表面にガラス相を形成することにより、絶縁性と磁気特性の向上を図ることが可能である。
しかしながら、磁性合金粒子とガラス成分の合計、すなわち磁性体原料中のガラス成分の含有量が12wt%未満(29vol%未満)になると、ガラス成分が十分に磁性合金粒子間に充填されずに隙間が形成され、このため該隙間に水分が浸入して耐吸湿性の低下を招くおそれがある。
一方、磁性体原料中のガラス成分の含有量が32wt%(61vol%)を超えると、ガラス成分が過剰となって磁気特性の低下を招くおそれがある。
そこで、本実施の形態では、磁性体原料中のガラス成分の含有量が12〜32wt%となるように調整している。
この磁性体組成物は以下のように製造することができる。
まず、磁性合金粒子として、熱処理によって表面にCr酸化物やAl酸化物等の不動態皮膜の形成が可能なFe−Si−Cr系材料やFe−Si−Al系材料を用意する。
また、ガラス成分として、SiO2、B2O3、及びA2O(Aは、K、Na、Li等のアルカリ金属を示す。)を含有したSi−B−A−O系ガラス材料を用意する。
そして、磁性合金粒子とガラス成分との合計に対するガラス成分の含有量が、12〜32wt%となるように、これら磁性合金粒子及びガラス成分を秤量し、混合して磁性体原料を作製する。
次に、有機溶剤、有機バインダ、及び分散剤や可塑剤等の添加剤を適量秤量し、前記磁性体原料と共に混練し、ペースト化して磁性体ペーストを作製する。
そして、磁性体ペーストにドクターブレード法等の成形加工法を施して成形体を作製し、その後、350〜500℃の温度で脱バインダ処理を行い、その後、800〜900℃の温度で90〜120分程度熱処理して焼成し、これにより磁性体組成物が作製される。
このように本磁性体組成物では、表面に不動態皮膜が形成された磁性合金粒子と、軟化点が650〜800℃であってSi、B及びアルカリ金属を含有したガラス成分とを有し、前記磁性体原料中のガラス成分の含有量が、12〜32wt%であり、前記ガラス成分で形成されたガラス相が、前記磁性合金粒子間に形成されている。
そしてこれにより、表面に不動態皮膜が形成された磁性合金粒子間には耐めっき液性が良好で緻密なガラス相が形成されることから、磁性合金粒子間に隙間が生じるのを抑制でき、水分やめっき液の浸入を極力回避できると共に、ガラス成分がめっき液に溶出するのを抑制できる。その結果、初透磁率等の磁気特性を損なうこともなく所望の良好な絶縁性を確保できる磁性体組成物を得ることができる。
次に、本磁性体組成物を使用したコイル部品について詳述する。
図1は、本発明に係るコイル部品としての積層インダクタの断面図である。
この積層インダクタは、本磁性体組成物で形成された部品素体1と、部品素体1に内蔵されたコイル導体2と、部品素体1の両端部に形成された外部導体3a、3bと、該外部導体3a、3bの表面に形成されたNi等の第1のめっき皮膜4a、4b及びSnやはんだ等の第2のめっき皮膜5a、5bとから構成されている。
また、コイル導体2は、所定の導体パターンを有するように形成された内部導体2a〜2gが、ビア導体(不図示)を介して電気的に直列に接続され、コイル状に巻回されている。そして、本積層インダクタは、内部導体2gの引き出し部6が一方の外部電極3aと電気的に接続されると共に、内部導体2aの引き出し部7が他方の外部電極3bと電気的に接続されている。
次に、上記積層インダクタの製造方法を詳述する。
まず、上述と同様の方法・手順で磁性体ペーストを作製する。
また、Ag粉末等の導電性粉末にワニスや有機溶剤を加えて混練し、これにより内部導体用導電性ペースト(以下、「内部導体ペースト」という。)を作製する。
次に、前記磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、積層体を作製する。
図2は、積層体の斜視図である。
まず、PETフィルム等のベースフィルム上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シート11a、11bを作製する。次いで該磁性体シート11bの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法等で塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層12aを形成する。
