JP6005447B2 - 電子線検出装置 - Google Patents
電子線検出装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6005447B2 JP6005447B2 JP2012192068A JP2012192068A JP6005447B2 JP 6005447 B2 JP6005447 B2 JP 6005447B2 JP 2012192068 A JP2012192068 A JP 2012192068A JP 2012192068 A JP2012192068 A JP 2012192068A JP 6005447 B2 JP6005447 B2 JP 6005447B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electron beam
- filament
- irradiation
- current value
- filaments
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
- G01R19/165—Indicating that current or voltage is either above or below a predetermined value or within or outside a predetermined range of values
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R19/00—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof
- G01R19/0092—Arrangements for measuring currents or voltages or for indicating presence or sign thereof measuring current only
-
- G—PHYSICS
- G21—NUCLEAR PHYSICS; NUCLEAR ENGINEERING
- G21K—TECHNIQUES FOR HANDLING PARTICLES OR IONISING RADIATION NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; IRRADIATION DEVICES; GAMMA RAY OR X-RAY MICROSCOPES
- G21K5/00—Irradiation devices
- G21K5/04—Irradiation devices with beam-forming means
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
- H01J33/02—Details
- H01J33/04—Windows
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- High Energy & Nuclear Physics (AREA)
- Apparatus For Disinfection Or Sterilisation (AREA)
Description
図1はキャップ殺菌装置の構成を概略的に示す。キャップ殺菌装置の無菌チャンバ10内には棒状のガイド11〜15が相互に平行に設けられる。これらのガイド11〜15は紙面に直交する方向に延び、殺菌の対象物であるキャップCが通過するための通路が形成される。キャップCは例えば樹脂性ボトルに装着されるものであり、有底筒状を呈する。キャップCは無菌チャンバ10の上方から供給され、キャップの開口部が後述する電子線照射装置20側(図中左側)を向くようにしてガイド11〜15の間を搬送される。
全てのフィラメント25が正常である場合、図3に示されるように、各ワイヤ電極46に流れる電流値は、破線により示すようにそれぞれ同じであり、これらを合成した電流値は実線S1により示すように、符号Aから符号Fにかけてほぼ一定の値を示している。これに対して、符号Dに対応するフィラメント25が断線している場合、図4に示されるように、そのフィラメント25に流れる電流は存在しない。したがって、合成した電流値は実線S2により示すように、符号Dの部分において大きく窪んでいる。
25 フィラメント
46 ワイヤ電極(導電体)
48 電流測定器(測定手段)
49 CPU(判定手段)
Claims (2)
- 電子線照射装置によって照射される電子線の状態を検出する電子線検出装置であって、
前記電子線照射装置から電子線を外部へ出力するための照射窓を囲むようにして、前記照射窓の外面に取付けられた絶縁体と、
電子線が照射される領域内において、前記電子線照射装置に設けられて熱電子を放出する複数のフィラメントのそれぞれに対応して配置され、相互に電気的に絶縁されて前記絶縁体に設けられた複数の導電体と、
前記複数の導電体のそれぞれを流れる電流値を測定する測定手段と、
前記測定手段から出力される信号を受けて電子線の照射状態を判定する判定手段とを備え、
前記判定手段は、前記測定手段が電流値の低下を測定すると、電流値が低下した導電体に対応するフィラメントに異常が発生したと判定することを特徴とする電子線検出装置。 - 前記複数の導電体が前記複数のフィラメントに平行に配置されることを特徴とする請求項1に記載の電子線検出装置。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012192068A JP6005447B2 (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 電子線検出装置 |
EP13832072.6A EP2894639B1 (en) | 2012-08-31 | 2013-07-30 | Electron beam radiation device |
PCT/JP2013/070563 WO2014034353A1 (ja) | 2012-08-31 | 2013-07-30 | 電子線検出装置 |
US14/424,263 US9632117B2 (en) | 2012-08-31 | 2013-07-30 | Electron beam detecting device |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012192068A JP6005447B2 (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 電子線検出装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014048184A JP2014048184A (ja) | 2014-03-17 |
JP6005447B2 true JP6005447B2 (ja) | 2016-10-12 |
Family
ID=50183173
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012192068A Active JP6005447B2 (ja) | 2012-08-31 | 2012-08-31 | 電子線検出装置 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9632117B2 (ja) |
EP (1) | EP2894639B1 (ja) |
JP (1) | JP6005447B2 (ja) |
WO (1) | WO2014034353A1 (ja) |
Family Cites Families (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2790908B2 (ja) | 1990-08-27 | 1998-08-27 | 日本電信電話株式会社 | 位置登録方式 |
