JP4881192B2 - 電子部品の製造方法 - Google Patents

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本発明は、金属磁性体を用いて形成された成形体内にコイルが埋設された電子部品の製造方法に関するものである。
大電流が流れる電源回路やDC/DCコンバータ回路用のインダクタやトランス等として使用される電子部品に、コイルの周りが金属磁性体粉末を加圧成形した金属磁性体で覆われるものがある(例えば、特許文献1を参照。)。
特開2004-153068号公報
この種の電子部品においては、コイルとの絶縁性を保つために金属磁性体粉末とガラス粉末を樹脂に混合して加圧成形した成形体を形成したり、ガラスで被覆された金属磁性体粉末を樹脂に混合して加圧成形した成形体を形成したりすることが行われている。
しかしながら、この様な電子部品は、熱による絶縁抵抗の劣化が著しく、大電流を流した際の発熱や、高温になる場所での使用によって時間とともに損失が増加し、絶縁不良や耐圧不良の原因となる恐れがあった。
本発明は、高い絶縁性を保ち、かつ熱による絶縁抵抗の劣化のほとんどない電子部品の製造方法を提供することを目的とする。
本発明の電子部品の製造方法は、金属磁性体粉末の表面をガラスで被覆した金属磁性体を用いてコイルを内蔵した成形体を形成し、成形体を低酸素濃度中において800℃以上の温度で熱処理を施す。また、金属磁性体粉末はFe−Cr−Si系合金の粉末が用いられ、ガラスはBiを含有するガラスが用いられる。
本発明の電子部品の製造方法は、金属磁性体粉末の表面をガラスで被覆した金属磁性体を用いてコイルを内蔵した成形体を形成し、成形体を低酸素濃度中において800℃以上の温度で熱処理を施すので、製造工程を増やすことなく高い絶縁性を得ることができると共に、従来のものよりも熱による絶縁抵抗の劣化を少なくできる。
本発明の電子部品の製造方法は、金属磁性体であるCrとSiを含有する鉄の合金(いわゆる、Fe−Cr−Si系合金)の粉末の表面をBiを含有するガラスで被覆し、このガラスで被覆された金属磁性体粉を樹脂に混合し、これを用いてコイルを内蔵した成形体が形成される。この成形体は、加圧されると共に、低酸素濃度中において800℃以上の温度で熱処理が施される。
従って、本発明の電子部品の製造方法は、成形体を構成する金属磁性体粉末の表面に強固なガラス被膜を形成することができ、金属磁性体粉末のガラスによる被覆が破壊されることがなく、成形体の透磁率を向上させることができる。
以下、本発明の電子部品の製造方法を図1乃至図6を参照して説明する。
図1は本発明に係る電子部品の斜視図であり、図1において、11は成形体、12はコイルである。
コイル12は、巻線を螺旋状に巻回して形成され、周りが金属磁性の成形体11で覆われる。コイル12の両端は、成形体11の端面から引き出され、底面に折り曲げられる。
成形体11は、金属磁性体としてFe−Cr−Si系合金の粉末の表面をBiを含有するガラスで被覆したものが用いられ、このガラスで被覆された金属磁性体粉を樹脂に混合し、これを加圧成形して形成される。この成形体11は、300℃〜800℃で脱脂した後、低酸素濃度中において800℃以上の温度で熱処理される。
この様な電子部品は以下の様にして製造される。まず、金属磁性体粉末としてCrとSiを含有する鉄の合金(いわゆるFe−Cr−Si系合金)の粉末が用いられる。また、金属磁性体粉末の平均粒径は20μm程度のものが望ましい。この金属磁性体粉末は、機械的方法によってその表面全体にガラスの被膜が形成される。このガラスによる金属磁性体粉末表面の被覆は、ガラスと金属磁性体の体積比が0.87%になる様に調整される。このガラスは、Biを含有する軟化温度が600℃以下のものが用いられる。
次に、このガラスで被覆された金属磁性体粉は、樹脂のバインダに混合され、造粒される。樹脂のバインダは、ポリビニルアルコール(PVA)が用いられ、バインダと金属磁性体粉の重量比が2.5%になるように調整される。
続いて、コイルが収納された金型内にこの樹脂のバインダに混合された金属磁性体粉を注入し、これに5t/cmの圧力を加えて成形体が形成される。
次に、この成形体は、大気中において400℃の温度で脱脂した後、酸素濃度が100ppm未満の窒素雰囲気中において800℃以上の温度で熱処理が行われる。
この様に形成したところ、図2に模式的に示す様に、金属磁性体粉末21の表面全体にガラスの被膜22が破壊されることなく成形体内に分散されていた。
樹脂のバインダに混合された金属磁性体粉を用いてコイルを内蔵していない成形体を直径が7.2mm、厚みが2mmの円柱状に形成し、両端面に電極を形成し、金属磁性体粉末とガラスの材質を変えた時に、熱処理の温度によって絶縁抵抗率がどのように変化するか測定したところ、図3、図4の様になった。なお、図3は金属磁性体粉末に平均粒径が20μmのFe−Cr−Si系合金の粉末を用い、その金属磁性体粉末表面を覆うガラスの材質を変えた場合を示し、図4は、金属磁性体粉末表面を覆うガラスにBiを含有するガラスを用い、金属磁性体粉末の材質を変えた場合を示している。
図3に31で示す様に、Fe−Cr−Si系合金粉末の表面を覆うガラスにBiを含有するガラスを用いた場合、成形体を800〜900℃の熱処理を行なっても、他のガラスでは絶縁抵抗率が低下しているにもかかわらず、絶縁抵抗率が向上した。なお、32はPを含有するガラス、33はNaを含有する硼珪酸アルカリ系ガラス、34はNaとAlを含有する硼珪酸アルカリ系ガラス、35は硼珪酸ガラス、36はMgOを含有する硼珪酸ガラス、37はAlを含有する硼珪酸アルカリ系ガラス、38はガラスを用いないものを示している。
図4に、41で示す様にBiを含有するガラスで被覆された金属磁性体粉末にFe−Cr−Si系合金粉末を用いた場合、成形体を800〜900℃の熱処理を行なっても、42に示す金属磁性体粉末に純鉄を用いたものでは絶縁抵抗率が低下しているにもかかわらず、絶縁抵抗が向上した。
また、金属磁性体粉末にFe−Cr−Si系合金の粉末を用い、金属磁性体粉末表面を覆うガラスにBiを含有するガラスを用いて形成した成形体を800℃〜900℃で焼成したものの比透磁率は、熱処理前の値を下回ることはなかった。
さらに、この様にして形成された電子部品を180℃の大気中に放置する耐熱試験を行なったところ、従来のものが10時間程度で絶縁抵抗率が劣化するのに対し、本発明のものは絶縁抵抗率にほとんど変化が見られなかった。
さらにまた、本発明の電子部品の製造方法は、成形後に高温で熱処理を行なうので、成形体の形成と高絶縁性能化処理を同時にすることができた。
図5は本発明に係る別の電子部品の分解斜視図であり、図5において、51A〜51Dは金属磁性体層、52A〜52Cは導体パターンである。
金属磁性体層51A〜51Dは、金属磁性体としてFe−Cr−Si系合金の粉末の表面をBiを含有するガラスで被覆したものが用いられる。また、導体パターン52A〜52Cは、銀、銀系、金、金系、銅、銅系等の金属材料をペースト状にした導体ペーストを用いて形成される。
金属磁性体層51Aの表面には、導体パターン52Aが形成される。この導体パターン52Aは、1ターン未満分が形成され、一端が金属磁性体層51Aの端面に引き出される。
金属磁性体層51Bの表面には、導体パターン52Bが形成される。この導体パターン52Bは1ターン未満分が形成される。導体パターン52Bの一端は金属磁性体層51Bのスルーホール内の導体を介して導体パターン52Aの他端に接続される。
金属磁性体層51Cの表面には、導体パターン52Cが形成される。導体パターン52Cは、1ターン未満分が形成され、その一端が金属磁性体層51Cのスルーホール内の導体を介して導体パターン52Bの他端に接続される。
この導体パターン52Cが形成された金属磁性体層51Cの上には、導体パターンを保護するための金属磁性体層51Dが形成される。
この様にして金属磁性体層間の導体パターン52A〜52Cによって成形体51内にコイルパターンが形成され、図6に示す様に成形体51の両端面に形成された外部端子53、54間に接続される。この成形体51は、300℃〜800℃で脱脂した後、低酸素濃度中において800℃以上の温度で熱処理される。
この様な電子部品は以下の様にして製造される。まず、金属磁性体粉末としてCrとSiを含有する鉄の合金(いわゆるFe−Cr−Si系合金)の粉末が用いられる。また、金属磁性体粉末の平均粒径は20μm程度のものが望ましい。この金属磁性体粉末は、メカノフュージョン等機械的方法によってその表面全体にガラスの被膜が形成される。このガラスによる金属磁性体粉末表面の被覆は、ガラスと金属磁性体の体積比が0.87%になる様に調整される。このガラスは、Biを含有する軟化温度が600℃以下のものが用いられる。
次に、このガラスで被覆された金属磁性体粉を樹脂のバインダに混合し、ペースト状にして金属磁性体ペーストが形成される。樹脂のバインダは、エチルセルロースが用いられ、バインダと金属磁性体粉の重量比が2.5%になるように調整される。また、この金属磁性体ペーストは、ブチルカルビトールを添加して粘度が調整される。
続いて、この金属磁性体ペーストと銀粒子をペースト状にした導体ペーストを交互に印刷して成形体が形成され、この成形体内にコイルパターンが形成される。
さらに、この成形体に5t/cmの圧力を加えた後、大気中において400℃の温度で脱脂し、酸素濃度が100ppm未満の窒素雰囲気中において800℃以上の温度で焼成される。
この様に形成された電子部品は、従来の積層タイプの電子部品よりも直流重畳特性を改善することができると共に、絶縁抵抗が高く、損失の少ないパワーインダクタを形成することができた。
以上、本発明の電子部品の製造方法の実施例を述べたが、本発明はこの実施例に限られるものではない。例えば、金属磁性体ペーストを用いて金属磁性体層を形成し、この金属磁性体層表面に導体ペーストを用いて導体パターンを形成し、この導体パターン付きの金属磁性体層を積層してもよい。
本発明に係る電子部品の斜視図である。 本発明の電子部品の製造方法における金属磁性体粉末の模式図である。 本発明の電子部品の製造方法における特性図である。 本発明の電子部品の製造方法における特性図である。 本発明に係る別の電子部品の分解斜視図である。 本発明に係る別の電子部品の斜視図である。
符号の説明
11 成形体
12 コイル