次いで、導体層12aが形成された磁性体シート11b上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シート11cを作製する。次いで該磁性体シート11cの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法等で塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層12bを形成する。尚、磁性体シート11cの形成時には、導体層12bと導体層12aとが導通可能となるようにビアホール13aを形成しておく。
以下、同様の方法・手順で磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、磁性体シート11d〜11i、導体層12c〜12gを順次形成し、さらに磁性体シート11d〜11hの形成時には、上下の導体層が導通するようにビアホール13b〜13fを形成し、これにより積層体が作製される。
次いで、この積層体を匣(さや)に入れ、300〜500℃の温度で脱バインダ処理を行ない、その後、800〜900℃の温度で熱処理を行って焼成し、これにより部品素体1が作製される。
そしてその後、部品素体1の両端部にAg等を主成分とする外部電極用ペーストを塗布し、焼付処理を行って外部電極3a、3bを形成し、さらに電解めっき等のめっき処理を行って、Ni、Cu等の第1のめっき皮膜4a、4b及びSnやはんだ等の第2のめっき皮膜5a、5bを順次形成し、これにより積層インダクタが作製される。
このように本積層インダクタは、コイル導体2が部品素体1に埋設され、かつ、前記部品素体1が、上記磁性体組成物で形成されているので、初透磁率等の磁気特性を損なうこともなく耐吸湿性や耐めっき液性が良好で、所望の絶縁性を確保できる積層インダクタを得ることができる。
尚、本発明は上記実施の形態に限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。上記実施の形態では、コイル部品として積層インダクタを例示したが、磁性体組成物を円板状やリング状に成形して磁心コアを形成し、該磁心コアにコイルを巻回して使用するのも好ましく、これにより上記積層インダクタと同様、初透磁率等の磁気特性を損なうこともなく耐吸湿性や耐めっき液性が良好で、所望の絶縁性を確保できる高周波用チョークコイル等に好適なコイル部品を得ることができる。
次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
表1に示す市販のFe−Si−Cr系磁性合金粒子(磁性合金粒子A)、Fe−Si−Al系磁性合金粒子(磁性合金粒子B)、及びFe−Si系磁性合金粒子(磁性合金粒子C)を準備した。尚、これら磁性合金粒子A〜Cの平均粒径はいずれも6μmであった。
表1は、磁性合金粒子A〜Cの各組成比を示している。
また、SiO2、B2O3、K2O、及びZnOの各ガラス素材を用意し、表2に示す組成となるようにこれらガラス素材を配合し、ガラス成分a〜fを作製した。そして、これらガラス成分a〜fの軟化点をJIS3103−1に準拠して測定した。尚、ガラス成分の平均粒径は、いずれも1μmであった。
表2は、ガラス成分a〜fの各組成比及び軟化点を示している。
次に、これら磁性合金粒子A〜C及びガラス成分a〜fの合計に対するガラス成分の含有量が、表3に示すような重量比となるように秤量し、両者を混合した。次いで、これら磁性体原料100重量部に対し、溶剤としてのジヒドロタービニルアセテートが26重量部、有機バインダとしてのエチルセルロースが3重量部、分散剤が1重量部、可塑剤が1重量部となるように秤量し、これらを混練してペースト化し、試料番号1〜19の磁性体ペーストを作製した。
次に、試料番号1〜19の磁性体ペーストをPETフィルムに塗布し、乾燥する工程を繰り返し、厚さが0.5mmの磁性体シートを作製した。
次いで、この磁性体シートをPETフィルムから剥離し、プレス加工を行い、直径が10mmの円板状に打ち抜き、円板状の成形体を作製した。
同様に、前記磁性体シートをPETフィルムから剥離し、プレス加工を行い、外径が20mm、内径が12mmのリング状に打ち抜き、リング状の成形体を作製した。
次いで、これらの成形体を大気雰囲気下、350℃で脱バインダ処理を行い、その後850℃の温度で90分間、熱処理して焼成し、これにより試料番号1〜19の円板状試料及びリング状試料をそれぞれ作製した。
次に、試料番号1〜19の円板状試料について、重量を測定した後、水中に60分間浸漬し、その後、各試料を引き上げ、表面の水分をスポンジで吸い取って除去した後、水分除去後の重量を測定し、浸漬前後の増加重量に基づいて吸水率を算出した。
また、これら試料番号1〜19の円板状試料の両主面にAgを主成分とする導電性ペーストを塗布し、700℃の温度で5分間焼き付けて電極を形成した。その後、これらの試料に電解めっきを施し、電極表面にNi皮膜及びSn皮膜を順次作製した。
そしてこれら試料に50Vの直流電圧を印加し、1分後の抵抗値を測定し、この測定値と試料寸法とから比抵抗logρ(ρ:Ω・cm)を求めた。
さらに、試料番号1〜19のリング状試料を透磁率測定冶具(アジレント・テクノロジー社製、16454A-s)に収容し、インピーダンスアナライザ(アジレント・テクノロジー社製、E4991A)を使用し、測定周波数1MHzで初透磁率μを測定した。
表3は、試料番号1〜19における磁性体原料中の磁性体合金粒子及びガラス成分の含有量、吸水率、比抵抗logρ、初透磁率μを示している。
ここで、吸水率は1.5%以下の試料を良品とし、1.5%を超える試料を不良品と判断した。また、比抵抗logρは6以上の試料を良品とし、6未満の試料を不良品と判断した。さらに、初透磁率μは4以上の試料を良品とし、4未満の試料を不良品とした。
試料番号1は、吸水率が4.8%と大きくなった。これは、試料番号1では、ガラス成分を含んでいないため、磁性合金粒子間にガラス相が形成されることはなく隙間が生じ、該隙間に水分が浸入したためと思われる。
試料番号2も、吸水率が3.6%と大きくなった。これは、試料番号2では、ガラス成分を含んでいるものの、磁性体原料中のガラス成分の含有量が5wt%と少なく、このため磁性合金粉末間には十分なガラス相が形成されずに隙間が生じ、その結果、試料番号1と同様、前記隙間によって水分が浸入したものと思われる。
試料番号6は、磁性体原料中のガラス成分の含有量が50wt%であり、ガラス成分の含有量が過剰であるため、初透磁率μが3.2と低く、磁気特性が劣化することが分かった。
試料番号7は、比抵抗logρが4.1に低下し、絶縁性に劣ることが分かった。これは、試料番号7では軟化点が580℃のガラス成分aを使用しており、SiO2の含有量が61wt%と低いことから、ガラス成分がめっき液に溶出し、このため絶縁性が低下したものと思われる。
試料番号14は、吸水率が4.3%と高くなった。これは、試料番号14では、軟化点が850℃のガラス成分eを使用しており、SiO2の含有量が86wt%と高く、このためガラス成分の流動性が低下し、ガラス成分が熱処理時に磁性合金粒子全体に濡れ拡がらず、磁性合金粒子間に隙間が形成され、緻密なガラス相が得られなくなったためと思われる。
試料番号18は、Fe−Si系の磁性合金粉末Cを使用し、CrやAl等のFeよりも酸化し易い金属が含有されていないため、熱処理を行っても粒子表面には不働態皮膜が形成されず、導通状態となった。
試料番号19は、ZnOを含有したガラス成分fを使用しているので、ZnOがめっき液に溶出し、比抵抗logρが3.9に低下し、絶縁性が劣化することが分かった。
これに対して試料番号3〜5、8〜13、及び15〜17は、磁性合金粉末A又は磁性合金粉末B、軟化点が650〜800℃のガラス成分b〜dを使用し、磁性体原料中のガラス成分の含有量が12〜32wt%であり、いずれも本発明範囲内であるので、吸水率は1.5%以下、比抵抗logρが6以下、初透磁率μは4以上であり、磁気特性を損なうことなく良好な絶縁性が得られることが分かった。
実施例1の試料番号4、7、9、12、及び19で使用した磁性体ペーストを用意した。
また、Ag粉末、ワニス、及び有機溶剤を含有した内部導体ペーストを用意した。
次いで、PETフィルム上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これを所定回数繰り返して磁性体シートを作製した。次いで該磁性体シートの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法を使用して塗布し、乾燥させ所定パターンの導体層を形成した。
次いで、導体層が形成された磁性体シート上に磁性体ペーストを塗布して乾燥させ、これにより磁性体シートを作製した。このとき、磁性体シートの所定箇所にビアホールを形成した。次いで該磁性体シートの表面に内部導体ペーストをスクリーン印刷法を使用して塗布し、乾燥させて所定パターンの導体層を形成した。このとき、ビアホールを介して最初に形成した導体層と導通するようにした。 以下、同様の方法・手順で磁性体ペースト及び内部導体ペーストを使用し、磁性体シート、及び導体層を順次形成し、これにより図2に示すような積層体を得た。
そして、この積層体を匣(さや)に入れて、大気雰囲気中、350℃の温度で2時間加熱して脱バインダ処理を行った後、大気雰囲気中、850℃の温度で90分間焼成処理を行い、部品素体を得た。
次いで、部品素体の両端部にAg等を主成分とする外部電極用ペーストを塗布し、乾燥した後、大気雰囲気中、700℃の温度で5分間焼付処理を行い、外部電極を形成し、これにより試料番号4′、7′、9′12′、及び19′の試料を作製した。
次に、このようにして作製した各試料10個について、これら試料の端面が立つように樹脂固めし、端面を試料の長さ方向に沿って研磨し、長さ方向の約1/2の時点における断面を光学顕微鏡で観察した。
試料番号7′は、めっき液が浸入し、ガラスの溶出した痕跡が確認された。これは試料番号7′は、軟化点が580℃と低く、このためガラス成分中のSiO2の含有量が61wt%と少ないため、緻密なガラス相を形成することができず、ガラス成分がめっき液に溶出したためと思われる。
また、試料番号19′は、めっき液に溶出し易いZnOがガラス成分中に含有されているため、試料番号7′と同様、ガラスがめっき液に溶出した痕跡が確認された。
これに対し試料番号4′、9′及び12′は、ガラス成分の軟化点が650〜800℃であるので、ガラス成分がめっき液に溶出した痕跡は見られず、良好な耐めっき液性が得られることが確認された。
磁気特性を損なうこともなく、耐吸湿性及び耐めっき液性が良好で、良好な絶縁性を有する磁性合金粒子を磁心コアや部品素体に使用したチョークコイルや積層インダクタ等のコイル部品を実現できる。
1 部品素体
2 コイル導体
2 コイル導体
Claims (7)
- 表面に不動態皮膜が形成された磁性合金粒子と、軟化点が650〜800℃であってSi、B及びアルカリ金属を含有したガラス成分とを有し、
前記磁性体合金粒子と前記ガラス成分との合計に対する前記ガラス成分の含有量が、12〜32wt%であり、
前記ガラス成分で形成されたガラス相が、前記磁性合金粒子間に形成されていることを特徴とする磁性体組成物。 - 熱処理されてなることを特徴とする請求項1記載の磁性体組成物。
- 前記磁性合金粒子は、少なくともFe、Si及びCrを含有したFe−Si−Cr系材料、及び少なくともFe、Si及びAlを含有したFe−Si−Al系材料のうちのいずれかを含むことを特徴とする請求項1又は請求項2記載の磁性体組成物。
- 前記アルカリ金属は、K、Na、及びLiから選択された少なくとも一種を含んでいることを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の磁性体組成物。
- 前記ガラス成分は、Znを含まないことを特徴とする請求項1乃至請求項4のいずれかに記載の磁性体組成物。
- 磁性コアが、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の磁性体組成物で形成されていることを特徴とするコイル部品。
- コイル導体が部品素体に埋設されたコイル部品であって、
前記部品素体が、請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の磁性体組成物で形成されていることを特徴とするコイル部品。
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