JPH04105451U (ja) * | 1991-02-21 | 1992-09-10 | 日新ハイボルテージ株式会社 | 電子源フイラメント寿命検出装置 |
US5254911A (en) | 1991-11-22 | 1993-10-19 | Energy Sciences Inc. | Parallel filament electron gun |
JPH05182620A (ja) * | 1991-11-27 | 1993-07-23 | Hitachi Ltd | 電子銃のフィラメント状態監視装置 |
JPH08106874A (ja) * | 1994-10-05 | 1996-04-23 | Toshiba Corp | 粒子ビーム装置 |
JP3512908B2 (ja) * | 1995-06-22 | 2004-03-31 | 株式会社東芝 | 電子線照射装置 |
JPH1184099A (ja) * | 1997-09-10 | 1999-03-26 | Iwasaki Electric Co Ltd | 電子線照射装置 |
JPH11109098A (ja) * | 1997-10-01 | 1999-04-23 | Iwasaki Electric Co Ltd | 電子線照射装置 |
JP3904380B2 (ja) * | 1999-11-29 | 2007-04-11 | ウシオ電機株式会社 | 電子線量の測定方法および電子線照射処理装置 |
TW464947B (en) | 1999-11-29 | 2001-11-21 | Ushio Electric Inc | Measuring apparatus of electron beam quantity and processing apparatus of electron beam irradiation |
JP2003043197A (ja) * | 2001-07-26 | 2003-02-13 | Nissin High Voltage Co Ltd | 電子線照射装置のフィラメント断線検出機構 |
JP2006349357A (ja) * | 2005-06-13 | 2006-12-28 | Nhv Corporation | 電子線照射装置 |
SE529241C2 (sv) | 2005-10-26 | 2007-06-05 | Tetra Laval Holdings & Finance | Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle |
SE530019C2 (sv) * | 2006-06-14 | 2008-02-12 | Tetra Laval Holdings & Finance | Sensor samt system för avkänning av en elektronstråle |
JP4742223B2 (ja) * | 2008-05-12 | 2011-08-10 | 株式会社日本Aeパワーシステムズ | 監視装置付き電子線照射装置 |
-
2012
- 2012-08-31 JP JP2012192068A patent/JP6005447B2/ja active Active
-
2013
- 2013-07-30 EP EP13832072.6A patent/EP2894639B1/en active Active
- 2013-07-30 US US14/424,263 patent/US9632117B2/en active Active
- 2013-07-30 WO PCT/JP2013/070563 patent/WO2014034353A1/ja active Application Filing
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2894639B1 (en) | 2019-12-04 |
US9632117B2 (en) | 2017-04-25 |
JP2014048184A (ja) | 2014-03-17 |
WO2014034353A1 (ja) | 2014-03-06 |
EP2894639A1 (en) | 2015-07-15 |
US20150331018A1 (en) | 2015-11-19 |
EP2894639A4 (en) | 2016-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101879491B1 (ko) | 화염 검출 시스템 | |
JP4729626B2 (ja) | 電子ビームを感知するための露出導体システム及び方法 | |
US7104690B2 (en) | Diagnosing system for an x-ray source assembly | |
JP4745399B2 (ja) | 電子ビームを検出するセンサーおよびシステム | |
EP3344017B1 (en) | X-ray generator device and x-ray examination device | |
CN107787107A (zh) | X射线装置以及控制x射线装置的方法 | |
CN109075010B (zh) | 冷阴极电离真空计和测量压力的方法 | |
US20130323118A1 (en) | Container sterilization apparatus and method | |
JP6005447B2 (ja) | 電子線検出装置 | |
JP6963486B2 (ja) | X線管およびx線発生装置 | |
JP4220015B2 (ja) | 電離放射線検出装置 | |
JP2016033509A (ja) | 真空計と汚染診断方法 | |
WO2021157175A1 (ja) | 質量分析装置および質量分析方法 | |
JP2004349102A (ja) | 四重極型質量分析計とそれを有する真空装置 | |
CN111982394A (zh) | X射线管的真空度测量装置、方法以及系统 | |
TWI748296B (zh) | X射線產生裝置及其診斷裝置與診斷方法 | |
CN109946323B (zh) | X射线分析装置以及异常检测方法 | |
JP2011196837A (ja) | X線測定装置 | |
TWI638151B (zh) | Triode type ion vacuum gauge | |
JP6803735B2 (ja) | 内面電子線滅菌設備 | |
JP2006349357A (ja) | 電子線照射装置 | |
JP2003043197A (ja) | 電子線照射装置のフィラメント断線検出機構 | |
JP3117459U7 (ja) | ||
JP2008128994A (ja) | 電離真空計及びこれを用いた質量分析計 | |
TW200832448A (en) | Electron beam irradiation apparatus |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150424 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160202 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160906 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160907 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6005447 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |