JPWO2011102117A1 - 四重極型質量分析計 - Google Patents
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Abstract
Description
説明したが、これに限定されるものではない。図4を参照して説明すれば、変形例に係る
制御ユニットは、試験体内の全圧等を測定する主ユニットC1と、試験体内のガス成分を
分析する従ユニットC2とを連結して構成されている。即ち、主ユニットC1は第1の筐
体C11を有し、第1の筐体C11には、電力供給を行う電源部C12と、制御ユニット
の作動を制御するCPU等の制御部C13と、イオン源2への電力供給を行うイオン電源
部C14と、イオンコレクタ61、610に捕集されたイオンの電流値を測定する電流検
出回路C15とを備える。他方、主ユニットC1に通信自在に接続された従ユニットC2
は、第2の筐体C21を有し、第2の筐体C21には、四重極部3の電極31に直流電圧
と高周波電圧とを印加する電源部C22と、イオン検出部4に捕集された、イオンの電流
値を測定する電流検出回路C23とを備える。これにより、四重極型質量分析計MA1の
センサ部M1、M2、M3を真空計として使用する場合には、それに必要な制御ユニット
のみで使用できる。
両端にフランジP1、P2を備えた管体Pが取り付けられる。これにより、上記センサ部
M4を試験体TPに装着した場合、第1の態様のものと比較して管体Pの長さを短くでき、ひいては、試験体TPに装着したときのこの試験体TPからの突出量が少なくなり、有利である。また、上記第2の実施形態によれば、支持体100上にイオン源2、四重極部300及びイオン検出部4を並設して構成したため、配線が不要となり、その構造を簡単にできて組付が容易になるだけでなく、更なる低コスト化を図ることができる。
Claims (10)
- 試験体内のガス成分を分析し得る四重極型質量分析計であって、
試験体に着脱自在に装着し得るセンサ部を備え、
この試験体に対するセンサ部の装着方向を上方として、センサ部は、下端に設けられた所定形状の支持体と、この支持体上に設けられた、フィラメント及びグリッドを有して上記ガスをイオン化するイオン源と、このイオン源上に設けられた、4本の柱状電極を周方向に所定間隔で配置してなる四重極部と、この四重極部上に設けられた、相対する電極間に直流電圧と交流電圧とを印加することで四重極部を通過した所定のイオンを捕集するイオン検出部と、を備えることを特徴とする四重極型質量分析計。 - 前記イオン検出部の上方に、このイオン検出部を遮蔽する遮蔽手段を更に備えることを特徴とする請求項1記載の四重極型質量分析計。
- 前記支持体は、イオン源を囲うようにして、イオン源の上方まで延びる筒状壁を備え、この筒状壁の上端に、試験体に固定可能なフランジが設けられていることを特徴とする請求項1または請求項2記載の四重極型質量分析計。
- 試験体内のガス成分を分析し得る四重極型質量分析計であって、
試験体に着脱自在に装着し得るセンサ部を備え、
この試験体に対するセンサ部の装着方向を上方として、このセンサ部は、下端に設けられた所定形状の支持体と、この支持体上に配置された、フィラメント及びグリッドを有して上記ガスをイオン化するイオン源と、支持体上でイオン源に隣接配置された、4本の円柱状電極を上下方向に対して直交する方向に平行にかつ周方向に所定間隔で配置してなる四重極部と、支持体上で四重極部に隣接配置された、相対する電極間に直流電圧と交流電圧とを印加することでこの四重極部を通過した所定のイオンを捕集するイオン検出部と、を備えることを特徴とする四重極型質量分析計。 - 前記イオン源のフィラメント及びグリッドの自由端は、前記支持体を上下方向に貫通して固定された接続端子に配線なしに接続されていることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の四重極型質量分析計。
- 前記四重極部の各電極は絶縁性のホルダで保持され、このホルダが前記支持体に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載の四重極型質量分析計。
- 前記イオン検出部は、前記ホルダまたは支持体に着脱自在に取り付けられていることを特徴とする請求項6記載の四重極型質量分析計。
- 前記支持体上に、イオン源のグリッドを挟んでイオン検出部に対向配置された板状のイオンコレクタを更に備え、試験体内の全圧を測定可能としたことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の四重極型質量分析計。
- 前記支持体上に、フィラメント及びグリッドを有するイオン源を囲繞するように配置された筒状のイオンコレクタを更に備え、試験体内の全圧を測定可能としたことを特徴とする請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の四重極型質量分析計。
- 大気圧から、前記フィラメントから熱電子を放出し得るまでの圧力範囲内で圧力測定できる真空計を更に備えることを特徴とする請求項1〜請求項9のいずれか1項に記載の四重極型質量分析計。
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