Claims (2)

  1. 巻線を巻回してコイルを形成する工程、Fe―Cr―Si系金属磁性合金粉末の表面をBi を含有し、軟化温度が600℃以下のガラスで被覆した金属磁性体粉に樹脂を混合し、これを用いて該コイルを内蔵した状態で成形して成形体を形成する工程及び、該成形体を脱脂し、低酸素濃度中において800℃以上の温度で熱処理を施す工程を備えることを特徴とする電子部品の製造方法。
  2. Fe―Cr―Si系金属磁性合金粉末の表面をBi を含有し、軟化温度が600℃以下のガラスで被覆した金属磁性体粉を用いた金属磁性体層と導体パターンを積層し、該金属磁性体層間の導体パターンを接続してコイルが形成された成形体を形成する工程と、該成形体を脱脂し、低酸素濃度中において800℃以上の温度で焼成する工程を備えることを特徴とする電子部品の製造方法。
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Families Citing this family (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5553978B2 (ja) * 2008-09-05 2014-07-23 東光株式会社 電子部品の製造方法
CN104395972B (zh) * 2012-08-10 2017-06-23 株式会社村田制作所 磁性体组合物和线圈部件
JP2015065362A (ja) * 2013-09-26 2015-04-09 東光株式会社 金属磁性材料、電子部品
JP2018073917A (ja) * 2016-10-26 2018-05-10 スミダコーポレーション株式会社 磁性混合物、磁性素子の中間体、磁性素子および磁性素子の製造方法
JP7003543B2 (ja) 2017-09-29 2022-02-04 セイコーエプソン株式会社 絶縁物被覆軟磁性粉末、圧粉磁心、磁性素子、電子機器および移動体
DE112020000121T5 (de) * 2020-08-14 2022-05-05 Huizhou Boke Industry Co., Ltd. Verfahren zur herstellung eines geformten verbundinduktors und ein geformter verbundinduktor

Family Cites Families (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3503206B2 (ja) * 1994-09-09 2004-03-02 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品およびその製造方法
JPH09148118A (ja) * 1995-11-24 1997-06-06 Tokin Corp 積層型圧粉磁芯
JP2001244116A (ja) * 2000-02-29 2001-09-07 Taiyo Yuden Co Ltd 電子部品及びその製造方法
JP2004253787A (ja) * 2003-01-30 2004-09-09 Mitsubishi Materials Corp 高強度、高磁束密度および高抵抗を有する複合軟磁性焼結材およびその製造方法
JP2003297634A (ja) * 2003-02-17 2003-10-17 Tdk Corp 電子部品
JP4738923B2 (ja) * 2005-07-15 2011-08-03 東光株式会社 大電流用積層型インダクタの製造方法
JP4794929B2 (ja) * 2005-07-15 2011-10-19 東光株式会社 大電流用積層型インダクタの製造方法

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